JPH01209962A - 超音波駆動装置 - Google Patents
超音波駆動装置Info
- Publication number
- JPH01209962A JPH01209962A JP63032414A JP3241488A JPH01209962A JP H01209962 A JPH01209962 A JP H01209962A JP 63032414 A JP63032414 A JP 63032414A JP 3241488 A JP3241488 A JP 3241488A JP H01209962 A JPH01209962 A JP H01209962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- divided
- piezoelectric vibrator
- stator
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、圧電体振動子の少なくとも一方の面の電極を
分割し、１つの位相の電圧で進行波を発生し、被駆動体
を駆動する超音波駆動装置に関する。
分割し、１つの位相の電圧で進行波を発生し、被駆動体
を駆動する超音波駆動装置に関する。
［従来技術］
現在提案されている超音波モータは、分極の方向を交互
に変えた円環形圧電セラミックの片面に２組の電極群を
接着し、それぞれの電極群によって励振される定在波が
位置的に９０°ずれるように電極を配置し、さらにこれ
ら２組の電極群に印加する交流電界が時間的に９０°位
相差がある２組の発振器をそれぞれ接続している。
に変えた円環形圧電セラミックの片面に２組の電極群を
接着し、それぞれの電極群によって励振される定在波が
位置的に９０°ずれるように電極を配置し、さらにこれ
ら２組の電極群に印加する交流電界が時間的に９０°位
相差がある２組の発振器をそれぞれ接続している。
このように構成した従来の′超音波モータは、２組の発
振器からそれぞれの電極群に交流電界を印加することに
よって円環形圧電セラミックの周囲の表面に９０°位相
がずれた２つの定在波が発生し、この２の定在波が合成
された進行波が発生する。従って、円環形圧電セラミッ
クの上に接着された櫛形の振動体の上に円環形の移動体
を載置して接触を強くすると、移動体が進行波によって
移動される。
振器からそれぞれの電極群に交流電界を印加することに
よって円環形圧電セラミックの周囲の表面に９０°位相
がずれた２つの定在波が発生し、この２の定在波が合成
された進行波が発生する。従って、円環形圧電セラミッ
クの上に接着された櫛形の振動体の上に円環形の移動体
を載置して接触を強くすると、移動体が進行波によって
移動される。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、この従来の超音波モータでは、複数の電
極と、これらの電極に位相の異なった、交流電界を印加
する発振器が必要であり、電極の構成が複雑で、また振
動体の構成も複雑であり、コストが高くなるという問題
があった。
極と、これらの電極に位相の異なった、交流電界を印加
する発振器が必要であり、電極の構成が複雑で、また振
動体の構成も複雑であり、コストが高くなるという問題
があった。
本発明は、圧電体振動子の少なくとも一方の面の電極を
２分割することにより、交流電圧の位相をずらすことな
く、分割電極の一方または他方と他方の面の電極との間
に交流電圧を印加して、圧電体振動子の側面に進行波を
発生することができる超音波駆動装置を提供することを
目的としている。
２分割することにより、交流電圧の位相をずらすことな
く、分割電極の一方または他方と他方の面の電極との間
に交流電圧を印加して、圧電体振動子の側面に進行波を
発生することができる超音波駆動装置を提供することを
目的としている。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明の超音波駆動装置に
おいては、平面形状がほぼ台形の圧電体振動子の一方の
面に、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割
線で分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体
振動子の他方の面に分割しない第２の電極が設けられた
ステータを構成し、該ステータの前記第１の分割電極の
一方または他方と第２の電極のの間に交流電圧を印加し
、前記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合わせてなる
ものである。
おいては、平面形状がほぼ台形の圧電体振動子の一方の
面に、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割
線で分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体
振動子の他方の面に分割しない第２の電極が設けられた
ステータを構成し、該ステータの前記第１の分割電極の
一方または他方と第２の電極のの間に交流電圧を印加し
、前記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合わせてなる
ものである。
また、平面形状がほぼ台形の圧電体振動子の一方の面に
、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割線で
分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体振動
子の他方の面に前記台形の他の２辺の間に引かれた第２
の分割線で分割される第２の分割電極が設けられたステ
ータを構成し、前記第１の分割電極の一方または他方と
第２の分割電極の一方または他方に交流電圧を印加し、
前記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合わせてなるも
のである。
、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割線で
分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体振動
子の他方の面に前記台形の他の２辺の間に引かれた第２
の分割線で分割される第２の分割電極が設けられたステ
ータを構成し、前記第１の分割電極の一方または他方と
第２の分割電極の一方または他方に交流電圧を印加し、
前記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合わせてなるも
のである。
さらに、圧電体振動子の台形の上辺と下辺を円弧とし、
進行波がより発生し易いようにする。
進行波がより発生し易いようにする。
また、第１．第２の分割電極を分割する第１の分割線と
第２の分割線は交差しているが、直交している方がより
望ましい。
第２の分割線は交差しているが、直交している方がより
望ましい。
さらに１台形の圧電体振動子の上辺の進行波がより強く
発生するので、この部分に被駆動体を接触または対摩耗
性部材を介して接触させる。
発生するので、この部分に被駆動体を接触または対摩耗
性部材を介して接触させる。
［作用コ
上記のように、第１の分割線で分割された第１の分割電
極の一方と分割されない第２の電極の間に交流電圧を印
加することにより、第１の分割電極の一方と第２の分割
電極によって、圧電体振動子は一方向に捩れながら収縮
し、その収縮した側の側面が突出して移動することによ
り一方向の進行波が発生する。また、電圧が反転すると
、第１の分割電極の一方と第２の分割電極によって、圧
電体振動子の片側は反対方向に捩れながら膨張するが、
側面は凹むため１反対方向の進行波は発生しない。この
ように、常に一方向の進行波が圧電体振動子の第１の分
割線で分割された側の側面に交互に発生する。また、第
１の分割電極の他方と第２の分割電極の間に交流電源を
接続すると、常に反対方向の進行波が圧電体振動子の第
１の分割線で分割された側の側面に交互に発生し、進行
波が発生する部分に被駆動体を直接接触または対摩耗性
部材を介して接触させることにより超音波駆動装置を構
成することができる。
極の一方と分割されない第２の電極の間に交流電圧を印
加することにより、第１の分割電極の一方と第２の分割
電極によって、圧電体振動子は一方向に捩れながら収縮
し、その収縮した側の側面が突出して移動することによ
り一方向の進行波が発生する。また、電圧が反転すると
、第１の分割電極の一方と第２の分割電極によって、圧
電体振動子の片側は反対方向に捩れながら膨張するが、
側面は凹むため１反対方向の進行波は発生しない。この
ように、常に一方向の進行波が圧電体振動子の第１の分
割線で分割された側の側面に交互に発生する。また、第
１の分割電極の他方と第２の分割電極の間に交流電源を
接続すると、常に反対方向の進行波が圧電体振動子の第
１の分割線で分割された側の側面に交互に発生し、進行
波が発生する部分に被駆動体を直接接触または対摩耗性
部材を介して接触させることにより超音波駆動装置を構
成することができる。
また、第１、第２の分割線で分割された第１、第２の分
割電極にそれぞれ交流電源を接続する場合、第１の分割
電極の一方と第２の分割電極の一方を交流電源の一方に
接続し、第１の分割電極の他方と第２の分割電極の他方
を交流電源の他方に接続すると、圧電体振動子の第１の
分割線で分割された片側は、第１の分割電極の一方と第
２の分割電極の一方によって一方向に捩れながら収縮し
、圧電体振動子の他方の側は第１の分割電極の他方と第
２の分割電極の他方で捩れながら反対方向に膨張するた
め、その収縮した側の側面が突出して移動することによ
り一方向の進行波が発生するが、膨張した側の側面は凹
むため、反対方向の進行波は発生しない。また、電圧が
反転すると、第１の分割電極の一方と第２の分割電極の
一方によって、圧電体振動子の片側は反対方向に捩れな
がら膨張するが、側面は凹むため、反対方向の進行波は
発生しない。また圧電体振動子の他方の側は第１の分割
電極の他方と第２の分割電極の他方で捩れながら一方向
に収縮するため、その収縮した側の側面が突出して移動
することにより一方向の進行波が発生する。このように
、常に一方向の進行波が圧電体振動子の第１の分割線で
分割された側の側面に交互に発生する。また、第１の分
割電極の一方と第２の分割電極の他方を交流電源の一方
に接続し、第１の分割電極の他方と第２の分割電極の一
方を交流電源の他方に接続すると、常に反対方向の進行
波が圧電体振動子の第１の分割線で分割された側の側面
に交互に発生し、進行波が発生する部分に被駆動体を直
接接触または対摩耗性部材を介して接触させることによ
り超音波駆動装置を構成することができる。
割電極にそれぞれ交流電源を接続する場合、第１の分割
電極の一方と第２の分割電極の一方を交流電源の一方に
接続し、第１の分割電極の他方と第２の分割電極の他方
を交流電源の他方に接続すると、圧電体振動子の第１の
分割線で分割された片側は、第１の分割電極の一方と第
２の分割電極の一方によって一方向に捩れながら収縮し
、圧電体振動子の他方の側は第１の分割電極の他方と第
２の分割電極の他方で捩れながら反対方向に膨張するた
め、その収縮した側の側面が突出して移動することによ
り一方向の進行波が発生するが、膨張した側の側面は凹
むため、反対方向の進行波は発生しない。また、電圧が
反転すると、第１の分割電極の一方と第２の分割電極の
一方によって、圧電体振動子の片側は反対方向に捩れな
がら膨張するが、側面は凹むため、反対方向の進行波は
発生しない。また圧電体振動子の他方の側は第１の分割
電極の他方と第２の分割電極の他方で捩れながら一方向
に収縮するため、その収縮した側の側面が突出して移動
することにより一方向の進行波が発生する。このように
、常に一方向の進行波が圧電体振動子の第１の分割線で
分割された側の側面に交互に発生する。また、第１の分
割電極の一方と第２の分割電極の他方を交流電源の一方
に接続し、第１の分割電極の他方と第２の分割電極の一
方を交流電源の他方に接続すると、常に反対方向の進行
波が圧電体振動子の第１の分割線で分割された側の側面
に交互に発生し、進行波が発生する部分に被駆動体を直
接接触または対摩耗性部材を介して接触させることによ
り超音波駆動装置を構成することができる。
［実施例］
実施例について図面を参照して説明すると、第１図にお
いて、圧電体振動子１は扇形に構成され。
いて、圧電体振動子１は扇形に構成され。
上辺１ａ及び下辺１ｂに円弧が形成され、また側辺ＩＣ
１１ｄは直線状に構成されている。圧電体振動子１の一
方の面に設けられた第１の電極は上辺１ａから下辺１ｂ
に引かれた第１の分割線３によって２つの分割電極２ａ
、２ｂに分割され、また圧電体振動子１の他方の面に設
けたられた第２の電極は分割されないで設けられ、ステ
ータ６が構成される。
１１ｄは直線状に構成されている。圧電体振動子１の一
方の面に設けられた第１の電極は上辺１ａから下辺１ｂ
に引かれた第１の分割線３によって２つの分割電極２ａ
、２ｂに分割され、また圧電体振動子１の他方の面に設
けたられた第２の電極は分割されないで設けられ、ステ
ータ６が構成される。
このように構成されたステータ６の圧電体振動子１の第
１の電極の一方の分割電極２ａと第２の電極５の間に交
流電圧印加すると、圧電体振動子１の第１の分割線３で
分割された片側は、第１の電極の一方の分割電極２ａと
第２の電極５によって一方向に捩れながら収縮する。従
って、圧電体振動子１の収縮した側の側面が突出して移
動することにより、第２図のｌａ’で示すように、例え
ば上辺１ａ・ の左側が突出するため、一方向の進行波
が発生する。また、電圧が反転すると、第１の電極の一
方の分割電極２ａと第２の電極５によって、圧電体振動
子１の片側は反対方向に捩れながら膨張するが。
１の電極の一方の分割電極２ａと第２の電極５の間に交
流電圧印加すると、圧電体振動子１の第１の分割線３で
分割された片側は、第１の電極の一方の分割電極２ａと
第２の電極５によって一方向に捩れながら収縮する。従
って、圧電体振動子１の収縮した側の側面が突出して移
動することにより、第２図のｌａ’で示すように、例え
ば上辺１ａ・ の左側が突出するため、一方向の進行波
が発生する。また、電圧が反転すると、第１の電極の一
方の分割電極２ａと第２の電極５によって、圧電体振動
子１の片側は反対方向に捩れながら膨張するが。
第２図の１ａ”で示すように側面は凹むため、反対方向
の進行波は発生しない。このように、常に一方向の進行
波が圧電体振動子の第１の線で分割された側の側面に交
互に発生する。
の進行波は発生しない。このように、常に一方向の進行
波が圧電体振動子の第１の線で分割された側の側面に交
互に発生する。
ここで、第１の電極の他方の分割電極２ｂと第２の電極
５を交流電圧を印加すると、上記とは逆に常に反対方向
の進行波が圧電体振動子の第１の線３で分割された圧電
体振動子１の側面に交互に発生する。
５を交流電圧を印加すると、上記とは逆に常に反対方向
の進行波が圧電体振動子の第１の線３で分割された圧電
体振動子１の側面に交互に発生する。
また、第３図において、圧電体振動子１は扇形に構成さ
れ、上辺１ａ及び下辺１ｂに円弧が形成され。
れ、上辺１ａ及び下辺１ｂに円弧が形成され。
また側辺１ｃ、 ｌｄは直線状に構成されている。圧電
体振動子１の一方の面に設けられた第１の電極は上辺１
ａから下辺１ｂに引かれた第１の分割線３によって２つ
の分割電極２ａ、２ｂに分割され、ま゛た圧電体振動子
ｌの他方の面に設けたられた第２の電極は側辺１ｃ、
ｌｄの下辺１ｂからほぼ１／３の位置で引かれた第２の
分割線４によって分割電極５ａ、 ５ｂに分割されてス
テータ６が構成される。
体振動子１の一方の面に設けられた第１の電極は上辺１
ａから下辺１ｂに引かれた第１の分割線３によって２つ
の分割電極２ａ、２ｂに分割され、ま゛た圧電体振動子
ｌの他方の面に設けたられた第２の電極は側辺１ｃ、
ｌｄの下辺１ｂからほぼ１／３の位置で引かれた第２の
分割線４によって分割電極５ａ、 ５ｂに分割されてス
テータ６が構成される。
このように構成されたステータ６の圧電体振動子１の第
１の電極の一方の分割電極２ａと第２の電極の他方の分
割電極５ｂを交流電源の一方の端子に接続し、第１の電
極の他方の分割電極１ｂと第２の電極の一方の分割電極
５ａを交流電源の他方の端子に接続すると、圧電体振動
子ｌの第１の分割線３で分割された片側は、第１の電極
の一方の分割電極２ａと第２の電極の一方分割電極５ａ
によって一方向に捩れながら収縮する。また圧電体振動
子ｌの他方の側は第、１の電極の他方の分割電極２ｂと
第２の電極の他方５ｂで捩れながら逆方向に膨張する。
１の電極の一方の分割電極２ａと第２の電極の他方の分
割電極５ｂを交流電源の一方の端子に接続し、第１の電
極の他方の分割電極１ｂと第２の電極の一方の分割電極
５ａを交流電源の他方の端子に接続すると、圧電体振動
子ｌの第１の分割線３で分割された片側は、第１の電極
の一方の分割電極２ａと第２の電極の一方分割電極５ａ
によって一方向に捩れながら収縮する。また圧電体振動
子ｌの他方の側は第、１の電極の他方の分割電極２ｂと
第２の電極の他方５ｂで捩れながら逆方向に膨張する。
従って、圧電体振動子１の収縮した側の側面が突出して
移動することにより、第２図のｌａ’で示すように、例
えば上辺１ａの左側が突出するため、一方向の進行波が
発生する。しかし、膨張した側の側面は凹むため、逆方
向の進行波は発生しない。
移動することにより、第２図のｌａ’で示すように、例
えば上辺１ａの左側が突出するため、一方向の進行波が
発生する。しかし、膨張した側の側面は凹むため、逆方
向の進行波は発生しない。
また、電圧が反転すると、第１の電極の一方の分割電極
１ａと第２の電極の一方の分割電極５ａによって、圧電
体振動子ｌの片側は反対方向に捩れながら膨張するが、
第２図のｌａ’″で示すように側面は凹むため１反対方
向の進行波は発生しない。また圧電体振動子１の他方の
側は第１の電極の他方分割電極２ｂと第２の電極の他方
分割電極５ｂで捩れながら一方向に収縮するため、その
収縮した側の側面が突出して移動することにより一方向
の進行波が発生する。このように、常に一方向の進行波
が圧電体振動子の第１の線で分割された側の側面に交互
に発生する。 ・ ここで、第１の電極の一方分割電極２ａと第２の電極の
他方の分割電極５ｂを交流電源の一方に接続し、第１の
電極の他方分割電極２ｂと第２の電極の一方の分割電極
５ａを交流電源の他方に接続すると、上記とは逆に常に
反対方向の進行波が圧電体振動子の第１の線３で分割さ
れた圧電体振動子ｌの側面に交互に発生する。
１ａと第２の電極の一方の分割電極５ａによって、圧電
体振動子ｌの片側は反対方向に捩れながら膨張するが、
第２図のｌａ’″で示すように側面は凹むため１反対方
向の進行波は発生しない。また圧電体振動子１の他方の
側は第１の電極の他方分割電極２ｂと第２の電極の他方
分割電極５ｂで捩れながら一方向に収縮するため、その
収縮した側の側面が突出して移動することにより一方向
の進行波が発生する。このように、常に一方向の進行波
が圧電体振動子の第１の線で分割された側の側面に交互
に発生する。 ・ ここで、第１の電極の一方分割電極２ａと第２の電極の
他方の分割電極５ｂを交流電源の一方に接続し、第１の
電極の他方分割電極２ｂと第２の電極の一方の分割電極
５ａを交流電源の他方に接続すると、上記とは逆に常に
反対方向の進行波が圧電体振動子の第１の線３で分割さ
れた圧電体振動子ｌの側面に交互に発生する。
第４図（ａ）、（ｂ）に示された実施例では。
ステータ６の圧電体振動子ｌはケース７の底部に設けた
ばね８により支持され、また被駆動体９は圧電体振動子
ｌの上辺１ａに接触されている。さらに、被駆動体９が
圧電体振動子１からずれないように、ケース７に回転体
１０が装着されている。
ばね８により支持され、また被駆動体９は圧電体振動子
ｌの上辺１ａに接触されている。さらに、被駆動体９が
圧電体振動子１からずれないように、ケース７に回転体
１０が装着されている。
本実施例の超音波駆動装置では、圧電体振動子１の両面
の分割電極２ａ、 ２ｂと５ａ、５ｂに上記のように交
流電圧を印加すると、被駆動体９は図の左右方向に移動
するので、リニアモータとして使用することができる。
の分割電極２ａ、 ２ｂと５ａ、５ｂに上記のように交
流電圧を印加すると、被駆動体９は図の左右方向に移動
するので、リニアモータとして使用することができる。
なお、圧電体振動子１の分割線３を上辺１ａの中心から
少しずらすことによって、第５図に示すようにステータ
６の圧電体振動子１の厚み方向に被駆動体９を移動させ
ることができる。
少しずらすことによって、第５図に示すようにステータ
６の圧電体振動子１の厚み方向に被駆動体９を移動させ
ることができる。
第６図の実施例では、ステータ６の圧電体振動子１は平
面形状が台形に形成され、この上辺１ａと下辺１ｂは平
行に構成されている。
面形状が台形に形成され、この上辺１ａと下辺１ｂは平
行に構成されている。
このように構成された実施例においても、第３図の実施
例と同様に第１の電極２ａ、２ｂ及び第２の電極５ａ、
５ｂにそれぞれ交流電圧を印加すると、第６図に示すよ
うに例えば圧電体振動子１の膨張または収縮に応じて上
辺１ａが点線ａまたは一点鎖線すのように変形するので
、一方向に進行波が発生する。
例と同様に第１の電極２ａ、２ｂ及び第２の電極５ａ、
５ｂにそれぞれ交流電圧を印加すると、第６図に示すよ
うに例えば圧電体振動子１の膨張または収縮に応じて上
辺１ａが点線ａまたは一点鎖線すのように変形するので
、一方向に進行波が発生する。
なお、第６図の実施例では、第１の電極２及び第２の電
極５をそれぞれ分割したが、第２の電極５は分割しなく
てもよい。
極５をそれぞれ分割したが、第２の電極５は分割しなく
てもよい。
［発明の効果］
本発明は、以上のように構成されているので。
以下に記載されるような効果を奏する。
圧電体振動子の片面または両面の電極を分割線で分割し
て分割電極を形成し、一方の面の分割電極のいずれかと
他方の面の電極に交流電圧を印加するか、または両面の
分割電極にそれぞれ交流電圧を印加したとき、圧電体振
動子が捩れるように駆動されるので、従来例のように位
相の異なった交流電圧を印加する必要がなく、また構造
が簡単で、トルクも大きく、被駆動体を直線状に正逆転
駆動することが出来るという利点がある。
て分割電極を形成し、一方の面の分割電極のいずれかと
他方の面の電極に交流電圧を印加するか、または両面の
分割電極にそれぞれ交流電圧を印加したとき、圧電体振
動子が捩れるように駆動されるので、従来例のように位
相の異なった交流電圧を印加する必要がなく、また構造
が簡単で、トルクも大きく、被駆動体を直線状に正逆転
駆動することが出来るという利点がある。
第１図は本発明の実施例の超音波駆動装置のステータの
構成図、第２図は第１図のステータの動作を説明するた
めの図、第３図は本発明の他の実施例の超音波駆動装置
のステータの構成図、第４図（ａ）、（ｂ）は第１図及
び第３図のステータを使用した超音波駆動装置の正面図
及び側面図。 第５図は第１図または第３図のステータを使用した他の
超音波駆動装置の斜視図、第６図は本発明のさらに他の
実施例のステータの斜視図、第７図は第６図のステータ
の動作を説明するための図である。 １・・・圧電体振動子、 ｌａ・・・上辺、１ｂ・・・
下辺、１ｃ、１ｄ・・・側辺、２，５・・・分割電極、
２ａ、 ２ｂ・・・分割電極、３・・・第１の分割線、
４・・・分割線、５ａ、５ｂ・・・分割電極、６・・・
ステータ、７・・・ケース、８・・・ばね、９・・・被
駆動体、１０・・・支持体。
構成図、第２図は第１図のステータの動作を説明するた
めの図、第３図は本発明の他の実施例の超音波駆動装置
のステータの構成図、第４図（ａ）、（ｂ）は第１図及
び第３図のステータを使用した超音波駆動装置の正面図
及び側面図。 第５図は第１図または第３図のステータを使用した他の
超音波駆動装置の斜視図、第６図は本発明のさらに他の
実施例のステータの斜視図、第７図は第６図のステータ
の動作を説明するための図である。 １・・・圧電体振動子、 ｌａ・・・上辺、１ｂ・・・
下辺、１ｃ、１ｄ・・・側辺、２，５・・・分割電極、
２ａ、 ２ｂ・・・分割電極、３・・・第１の分割線、
４・・・分割線、５ａ、５ｂ・・・分割電極、６・・・
ステータ、７・・・ケース、８・・・ばね、９・・・被
駆動体、１０・・・支持体。
Claims (7)
- １． 平面形状がほぼ台形の圧電体振動子の一方の面に
、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割線で
分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体振動
子の他方の面に分割しない第２の電極が設けられたステ
ータを構成し、該ステータの前記第１の分割電極の一方
または他方と第２の電極のの間に交流電圧を印加し、前
記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合わせてなる超音
波駆動装置。 - ２． 前記ステータの前記圧電体振動子の台形の上辺と
下辺を円弧としたことを特徴とする請求項１記載の超音
波駆動装置。 - ３． 前記被駆動体は前記ステータの前記台形の圧電体
振動子の上辺に組合わせたことを特徴とする請求項１又
は２記載の超音波駆動装置。 - ４． 平面形状がほぼ台形の圧電体振動子の一方の面に
、前記台形の上辺と下辺の間に引かれた第１の分割線で
分割される第１の分割電極が設けられ、前記圧電体振動
子の他方の面に前記台形の他の２辺の間に引かれた第２
の分割線で分割される第２の分割電極が設けられたステ
ータを構成し、該ステータの前記第１の分割電極の一方
または他方と第２の分割電極の一方または他方に交流電
圧を印加し、前記圧電体振動子の側面に被駆動体を組合
わせてなる超音波駆動装置。 - ５． 前記ステータの前記圧電体振動子の台形の上辺と
下辺を円弧としたことを特徴とする請求項３記載の超音
波駆動装置。 - ６． 前記第１の分割線と第２の分割線は直交している
ことを特徴とする請求項３記載の超音波駆動装置。 - ７． 前記被駆動体は前記ステータの前記台形の圧電体
振動子の上辺に組合わせたことを特徴とする請求項１又
は２記載の超音波駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63032414A JP2632173B2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 超音波駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63032414A JP2632173B2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 超音波駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209962A true JPH01209962A (ja) | 1989-08-23 |
| JP2632173B2 JP2632173B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=12358293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63032414A Expired - Lifetime JP2632173B2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 超音波駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2632173B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453653A (en) * | 1993-07-09 | 1995-09-26 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| US5682076A (en) * | 1993-08-03 | 1997-10-28 | Nanomotion Ltd. | Ceramic disc-drive actuator |
| WO2003047306A3 (en) * | 2001-11-02 | 2003-10-30 | Product Systems Inc | Radial power megasonic transducer |
| DE102007005041A1 (de) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Federungseinrichtung |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP63032414A patent/JP2632173B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453653A (en) * | 1993-07-09 | 1995-09-26 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| US6064140A (en) * | 1993-07-09 | 2000-05-16 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
| US5682076A (en) * | 1993-08-03 | 1997-10-28 | Nanomotion Ltd. | Ceramic disc-drive actuator |
| US5777423A (en) * | 1993-08-03 | 1998-07-07 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| WO2003047306A3 (en) * | 2001-11-02 | 2003-10-30 | Product Systems Inc | Radial power megasonic transducer |
| US6791242B2 (en) | 2001-11-02 | 2004-09-14 | Product Systems Incorporated | Radial power megasonic transducer |
| DE102007005041A1 (de) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Federungseinrichtung |
| DE102007005041B4 (de) * | 2007-01-26 | 2011-09-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Federungseinrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2632173B2 (ja) | 1997-07-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0477553B2 (ja) | ||
| JPS59201684A (ja) | 振動波モ−タ | |
| US4788468A (en) | Vibration wave motor | |
| JPH0241673A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPH01209962A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPS61224880A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPS61224883A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPS63316675A (ja) | 圧電リニアモ−タ | |
| JPH08149862A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPS63316674A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS63110973A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JPH0773428B2 (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JPS63217983A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPS63268476A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH0552137B2 (ja) | ||
| JP2543160B2 (ja) | 円環形超音波モ―タ | |
| SU851563A1 (ru) | Координатный вибропривод | |
| JPS61157276A (ja) | 振動波モ−タの駆動回路 | |
| JP2625653B2 (ja) | 振動波モータ | |
| JPH03178574A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH01177879A (ja) | 振動波リニアモータ | |
| JPS61227680A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH0744855B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH01218367A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JPS6216079A (ja) | 振動波モ−タ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |