JPH01206643A - 基板吸着構造 - Google Patents
基板吸着構造Info
- Publication number
- JPH01206643A JPH01206643A JP63031596A JP3159688A JPH01206643A JP H01206643 A JPH01206643 A JP H01206643A JP 63031596 A JP63031596 A JP 63031596A JP 3159688 A JP3159688 A JP 3159688A JP H01206643 A JPH01206643 A JP H01206643A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- substrate
- holding plate
- substrates
- substrate holding
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は基板を吸着保持する基板吸着構造に関する。
［従来の技術］
例えば、半導体の製造に用いるテープポンダとして、特
公昭５７−５３９７４号公報、特公昭６２−２７７３５
号公報、特公昭６２−５５２９８号公報に等示すように
、キャリアテープのリードにペレットのバンプをポンデ
ィングするもの、また特公昭６２−３１８１９号公報、
特公昭６２−３４１４２号公報等に示すように、キャリ
アテープのリードにバンプ単体をポンディングするもの
が知られている。
公昭５７−５３９７４号公報、特公昭６２−２７７３５
号公報、特公昭６２−５５２９８号公報に等示すように
、キャリアテープのリードにペレットのバンプをポンデ
ィングするもの、また特公昭６２−３１８１９号公報、
特公昭６２−３４１４２号公報等に示すように、キャリ
アテープのリードにバンプ単体をポンディングするもの
が知られている。
この装置における基板吸着構造は、ｘＹ（水平）方向、
Ｚ（上下）方向及びθ（回転）方向に駆動されるポンド
ステージ上に基板保持板（真空チャック）を設け、この
基板保持板に設けられた吸着溝又は吸着穴等の吸着部に
よってペレット又はバンプが設けられた基板を保持させ
ている。
Ｚ（上下）方向及びθ（回転）方向に駆動されるポンド
ステージ上に基板保持板（真空チャック）を設け、この
基板保持板に設けられた吸着溝又は吸着穴等の吸着部に
よってペレット又はバンプが設けられた基板を保持させ
ている。
ところで、基板はできるだけ外周に近い部分で吸着保持
させた方が基板の反りが規制される上、保持の安定性が
良い。そこで、従来は、数種類の基板保持板を用意し、
基板に応じて取換えて用いている。
させた方が基板の反りが規制される上、保持の安定性が
良い。そこで、従来は、数種類の基板保持板を用意し、
基板に応じて取換えて用いている。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、複数個の基板保持板を用意しなければ
ならなく、また基板の大きさが異なるたびに交換作業を
必要とするという問題点があった。
ならなく、また基板の大きさが異なるたびに交換作業を
必要とするという問題点があった。
本発明の目的は、１個の基板保持板で大きさの異なる複
数個の基板に対応できる基板吸着構造を提供することに
ある。
数個の基板に対応できる基板吸着構造を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］
上記目的は、大きさの異なる複数の基板に応じた吸着部
及びこの吸着部にそれぞれ連通して外部の真空ポンプに
接続される各基板に応じた複数の吸引部が形成された基
板保持板と、前記複数の吸引部と前記真空ポンプとを接
続する接続部に前記複数の吸引部をそれぞれ開閉させる
複数の開閉手段とを備えた構成にすることにより解決さ
れる。
及びこの吸着部にそれぞれ連通して外部の真空ポンプに
接続される各基板に応じた複数の吸引部が形成された基
板保持板と、前記複数の吸引部と前記真空ポンプとを接
続する接続部に前記複数の吸引部をそれぞれ開閉させる
複数の開閉手段とを備えた構成にすることにより解決さ
れる。
［作用］
１個の基板保持板に複数の大きさに応じた複数の吸着部
が形成されており、前記各吸着部はそれぞれ開閉手段で
開閉可能になっているので、その基板に応じた吸着部の
みを開にして真空吸着状態にして用いる。
が形成されており、前記各吸着部はそれぞれ開閉手段で
開閉可能になっているので、その基板に応じた吸着部の
みを開にして真空吸着状態にして用いる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図により説明
する。本実施例は、大きさの異なる３種類の基板ＩＡ、
ＩＢ、ＩＣに適応できるように構成した基板吸着構造を
示す。基板保持板２の上面には、基板ＩＡ、ＩＢ、４ｃ
に応じた環状の吸着溝３Ａ、３Ｂ、３Ｃが形成されてい
る。また基板保持板２の側面には、前記吸着溝３Ａ、３
Ｂ、３Ｃの下方に伸びた水平の吸引部４Ａ、４Ｂ、４Ｃ
が形成され、この吸引部４Ａ、４Ｂ、４Ｃと前記吸着溝
３Ａ、３Ｂ、３Ｃとは垂直の吸引部５Ａ、５Ｂ、５Ｃに
よって連通されている。
する。本実施例は、大きさの異なる３種類の基板ＩＡ、
ＩＢ、ＩＣに適応できるように構成した基板吸着構造を
示す。基板保持板２の上面には、基板ＩＡ、ＩＢ、４ｃ
に応じた環状の吸着溝３Ａ、３Ｂ、３Ｃが形成されてい
る。また基板保持板２の側面には、前記吸着溝３Ａ、３
Ｂ、３Ｃの下方に伸びた水平の吸引部４Ａ、４Ｂ、４Ｃ
が形成され、この吸引部４Ａ、４Ｂ、４Ｃと前記吸着溝
３Ａ、３Ｂ、３Ｃとは垂直の吸引部５Ａ、５Ｂ、５Ｃに
よって連通されている。
前記吸引部４Ａ、４Ｂ、４Ｃは接続バイブロＡ、６Ｂ、
６Ｃにより接続パイプ７を介して真空ポンプ８に接続さ
れている。また接続バイブロＡ、６Ｂ、６Ｃにはそれぞ
れ開閉可能な開閉バルブ９Ａ、９Ｂ、９Ｃが設けられて
いる。
６Ｃにより接続パイプ７を介して真空ポンプ８に接続さ
れている。また接続バイブロＡ、６Ｂ、６Ｃにはそれぞ
れ開閉可能な開閉バルブ９Ａ、９Ｂ、９Ｃが設けられて
いる。
次に作用について説明する。今、基板ＩＡを吸着保持さ
せる場合には、開閉バルブ９Ａのみを開にし、開閉バル
ブ９Ｂ、９Ｃを閉にして用いる。
せる場合には、開閉バルブ９Ａのみを開にし、開閉バル
ブ９Ｂ、９Ｃを閉にして用いる。
これにより、吸着溝３Ａが吸引状態となり、吸着溝３Ｂ
、３Ｃは非吸引状態となり、吸着溝３Ａによって基板Ｉ
Ａを吸着保持することができる。この基板ＩＡの場合に
は、開閉バルブ９Ａのみ開ではなく、開閉バルブ９Ｂ、
９Ｃも開にして用いてもよい。
、３Ｃは非吸引状態となり、吸着溝３Ａによって基板Ｉ
Ａを吸着保持することができる。この基板ＩＡの場合に
は、開閉バルブ９Ａのみ開ではなく、開閉バルブ９Ｂ、
９Ｃも開にして用いてもよい。
基板ｌＢを吸着保持させる場合には、開閉バルブ９Ａは
必ず閉にし、開閉バルブ９Ｂのみ又は開閉バルブ９Ｂ、
９Ｃを開にして用いる。また基板ＩＣを吸着保持させる
場合は、同様に、開閉バルブ９Ａ、９Ｂを必ず閉にし、
開閉バルブ９Ｃのみを開にして用いる。
必ず閉にし、開閉バルブ９Ｂのみ又は開閉バルブ９Ｂ、
９Ｃを開にして用いる。また基板ＩＣを吸着保持させる
場合は、同様に、開閉バルブ９Ａ、９Ｂを必ず閉にし、
開閉バルブ９Ｃのみを開にして用いる。
このように、１個の基板保持板２で大きさの異なる複数
の基板ＩＡ、ＩＢ、ＩＣを吸着させることができ、また
単に開閉バルブ９Ａ、９Ｂ、９Ｃを開閉させるのみでよ
いので、装置のコストダウン及び切換え作業の大幅ば時
間短縮が図れる。
の基板ＩＡ、ＩＢ、ＩＣを吸着させることができ、また
単に開閉バルブ９Ａ、９Ｂ、９Ｃを開閉させるのみでよ
いので、装置のコストダウン及び切換え作業の大幅ば時
間短縮が図れる。
なお、上記実施例においては、基板ＩＡ、ＩＢ、ＩＣを
吸着する部分は吸着溝３Ａ、３Ｂ、３Ｃとしたが、第４
図及び第５図に示すように、第１図に示す吸着溝３Ａ、
３Ｂ、３Ｃにそれぞれ対応した複数側の吸着穴１０Ａ、
ＩＯＢ、１０Ｃを有する第２の基板保持板１１を製作し
、この基板保持板１１を前記基板保持板２上に密着固定
して用いてもよい。また本実施例は、３種類の基板ＩＡ
、ＩＢ、ＩＣに適用する場合について説明したが、２種
類又は４種類以上の基板に適用できるように構成できる
ことはいうまでもない。
吸着する部分は吸着溝３Ａ、３Ｂ、３Ｃとしたが、第４
図及び第５図に示すように、第１図に示す吸着溝３Ａ、
３Ｂ、３Ｃにそれぞれ対応した複数側の吸着穴１０Ａ、
ＩＯＢ、１０Ｃを有する第２の基板保持板１１を製作し
、この基板保持板１１を前記基板保持板２上に密着固定
して用いてもよい。また本実施例は、３種類の基板ＩＡ
、ＩＢ、ＩＣに適用する場合について説明したが、２種
類又は４種類以上の基板に適用できるように構成できる
ことはいうまでもない。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、１個
の基板保持板で大きさの異なる複数の基板を吸着させる
ことができ、また単に開閉バルブを開閉させるのみでよ
いので、装置のコストダウン及び切換え作業の大幅ば時
間短縮が図れる。
の基板保持板で大きさの異なる複数の基板を吸着させる
ことができ、また単に開閉バルブを開閉させるのみでよ
いので、装置のコストダウン及び切換え作業の大幅ば時
間短縮が図れる。
【図面の簡単な説明】
示す平面図、第５図は第４図のＣ−Ｃ線断面図である。
ＩＡ、ＩＢ、ＩＣ：基板、 ２：基板保持板、３Ａ
、３Ｂ、３Ｃ：吸着溝、 ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ１５Ａ、５Ｂ、５ｃ：吸引部、６Ａ、
６Ｂ、６Ｃ１７：接続パイプ、 ８：真空ポンプ、 ９Ａ、９Ｂ、９ｃ：開閉バルブ、
ＩＯＡ、ＩＯＢ、１ｏｃ：吸着穴、１１：基板保
持板。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳 １Ａ〜ＩＣ：基販 １０Ａへ１０Ｃ： ０局、脇 り（ １１：茎吹係竹林
、３Ｂ、３Ｃ：吸着溝、 ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ１５Ａ、５Ｂ、５ｃ：吸引部、６Ａ、
６Ｂ、６Ｃ１７：接続パイプ、 ８：真空ポンプ、 ９Ａ、９Ｂ、９ｃ：開閉バルブ、
ＩＯＡ、ＩＯＢ、１ｏｃ：吸着穴、１１：基板保
持板。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳 １Ａ〜ＩＣ：基販 １０Ａへ１０Ｃ： ０局、脇 り（ １１：茎吹係竹林
Claims (1)
- （１）大きさの異なる複数の基板に応じた吸着部及びこ
の吸着部にそれぞれ連通して外部の真空ポンプに接続さ
れる各基板に応じた複数の吸引部が形成された基板保持
板と、前記複数の吸引部と前記真空ポンプとを接続する
接続部に前記複数の吸引部をそれぞれ開閉させる複数の
開閉手段とを備えてなる基板吸着構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031596A JPH01206643A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 基板吸着構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031596A JPH01206643A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 基板吸着構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01206643A true JPH01206643A (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=12335578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63031596A Pending JPH01206643A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 基板吸着構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01206643A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5487630A (en) * | 1994-03-09 | 1996-01-30 | Campian; Jonathon | Machine for cutting a workpiece made of styrofoam or like material |
| US5704673A (en) * | 1994-05-25 | 1998-01-06 | Avery Dennison Corporation | Large area support label carrier |
| JP2004172321A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | ワーク搬送テーブル、ワーク搬送装置、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2011023433A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921172B2 (ja) * | 1977-07-26 | 1984-05-18 | 三菱電機株式会社 | リ−ドフレ−ムの連結片の切断装置 |
| JPS61214937A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-24 | Canon Inc | 吸着保持装置 |
| JPS62208842A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-14 | Canon Inc | 真空吸着装置 |
-
1988
- 1988-02-13 JP JP63031596A patent/JPH01206643A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921172B2 (ja) * | 1977-07-26 | 1984-05-18 | 三菱電機株式会社 | リ−ドフレ−ムの連結片の切断装置 |
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| JP2004172321A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | ワーク搬送テーブル、ワーク搬送装置、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2011023433A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送装置 |
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