JPH01201952A - カラー固体撮像装置 - Google Patents
カラー固体撮像装置Info
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- JPH01201952A JPH01201952A JP63026143A JP2614388A JPH01201952A JP H01201952 A JPH01201952 A JP H01201952A JP 63026143 A JP63026143 A JP 63026143A JP 2614388 A JP2614388 A JP 2614388A JP H01201952 A JPH01201952 A JP H01201952A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
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- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48464—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area also being a ball bond, i.e. ball-to-ball
Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
体撮房装置に関する。
従来の技術
従来のカラー固体撮像装置について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は従来のカラー固体撮像装置の断面の一部を拡大
した図である。半導体基板に通常のウニハブロセスでる
る気相成長、不純物拡散、写真蝕刻などの手法を用い最
後に個々の素子に割断し、カラー固体撮像素子１を形成
する。２はカラー固体機１家素子１を構成しているアル
ミ電極、３はパンシベーション膜である。４はパンシベ
ーション膜３上に形成されたカラーフィルタでイエロー
。
した図である。半導体基板に通常のウニハブロセスでる
る気相成長、不純物拡散、写真蝕刻などの手法を用い最
後に個々の素子に割断し、カラー固体撮像素子１を形成
する。２はカラー固体機１家素子１を構成しているアル
ミ電極、３はパンシベーション膜である。４はパンシベ
ーション膜３上に形成されたカラーフィルタでイエロー
。
シアン、グリーン、マゼンタの４色などで形成されてい
る。以上のカラー固体撮像素子１はセラミックや樹脂等
からなるパッケージ６に接着され固定されている。パッ
ケージ５に設けられたリードフレーム６は、ボンディン
グワイヤ７によりアルミ電極２と結線されている。カラ
ー固体撮像素子１はパンケージ５とガラスまたは樹脂等
からなる透明板８とその間を接着する接着剤９によって
密閉されている。この密閉された空間１０は窒素ガスに
よって満たされているか、または真空である。
る。以上のカラー固体撮像素子１はセラミックや樹脂等
からなるパッケージ６に接着され固定されている。パッ
ケージ５に設けられたリードフレーム６は、ボンディン
グワイヤ７によりアルミ電極２と結線されている。カラ
ー固体撮像素子１はパンケージ５とガラスまたは樹脂等
からなる透明板８とその間を接着する接着剤９によって
密閉されている。この密閉された空間１０は窒素ガスに
よって満たされているか、または真空である。
以上のような構成によジカラー固体撮像装置は構成され
ている。
ている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構造では、短時間の光照射
によυカラーフィルタの色素が退色し、カラーフィルタ
の分光特性を大きく損ない、カラー固体撮像装置を寿命
を著しく短かくし、実用に十分たるものではなかった。
によυカラーフィルタの色素が退色し、カラーフィルタ
の分光特性を大きく損ない、カラー固体撮像装置を寿命
を著しく短かくし、実用に十分たるものではなかった。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので
、従来のカラー固体機縁装置の大きさを大きくすること
なく、カラーフィルタの変色を防ぎ、実用に足るカラー
固体機縁装置を提供するものである。
、従来のカラー固体機縁装置の大きさを大きくすること
なく、カラーフィルタの変色を防ぎ、実用に足るカラー
固体機縁装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
本発明のカラー固体機縁装置は、セラミック。
樹脂などからなるパッケージと接着剤を介してガラス、
樹脂などからなる透明板に囲まれた空間に酸基、もしく
は酸素を一部含んだ気体でもって充填させることにより
構成されている。
樹脂などからなる透明板に囲まれた空間に酸基、もしく
は酸素を一部含んだ気体でもって充填させることにより
構成されている。
１乍 用
カラーフィルタを構成する染色ベース材料はゼラチン、
カゼインなどのタンパク質よりなっている。タンパク質
中では光還元反応が起こりやすくその作用でカラーフィ
ルタの色素が退色する。カラーフィルタの雰囲気を酸素
、もしくは酸素を含む気体にし、酸化雰囲気としてやる
ことで光還元反応が抑制され、カラーフィルタの分光特
性が損なわれることがなくなる。
カゼインなどのタンパク質よりなっている。タンパク質
中では光還元反応が起こりやすくその作用でカラーフィ
ルタの色素が退色する。カラーフィルタの雰囲気を酸素
、もしくは酸素を含む気体にし、酸化雰囲気としてやる
ことで光還元反応が抑制され、カラーフィルタの分光特
性が損なわれることがなくなる。
実施例
以下に本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例のカラー固体撮像装置の断面
の一部を拡大したものである。半導体基板に通常のウェ
ハプロセスである気相成長、不純物拡散、写真蝕刻など
の手法を用い、最後に個々の素子に割断して、カラー固
体撮像素子１００を形成する。１０１はカラー固体撮像
素子を構成しているアルミ電極で、１０２はパッシベー
ション膜である。１Ｑ３はパッシベーション膜１０２上
に形成されたカラーフィルタでイエロー、シアン。
の一部を拡大したものである。半導体基板に通常のウェ
ハプロセスである気相成長、不純物拡散、写真蝕刻など
の手法を用い、最後に個々の素子に割断して、カラー固
体撮像素子１００を形成する。１０１はカラー固体撮像
素子を構成しているアルミ電極で、１０２はパッシベー
ション膜である。１Ｑ３はパッシベーション膜１０２上
に形成されたカラーフィルタでイエロー、シアン。
グリーン、マゼンタの４色などで形成されている。
以上のカラー固体撮像素子１００はセラミックや樹脂な
どからなるパッケージ１０４に接着され、固定されてい
る。パンケージ１０４に設けられた５ ベー〉 リードフレーム１０５は、ボンディングワイヤ１０６に
よりアルミ電極１０１と結線されている。
どからなるパッケージ１０４に接着され、固定されてい
る。パンケージ１０４に設けられた５ ベー〉 リードフレーム１０５は、ボンディングワイヤ１０６に
よりアルミ電極１０１と結線されている。
カラー固体撮像素子１００はパッケージ１０４とガラス
または樹脂等からなる透明板１０了とその間を接着する
接着剤１０８によって密閉されている。この密閉された
空間内には酸素または酸素を含む気体からなる封入ガス
１０９によって満たされている。
または樹脂等からなる透明板１０了とその間を接着する
接着剤１０８によって密閉されている。この密閉された
空間内には酸素または酸素を含む気体からなる封入ガス
１０９によって満たされている。
発明の詳細
な説明したように本発明では５従来の問題点であったカ
ラー固体撮ｆｆ装置のカラーフィルタの分光特性の退色
劣化をセラミ’／りや樹脂などからなるパッケージと接
着剤を介してガラスや樹脂などからなる透明板に囲まれ
た空間を酸基もしくは酸素を一部含む気体でもって満た
すことにより抑制し、実用に足るカラー固体撮［象装置
を可能とした。したがって本発明のカラー固体撮像素子
に与える効果は犬なるものかある。
ラー固体撮ｆｆ装置のカラーフィルタの分光特性の退色
劣化をセラミ’／りや樹脂などからなるパッケージと接
着剤を介してガラスや樹脂などからなる透明板に囲まれ
た空間を酸基もしくは酸素を一部含む気体でもって満た
すことにより抑制し、実用に足るカラー固体撮［象装置
を可能とした。したがって本発明のカラー固体撮像素子
に与える効果は犬なるものかある。
第１図は本発明の一実施例のカラー固体機縁装置の断面
の一部の拡大図で、第２図は従来のカラー固体機縁装置
の断面の一部の拡大図である。 １００・・・・・・固体撮像素子、１０３ ・・カラー
フィルタ、１０４・・・・・・パンケージ、１０７・・
・・・透明板、１０８・・・ 接着剤、１０９・・・・
・酸素または酸素を含む気体からなる封入ガス。
の一部の拡大図で、第２図は従来のカラー固体機縁装置
の断面の一部の拡大図である。 １００・・・・・・固体撮像素子、１０３ ・・カラー
フィルタ、１０４・・・・・・パンケージ、１０７・・
・・・透明板、１０８・・・ 接着剤、１０９・・・・
・酸素または酸素を含む気体からなる封入ガス。
Claims (1)
- 同一半導体基板上に光電変換部、走査回路部およびカ
ラーフィルタ部を集積化したカラー固体撮像素子がパッ
ケージに固定され、前記のカラー固体撮像素子の前面が
透明板で封着されるとともに、前記パッケージと前記透
明板およびその接続に用いる接着剤に囲まれた内部にす
くなくとも酸素を含む気体が封入されていることを特徴
とするカラー固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026143A JPH01201952A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026143A JPH01201952A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01201952A true JPH01201952A (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=12185321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63026143A Pending JPH01201952A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01201952A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100401487C (zh) * | 2004-07-22 | 2008-07-09 | 株式会社东芝 | 半导体器件及半导体器件的制造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228755A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63026143A patent/JPH01201952A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228755A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100401487C (zh) * | 2004-07-22 | 2008-07-09 | 株式会社东芝 | 半导体器件及半导体器件的制造方法 |
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