JPH01198037A - ワイヤクランプ装置 - Google Patents

ワイヤクランプ装置

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JPH01198037A
JPH01198037A JP63024444A JP2444488A JPH01198037A JP H01198037 A JPH01198037 A JP H01198037A JP 63024444 A JP63024444 A JP 63024444A JP 2444488 A JP2444488 A JP 2444488A JP H01198037 A JPH01198037 A JP H01198037A
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clamp
wire
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holder
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワイヤクランプ装置、特に金線をクランプする
ワイヤクランプ装置に関する。
〔従来の技術〕
従来のワイヤクランプ装置はワイヤを把持す石一対の把
持部材を備えたクランプと、ホイスコイルモーフ或はソ
レノイドで構成されていて前記クランプを開閉させてワ
イヤをクランプさせる駆動装置と、前記駆動装置に前記
クランプを開閉させる指令を与える制御装置とを含んで
構成される。
次に従来のワイヤボンディング装置のワイヤクランプ装
置について図面を用いて詳細に説明する。
第２図は従来のワイヤクランプ装置の一例を示す側面図
である。
第２図に示すワイヤクランプ装置は、クランプ１００と
クランプ駆動モータ１１０とコントローラ１２０とを含
んで構成される。
クランプ１００はアーム１０２，１０３と一対の把持部
材１０１とを含んで構成されておシ、一対の把持部材１
０１の間に金線１３０が通されている。
アーム１０２は一端に把持部材１０１ａを備えておシ、
他端はペース１４０に保持されている。他方のアーム１
０３は一端に把持部材１１０ｂを備えており、他端は回
転軸１０４を介してクランプ駆動モータ１１０に連結さ
れてお）、排持部材１０１ｂを把持部材１０１ａに対向
する方向に自在に動かすことが出来る３゜ クランプ駆動モータ１１０はボイスコイルモータで構成
されておシモータの外枠はペース１４０に固定されてい
る。
次に従来のワイヤボンディング装置のワイヤクランプ装
置の動作について説明する。
クランプ１００は通常開いており、必要とされる場合に
コントローラ１２０からの開閉信号によってクランプ駆
動モータ１１０で把持部材１０１ｂを把持部材１１０・
１．が対向する方向に駆動させ金線１３０を挾む（或は
開く）。クランプ１００が開いている場合、クランプ１
００は金線１３０が把持部材１０１に擦れて傷つかない
ように把持部材１０１と金線１３０との間にはある程度
の間隔を開けである。このため金線１３０をクランプす
るためには前述した間隔だけ把持部材１０１ｂを移動さ
せる必要がある。
一般に金線１３０は柔らかいので、金線１３０を挾む場
合、駆動モータ１１０や把持部材１０１やアーム１０３
の惰性による衝撃力で金線１３０を潰さないように金線
１３０と把持部材１０１とが接触する直前に駆動モータ
１１０や把持部材１０１やアーム１０３の動きを十分に
減速する必要がある。しかし、従来のクランプ駆動モー
タはボイスコイルモータ或はソレノイドが用いられてい
たため、把持部材１０１ｂの位置を数ミクロンのオーダ
ーで測定し精密なサーボ系を構成しないかぎシ把持部材
１０１ａと把持部材１０１ｂとの間隔を精密に制御する
事は不可能であった。このため把持部材１０１ｂの動か
し過ぎ等のミスコントロールによシ金線１３０を傷つけ
易く、金線切れ等のボンディングミスを起こし易いため
に１ワイヤボンデイングの効率が悪かりた。
このためアーム１０２を板ばねにし、把持部材１０１ｂ
の動かし過ぎによる衝撃を吸収させる構造のものも考え
られている。しかし、アーム１０２を板ばねＫしたため
把持部材１０ａの所が振動を起こし易いため、クランプ
１００を開く場合、金線１３０と把持部材１０１とが擦
れて傷つけない様にする為には、前述した間隔よシも振
動の分だけ広い間隔を把持部材１０１．！：金線１３０
との間に開ける必要がある。このため金線１３０をクラ
ンプするためには把持部材１０１ｂが広い間隔を移動す
る必要があるため、金線をクランプするのに長い時間が
必要となり、ワイヤボンディングのシーケンス時間が長
くなる。
一方ワイヤボンディング装置の構成上ワイヤクランプ装
置のペース１４０に搭載されるものは軽量である必要が
あるため、把持部材１０１ｂの位置を数ミクロンのオー
ダーで測定する測定器を取シ付けるとなると非常に高価
となる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のワイヤボンディング装置のワイヤクラン
プ装置は、クランプ駆動モータがボイスコイルモータ或
はソレノイドで構成されていたため把持部材の位置決め
精度が悪く、把持部材の動かし過ぎにより金線１３０を
傷つけ易く、金線切れ等のボンディングミスを起こし易
いために、ワイヤボンディングの効率が悪いという欠点
があった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のワイヤクランプ装置は、ワイヤを把持する一対
の把持部材を備えたクランプと、前記クランプを開閉さ
せてワイヤをクランプさせる駆動装置と、前記駆動装置
に前記クランプを開閉させる指令を与える制御装置とを
含んで構成されるワイヤクランク装置において、前記駆
動装置が、圧電素子と、前記圧電素子の伸縮動作を拡大
する動作量拡大機構とを含んで構成される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照にして詳細
に説明する。
第１図は本発明のワイヤクランプ装置の一実施例を示す
平面図である。
第１図に示すワイヤクランプ装置はクランプ２０と駆動
装置１０とコントローラ５０とを含んで構成される。駆
動装置１０は直方体のピエゾ素子で直方体の長軸方向に
伸縮する。
クランプ２０は一対のアーム２３と一対の把持部材３０
とを含んで構成されており、一対の把持部材３００間に
金線４０が通されている。一対のアーム２３は一端に把
持部材３０を備えておシ、他端は支点２２．力点２１を
介して挾み込む形で駆動装置１０を保持している。本実
施例では支点２２は力点２１と把持部材３０とを１：１
０に内分する点に位置している。また一対のアーム２３
は支点２２を介して挾み込む形で取付板２４と接続して
いる。取付板２４はペース６０に固定されておシこの結
果クランプ２０はペース６０に保持されている。このた
めアーム２３はてこを形成し、ピエゾ素子の伸縮変位を
１０倍に拡大して把持部材３０を開閉方向に駆動するこ
とができる。
このように本実施例では駆斬装置における圧電素子の伸
縮変位拡大機構をクランプ２０が兼ねている。
次に本発明のワイヤボンディング装置のワイヤクランプ
装置の動作について説明する。
クランプ２０は通常開いておシ、必要とされる場合にコ
ントローラ５０からの開閉信号によって駆動装置１０が
伸張しく或は収縮し）、アーム２３を介して把持部材３
０を開閉する方向に駆動して金線４０を挾む（或は開く
）。クランプ２０が開いている場合、クランプ２０は金
線４０が把持部材３０に擦れて傷つかないように把持部
材３０と金線４０との間は１５０μ程度の間隔を開ける
必要がある。このためクランプ２０は１５０μ程度のス
トロークを必要とする。
一般にピエゾ素子の最大粒位置は、１６μ程度であるが
、クランプ２０が１：１０のてこを形成しているので１
５０μ程度のストロークを達成できる。また、ピエゾ素
子の位置決め分解能は数１０ｎｍであるが、１：１０の
てこで変位を拡大するので把持部材３００間隔は数１１
００ｎの分解能で位置決めできる。
一般に金線４０は柔らかいので、金線４０を挾む場合、
金線４０を潰さないように把持部材３００間隔を精密に
制御する必要があるが、本発明では把持部材３０の間隔
を数１１００ｎの分解能で位置決めできるために、把持
部材３０の動かし過ぎ等のミスコントロールにより金／
１ｌｉ１４０を傷つける事がないので、金線切れ等のボ
ンディングミスを起こし難く、また複雑な位置検出セン
サを必要としないので、安価に確実なボンディングが可
能である。
開閉する駆動装置に圧電素子と圧電素子の変位拡大機構
を備えているために、クランプの開閉間隔をｆｆ［Ｋコ
ントロール出来るので、クランプの開閉間隔を狭ばめす
ぎて金線を傷つける事がないため、金線切れ等のボンデ
ィングミスを起こし難く、また複雑な位置検出センサを
必要としないので、安価に確災なボンディングが可能で
あるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は従来
の一例を示す側面図である。 １０・・・・・・駆動装置、２０・・・・・・クランプ
、２１・・・・・・力点、２２・・・・・・支点、２３
・・・・・・アーム、２４・・・・・・取付板、３０・
・・・・・把持部材、４０・・・・・・金線、５０・・
・・・・コントローラ、６０・・・・・・ペース、１０
０・・・・・・クランプ、１０１・・・・・・把持部材
、１０２・・・・・・アーム、１０３・・・・・・アー
ム、１０４・・・・・・回転軸、１１０・・・・・・駆
動モータ、１２０・・・・・・コントロー：ｌ＞、１３
０・・・・・・金線、１４０・・・・・・ペース。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ワイヤを把持する一対の把持部材を備えたクランプと、
    前記クランプを開閉させてワイヤをクランプさせる駆動
    装置と、前記駆動装置に前記クランプを開閉させる指令
    を与える制御装置とを含んで構成されるワイヤクランプ
    装置において、前記駆動装置が、圧電素子と、前記圧電
    素子の伸縮動作を拡大する動作量拡大機構とを含んで構
    成される事を特徴とするワイヤクランプ装置。
JP63024444A 1988-02-03 1988-02-03 ワイヤクランプ装置 Expired - Lifetime JPH0616519B2 (ja)

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JPH0616519B2 JPH0616519B2 (ja) 1994-03-02

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JPH0616519B2 (ja) 1994-03-02

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