JP2743394B2 - ワイヤクランプ方法及び装置 - Google Patents
ワイヤクランプ方法及び装置Info
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- Power Engineering (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子部品ワイヤーボンディング機のワイヤ
ークランプ方法に関するものである。
ークランプ方法に関するものである。
従来の技術 ワイヤーボンディング装置には種々のタイプがある
が、その一例を第２図に示す。即ち、ペレット５をつけ
た基板６が位置決め台７上に送られて位置決めされる
と、XY駆動部８が駆動してボンディングヘッド９をXY方
向に移動させ、ボンディングアーム10に取付けられたボ
ンディングツール11がペレット５の上方に位置する。次
にボンディングアーム10が下降してボンディングツール
11によりワイヤ４をペレット５のパッドに押付けてボン
ディングし、その後ボンディングアーム10が上昇し、続
いてXY駆動部８によってボンディングヘッド９がXY方向
に移動してワイヤ４をワイヤスプール12より繰り出しな
がら基板６の上方に位置する。そして再びボンディング
アーム10が下降してボンディングツール11でワイヤ４を
基板６のポストにボンディングし、その後クランプ部上
下動アーム13に取付けられたワイヤークランプ部14が作
動してワイヤ４をクランプし、クランプ部上下動アーム
13が上昇してワイヤ４をボンディングツール11の根元よ
り切断する。以上がワイヤーボンディング装置の説明で
ある。この種のボンディングに使用するワイヤーは、直
径が十数μｍから数＋μｍのワイヤーであり、従来の技
術では、ワイヤーのクランプ部には第３図に代表される
メカニズムが用いられている。これは第３図においてソ
レノイド15の変位を16,17のレバーで受け、レバーに取
り付けられた板バネ18がクランプ可動部19をクランプ固
定部20の方に押す際に、ワイヤー４をクランプする仕組
みである。
が、その一例を第２図に示す。即ち、ペレット５をつけ
た基板６が位置決め台７上に送られて位置決めされる
と、XY駆動部８が駆動してボンディングヘッド９をXY方
向に移動させ、ボンディングアーム10に取付けられたボ
ンディングツール11がペレット５の上方に位置する。次
にボンディングアーム10が下降してボンディングツール
11によりワイヤ４をペレット５のパッドに押付けてボン
ディングし、その後ボンディングアーム10が上昇し、続
いてXY駆動部８によってボンディングヘッド９がXY方向
に移動してワイヤ４をワイヤスプール12より繰り出しな
がら基板６の上方に位置する。そして再びボンディング
アーム10が下降してボンディングツール11でワイヤ４を
基板６のポストにボンディングし、その後クランプ部上
下動アーム13に取付けられたワイヤークランプ部14が作
動してワイヤ４をクランプし、クランプ部上下動アーム
13が上昇してワイヤ４をボンディングツール11の根元よ
り切断する。以上がワイヤーボンディング装置の説明で
ある。この種のボンディングに使用するワイヤーは、直
径が十数μｍから数＋μｍのワイヤーであり、従来の技
術では、ワイヤーのクランプ部には第３図に代表される
メカニズムが用いられている。これは第３図においてソ
レノイド15の変位を16,17のレバーで受け、レバーに取
り付けられた板バネ18がクランプ可動部19をクランプ固
定部20の方に押す際に、ワイヤー４をクランプする仕組
みである。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような機構では構成部品点数が
多いために、個々のメンテナンスや調整が複雑になる上
応答性も悪く、最大の欠点としてワイヤーの種類に応じ
たクランプ力の調整が構造上不可能であるという問題点
を有していた。本発明は、上記問題点に鑑み、部品点数
の消滅、メンテナンスの簡素化、高応答性を実現し、ワ
イヤークランプ強さの調整機能を付加したワイヤークラ
ンプ装置を提供するものである。
多いために、個々のメンテナンスや調整が複雑になる上
応答性も悪く、最大の欠点としてワイヤーの種類に応じ
たクランプ力の調整が構造上不可能であるという問題点
を有していた。本発明は、上記問題点に鑑み、部品点数
の消滅、メンテナンスの簡素化、高応答性を実現し、ワ
イヤークランプ強さの調整機能を付加したワイヤークラ
ンプ装置を提供するものである。
課題を解決するための手段 後端が固定され、その先端でワイヤをクランプする一
対の固定側アームと可動側アームとを有し、前記可動側
アームを圧電素子の駆動により、ワイヤをクランプ可能
に固定側アーム側にたわませるよう構成したワイヤクラ
ンプ装置において、前記圧電素子を、その変位方向が可
動側アームの長手方向となる向きに前記可動アーム後端
近傍かつ上面に配置し、前記圧電素子の可動側アーム先
端側を前記可動側アームの一部に当接するとともに、前
記圧電素子への印加電圧を変化させることによりワイヤ
のクランプ力を制御する制御部を有する。また、一対の
アームの内、一方のアームを圧電素子によりたわませ
て、両アーム間に狭持力を発生させて、ワイヤをクラン
プするワイヤクランプ方法、及び圧電素子への印加電圧
を制御し、これによってワイヤのクランプ力を変化させ
るワイヤクランプ方法、さらに入力されたワイヤ径に関
する情報により、予めクランプするワイヤ径に対応して
設定された電圧値を選択し、圧電素子に印加することを
特徴とするワイヤクランプ方法を手段として備えたもの
である。
対の固定側アームと可動側アームとを有し、前記可動側
アームを圧電素子の駆動により、ワイヤをクランプ可能
に固定側アーム側にたわませるよう構成したワイヤクラ
ンプ装置において、前記圧電素子を、その変位方向が可
動側アームの長手方向となる向きに前記可動アーム後端
近傍かつ上面に配置し、前記圧電素子の可動側アーム先
端側を前記可動側アームの一部に当接するとともに、前
記圧電素子への印加電圧を変化させることによりワイヤ
のクランプ力を制御する制御部を有する。また、一対の
アームの内、一方のアームを圧電素子によりたわませ
て、両アーム間に狭持力を発生させて、ワイヤをクラン
プするワイヤクランプ方法、及び圧電素子への印加電圧
を制御し、これによってワイヤのクランプ力を変化させ
るワイヤクランプ方法、さらに入力されたワイヤ径に関
する情報により、予めクランプするワイヤ径に対応して
設定された電圧値を選択し、圧電素子に印加することを
特徴とするワイヤクランプ方法を手段として備えたもの
である。
作用 上記のクランプ手段により、ワイヤーのクランプ可動
部とクランプ固定部を一体化して構造を簡単にすると同
時に圧電素子をクランプのアクチュエーターに使用する
ことにより、任意の情報信号によってワイヤーのクラン
プ力を調整することができる。
部とクランプ固定部を一体化して構造を簡単にすると同
時に圧電素子をクランプのアクチュエーターに使用する
ことにより、任意の情報信号によってワイヤーのクラン
プ力を調整することができる。
実 施 例 以下、本発明の一実施例を第１図、第４図及び第５図
を用いて説明する。１は圧電素子であり、板バネ状の支
点21により支持されたクランプ可動部２とで可動側アー
ムで構成している。３は固定側アームであり、両アーム
2,3の先端の挾持面2a,3aによりワイヤー４が挾持される
もので、圧電素子１へ電圧を印加し、クランプ可動部２
を固定側アーム３へ相対移動させてワイヤクランプ動作
が行なわれる。次に上記で示した板バネ支点21を有する
一体型クランパーの動作原理を第４図以下で説明する。
第４図（ａ）のF1は圧電素子１による押し付け力でM2は
F1により生じるねじりモーメント、ψ１はM2により生じ
るたわみ角δ１はたわみ変位量であり、カスティリアノ
の定理により導出した理論式を次に示す。Ｅはヤング
率、Izは断面二次モーメントである。
を用いて説明する。１は圧電素子であり、板バネ状の支
点21により支持されたクランプ可動部２とで可動側アー
ムで構成している。３は固定側アームであり、両アーム
2,3の先端の挾持面2a,3aによりワイヤー４が挾持される
もので、圧電素子１へ電圧を印加し、クランプ可動部２
を固定側アーム３へ相対移動させてワイヤクランプ動作
が行なわれる。次に上記で示した板バネ支点21を有する
一体型クランパーの動作原理を第４図以下で説明する。
第４図（ａ）のF1は圧電素子１による押し付け力でM2は
F1により生じるねじりモーメント、ψ１はM2により生じ
るたわみ角δ１はたわみ変位量であり、カスティリアノ
の定理により導出した理論式を次に示す。Ｅはヤング
率、Izは断面二次モーメントである。
第４図（ｂ）のF2は、クランプ可動部２の先端でのワ
イヤークランプ力であり、M2はF2により生じるねじりモ
ーメント、ψ２はたわみ角、δ２はたわみ変位量であ
る。
イヤークランプ力であり、M2はF2により生じるねじりモ
ーメント、ψ２はたわみ角、δ２はたわみ変位量であ
る。
第４図（Ｃ）は、クランプ可動部２の先端での位置関
係を示しており、d0はクランプ可動部２とクランプ固定
部３の間の初期隙量、d1はワイヤー直径であり、これら
諸量の間には次に示す関係が成立する。
係を示しており、d0はクランプ可動部２とクランプ固定
部３の間の初期隙量、d1はワイヤー直径であり、これら
諸量の間には次に示す関係が成立する。
また、第４図（ｄ）は、クランプ可動部２の先端形状
であり、クランプ可動部２の先端2aをクランプ固定部３
に対してψ１−ψ２の傾斜角を持つ様に初期設定する
と、ワイヤークランプ時にクランプ可動部２と固定側ア
ーム３の挾持面3aが平行となり、クランプ部相互間の平
行度を確保できることを示している。即ち、ワイヤーを
クランプする際に必要とされるクランプ可動部２と固定
側アーム３の平行度は、ワイヤー径をd,クランプ部の長
さをＬとすると、d/L以下であることが必要である。今
仮にワイヤー径が13〜30μｍまで変化したとしても、本
発明では、ワイヤークランプ時の平行度をd/L以下に保
持可能であることが理論的にも証明される。なお、本発
明のアクチュエータである圧電素子１に対して、ワイヤ
ー径等の情報に応じた印加電圧をコンピューター制御の
もとに加えることにより、F1の調節が可能となり、その
結果としてワイヤー４のクランプ強さの調節が可能とな
る。
であり、クランプ可動部２の先端2aをクランプ固定部３
に対してψ１−ψ２の傾斜角を持つ様に初期設定する
と、ワイヤークランプ時にクランプ可動部２と固定側ア
ーム３の挾持面3aが平行となり、クランプ部相互間の平
行度を確保できることを示している。即ち、ワイヤーを
クランプする際に必要とされるクランプ可動部２と固定
側アーム３の平行度は、ワイヤー径をd,クランプ部の長
さをＬとすると、d/L以下であることが必要である。今
仮にワイヤー径が13〜30μｍまで変化したとしても、本
発明では、ワイヤークランプ時の平行度をd/L以下に保
持可能であることが理論的にも証明される。なお、本発
明のアクチュエータである圧電素子１に対して、ワイヤ
ー径等の情報に応じた印加電圧をコンピューター制御の
もとに加えることにより、F1の調節が可能となり、その
結果としてワイヤー４のクランプ強さの調節が可能とな
る。
第５図は、このような本発明一実施例のシステム構成
図である。すなわち、第５図においては、圧電素子１へ
の印加電圧をワイヤー径等の任意情報信号の入力により
CPCを介して、あらかじめ設定したワイヤー径と印加電
圧のテーブルを検索して最適印加電圧を決定し、これに
より印加電圧を変化させワイヤークランプ力を変化させ
る制御手段を持つ事を特徴とするワイヤークランプ方法
を示すものである。
図である。すなわち、第５図においては、圧電素子１へ
の印加電圧をワイヤー径等の任意情報信号の入力により
CPCを介して、あらかじめ設定したワイヤー径と印加電
圧のテーブルを検索して最適印加電圧を決定し、これに
より印加電圧を変化させワイヤークランプ力を変化させ
る制御手段を持つ事を特徴とするワイヤークランプ方法
を示すものである。
発明の効果 本発明によるクランプ装置は、従来のメカニズム式に
比べて以下に示す優位性を有する。
比べて以下に示す優位性を有する。
・構成部品点数が従来方式に比べ大幅に消滅可能であ
る。
る。
・可動クランパー先端部分に傾斜を設定してある為、ワ
イヤーの平行クランプが容易に行える。
イヤーの平行クランプが容易に行える。
・クランプ部の一体化に加えて圧電素子の物理変化が高
速であるため、高応答性を特徴とするクランプ機構が実
現できる。
速であるため、高応答性を特徴とするクランプ機構が実
現できる。
・クランプ部分を板バネ機構を有する一体物とすること
により、安定した再現性と、重量の軽減が可能となる。
により、安定した再現性と、重量の軽減が可能となる。
・圧電素子への印加電圧をワイヤー径等の任意情報に応
じた最適値になる様コンピューターで制御する事によ
り、ワイヤークランプ力の調節が容易に可能となる。
じた最適値になる様コンピューターで制御する事によ
り、ワイヤークランプ力の調節が容易に可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示すワイヤークランプ装置
の部分斜視図、第２図はワイヤーボンディング装置の一
例を示す斜視図、第３図は従来のワイヤークランプ部の
一例を示す平面図、第４図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の
一実施例における力学的解析図、第４図（ｄ）はクラン
プ部先端部分の拡大図、第５図は本発明の一実施例のシ
ステム構成図である。 １……圧電素子、２……クランプ可動部、３……固定側
アーム、４……ワイヤー。
の部分斜視図、第２図はワイヤーボンディング装置の一
例を示す斜視図、第３図は従来のワイヤークランプ部の
一例を示す平面図、第４図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の
一実施例における力学的解析図、第４図（ｄ）はクラン
プ部先端部分の拡大図、第５図は本発明の一実施例のシ
ステム構成図である。 １……圧電素子、２……クランプ可動部、３……固定側
アーム、４……ワイヤー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野 豊 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−119932（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−111634（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−159034（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−245532（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−23469（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−111634（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−151338（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】後端が固定され、その先端でワイヤをクラ
ンプする一対の固定側アームと可動側アームとを有し、
前記可動側アームを圧電素子の駆動により、ワイヤをク
ランプ可能に固定側アーム側にたわませるよう構成した
ワイヤクランプ装置において、前記圧電素子を、その変
位方向が可動側アームの長手方向となる向きに前記可動
アーム後端近傍かつ上面に配置し、前記圧電素子の可動
側アーム先端側を前記可動側アームの一部に当接すると
ともに、前記圧電素子への印加電圧を変化させることに
よりワイヤのクランプ力を制御する制御部を有したこと
を特徴とするワイヤクランプ装置。 - 【請求項２】後端が固定され、その先端でワイヤをクラ
ンプする一対の固定側アームと可動側アームとを有し、
前記可動側アームを圧電素子の駆動により、ワイヤをク
ランプ可能に固定側アーム側にたわませるよう構成した
ワイヤクランプ装置のワイヤクランプ方法において、前
記圧電素子を、その変位方向が可動側アームの長手方向
となる向きに前記可動アーム後端近傍に配置し、前記圧
電素子への印加電圧を制御することにより、ワイヤのク
ランプ力を変化させることを特徴とするワイヤクランプ
方法。 - 【請求項３】入力されたワイヤ径に関する情報により、
予めクランプするワイヤ径に対応して設定された電圧値
を選択し、圧電素子に印加することを特徴とする請求項
２記載のワイヤクランプ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220954A JP2743394B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ワイヤクランプ方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220954A JP2743394B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ワイヤクランプ方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268942A JPH0268942A (ja) | 1990-03-08 |
| JP2743394B2 true JP2743394B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=16759157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63220954A Expired - Lifetime JP2743394B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ワイヤクランプ方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2743394B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3005783B2 (ja) * | 1993-03-09 | 2000-02-07 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
| EP0704916B1 (en) | 1994-09-29 | 1999-08-04 | Nec Corporation | Output-enlarged piezoelectric clamp device |
| JP2002368035A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Nec Corp | ワイヤボンダ用ワイヤクランプ装置 |
| US8157222B1 (en) | 2010-10-29 | 2012-04-17 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Wire harness clamp |
| TWI643276B (zh) * | 2016-08-23 | 2018-12-01 | 日商新川股份有限公司 | 夾線裝置的校準方法以及打線裝置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57159034A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-01 | Hitachi Ltd | Wire clamping device |
| JPH0219968Y2 (ja) * | 1985-03-11 | 1990-05-31 | ||
| JPS62119932A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-01 | Rohm Co Ltd | ワイヤクランプ機構 |
| JPH0738399B2 (ja) * | 1986-10-30 | 1995-04-26 | 株式会社東芝 | ワイヤボンデイング方法及びその装置 |
| JPH01245532A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-29 | Toshiba Corp | ワイヤクランプ機構 |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP63220954A patent/JP2743394B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0268942A (ja) | 1990-03-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080206 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206 Year of fee payment: 11 |
|
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