JPH01183465A - 窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法 - Google Patents
窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法Info
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- JPH01183465A JPH01183465A JP63006588A JP658888A JPH01183465A JP H01183465 A JPH01183465 A JP H01183465A JP 63006588 A JP63006588 A JP 63006588A JP 658888 A JP658888 A JP 658888A JP H01183465 A JPH01183465 A JP H01183465A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、熱衡撃抵抗性と酸化抵抗性に優れ、且つ高強
度を有する窒化けい素系複合セラミックスとその製造方
法に関する。
度を有する窒化けい素系複合セラミックスとその製造方
法に関する。
窒化けい素は、高温領域における安定性、溶融金属に対
する耐食性等に優れた性質を示す。
する耐食性等に優れた性質を示す。
その焼結体はこれらの特性を利用して、溶融炉材、高温
用炉材としての用途が期待される有用な材料の一つであ
る。
用炉材としての用途が期待される有用な材料の一つであ
る。
しかし、窒化けい素焼結体は、たとえば溶融金属にガス
を吹き込む場合等のように、急激な加熱を受けた場合に
は、その熱衝撃抵抗性は充分とはいえない。
を吹き込む場合等のように、急激な加熱を受けた場合に
は、その熱衝撃抵抗性は充分とはいえない。
これに対し、本願の出願人は、先に特開昭56−120
574号公報において、主としてけい素と炭素を主な骨
格成分とするポリカルボシランと呼ばれる有機けい素高
分子化合物とけい素粉末との混合物を成形し、窒化雰囲
気中で加熱処理して得られる窒化けい素−炭化けい素系
複合セラミックスを開示した。この複合セラミックスは
、従来の反応焼結体以上に高密度、高強度であり、且つ
熱衝撃抵抗性と酸化抵抗性を同時に向上させることに成
功したものである。その上、常圧焼結型窒化けい素より
形状が取得しやすい特質を有する。
574号公報において、主としてけい素と炭素を主な骨
格成分とするポリカルボシランと呼ばれる有機けい素高
分子化合物とけい素粉末との混合物を成形し、窒化雰囲
気中で加熱処理して得られる窒化けい素−炭化けい素系
複合セラミックスを開示した。この複合セラミックスは
、従来の反応焼結体以上に高密度、高強度であり、且つ
熱衝撃抵抗性と酸化抵抗性を同時に向上させることに成
功したものである。その上、常圧焼結型窒化けい素より
形状が取得しやすい特質を有する。
その特質は、窒化けい素の連続結合をポリカルボシラン
より生成した炭化けい素が切断して、かつ相互に交錯し
た今までにない新規な組織を有することによって得られ
たものである。
より生成した炭化けい素が切断して、かつ相互に交錯し
た今までにない新規な組織を有することによって得られ
たものである。
しかし、上記反応焼結型窒化けい素−炭化けい素複合セ
ラミックスも熱衝撃が特に厳しい用途に対しては充分な
抵抗性を有しているとはいえず、更に優れた熱衝撃抵抗
性を有する焼結体が望まれる。
ラミックスも熱衝撃が特に厳しい用途に対しては充分な
抵抗性を有しているとはいえず、更に優れた熱衝撃抵抗
性を有する焼結体が望まれる。
本発明の目的は、窒化けい素−炭化けい素系複合セラミ
ックスをベースに酸化抵抗性を損なわずに熱衝撃抵抗性
を高めることにある。
ックスをベースに酸化抵抗性を損なわずに熱衝撃抵抗性
を高めることにある。
熱衝撃抵抗性を改善するには、焼結体中の窒化けい素の
連続結合頻度を低下させることにより、急激に発生する
内部熱応力を吸収することが一つの方法である。
連続結合頻度を低下させることにより、急激に発生する
内部熱応力を吸収することが一つの方法である。
しかし、反応焼結型窒化けい素の場合、連続結合の切断
の増加は、見掛は気孔率の増加となり、酸化抵抗性が悪
くなる。
の増加は、見掛は気孔率の増加となり、酸化抵抗性が悪
くなる。
一般には酸化進行を抑制するためには、酸化被膜の表面
形成が有効である。この酸化被膜には内部の酸化を抑制
するため、 (1)酸化被膜を形成し始める温度が低いこと(2)生
成した酸化被膜が安定であることが要求される。
形成が有効である。この酸化被膜には内部の酸化を抑制
するため、 (1)酸化被膜を形成し始める温度が低いこと(2)生
成した酸化被膜が安定であることが要求される。
酸化被膜を比較的容易に形成するものには、窒化硼素や
炭化硼素があり、これらは比較的低温でB20−ガラス
を形成して黒鉛質耐大物を保護する効果がある。
炭化硼素があり、これらは比較的低温でB20−ガラス
を形成して黒鉛質耐大物を保護する効果がある。
また、窒化1iIlsや炭化硼素が酸化されて生じるB
20.ガラスは、高温かつ長時間での安定性は不充分で
あるが、高温域で窒化けい素や炭化けい素が酸化されて
生じる5102ガラスが820.ガラスと一緒になって
S i 02 B 20 s系ガラスが形成されれば
高温での安定性は増大する。
20.ガラスは、高温かつ長時間での安定性は不充分で
あるが、高温域で窒化けい素や炭化けい素が酸化されて
生じる5102ガラスが820.ガラスと一緒になって
S i 02 B 20 s系ガラスが形成されれば
高温での安定性は増大する。
すなわち、熱衝撃抵抗性向上のための連続結合の切断に
窒化iJsや炭化IN素を使用すれば、3102B 2
0 s系ガラス形成による酸化抑制効果が期待できる。
窒化iJsや炭化IN素を使用すれば、3102B 2
0 s系ガラス形成による酸化抑制効果が期待できる。
本発明は、上記知見に基づいてなされたものであり、け
い素粉末とポリカルボシランに窒化硼素粉末又は炭化硼
素粉末の1種又は2種を出発物質とする成形体を、窒化
性ガス雰囲気中で加熱焼成することによって反応生成し
た窒化けい素、炭化けい素の中に窒化硼素又:よ炭化硼
素の1種又は2種が5〜50重量%含まれ、かつ反応生
成した窒化けい素と炭化けい素が相互に交錯した組織の
中に窒化硼素又は炭化硼素の1種又は2種が分散相とし
て存在していることを特徴とする。
い素粉末とポリカルボシランに窒化硼素粉末又は炭化硼
素粉末の1種又は2種を出発物質とする成形体を、窒化
性ガス雰囲気中で加熱焼成することによって反応生成し
た窒化けい素、炭化けい素の中に窒化硼素又:よ炭化硼
素の1種又は2種が5〜50重量%含まれ、かつ反応生
成した窒化けい素と炭化けい素が相互に交錯した組織の
中に窒化硼素又は炭化硼素の1種又は2種が分散相とし
て存在していることを特徴とする。
前記、窒化硼素と炭化硼素との1種又は2種の含有量が
窒化けい素と炭化けい素との合計量に対して、5重量%
未満では熱衡撃抵抗性をほとんど高めることができない
。一方50重量%を超えると酸化被膜の安定性がなくな
るので、酸化抵抗が低下し、且つ曲げ強度がlQkg/
+nm2以下となって構造部材として不充分な強度とな
るため、その含有量は窒化けい素と炭化けい素との合計
量に対して、5〜50重量%の範囲内である必要がある
。
窒化けい素と炭化けい素との合計量に対して、5重量%
未満では熱衡撃抵抗性をほとんど高めることができない
。一方50重量%を超えると酸化被膜の安定性がなくな
るので、酸化抵抗が低下し、且つ曲げ強度がlQkg/
+nm2以下となって構造部材として不充分な強度とな
るため、その含有量は窒化けい素と炭化けい素との合計
量に対して、5〜50重量%の範囲内である必要がある
。
さらに、上記焼結体において、窒化けい素:炭化けい素
:窒化硼素および/または炭化硼素との重量構成比が、
90〜45:5〜10:5〜50の範囲である場合に、
構造部材として具備すべき強度、熱衡撃抵抗性及び酸化
抵抗性が満足される。
:窒化硼素および/または炭化硼素との重量構成比が、
90〜45:5〜10:5〜50の範囲である場合に、
構造部材として具備すべき強度、熱衡撃抵抗性及び酸化
抵抗性が満足される。
次に前記本発明の窒化けい素系複合セラミックスの製造
方法に際しては、出発原料として、445以下のけい素
粉末とポリカルボンラン及び44Jm以下の窒化硼素を
用い、金属けい素:ポリ力ルポシラン:窒化硼素と炭化
硼素との中の1種又は2種のとの重量比が、80〜25
:8〜20:10〜65の範囲内になる混合物を用いる
。
方法に際しては、出発原料として、445以下のけい素
粉末とポリカルボンラン及び44Jm以下の窒化硼素を
用い、金属けい素:ポリ力ルポシラン:窒化硼素と炭化
硼素との中の1種又は2種のとの重量比が、80〜25
:8〜20:10〜65の範囲内になる混合物を用いる
。
炭化けい素の量はポリカルボシランの量によって決定さ
れる。
れる。
ポリカルボシランの量は、全量に対して8重量%未満で
は成形性が悪くなり、また、20重量%を越えるとポリ
カルボシランの分解の際に発生するガス等によって焼成
に際して成形体に亀裂を生じさせる場合がある。
は成形性が悪くなり、また、20重量%を越えるとポリ
カルボシランの分解の際に発生するガス等によって焼成
に際して成形体に亀裂を生じさせる場合がある。
粘結材として用いるポリカルボシランは、主としてけい
素と炭素を主な骨格成分とする有機けい素高分子化合物
であり、基本的には次の(a)〜(e)の基本構成を有
する。
素と炭素を主な骨格成分とする有機けい素高分子化合物
であり、基本的には次の(a)〜(e)の基本構成を有
する。
ただし、式中R1は−CH3、R2,R,及びR1は水
素、アルキル基、アリール基、 (CH3)2CH−
。
素、アルキル基、アリール基、 (CH3)2CH−
。
(CJs)2SiH−及び(CHs)3Si−のうち1
種又は2種以上いずれかの組合せを取る。また、k、j
!、m。
種又は2種以上いずれかの組合せを取る。また、k、j
!、m。
nは括弧で囲った構造単位め平均繰り返し回数を示し、
k = 1〜80. 1 =15〜130. m= 1
〜80. n=15〜350 である。なお、このポ
リカルボシランの平均分子量は、800〜20000で
ある。更に、(C)中のMはSi、B、 Ti、#!、
Zr等の金属又は非金属元素であり、(C)のポリ
カルボシランを合成する際に出発原料に含まれている元
素又は触媒使用の際に混入して主骨格に含まれた元素を
示す。
k = 1〜80. 1 =15〜130. m= 1
〜80. n=15〜350 である。なお、このポ
リカルボシランの平均分子量は、800〜20000で
ある。更に、(C)中のMはSi、B、 Ti、#!、
Zr等の金属又は非金属元素であり、(C)のポリ
カルボシランを合成する際に出発原料に含まれている元
素又は触媒使用の際に混入して主骨格に含まれた元素を
示す。
R3−R1は、水素、アルキル基、アリール基。
(C)13)2CH−、(C−Hs)2SiH−及び(
CHa)3Si−のうち1種又は2種以上いずれかの組
合せを取る。ただし、Mの価数及び構造によりR3−R
1のいずれかが欠如する場合もある。
CHa)3Si−のうち1種又は2種以上いずれかの組
合せを取る。ただし、Mの価数及び構造によりR3−R
1のいずれかが欠如する場合もある。
(e)は前記(a)〜(6)の骨格成分を鎮状及び次元
構造のいずれか一つの部分構造として含む化合物又はそ
れらの混合物である。
構造のいずれか一つの部分構造として含む化合物又はそ
れらの混合物である。
これら有機けい素ポリマーを非酸化性雰囲気中で加熱処
理すれば、Si とCよりなる非晶質物質となる。
理すれば、Si とCよりなる非晶質物質となる。
以上に述べた出発原料から構成される成形体中において
、加熱初期に粘結材として使用しているポリカルボシラ
ンは粘性流体となり、成形体中の粉粒体を全体的に覆う
。
、加熱初期に粘結材として使用しているポリカルボシラ
ンは粘性流体となり、成形体中の粉粒体を全体的に覆う
。
加熱温度が更に上昇すると、ポリカルボシランは熱分解
を起こす。このようなポリカルボシランの粘性流体化及
び熱分解の過程で、成形体は収縮を起こし、更に緻密な
成形体となる。ポリカルボシランによる収縮量は、ポリ
カルボシランの添加量により変化するが、本発明で使用
する添加量から期待される線収縮量は0.7〜5%の範
囲となる。
を起こす。このようなポリカルボシランの粘性流体化及
び熱分解の過程で、成形体は収縮を起こし、更に緻密な
成形体となる。ポリカルボシランによる収縮量は、ポリ
カルボシランの添加量により変化するが、本発明で使用
する添加量から期待される線収縮量は0.7〜5%の範
囲となる。
完全にポリカルボシランによる収縮が終了した時点にお
ける成形体の組成は、出発原料として用いた粉末とSi
及びCよりなる非晶質物質とが混合された状態になっ
ている。加熱温度が更に上昇すると、非晶質物質からβ
−3iC遊離炭素が形成し始める。遊離炭素はけい素粉
末と反応してβ−3iCを生成する。
ける成形体の組成は、出発原料として用いた粉末とSi
及びCよりなる非晶質物質とが混合された状態になっ
ている。加熱温度が更に上昇すると、非晶質物質からβ
−3iC遊離炭素が形成し始める。遊離炭素はけい素粉
末と反応してβ−3iCを生成する。
上記の化学的な反応プロセスを経て形成される組織は、
けい素粉末から生じた窒化けい素の骨格中に窒化硼素又
は炭化硼素の1種又は2種が均一に分散相として存在し
、それらの分散粒子の粒界はポリカルボシランから転換
生成した5000Å以下のβ−5iC微粒子、ポリカル
ボシランからの遊離炭素とけい素粉末により生じた10
0p以下のβ−9iC及び窒化けい素と断片的に接触し
ている。
けい素粉末から生じた窒化けい素の骨格中に窒化硼素又
は炭化硼素の1種又は2種が均一に分散相として存在し
、それらの分散粒子の粒界はポリカルボシランから転換
生成した5000Å以下のβ−5iC微粒子、ポリカル
ボシランからの遊離炭素とけい素粉末により生じた10
0p以下のβ−9iC及び窒化けい素と断片的に接触し
ている。
これは、電子顕微鏡により確認することができる。
実施例1
第1表に示した配合割合の出発原料から、ラバープレス
を用い、成形圧1300kg/cm”で50 x50
x 10mmの成形体を得て、これを窒素雰囲気中で5
0時間にわたって1000℃から1450℃まで段階的
に昇温しで焼結体を作製し、その焼結体のかさ比重と見
掛は気孔率を測定した。この測定結果を第1表に示す。
を用い、成形圧1300kg/cm”で50 x50
x 10mmの成形体を得て、これを窒素雰囲気中で5
0時間にわたって1000℃から1450℃まで段階的
に昇温しで焼結体を作製し、その焼結体のかさ比重と見
掛は気孔率を測定した。この測定結果を第1表に示す。
焼結体中の窒化硼素が50重量%を越えれば、かさ比重
の低下が著しいことが判る。同表に比較例として、特開
昭56−120574号公報に記載の反応焼結型窒化け
い素−炭化けい素複合焼結体を示す。
の低下が著しいことが判る。同表に比較例として、特開
昭56−120574号公報に記載の反応焼結型窒化け
い素−炭化けい素複合焼結体を示す。
実施例2
第1表に示した焼結体の曲げ強度の測定及び水中落下急
冷法による熱衝撃抵抗性の調査を行った。
冷法による熱衝撃抵抗性の調査を行った。
曲げ強度の測定は、試料の大きさ3 X 4 X401
11111でスパン33mmの3点曲げ法JIS R1
601によって測定した。その結果を第2表に示す。窒
化硼素又は炭化硼素を50重量%以上添加すると、曲げ
強度が10kg/mm2以下となり、構造部材として充
分な強度が得られず、不適格であると考えられる。また
、参考例として特開昭56−120574号公報に示さ
れている窒化けい素−窒化硼素複合焼結体の曲げ強度も
併せて示した。本発明品は参考例と比較して、窒化硼素
を28%含む場合で約2倍以上、46%含む場合では3
倍以上もの高い強度を有する。
11111でスパン33mmの3点曲げ法JIS R1
601によって測定した。その結果を第2表に示す。窒
化硼素又は炭化硼素を50重量%以上添加すると、曲げ
強度が10kg/mm2以下となり、構造部材として充
分な強度が得られず、不適格であると考えられる。また
、参考例として特開昭56−120574号公報に示さ
れている窒化けい素−窒化硼素複合焼結体の曲げ強度も
併せて示した。本発明品は参考例と比較して、窒化硼素
を28%含む場合で約2倍以上、46%含む場合では3
倍以上もの高い強度を有する。
熱衝撃抵抗性の調査は、同様に3 X 4 X4Qmm
の試験片を作製した後、そ°の試験片を所定の温度に保
持されている電気炉に30分間保持し、流水中に落下さ
せて急冷した。この試料に対してスパン301Tlff
+の3点曲げ法によって曲げ強度を測定した。電気炉の
温度と流水の温度差をΔTとして、ΔTを変化させたと
きの曲げ強度の変化から熱衝撃抵抗性を調査した。また
、室温強度と比べて急激に強度が低下し始める温度をΔ
Tc とし、この値を第2表に併せて示した。
の試験片を作製した後、そ°の試験片を所定の温度に保
持されている電気炉に30分間保持し、流水中に落下さ
せて急冷した。この試料に対してスパン301Tlff
+の3点曲げ法によって曲げ強度を測定した。電気炉の
温度と流水の温度差をΔTとして、ΔTを変化させたと
きの曲げ強度の変化から熱衝撃抵抗性を調査した。また
、室温強度と比べて急激に強度が低下し始める温度をΔ
Tc とし、この値を第2表に併せて示した。
このように、窒化硼素、炭化硼素の添加量が増えるに従
って、ΔTc は大きく増加していく。この効果は焼成
体中の窒化硼素、炭化硼素の量が5重量%以上から現わ
れ、従来品より約100℃向上する。また、窒化硼素を
45重量%以上複合させた焼結体は1000℃の熱衝撃
で強度低下が見られず、非常に優れた熱衝撃抵抗性を有
することが明らかになった。
って、ΔTc は大きく増加していく。この効果は焼成
体中の窒化硼素、炭化硼素の量が5重量%以上から現わ
れ、従来品より約100℃向上する。また、窒化硼素を
45重量%以上複合させた焼結体は1000℃の熱衝撃
で強度低下が見られず、非常に優れた熱衝撃抵抗性を有
することが明らかになった。
実施例3
第1表に示す配合の焼結体の中から、従来品と酸化抵抗
性の比較を行った。試験片の大きさは、15 X15
X 5 rnrIで#1200で表面仕上げをし、マイ
クロメータで大きさを測定して表面積を計算した。
性の比較を行った。試験片の大きさは、15 X15
X 5 rnrIで#1200で表面仕上げをし、マイ
クロメータで大きさを測定して表面積を計算した。
大気雰囲気1300℃の電気炉中に試料を挿入し、所定
時間毎に最大200時間の単位面積あたりの重量変化を
測定し、酸化抵抗性を調べた。
時間毎に最大200時間の単位面積あたりの重量変化を
測定し、酸化抵抗性を調べた。
その結果を第3表に示す。窒化vnsや炭化硼素の添加
量が多くなるにつれて初期において重量減少を起こすが
、これは窒化[Sや炭化[3が酸化されて生成した酸化
硼素が飛散することによると考えられる。しかし、数時
間後からは安定して、徐々に重量が増加する。これは、
窒化けい素が酸化されて5iC)aになり、焼結体表面
がSi 0a−B、0.系ガラスとなって飛散がなくな
り、安定した状態になるためである。この後、酸化によ
る増量傾向を見ると、従来の窒化けい素−炭化けい素複
合焼結体と本発明品はほとんど変わらず、放物線的挙動
を示す結果となっており、本発明品の耐酸化性が優れて
いることが明らかである。なお、焼結体中の窒化硼素の
重量構成比が50%を越えると酸化増量が大きくなり、
且つ放物線的ではなく直線的増加を示すので構造材料と
して不適格と判断できる。
量が多くなるにつれて初期において重量減少を起こすが
、これは窒化[Sや炭化[3が酸化されて生成した酸化
硼素が飛散することによると考えられる。しかし、数時
間後からは安定して、徐々に重量が増加する。これは、
窒化けい素が酸化されて5iC)aになり、焼結体表面
がSi 0a−B、0.系ガラスとなって飛散がなくな
り、安定した状態になるためである。この後、酸化によ
る増量傾向を見ると、従来の窒化けい素−炭化けい素複
合焼結体と本発明品はほとんど変わらず、放物線的挙動
を示す結果となっており、本発明品の耐酸化性が優れて
いることが明らかである。なお、焼結体中の窒化硼素の
重量構成比が50%を越えると酸化増量が大きくなり、
且つ放物線的ではなく直線的増加を示すので構造材料と
して不適格と判断できる。
(以下この頁余白)
〔発明の効果〕
本発明の窒化けい素系複合焼結体は、その優れた熱衝撃
抵抗性と酸化抵抗性及び高い強度からLD−OBや、直
接製鋼ガス吹込みランス、非鉄溶融金属へのガス吹込み
ランス、直接連続鋳造用部材、その地熱衝撃が著しく作
用する場所への適用に適したものである。
抵抗性と酸化抵抗性及び高い強度からLD−OBや、直
接製鋼ガス吹込みランス、非鉄溶融金属へのガス吹込み
ランス、直接連続鋳造用部材、その地熱衝撃が著しく作
用する場所への適用に適したものである。
Claims (3)
- 1.けい素粉末とポリカルボシランとを窒化ガス雰囲気
中で加熱することによって反応生成した窒化けい素と炭
化けい素とが相互に交錯した組織の中に、窒化硼素と炭
化硼素の1種又は2種が窒化けい素と炭化けい素との全
量に対し、5〜50重量%が分散してなり、且つSiO
_2−B_2O_3系ガラス自己形成保護膜を表面に形
成してなることを特徴とする窒化けい素系複合セラミッ
クス。 - 2.窒化けい素:炭化けい素:窒化硼素および/または
炭化硼素との重量構成比が、90〜45:5〜10:5
〜50の範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第
1項に記載の窒化けい素系複合セラミックス。 - 3.44μm径以下のけい素粉末と、ポリカルボシラン
と、44μm径以下の窒化硼素粉末と炭化硼素粉末との
中の1種又は2種との重量比が、80〜25:8〜20
:10〜65の範囲にある混合物を出発物質とする成形
体を、窒化性ガス中で1200〜1600℃の温度範囲
で焼成することを特徴とする窒化けい素系複合セラミッ
クスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63006588A JP2621896B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63006588A JP2621896B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01183465A true JPH01183465A (ja) | 1989-07-21 |
JP2621896B2 JP2621896B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=11642487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63006588A Expired - Lifetime JP2621896B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 窒化けい素系複合セラミックスとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2621896B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015171985A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-10-01 | 日本碍子株式会社 | 複合耐火物およびその製造方法 |
WO2019078364A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2019-04-25 | 株式会社フェローテックセラミックス | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP63006588A patent/JP2621896B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015171985A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-10-01 | 日本碍子株式会社 | 複合耐火物およびその製造方法 |
WO2019078364A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2019-04-25 | 株式会社フェローテックセラミックス | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット |
CN111247115A (zh) * | 2017-10-20 | 2020-06-05 | 飞罗得材料技术股份有限公司 | 陶瓷、探针引导构件、探针卡及封装检查用插座 |
JPWO2019078364A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2020-11-19 | 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ | セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット |
US11940466B2 (en) | 2017-10-20 | 2024-03-26 | Ferrotec Material Technologies Corporation | Ceramic, probe guiding member, probe card, and socket for package inspection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2621896B2 (ja) | 1997-06-18 |
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