JPH01183383A - Article shifting device - Google Patents
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- JPH01183383A JPH01183383A JP63006001A JP600188A JPH01183383A JP H01183383 A JPH01183383 A JP H01183383A JP 63006001 A JP63006001 A JP 63006001A JP 600188 A JP600188 A JP 600188A JP H01183383 A JPH01183383 A JP H01183383A
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は半導体ウェハ等の物品を移し換える物品移換え
装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to an article transfer device for transferring articles such as semiconductor wafers.
（従来の技術）
たとえば半導体製造工程において、ウェハ収納カセット
からウェハを取り出したり装填したりする場合、一種の
ハンド装置が用いられてぃる。従来、このハンド装置は
第７図で示すように構成されている（特開昭６１−２２
６４２号公報を参照）。すなわち、これは第１のモータ
１によりて回転駆動される第１の駆動軸２に第１のアー
ム３を連結し、この第１のアーム３の回動先端にはその
アーム３と長さの等しい第２のアーム４を連結して平面
リンク機構５を構成する。また、第１の駆動軸２に対し
て同軸的に第１のプーリ６を設置するとともに、第１の
アーム３に軸支した第２のアーム４の回転軸７には第２
のプーリ８を取着してなり、この第１のプーリ６と第２
のプーリ８とは第１のベルト９で連結しである。この第
１のプーリ６と第２のプーリ８との回転比は１：２とし
である。さらに、第１のプーリ６の回転軸体１０には第
３のプーリ１１を取着し、この第３のプーリ１１は第１
のモータ１の側方に設置した第２のモータ１２の駆動軸
１３に設けた第４のブー９１４と第２のベルト１５によ
って連結されている。そして、第２のアーム４の先端部
分にウェハ保持部１６を形成したものである。(Prior Art) For example, in a semiconductor manufacturing process, a type of hand device is used when taking out or loading wafers from a wafer storage cassette. Conventionally, this hand device has been constructed as shown in FIG.
(See Publication No. 642). In other words, a first arm 3 is connected to a first drive shaft 2 which is rotationally driven by a first motor 1, and a rotary tip of the first arm 3 has a length similar to that of the arm 3. A planar link mechanism 5 is constructed by connecting two equal second arms 4. Further, a first pulley 6 is installed coaxially with respect to the first drive shaft 2, and a second
The first pulley 6 and the second pulley 8 are attached to each other.
It is connected to the pulley 8 by a first belt 9. The rotation ratio between the first pulley 6 and the second pulley 8 is 1:2. Further, a third pulley 11 is attached to the rotating shaft body 10 of the first pulley 6, and this third pulley 11 is attached to the rotating shaft body 10 of the first pulley 6.
The second motor 12 is connected by a second belt 15 and a fourth boot 914 provided on the drive shaft 13 of the second motor 12 installed on the side of the second motor 1 . A wafer holder 16 is formed at the tip of the second arm 4.
しかして、第２のアーム４の先端にあるウェハ保持部１
６に保持したウェハを直線搬送させる場合には第２のモ
ータ１２を作動させない。このため、第２のモータ１２
の駆動軸１３に設けた第４のプーリ１４と第２のベルト
１５を介した第３のプーリ１１も回転しない。そこで、
第１のモータ１を駆動すると、この第１の駆動軸２に連
結された第１のアーム３が回転し、この第１のアーム３
の回動先端にある第２のアーム４を回動する。ところが
が、第１のアーム３と第２のアーム４の長さは等しく、
シかも、第１のプーリ６と第２のプーリ８との回転比は
１：２とであるから、第２のアーム４の先端にあるウェ
ハ保持部１６は第１の駆動軸２の中心を通るその半径方
向に直線的に移動する。また、ｖ５１の駆動軸２の回り
の回転は第１および第２のモータ１．１２を同期させて
駆動させることにより行なう。Therefore, the wafer holder 1 at the tip of the second arm 4
The second motor 12 is not operated when the wafer held by the motor 6 is transported in a straight line. Therefore, the second motor 12
The fourth pulley 14 provided on the drive shaft 13 and the third pulley 11 via the second belt 15 also do not rotate. Therefore,
When the first motor 1 is driven, the first arm 3 connected to the first drive shaft 2 rotates.
The second arm 4 at the tip of rotation is rotated. However, the lengths of the first arm 3 and the second arm 4 are equal,
However, since the rotation ratio between the first pulley 6 and the second pulley 8 is 1:2, the wafer holder 16 at the tip of the second arm 4 is centered around the first drive shaft 2. It moves linearly in its radial direction. Further, the rotation of the v51 around the drive shaft 2 is performed by driving the first and second motors 1.12 in synchronization.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来のハンド装置ではウェハ保持部
１６を第１の駆動軸２の中心の回りに回転させるための
専用のモータ１２が余計に必要であり、この２つのモー
タ１，１２を設置するスペースが必要となる。さらに、
２つのモータ１．１２を同期させて駆動するための制御
系を組み込まなければならない。この制御系の構成は特
に複雑になる。(Problems to be Solved by the Invention) However, the conventional hand device described above requires an additional dedicated motor 12 for rotating the wafer holder 16 around the center of the first drive shaft 2; A space is required to install the two motors 1 and 12. moreover,
A control system must be installed to drive the two motors 1.12 synchronously. The configuration of this control system is particularly complex.
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、その目
的とするところは機械的な構成およびその制御系の構成
を簡略化できるとともに、コンパクトに構成できる物品
移換え装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and its purpose is to provide an article transfer device that can simplify the mechanical configuration and the configuration of its control system, and can be configured compactly. be.
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するために本発明は、駆動用回転軸に
取着したアームと物品用保持部を設けるアームを直接も
しくは中間アームを介して連結してなるリンク機構およ
びこのリンク機構のアームを回動する回転伝達機構によ
って上記駆動用回転軸を中心とする物品用保持部の旋回
運動および直線運動を行なわせて物品の移し換えを行な
う物品移換え装置において、駆動源により回転駆動され
る第１の回転軸と、この第１の回転軸に一端が取着され
た第１のアームと、この第１のアームの他端あるいは上
記中間アームを介してこれに回転自在に軸支された第２
の回転軸と、この第２の回転軸に取着された第２のアー
ムと、この第２のアームに設けられた物品用保持部と、
上記第１の回転軸と同心的に回転自在に設けられた第１
の回転体と、この第１の回転体と上記第１の回転軸との
間に介挿したクラッチと、上記第２の回転軸に取着され
上記第１の回転体と回転伝達媒体を介して連結された第
２の回転体と、上記第１の回転体の回転を選択的に停止
させるブレーキと、このブレーキを作動させて第１の回
転体を固定しながら上記クラッチを切り」―記駆動源に
より第１の回転軸を回転して物品用保持部ｉ部を直線移
動させるとともに上記ブレーキを解除しかつ上記クラッ
チを接続して駆動源により第１の回転体を回転して第１
のアームおよび第２のアームとともに物品用保持部を一
体的に旋回する駆動制御系とを具備したものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention provides an arrangement in which the arm attached to the drive rotation shaft and the arm provided with the article holding section are connected directly or by an intermediate arm. A link mechanism connected through the link mechanism and a rotation transmission mechanism that rotates the arm of this link mechanism cause the article holder to rotate and linearly move around the drive rotation shaft, thereby transferring the article. In the article transfer device, a first rotating shaft rotationally driven by a drive source, a first arm having one end attached to the first rotating shaft, and the other end of the first arm or the above-mentioned A second rotatable shaft is rotatably supported on the intermediate arm via the intermediate arm.
a rotating shaft, a second arm attached to the second rotating shaft, and an article holding section provided on the second arm;
A first shaft rotatably provided concentrically with the first rotation shaft.
a rotating body, a clutch interposed between the first rotating body and the first rotating shaft, and a clutch attached to the second rotating shaft and connected to the first rotating body through a rotation transmission medium. a second rotating body connected to the first rotating body, a brake that selectively stops the rotation of the first rotating body, and the brake is operated to release the clutch while fixing the first rotating body.” The drive source rotates the first rotating shaft to linearly move the article holding part i section, the brake is released, the clutch is connected, and the drive source rotates the first rotary body to move the article holding part i section linearly.
and a drive control system that integrally rotates the article holding section together with the second arm and the second arm.
（作用）
この発明の構成によれば、モータなどの駆動源が１つで
済む。また、２つ以上のモータ等を設置するスペースが
不要となるばかりでなく、複数の駆動源をタイミングを
とって駆動するための制御系を簡素化できる。しかして
、機械的°な構成およびその制御系の構成を簡略化でき
るとともに、コンパクトに構成できる物品移換え装置を
提供することができる。(Function) According to the configuration of the present invention, only one driving source such as a motor is required. Moreover, not only is there no need for space for installing two or more motors, etc., but the control system for driving the plurality of drive sources at appropriate timings can be simplified. Therefore, it is possible to simplify the mechanical configuration and the configuration of its control system, and to provide an article transfer device that can be configured compactly.
（実施例）
第１図ないし第４図は本発明の第１の実施例を示すもの
である。この実施例は半導体製造工程において使用され
るウェハ置換え用ロボットに適用した例である。第１図
において、１９は駆動部を設置するカバーである。この
カバー１９にはフレーム２０が後述するように上下自在
に設置されている。このフレーム２０は上部フレーム２
０ａと下部フレーム２０ｂを複数の連結棒２０ｃで連結
して構成してなるものである。このフレーム２０には上
記カバー１９の中央に位置して第１の回転軸２１が配設
され、この第１の回転軸２１の外周には第１の回転体と
しての第１のプーリ２２の円筒状に形成した回転軸体２
３が同心的に回転自在に被嵌されている。第２図で示す
ように第１の同転軸２１は第１のプーリ２２の回転軸体
２３に第１のボールベアリング２４を介して同心的で回
転自在に軸支されている。また、第１のプーリ２２の回
転軸体２３は」二部」二部フレーム２０ａに対して第２
のボールベアリング２５を介して同心的で回転自在に軸
支されている。(Embodiment) FIGS. 1 to 4 show a first embodiment of the present invention. This embodiment is an example in which the present invention is applied to a wafer replacement robot used in a semiconductor manufacturing process. In FIG. 1, 19 is a cover on which the driving section is installed. A frame 20 is installed on the cover 19 so as to be vertically movable as described later. This frame 20 is the upper frame 2
0a and a lower frame 20b are connected by a plurality of connecting rods 20c. A first rotating shaft 21 is disposed in the frame 20 at the center of the cover 19, and a cylindrical shaft of a first pulley 22 as a first rotating body is disposed on the outer periphery of the first rotating shaft 21. Rotating shaft body 2 formed in the shape of
3 are fitted concentrically and rotatably. As shown in FIG. 2, the first co-rotating shaft 21 is concentrically and rotatably supported by the rotating shaft body 23 of the first pulley 22 via a first ball bearing 24. As shown in FIG. Further, the rotating shaft body 23 of the first pulley 22 is connected to the second frame 20a with respect to the two-part frame 20a.
are concentrically and rotatably supported via ball bearings 25.
また、第１の回転軸２１の下端部にはカップリング２６
を介して回転用駆動源としての電動モータ２７の駆動軸
２８に連結されている。この電動モータ２７は下部フレ
ーム２０ｂに固定されている。第１の回転軸２１の上端
部には第１のアーム３１の一端が固定的に取着されてお
り、第１のアーム３１は第１の回転軸２１と一体に回転
するようになっている。第１のアーム３１の回動側先端
には第２の回転軸３２が第３のボールベアリング３３を
介して回転自在に軸支されている。そして、この第２の
回転軸３２の上端には第２のアーム３４の基端が取着固
定されている。第２の回転軸３２の下端には第２の回転
体としての第２のプーリ３５が固定的に取着されている
。そして、この第２のプーリ３５と上記第１のプーリ２
２とは回転伝達体としてのワイヤ３６を掛は渡して連結
されている。第１のプーリ２２の有効半径を２としたと
きに第２のプーリ３５の有効半径が１となるように設定
され、したがって、その回転比は１：２となる。Further, a coupling 26 is provided at the lower end of the first rotating shaft 21.
is connected to a drive shaft 28 of an electric motor 27 as a rotation drive source. This electric motor 27 is fixed to the lower frame 20b. One end of a first arm 31 is fixedly attached to the upper end of the first rotating shaft 21, so that the first arm 31 rotates together with the first rotating shaft 21. . A second rotating shaft 32 is rotatably supported at the rotating end of the first arm 31 via a third ball bearing 33 . The base end of a second arm 34 is attached and fixed to the upper end of this second rotating shaft 32. A second pulley 35 serving as a second rotating body is fixedly attached to the lower end of the second rotating shaft 32. This second pulley 35 and the first pulley 2
2 are connected to each other by passing a wire 36 as a rotation transmitting body. The effective radius of the second pulley 35 is set to be 1 when the effective radius of the first pulley 22 is 2, and therefore the rotation ratio thereof is 1:2.
また、第２のアーム３４の他端には第３の回転軸３７を
介して保持用アーム３８の一端が軸支されている。そし
て、］二記第１のア、−ム３１の長さ（第１の回転軸２
１と第２の回転軸３２との軸間距離）と第２のアーム３
４の長さ（第２の回転軸３２と第３の回転軸３７との軸
間距離）とは等しく設定しである。保持用アーム３８の
他端にはウェハ３９を保持する保持部４０が形成されて
いる。Further, one end of a holding arm 38 is pivotally supported at the other end of the second arm 34 via a third rotating shaft 37 . ] 2. The length of the first arm 31 (the length of the first rotating shaft 2
1 and the second rotating shaft 32) and the second arm 3
4 (interaxial distance between the second rotating shaft 32 and the third rotating shaft 37) are set to be equal. A holding portion 40 for holding a wafer 39 is formed at the other end of the holding arm 38 .
また、第３の回転軸３７には第３のプーリ４３が取着さ
れ、この第３のプーリ４３には回転伝達体としてのワイ
ヤ４４が巻装さ、れている。そして、このワイヤ４４の
両端部分は第２の回転軸３２と同心的にアーム３１の端
部に形成されているプーリ部３１ａに１巻き以上巻き付
けられた上で第１のアーム３１に取着固定されている。Further, a third pulley 43 is attached to the third rotating shaft 37, and a wire 44 serving as a rotation transmitting body is wound around the third pulley 43. Both end portions of the wire 44 are wound one or more turns around a pulley portion 31a formed at the end of the arm 31 concentrically with the second rotating shaft 32, and then fixed to the first arm 31. has been done.
この第２の同転軸３２の巻付は半径を１とするとき、第
３のプーリ４３の巻付は有効半径を２となるように設定
してあり、したがって、その回転比は２：１になる。When the radius of the winding of the second co-rotating shaft 32 is 1, the effective radius of the winding of the third pulley 43 is set to 2, so the rotation ratio is 2:1. become.
さらに、上記第１のプーリ２２の回転軸体２３はフレー
ム２０に取着されたブレーキ４５により回転を選択的に
停止させられるようになっている。Furthermore, rotation of the rotating shaft body 23 of the first pulley 22 can be selectively stopped by a brake 45 attached to the frame 20.
すなわち、ブレーキ４５は電磁石４６とブレーキシュー
４７とからなり、ブレーキシュー４７は第１のプーリ２
２の回転軸体２３に形成した円盤４８に板ばね４９によ
って取着されている。そして、通常、ブレーキシュー４
７は板ばね４９によって電磁弁４６から退避しているが
、電磁石４６を励磁することによりブレーキシュー４７
を電磁石４６に押し付けて第１のプーリ２２の回転を阻
止するようになっている。That is, the brake 45 consists of an electromagnet 46 and a brake shoe 47, and the brake shoe 47 is connected to the first pulley 2.
It is attached to a disc 48 formed on the rotating shaft body 23 of No. 2 by a leaf spring 49. And usually brake shoe 4
7 is retracted from the solenoid valve 46 by the leaf spring 49, but by energizing the electromagnet 46, the brake shoe 47
is pressed against the electromagnet 46 to prevent the first pulley 22 from rotating.
さらに、上記第１のプーリ２２の回転軸体２３はクラッ
チ５１を介して第１の回転軸２１に連結されている。す
なわち、このクラッチ５１は第１の回転軸２１に形成さ
れた円板５０に電磁石５２と摩擦板５３を取着してなり
、摩擦板５３は板ばね５４により上記円盤４８に取着さ
れるとともに、上記円板５０から退避している。そして
、電磁石５２を呻磁することにより摩擦板５３を上記電
磁石５２に押し付けてその円板５０と一体化し、第１の
回転軸２１に第１のプーリ２２の回転軸体２３を固定的
に連結するようになっている。Further, the rotating shaft body 23 of the first pulley 22 is connected to the first rotating shaft 21 via a clutch 51. That is, this clutch 51 has an electromagnet 52 and a friction plate 53 attached to a disk 50 formed on the first rotating shaft 21, and the friction plate 53 is attached to the disk 48 by a leaf spring 54. , has been retracted from the disk 50. Then, by magnetizing the electromagnet 52, the friction plate 53 is pressed against the electromagnet 52 and integrated with the disc 50, and the rotating shaft body 23 of the first pulley 22 is fixedly connected to the first rotating shaft 21. It is supposed to be done.
また、上記ブレーキ４５の電磁石４６とクラッチ５１の
電磁石５２とは図示しない駆動制御系によって選択的に
励磁されるようになっている。Further, the electromagnet 46 of the brake 45 and the electromagnet 52 of the clutch 51 are selectively excited by a drive control system (not shown).
また、これらを支持するフレーム２０は第１図で示すよ
うにカバー１９内に設けたシリンダ５５によって上下方
向に駆動されるようになり、上記ウェハ用保持部４０を
上下方向Ｃに移動できるようになっている。Further, the frame 20 supporting these is driven in the vertical direction by a cylinder 55 provided in the cover 19 as shown in FIG. 1, so that the wafer holding section 40 can be moved in the vertical direction C. It has become.
次に、上記構成のウェハ置換え用ロボットの動作を説明
する。まず、第４図で示す第１のウェハカセット５６か
ら第２のウェハカセット５７にウェハ３９を移し換える
場合、まず、そのウェハ用保持部４０を第１のウェハカ
セット５６に向かって直線運動を行なわせる。すなわち
、ブレーキ４５の電磁石４６を励磁してブレーキシュー
４７を電磁石４６に押し当て第１のプーリ２２の回転を
阻止する。このようにブレーキ４５を作動し、クラッチ
５１は解除させた状態で、電動モータ２７を駆動して第
１の回転軸２１を回転すると、第１図中矢印ａで示すよ
うに第１のアーム３１が回転し、同時に、停止固定され
ている上記第１のプーリ２２にワイヤ３６を介して連結
されている第２のブー９３５が相対的な回転差によって
上記第１の回転軸２１の回転方向とは逆向きに回転させ
られる。さらに、第１のプーリ２２と第２のプーリ３５
との回転比は１：２であり、第１のアーム３１と第２の
アーム３４の長さは等しいから、保持用アーム３８を支
持する第３の回転軸３７の位置は第１の回転軸２１の中
心を通る直線に沿って第１図で示すｂ方向に移動する。Next, the operation of the wafer replacement robot having the above configuration will be explained. First, when transferring the wafer 39 from the first wafer cassette 56 to the second wafer cassette 57 shown in FIG. let That is, the electromagnet 46 of the brake 45 is energized and the brake shoe 47 is pressed against the electromagnet 46 to prevent the first pulley 22 from rotating. When the electric motor 27 is driven to rotate the first rotating shaft 21 with the brake 45 activated and the clutch 51 released, the first arm 31 is rotated as shown by arrow a in FIG. rotates, and at the same time, the second boob 935, which is connected to the first pulley 22 which is stopped and fixed via the wire 36, rotates in the direction of rotation of the first rotating shaft 21 due to the relative rotation difference. is rotated in the opposite direction. Furthermore, the first pulley 22 and the second pulley 35
Since the rotation ratio is 1:2 and the lengths of the first arm 31 and the second arm 34 are equal, the position of the third rotating shaft 37 that supports the holding arm 38 is the same as that of the first rotating shaft. 21 in the direction b shown in FIG.
この移動する向きは第１の回転軸２１の回転方向に従う
がら、電動モータ２７の回転駆動方向によって定まる。The direction of this movement follows the rotation direction of the first rotation shaft 21 and is determined by the rotation drive direction of the electric motor 27.
そこで、電動モータ２７の回転方向を決めれば、その移
動する向きを任意に選択できる。Therefore, once the direction of rotation of the electric motor 27 is determined, the direction of movement can be arbitrarily selected.
さらに、この動作に伴って第３の回転軸３７は第３のプ
ーリ４３に巻かれたワイヤ４４によって第２のアーム３
４とは逆回転して絶対空間（フレーム２０）に対して回
転が零となるようになる。Further, along with this operation, the third rotating shaft 37 is connected to the second arm 3 by the wire 44 wound around the third pulley 43.
4, and the rotation becomes zero with respect to the absolute space (frame 20).
これはワイヤ４４を巻き付ける第２の回転軸３２の径と
第３のプーリ４３の径を設定することにより達成できる
。This can be achieved by setting the diameter of the second rotating shaft 32 around which the wire 44 is wound and the diameter of the third pulley 43.
しかして、保持用アーム３８を回転させることなく直線
的に移動してその保持部４０を第１のウェハカセット５
６に向かつで直線運動で近づけ、その第１のウェハカセ
ット５６内の取り出そうとするウェハ３９の下に差し込
む。ついで、シリンダ５５を作動してフレーム２０ごと
所定量上昇させてそのウェハ３９を保持部４０に裁置す
る。この後、電動モータ２７の回転駆動方向を逆にすれ
ば、ウェハ３９を保持部４０に載置させたまま、直線的
に引き出すことができる。Therefore, the holding arm 38 is moved linearly without rotating and the holding section 40 is moved to the first wafer cassette 5.
6, and insert it under the wafer 39 to be taken out in the first wafer cassette 56. Next, the cylinder 55 is operated to raise the frame 20 by a predetermined amount, and the wafer 39 is placed on the holding section 40. Thereafter, by reversing the direction of rotation of the electric motor 27, the wafer 39 can be linearly pulled out while being placed on the holding section 40.
そして、第４図中実線で示す位置まで引き出したところ
で、各アーム３１，３４．３８を固定した状態で第１の
回転軸２１の回りに回転して第４図中２点鎖線で示す位
置まで回動する。すなわち、クラッチ５１を接続状態に
切り換えてブレーキ４５を解除し、電動モータ２７を作
動させるのである。これにより第１の回転軸２１および
第１のプーリ２２が一体的になり、各アーム３１，３４
゜３８の関係が固定される。そして、電動モータ２７に
より第１の回転軸２１が回転すると、その第１の回転軸
２１を中心として固定された全体が回転する。そして、
第４図中２点鎖線で示す位置まで回動したところで停止
させる。When it is pulled out to the position shown by the solid line in FIG. 4, it is rotated around the first rotating shaft 21 with each arm 31, 34, 38 fixed, until it reaches the position shown by the two-dot chain line in FIG. Rotate. That is, the clutch 51 is switched to the connected state, the brake 45 is released, and the electric motor 27 is operated. As a result, the first rotating shaft 21 and the first pulley 22 are integrated, and each arm 31, 34
The relationship of .degree.38 is fixed. When the first rotating shaft 21 is rotated by the electric motor 27, the entire fixed body rotates around the first rotating shaft 21. and,
It is stopped when it has rotated to the position shown by the two-dot chain line in FIG.
ついで、上述したと同様にそのウェハ用保持部４０を第
２のウェハカセット５７に向かって直線運動を行なわせ
る。すなわち、ブレーキ４５を作動して第１のプーリ２
２の回転を阻止するとともに、クラッチ５１を解除して
第１のプーリ２２を回転自在な状態にする。そして、電
動モータ２７を作動すれば、保持用アーム３８を回転さ
せることなく直線的に移動してその保持部４０を第２の
ウェハカセット５７に向かって直線運動で近づけ、その
第２のウェハカセット５７内に差し込む。ついで、シリ
ンダ５５を作動してフレーム２０ごと所定量降下させて
その保持部４０に載置していたウェハ３９をその第２の
ウェハカセット５７に渡す。Then, the wafer holder 40 is linearly moved toward the second wafer cassette 57 in the same manner as described above. That is, by operating the brake 45, the first pulley 2
At the same time, the clutch 51 is released to allow the first pulley 22 to freely rotate. Then, when the electric motor 27 is activated, the holding arm 38 is linearly moved without rotating, and the holding part 40 is linearly moved toward the second wafer cassette 57, and the holding arm 38 is moved linearly without rotating. Insert it into 57. Next, the cylinder 55 is operated to lower the entire frame 20 by a predetermined amount, and the wafer 39 placed on the holding section 40 is transferred to the second wafer cassette 57.
この後、電動モータ２７を逆回幡動作して、第４図中２
点鎖線で示す位置まで直線的に後退させる。゛さらに、
クラッチ５１を接続してブレーキ４５を解除し、電動モ
ータ２７により第１の回転軸２１を回動することにより
第４図中実線の位置まで全体を回動して復帰させる。そ
して、この上記１連の動作を繰り返せば、第１のウェハ
カセット５６から第２のウェハカセット５７に複数のウ
ェハ３９を次々に移し換えることができる。After this, the electric motor 27 is operated in the reverse direction to
Move back in a straight line to the position indicated by the dotted chain line.゛Furthermore,
The clutch 51 is connected, the brake 45 is released, and the first rotary shaft 21 is rotated by the electric motor 27, thereby rotating the entire body to the position shown by the solid line in FIG. 4 and returning it. By repeating this series of operations, a plurality of wafers 39 can be successively transferred from the first wafer cassette 56 to the second wafer cassette 57.
なお、本発明は上記実施例のものに限定されるものでは
ない。たとえば第５図で示すように第２のアーム３４の
回動先端部分に直接保持部４０を設けたものでもよい。Note that the present invention is not limited to the above embodiments. For example, as shown in FIG. 5, the holding portion 40 may be provided directly at the rotating tip of the second arm 34.
また、第６図で示すようにアームの数を増やしてたとえ
ば３関節のものとしてもよい。この場合、中間に位置す
るアーム６０の両端に設けた各同転軸体６１．６２に取
着されるプーリ６３，６４の回転比を１＝１に設定する
。Further, as shown in FIG. 6, the number of arms may be increased to have, for example, three joints. In this case, the rotation ratio of the pulleys 63 and 64 attached to the respective co-rotating shaft bodies 61 and 62 provided at both ends of the arm 60 located in the middle is set to 1=1.
また、駆動源としてモータの他に、たとえばロータリー
アクチュエータ等であってもよい。さらに、各ブーり間
に掛は渡すワイヤはタイミングベルト、スチールベルト
、チェーンでもよい。また、ブレーキやクラッチの構造
も種々のものが考えられる。In addition to the motor, a rotary actuator or the like may be used as the drive source. Further, the wire that runs between each boob may be a timing belt, a steel belt, or a chain. Furthermore, various structures of the brake and clutch can be considered.
さらに、上記各凹転体と回転伝達媒体はプーリとワイヤ
に限られるものではない。たとえば歯車機構やローラに
よる伝達機構等を利用してもよい。Furthermore, the above-mentioned concave rolling bodies and rotation transmission medium are not limited to pulleys and wires. For example, a gear mechanism, a transmission mechanism using rollers, etc. may be used.
［発明の効果］
以上説明したように本発明の構成によれば、モータなど
の駆動源が１つで済み、また、２つ以上のモータ等を設
置するスペースが不要となるばかりでなく、複数の駆動
源をタイミングをとって駆動するための制御系を簡素化
できる。したがって、機械的な構成およびその制御系の
構成を簡略化できるとともに、コンパクトに構成できる
物品移換え装置を提供することができる。[Effects of the Invention] As explained above, according to the configuration of the present invention, only one drive source such as a motor is required, and not only is there no need for space for installing two or more motors, but also multiple The control system for driving the drive sources at the correct timing can be simplified. Therefore, it is possible to simplify the mechanical configuration and the configuration of its control system, and to provide an article transfer device that can be configured compactly.
第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示し、第１図
はその装置の斜視図、第２図はその装置の側断面図、第
３図はその装置の要部の側断面図、第４図は動作を示す
スケルトン図、第５図は他の実施例の斜視図、第６図は
さらに異なる他の実施例の斜視図、第７図は従来装置の
斜視図である。
２０・・・フレーム、２１・・・第１の回転軸、２２・
・・第１゛のプーリ、２７・・・電動モータ、３１・・
・第１のアーム、３２・・・第２の回転軸、３４・・・
第２のアーム、３５・・・第２のプーリ、３６・・・ワ
イヤ、３８・・・保持用アーム、３９・・・ウェハ、４
０・・・保持部、４４・・・ワイヤ、４５・・・ブレー
キ、４６・・・電磁石、５１・・・クラッチ、５２・・
・電磁石。
出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
第３図
第４図
第５図
第Ｔ国1 to 4 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a perspective view of the device, FIG. 2 is a side sectional view of the device, and FIG. 3 is a side sectional view of the main parts of the device. 4 is a skeleton diagram showing the operation, FIG. 5 is a perspective view of another embodiment, FIG. 6 is a perspective view of yet another embodiment, and FIG. 7 is a perspective view of a conventional device. 20... Frame, 21... First rotating shaft, 22...
...1st pulley, 27...electric motor, 31...
・First arm, 32...Second rotating shaft, 34...
Second arm, 35... Second pulley, 36... Wire, 38... Holding arm, 39... Wafer, 4
0... Holding part, 44... Wire, 45... Brake, 46... Electromagnet, 51... Clutch, 52...
·electromagnet. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 3 Figure 4 Figure 5 Country T
Claims (1)
るアームを直接もしくは中間アームを介して連結してな
るリンク機構およびこのリンク機構のアームを回動する
回転伝達機構によって上記駆動用回転軸を中心とする物
品用保持部の旋回運動および直線運動を行なわせて物品
の移し換えを行なう物品移換え装置において、駆動源に
より回転駆動される第１の回転軸と、この第１の回転軸
に一端が取着された第１のアームと、この第１のアーム
の他端あるいは上記中間アームを介してこれに回転自在
に軸支された第２の回転軸と、この第２の回転軸に取着
された第２のアームと、この第２のアームに設けられた
物品用保持部と、上記第１の回転軸と同心的に回転自在
に設けられた第１の回転体と、この第１の回転体と上記
第１の回転軸との間に介挿したクラッチと、上記第２の
回転軸に取着され上記第１の回転体と回転伝達媒体を介
して連結された第２の回転体と、上記第１の回転体の回
転を選択的に停止させるブレーキと、このブレーキを作
動させて第１の回転体を固定しながら上記クラッチを切
り上記駆動源により第１の回転軸を回転して物品用保持
部を直線移動させるとともに上記ブレーキを解除しかつ
上記クラッチを接続して駆動源により第１の回転体を回
転して第１のアームおよび第２のアームとともに物品用
保持部を一体的に旋回する駆動制御系とを具備したこと
を特徴とする物品移換え装置。The drive rotation shaft is connected to the drive rotation shaft by a link mechanism in which an arm attached to the drive rotation shaft and an arm provided with an article holding part are connected directly or via an intermediate arm, and a rotation transmission mechanism that rotates the arm of this link mechanism. In an article transfer device that transfers articles by rotating and linearly moving an article holding section around the a first arm having one end attached to the arm, a second rotating shaft rotatably supported by the first arm via the other end of the first arm or the intermediate arm, and the second rotating shaft; a second arm attached to the second arm, an article holding section provided on the second arm, a first rotating body rotatably provided concentrically with the first rotating shaft; a clutch inserted between a first rotating body and the first rotating shaft; and a second clutch attached to the second rotating shaft and connected to the first rotating body via a rotation transmission medium. a rotating body, a brake that selectively stops the rotation of the first rotating body, and the brake is actuated to fix the first rotating body while the clutch is turned off and the first rotating shaft is driven by the drive source. is rotated to linearly move the article holding section, the brake is released, the clutch is connected, and the first rotating body is rotated by the drive source to hold the article together with the first arm and the second arm. An article transfer device characterized by comprising a drive control system that integrally rotates the parts.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006001A JPH01183383A (en) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Article shifting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006001A JPH01183383A (en) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Article shifting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01183383A true JPH01183383A (en) | 1989-07-21 |
Family
ID=11626517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63006001A Pending JPH01183383A (en) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | Article shifting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01183383A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154791A (en) * | 1989-11-14 | 1991-07-02 | Sumitomo Eaton Noba Kk | Articulated arm for robot |
| US5151008A (en) * | 1990-05-25 | 1992-09-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Substrate transfer apparatus |
| CN101863020A (en) * | 2010-06-11 | 2010-10-20 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | Multifunctional manipulator |
| JP2019169740A (en) * | 2010-11-10 | 2019-10-03 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Dual arm robot |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63006001A patent/JPH01183383A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154791A (en) * | 1989-11-14 | 1991-07-02 | Sumitomo Eaton Noba Kk | Articulated arm for robot |
| US5151008A (en) * | 1990-05-25 | 1992-09-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Substrate transfer apparatus |
| CN101863020A (en) * | 2010-06-11 | 2010-10-20 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | Multifunctional manipulator |
| JP2019169740A (en) * | 2010-11-10 | 2019-10-03 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Dual arm robot |
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