JPH10316241A - Wafer carrying device - Google Patents
Wafer carrying deviceInfo
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- JPH10316241A JPH10316241A JP14597297A JP14597297A JPH10316241A JP H10316241 A JPH10316241 A JP H10316241A JP 14597297 A JP14597297 A JP 14597297A JP 14597297 A JP14597297 A JP 14597297A JP H10316241 A JPH10316241 A JP H10316241A
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- mover
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハを載置して
搬送するフロッグレッグ形のウェハ搬送装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a frog-leg type wafer transfer apparatus for mounting and transferring a wafer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のフロッグレッグ形のウェハ搬送装
置は、図７および図８に示すように構成している。図に
おいて、３０は基台で、この基台３０にモータ等を内蔵
したあるいはモータ等を本体とした駆動装置３１が取付
けてある。３２は駆動装置３１の回転軸３１ａに取付け
た歯車である。３３は前記基台３０に取付けた軸で、こ
の軸３３に前記歯車３２と同じ歯数の歯車３４を前記歯
車３２に噛み合わせて取付けている。３５は四辺形に構
成したリンクレバー機構で、このリンクレバー機構３５
の第１のレバー３５ａの一端を前記駆動装置３１の回転
軸３１ａに固定している。前記リンクレバー機構３５の
第１のレバー３５ａの他端にピン３６を取付け、このピ
ン３６に第２のレバー３５ｂの一端を取付けている。３
５ｃはリンクレバー機構３５の第３のレバーで、一端を
前記軸３３に固定し、他端にピン３７を取付け、このピ
ン３７に第４のレバー３５ｄの一端を取付けている。３
８はウェハ等を把持する把持部で、この把持部３８に設
けた軸３９、４０のそれぞれに同じ歯数の歯車４１、４
２を、歯車４１、４２同志を噛み合わせて取付けてお
り、さらに前記軸３９に第２のレバー３５ｂの他端部を
固定し、前記軸４０に第４のレバー３５ｄの他端部を固
定している。つぎに、このように構成したフロッグレッ
グ形のウェハ搬送装置の動作について説明をする。駆動
装置３１を駆動すると、この駆動装置３１の回転軸３１
ａに取付けた歯車３２を介して歯車３４が回転する。こ
の歯車３４が回転すると、この歯車３４の軸３３が回転
する。前記駆動装置３１の回転軸３１ａに取付けたリン
クレバー機構３５の第１のレバー３５ａが作動するとと
もに、軸３３に取付けた第３のレバー３５ｃが矢印Ｃ方
向に作動する。この第１のレバー３５ａに取付けた第２
のレバー３５ｂおよび第３のレバー３５ｃに取付けた第
４のレバー３５ｄの一端が前記第１のレバー３５ａおよ
び第３のレバー３５ｃに追従して作動し、第２のレバー
３５ｂの他端に設けた歯車４１と第４のレバー３５ｄの
他端に設けた歯車４２が噛み合っているので、リンクレ
バー機構３５に取付けた把持部３８は矢印Ｄ方向に作動
する。前記把持部３８が所定の位置に達すると、駆動装
置３１に内蔵した位置検出器（図示せず）により駆動装
置３１を停止し、把持部３８を所定の位置に停止する。2. Description of the Related Art A conventional frog-leg type wafer transfer device is constructed as shown in FIGS. In the drawing, reference numeral 30 denotes a base, on which a drive device 31 having a motor or the like built therein or a motor or the like as a main body is attached. Reference numeral 32 denotes a gear attached to the rotating shaft 31a of the driving device 31. Reference numeral 33 denotes a shaft attached to the base 30, and a gear 34 having the same number of teeth as the gear 32 is attached to the shaft 33 by meshing with the gear 32. A link lever mechanism 35 is formed in a quadrilateral.
One end of the first lever 35a is fixed to the rotating shaft 31a of the driving device 31. A pin 36 is attached to the other end of the first lever 35a of the link lever mechanism 35, and one end of a second lever 35b is attached to this pin 36. 3
A third lever 5c of the link lever mechanism 35 has one end fixed to the shaft 33, a pin 37 attached to the other end, and one end of a fourth lever 35d attached to the pin 37. 3
Reference numeral 8 denotes a gripper for gripping a wafer or the like. Gears 41, 4 having the same number of teeth are provided on shafts 39, 40 provided on the gripper 38, respectively.
2, the other gears 41 and 42 are engaged with each other, and the other end of the second lever 35b is fixed to the shaft 39, and the other end of the fourth lever 35d is fixed to the shaft 40. ing. Next, the operation of the frog-leg type wafer transfer device configured as described above will be described. When the driving device 31 is driven, the rotation shaft 31 of the driving device 31
The gear 34 rotates via the gear 32 attached to a. When the gear 34 rotates, the shaft 33 of the gear 34 rotates. The first lever 35a of the link lever mechanism 35 attached to the rotation shaft 31a of the driving device 31 operates, and the third lever 35c attached to the shaft 33 operates in the direction of arrow C. The second lever attached to the first lever 35a
One end of a fourth lever 35d attached to the first lever 35b and the third lever 35c operates following the first lever 35a and the third lever 35c, and is provided at the other end of the second lever 35b. Since the gear 41 and the gear 42 provided at the other end of the fourth lever 35d mesh with each other, the grip 38 attached to the link lever mechanism 35 operates in the direction of arrow D. When the grip portion 38 reaches a predetermined position, the driving device 31 is stopped by a position detector (not shown) incorporated in the drive device 31, and the grip portion 38 is stopped at a predetermined position.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のフロ
ッグレッグ形のウェハ搬送装置は、位置検出器内蔵の駆
動装置からの駆動力をリンクレバー機構３５を介して先
端の把持部３８に伝達しているため、位置検出器による
角度誤差がリンクレバー機構３５の第１のレバー３５ａ
と第３のレバー３５ｃの先端において拡大され、把持部
３８の正確な位置決めができないという問題があった。
そこで、本発明は、把持部の位置決め精度を高めたウェ
ハ搬送装置を提供することを目的とするものである。However, in the conventional frog-leg type wafer transfer device, the driving force from the driving device having a built-in position detector is transmitted to the grip portion 38 at the tip end via the link lever mechanism 35. Therefore, the angle error caused by the position detector is caused by the first lever 35a of the link lever mechanism 35.
Therefore, there is a problem in that the gripping portion 38 cannot be accurately positioned due to enlargement at the tip of the third lever 35c.
Therefore, an object of the present invention is to provide a wafer transfer device in which the positioning accuracy of a gripper is improved.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、四辺形に構成したリンクレバー機構の
第１のレバーおよび第３のレバーの一端を駆動装置に取
付けるとともに、リンクレバー機構の第２のレバーおよ
び第４のレバーの他端に把持部を取付け、駆動装置の駆
動により前記リンクレバー機構を伸縮させて、把持部を
径方向に移動するフロッグレッグ形のウェハ搬送装置に
おいて、前記第１のレバーおよび第３のレバーの端部
に、リニアモータの可動子と位置検出器の可動子を取付
けるとともに、前記基台上に、前記可動子と対向させて
リニアモータの固定子と位置検出器の固定子とを円周方
向に複数個並べて配置するようにしている。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is to mount one end of a first lever and a third lever of a quadrangular link lever mechanism to a driving device, A frog-leg-type wafer transfer device in which a grip is attached to the other end of the second lever and the fourth lever of the lever mechanism, and the link lever mechanism is expanded and contracted by driving of a driving device to move the grip in a radial direction. In the above, the mover of the linear motor and the mover of the position detector are attached to the ends of the first lever and the third lever, and the linear motor is fixed on the base so as to face the mover. A plurality of stators and stators of the position detector are arranged side by side in the circumferential direction.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す
ウェハ搬送装置の側面図である。図２は本発明の第１の
実施例を示すウェハ搬送装置の平面図である。図におい
て、１は基台で、この基台１の中央に軸２を固定してい
る。３は第１のレバー３ａ、第２のレバー３ｂ、第３の
レバー３ｃ、第４のレバー３ｄとを四辺形に構成したリ
ンクレバー機構で、第１のレバー３ａの一端部と第３の
レバー３ｃの一端部を前記軸２に回動しうるように取付
けている。前記リンクレバー機構３の第２のレバー３ｂ
の他端部および第４のレバー３ｄの他端部には把持部４
を取付けている。５は前記基台１の上面に円周方向に複
数個並べて配置したリニアモータの固定子、６は第１の
レバー３ａの他端部に取付けたリニアモータの第１の可
動子で、電機子を構成している。前記リニアモータの第
１の可動子６は、固定子５によって第１のレバー３ａを
前記軸２を中心に円周方向に回動させる。７は第３のレ
バー３ｃの他端部に取付けたリニアモータの第２の可動
子で、電機子を構成している。前記リニアモータの第２
の可動子７は前記固定子５によって第３のレバー３ｃを
前記軸２を中心に円周方向に回動させる。８は第１のレ
バー３ａの端部および第３のレバー３ｃの端部に取付け
たローラで、基台１の上面を走行できるようにしてい
る。９は位置検出器で、この位置検出器の固定子９ａを
前記基台１に前記リニアモータの固定子３に近接させて
取付け、可動子９ｂを前記リニアモータの第１の可動子
６および第２の可動子７に近接させて取付けている。つ
ぎに、このように構成したフロッグレッグ形のウェハ搬
送装置の動作について説明をする。リニアモータの第１
の可動子６を、第１の可動子６が時計方向に回動するよ
うに励磁し、リニアモータの第２の可動子７を、第２の
可動子７が反時計方向に回動するように励磁すると、第
１の可動子６および位置検出器９の可動子９ｂを取付け
た第１のレバー３ａを軸２を中心に時計方向に回動する
とともに、第２の可動子７および位置検出器７の可動子
９ｂを取付けた第３のレバー３ｃを軸２を中心に反時計
方向に回動する。この第１のレバー３ａと第２のレバー
３ｃの回動により、第１のレバー３ａに取付けた第２の
レバー３ｂ、および第３のレバー３ｃに取付けた第４の
レバー３ｄを介して把持部４を矢印Ａ方向に移動する。
前記把持部４が所定の位置に達すると、前記位置検出器
９がその位置を検出して第１の可動子６および第２の可
動子７を停止し、前記把持部４を停止する。つぎに、第
１の可動子６および第２の可動子７を逆に励磁すると、
把持部４が矢印Ａ方向と逆方向に移動して停止する。つ
ぎに、第１の可動子６および第２の可動子７を同方向に
回転するように励磁すると、把持部４が矢印Ｂ方向に回
動して停止し、把持部４の位置を変換できる。このよう
に、基台１に位置検出器９の固定子９ａを取付け、第１
のレバー３ａおよび第３のレバー３ｃの先端部に位置検
出器９の可動子９ｂを取付けて、直接第１のレバー３ａ
および第３のレバー３ｃの先端部の位置を検出するよう
にしたので、検出誤差が拡大されることがなく把持部４
の位置決め精度が向上する。また、従来のものは、リン
クレバー機構の根元部を駆動して、先端の把持部を移動
させるので、モータの駆動力を大きくしなければならな
かったが、本発明のものは、リンクレバー機構の第１の
レバー３ａおよび第３のレバー３ｃの端部を駆動してリ
ンクレバー機構の先端の把持部を移動させるので、駆動
力が小さくてもよい。図３および図４は本発明の第２の
実施例を示すもので、基台１２を半円状にして、前記基
台１２を固定部１１に取付けたモータ１０等で回転でき
るようにしたものである。このようにすることにより、
基台１２を回転させて把持部４の向きを変えることがで
き、基台１に取付けたリニアモータの固定子５を少なく
することができる。図５および図６は本発明の第３の実
施例を示すもので、基台１に、基台１に対し垂直に設け
た支持台１３を設け、この支持台１３の垂直な面に固定
子５を取付けるとともに、前記固定子５に対向するリニ
アモータの第１の可動子を第１のレバー３ａの端部に取
付け、かつ、第２の可動子１５を第３のレバー３ｃの端
部に取付けるようにしたものである。このようにするこ
とにより、第１の可動子１４と固定子５、および第２の
可動子１５と固定子５との吸引力により、第１のアーム
３ａの端部および第３のアーム３ｃの端部が浮上するの
で、第１のアーム３ａの端部および第３のアーム３ｃの
端部にローラ８を設ける必要がなくなる。なお、第１な
いし第３の実施例では、リニアモータは可動子を電機子
としたが、固定子を電機子とするようにしてもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a side view of a wafer transfer device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the wafer transfer device according to the first embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a base, and a shaft 2 is fixed to the center of the base 1. Reference numeral 3 denotes a link lever mechanism in which a first lever 3a, a second lever 3b, a third lever 3c, and a fourth lever 3d are formed in a quadrilateral, and one end of the first lever 3a and a third lever One end of 3c is attached to the shaft 2 so as to be rotatable. Second lever 3b of the link lever mechanism 3
The other end of the fourth lever 3d and the other end of the fourth lever 3d
Is installed. Reference numeral 5 denotes a stator of a linear motor arranged in a plurality in the circumferential direction on the upper surface of the base 1, and 6 denotes a first movable element of the linear motor attached to the other end of the first lever 3a. Is composed. The first mover 6 of the linear motor causes the stator 5 to rotate the first lever 3 a in the circumferential direction around the shaft 2. Reference numeral 7 denotes a second mover of the linear motor attached to the other end of the third lever 3c, which constitutes an armature. The second of the linear motor
The mover 7 rotates the third lever 3c in the circumferential direction about the shaft 2 by the stator 5. Reference numeral 8 denotes a roller attached to an end of the first lever 3a and an end of the third lever 3c so that the roller can run on the upper surface of the base 1. Reference numeral 9 denotes a position detector, and a stator 9a of the position detector is mounted on the base 1 in close proximity to the stator 3 of the linear motor, and a mover 9b is mounted on the first mover 6 and the first mover 6 of the linear motor. The second movable element 7 is mounted close to the movable element 7. Next, the operation of the frog-leg type wafer transfer device configured as described above will be described. 1st linear motor
Is excited so that the first mover 6 rotates clockwise, and the second mover 7 of the linear motor is rotated such that the second mover 7 rotates counterclockwise. , The first lever 3a, to which the first movable element 6 and the movable element 9b of the position detector 9 are attached, is rotated clockwise about the shaft 2, and the second movable element 7 and the position detection are performed. The third lever 3c to which the mover 9b of the container 7 is attached is rotated counterclockwise about the shaft 2. By the rotation of the first lever 3a and the second lever 3c, the gripping portion is moved via the second lever 3b attached to the first lever 3a and the fourth lever 3d attached to the third lever 3c. 4 is moved in the direction of arrow A.
When the gripper 4 reaches a predetermined position, the position detector 9 detects the position, stops the first movable element 6 and the second movable element 7, and stops the gripper 4. Next, when the first mover 6 and the second mover 7 are excited in reverse,
The gripper 4 moves in the direction opposite to the arrow A and stops. Next, when the first mover 6 and the second mover 7 are excited to rotate in the same direction, the gripper 4 rotates in the direction of arrow B and stops, and the position of the gripper 4 can be changed. . Thus, the stator 9a of the position detector 9 is attached to the base 1, and the first
The mover 9b of the position detector 9 is attached to the tip of the lever 3a and the third lever 3c, and the first lever 3a
Also, since the position of the tip of the third lever 3c is detected, the detection error is not enlarged and
Positioning accuracy is improved. Further, in the related art, the root portion of the link lever mechanism is driven to move the grip portion at the tip, so that the driving force of the motor must be increased. Since the end portions of the first lever 3a and the third lever 3c are driven to move the grip portion at the tip of the link lever mechanism, the driving force may be small. FIGS. 3 and 4 show a second embodiment of the present invention, in which a base 12 is formed in a semicircular shape, and the base 12 can be rotated by a motor 10 or the like attached to a fixed portion 11. It is. By doing this,
By rotating the base 12, the direction of the gripper 4 can be changed, and the number of stators 5 of the linear motor attached to the base 1 can be reduced. FIGS. 5 and 6 show a third embodiment of the present invention. The base 1 is provided with a support 13 provided vertically to the base 1, and a stator is provided on a vertical surface of the support 13. 5, the first mover of the linear motor facing the stator 5 is attached to the end of the first lever 3a, and the second mover 15 is attached to the end of the third lever 3c. It is intended to be attached. By doing so, the ends of the first arm 3a and the third arm 3c are moved by the attraction force between the first mover 14 and the stator 5 and between the second mover 15 and the stator 5. Since the ends float, there is no need to provide the rollers 8 at the ends of the first arm 3a and the end of the third arm 3c. In the first to third embodiments, the linear motor has the armature as the mover, but the stator may be an armature.
【０００６】[0006]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によればつぎ
のような効果がある。 （１） 位置検出器の固定子を基台に取付け、可動子を
第１のレバーおよび第３のレバーの先端部に取付けてい
るので、把持部の位置決め精度を向上することができ
る。 （２） リンクレバー機構の第１のレバーおよび第３の
レバーの先端部を駆動するので、リニアモータの駆動力
を小さくすることができる。 （３） 基台を回動して把持部の向きを変えることもで
きるので、リニアモータの固定子を少なくすることがで
きる。 （４） 固定子を基台に垂直に設けた支持台に取付け、
この支持台の固定子に第１のレバーおよび第３のレバー
の端部の可動子を対向させたので、第１のレバーおよび
第３のレバーにローラを取付けなくてもよい。As described above, the present invention has the following effects. (1) Since the stator of the position detector is mounted on the base and the mover is mounted on the distal ends of the first lever and the third lever, the positioning accuracy of the gripper can be improved. (2) Since the distal ends of the first lever and the third lever of the link lever mechanism are driven, the driving force of the linear motor can be reduced. (3) Since the direction of the grip portion can be changed by rotating the base, the number of stators of the linear motor can be reduced. (4) Attach the stator to the support provided vertically on the base,
Since the movable elements at the ends of the first lever and the third lever are opposed to the stator of the support base, it is not necessary to attach the rollers to the first lever and the third lever.
【図１】本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の
側面図である。FIG. 1 is a side view of a wafer transfer device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の
平面図である。FIG. 2 is a plan view of the wafer transfer device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送装置の
側面図である。FIG. 3 is a side view of a wafer transfer device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送装置の
平面図である。FIG. 4 is a plan view of a wafer transfer device according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第３の実施例を示すウェハ搬送装置の
側面図である。FIG. 5 is a side view of a wafer transfer device according to a third embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３の実施例を示すウェハ搬送装置の
平面図である。FIG. 6 is a plan view of a wafer transfer device according to a third embodiment of the present invention.
【図７】従来のウェハ搬送装置の平面図である。FIG. 7 is a plan view of a conventional wafer transfer device.
【図８】従来のウェハ搬送装置の側面図である。FIG. 8 is a side view of a conventional wafer transfer device.
１ 基台、 ２ 軸、 ３ リンクレバー機構、 ３ａ
第１のレバー、３ｂ 第２のレバー、 ３ｃ 第３の
レバー、 ３ｄ 第４のレバー、４ 把持部、 ５ 固
定子、 ６ 第１の電機子、 ７ 第２の電機子、８
ローラ、 ９ 位置検出器、 ９ａ 固定子、 ９ｂ
可動子1 base, 2 axes, 3 link lever mechanism, 3a
1st lever, 3b second lever, 3c third lever, 3d fourth lever, 4 gripper, 5 stator, 6 first armature, 7 second armature, 8
Roller, 9 position detector, 9a stator, 9b
Mover
Claims (1)
（３）の第１のレバー（３ａ）および第３のレバー（３
ｃ）の一端を駆動装置に取付けるとともに、リンクレバ
ー機構（３）の第２のレバー（３ｂ）および第４のレバ
ー（３ｄ）の他端に把持部（４）を取付け、駆動装置の
駆動により前記リンクレバー機構（３）を伸縮させて、
把持部（４）を径方向に移動するフロッグレッグ形のウ
ェハ搬送装置において、 前記第１のレバー（３ａ）および第３のレバー（３ｃ）
の端部に、リニアモータの可動子（６）（７）と位置検
出器（９）の可動子（９ｂ）を取付けるとともに、前記
基台（１）上に、前記可動子（６）（７）（９ｂ）と対
向させてリニアモータの固定子（５）と位置検出器
（９）の固定子（９ａ）とを円周方向に複数個並べて配
置したことを特徴とするウェハ搬送装置。 【０００１】1. A first lever (3a) and a third lever (3) of a link lever mechanism (3) formed in a quadrilateral.
One end of c) is attached to the driving device, and the gripper (4) is attached to the other end of the second lever (3b) and the fourth lever (3d) of the link lever mechanism (3). By expanding and contracting the link lever mechanism (3),
In a frog-leg type wafer transfer device that moves a grip portion (4) in a radial direction, the first lever (3a) and the third lever (3c)
The movable elements (6) and (7) of the linear motor and the movable element (9b) of the position detector (9) are attached to the ends of the linear motors, and the movable elements (6) and (7) are mounted on the base (1). And (9b) a plurality of stators (5) of the linear motor and stators (9a) of the position detector (9) arranged in the circumferential direction so as to face each other. [0001]
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14597297A JP3885217B2 (en) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | Wafer transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14597297A JP3885217B2 (en) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | Wafer transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10316241A true JPH10316241A (en) | 1998-12-02 |
| JP3885217B2 JP3885217B2 (en) | 2007-02-21 |
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ID=15397254
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP14597297A Expired - Fee Related JP3885217B2 (en) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | Wafer transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3885217B2 (en) |
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