JPH01165146A - 気密封止装置 - Google Patents
気密封止装置Info
- Publication number
- JPH01165146A JPH01165146A JP32441087A JP32441087A JPH01165146A JP H01165146 A JPH01165146 A JP H01165146A JP 32441087 A JP32441087 A JP 32441087A JP 32441087 A JP32441087 A JP 32441087A JP H01165146 A JPH01165146 A JP H01165146A
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- JP
- Japan
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- package
- cover
- cooling gas
- roller electrodes
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、牛導体及び混成集積回路のマイクロ波集権
回路などを気密封止Ｔるパラレルシール浴接型気密封止
装置に関■るものである。
回路などを気密封止Ｔるパラレルシール浴接型気密封止
装置に関■るものである。
（従来の技術〕
従来のパラレルシーム溶接型ｚＷｊＮ止装置の惰威例を
第２図に示Ｔ０図において、ｌはパッケージ、２はカバ
ー、３はローラ１１ＥｉＩｊ！、４は荷重おもり、５は
固定治具である。
第２図に示Ｔ０図において、ｌはパッケージ、２はカバ
ー、３はローラ１１ＥｉＩｊ！、４は荷重おもり、５は
固定治具である。
次に動作について説明Ｔる。気密封止するパッケージｌ
及びカバー２を固定治具５の所定位置に取付ける。次に
パッケージ１とカバー２の封止位置合わせを行なった後
、荷重おもり４にて設定荷重をローラ電極３に印加しな
がらカバー２の端部に接触させ、被溶接部に条件設定し
たジュール熱を供給し、ｆＩ！又は半田付けにより気密
封止Ｔるものである。
及びカバー２を固定治具５の所定位置に取付ける。次に
パッケージ１とカバー２の封止位置合わせを行なった後
、荷重おもり４にて設定荷重をローラ電極３に印加しな
がらカバー２の端部に接触させ、被溶接部に条件設定し
たジュール熱を供給し、ｆＩ！又は半田付けにより気密
封止Ｔるものである。
従来の気密封止装置は以上のように！属されているので
、気密封止するパッケージが大きい場合、供給するジュ
ール熱が大きく、ま７ｅｆ８接完了までの時間を要Ｔる
ので、パッケージ及びカバーは。
、気密封止するパッケージが大きい場合、供給するジュ
ール熱が大きく、ま７ｅｆ８接完了までの時間を要Ｔる
ので、パッケージ及びカバーは。
蓄熱されてしまうことになる。このために溶接時にはパ
ッケージ内部の気体は膨張されているが、室温に戻した
時にはパッケージ内部の気体は収縮して、負圧になる◇
この圧力差がパッケージ及びカバーに常時かかり、パッ
ケージ及びカバーの変形、並びに封止接合部への応力が
有り、信頼性などに問題があつに。
ッケージ内部の気体は膨張されているが、室温に戻した
時にはパッケージ内部の気体は収縮して、負圧になる◇
この圧力差がパッケージ及びカバーに常時かかり、パッ
ケージ及びカバーの変形、並びに封止接合部への応力が
有り、信頼性などに問題があつに。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、パッケージ及びカバーへの蓄熱をおさえるこ
とにより、パッケージ内部気体の膨張・収縮により生ず
る圧力差を減少させ、パッケージ及びカバーの変形を少
なくシ、かつ接合部の信頼性を向上させるとともに、パ
ッケージ内に実装された部品への熱影響を軽減させる気
密封止装置を得ることを目的とする〇 Ｌ問題点を解決τるための手段〕 この発明に係る気密封止装置は、左右のり一う゛電極の
中間部に強制冷却ガス吹付はノズルを備えるとともに、
固定治具に冷却板を装備したものである。
たもので、パッケージ及びカバーへの蓄熱をおさえるこ
とにより、パッケージ内部気体の膨張・収縮により生ず
る圧力差を減少させ、パッケージ及びカバーの変形を少
なくシ、かつ接合部の信頼性を向上させるとともに、パ
ッケージ内に実装された部品への熱影響を軽減させる気
密封止装置を得ることを目的とする〇 Ｌ問題点を解決τるための手段〕 この発明に係る気密封止装置は、左右のり一う゛電極の
中間部に強制冷却ガス吹付はノズルを備えるとともに、
固定治具に冷却板を装備したものである。
この発明においては、強制冷却ガス吹付ノズルよりカバ
ー上面に冷却ガス（チッ素などンを吹付けると同時に、
下面より冷却板によって、溶接封止時にカバー及びパッ
ケージ内部に発生し蓄熱された熱を冷却する〇 〔実施例〕 以ドこの発明の一実施例を図について説明する。
ー上面に冷却ガス（チッ素などンを吹付けると同時に、
下面より冷却板によって、溶接封止時にカバー及びパッ
ケージ内部に発生し蓄熱された熱を冷却する〇 〔実施例〕 以ドこの発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、１〜５は上記従来例と同様であり、６
はパッケージ２上に配設された強制冷却ガス吹付はノズ
ル、７は固定治具５上に設けられた電子冷熱テーブル、
８は移動テーブルである。
はパッケージ２上に配設された強制冷却ガス吹付はノズ
ル、７は固定治具５上に設けられた電子冷熱テーブル、
８は移動テーブルである。
次にその作用について説明Ｔる。パッケージｌとカバー
２の両縁部にローラ電極３を接妙させてｍ接封止Ｔるに
際し、左右のローラ電極間の中央、つまりパッケージｌ
の中央でカバー２の上面より約５ｆｌ離して配設した強
制冷却ガス吹付はノズル６より冷却ガス（チッ素など）
を吹付は冷却させる。大型パッケージの場合、溶接封止
部には大量のジュール熱を印加し、封止性を高めている
か、このジュール熱が大量であれば発熱が大きくなるの
で、前記の問題か生ずる。このために印加するジュール
熱は同等として封止性を維持し、上述のように冷却ガス
を吹付けることにより、カバー及びパッケージ内部の昇
温を低減させるものであり。
２の両縁部にローラ電極３を接妙させてｍ接封止Ｔるに
際し、左右のローラ電極間の中央、つまりパッケージｌ
の中央でカバー２の上面より約５ｆｌ離して配設した強
制冷却ガス吹付はノズル６より冷却ガス（チッ素など）
を吹付は冷却させる。大型パッケージの場合、溶接封止
部には大量のジュール熱を印加し、封止性を高めている
か、このジュール熱が大量であれば発熱が大きくなるの
で、前記の問題か生ずる。このために印加するジュール
熱は同等として封止性を維持し、上述のように冷却ガス
を吹付けることにより、カバー及びパッケージ内部の昇
温を低減させるものであり。
またこれと同時に固定治具５上に設け７Ｓ：ＩＩＬ子冷
熱テーブル７も上記と同様な効果を果し、パッケージ底
部から冷却し、昇温を低減させる作用をなＴ。
熱テーブル７も上記と同様な効果を果し、パッケージ底
部から冷却し、昇温を低減させる作用をなＴ。
なお上記の実施例では、カバーのみを冷却させているか
、ローラ電極部及びカバー寸法の増加に従って強制冷却
ガス吹付ノズルの形状を変え、カバーの封止部全体を冷
却可能にＴるようにしてもよい。またパッケージの寸法
サイズが多種になる場合は、冷却ガスの流量及び亀子冷
却テーブルの冷却容量を可変し得る機能を付加してもよ
い。
、ローラ電極部及びカバー寸法の増加に従って強制冷却
ガス吹付ノズルの形状を変え、カバーの封止部全体を冷
却可能にＴるようにしてもよい。またパッケージの寸法
サイズが多種になる場合は、冷却ガスの流量及び亀子冷
却テーブルの冷却容量を可変し得る機能を付加してもよ
い。
以上のようにこの発明によれば、封止後のカバー及びパ
ッケージの変形が従来０．２〜０．８ｆｌ程度発生して
いたものが、０１ｆｌ以下の変形量に低減され、封止接
合部の信頼性が向上する０またパッケージ内部の昇温も
従来装置と比べ１０〜８０％低減し、内部実装部品への
熱影響を少なくＴるなどの丁ぐれた効果がある。
ッケージの変形が従来０．２〜０．８ｆｌ程度発生して
いたものが、０１ｆｌ以下の変形量に低減され、封止接
合部の信頼性が向上する０またパッケージ内部の昇温も
従来装置と比べ１０〜８０％低減し、内部実装部品への
熱影響を少なくＴるなどの丁ぐれた効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による気密封止装置を示す
斜視和、第２□□□は従来の気密封止装置を示Ｔ正面■
である。 図中、１はパッケージ％２はカバー、３はローラ電極、
５は固定治具、６は強制冷却ガス吹付はノズル、７は亀
子冷却テーブルである。
斜視和、第２□□□は従来の気密封止装置を示Ｔ正面■
である。 図中、１はパッケージ％２はカバー、３はローラ電極、
５は固定治具、６は強制冷却ガス吹付はノズル、７は亀
子冷却テーブルである。
Claims (2)
- （１）固定治具上に被封止物を載せ、その両縁を左右の
ローラ電極により封止するようにしたパラレルシーム溶
接型気密封止装置において、上記左右ローラ電極の中間
部に強制冷却ガス吹付けノズルを配設するとともに、上
記固定治具に冷却板を備えたことを特徴とする気密封止
装置。 - （２）冷却板は電子冷却テーブルである特許請求の範囲
第１項記載の気密封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32441087A JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32441087A JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01165146A true JPH01165146A (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=18165489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32441087A Pending JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01165146A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5700318B1 (ja) * | 2014-07-23 | 2015-04-15 | Ｃｒｏｓｓ大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32441087A patent/JPH01165146A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5700318B1 (ja) * | 2014-07-23 | 2015-04-15 | Ｃｒｏｓｓ大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
| JP2016025268A (ja) * | 2014-07-23 | 2016-02-08 | Ｃｒｏｓｓ大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
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