JPH01165146A - 気密封止装置 - Google Patents
気密封止装置Info
- Publication number
- JPH01165146A JPH01165146A JP32441087A JP32441087A JPH01165146A JP H01165146 A JPH01165146 A JP H01165146A JP 32441087 A JP32441087 A JP 32441087A JP 32441087 A JP32441087 A JP 32441087A JP H01165146 A JPH01165146 A JP H01165146A
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- JP
- Japan
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- package
- cover
- cooling gas
- roller electrodes
- cooling
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、牛導体及び混成集積回路のマイクロ波集権
回路などを気密封止Tるパラレルシール浴接型気密封止
装置に関■るものである。
回路などを気密封止Tるパラレルシール浴接型気密封止
装置に関■るものである。
(従来の技術〕
従来のパラレルシーム溶接型zWjN止装置の惰威例を
第2図に示T0図において、lはパッケージ、2はカバ
ー、3はローラ11EiIj!、4は荷重おもり、5は
固定治具である。
第2図に示T0図において、lはパッケージ、2はカバ
ー、3はローラ11EiIj!、4は荷重おもり、5は
固定治具である。
次に動作について説明Tる。気密封止するパッケージl
及びカバー2を固定治具5の所定位置に取付ける。次に
パッケージ1とカバー2の封止位置合わせを行なった後
、荷重おもり4にて設定荷重をローラ電極3に印加しな
がらカバー2の端部に接触させ、被溶接部に条件設定し
たジュール熱を供給し、fI!又は半田付けにより気密
封止Tるものである。
及びカバー2を固定治具5の所定位置に取付ける。次に
パッケージ1とカバー2の封止位置合わせを行なった後
、荷重おもり4にて設定荷重をローラ電極3に印加しな
がらカバー2の端部に接触させ、被溶接部に条件設定し
たジュール熱を供給し、fI!又は半田付けにより気密
封止Tるものである。
従来の気密封止装置は以上のように!属されているので
、気密封止するパッケージが大きい場合、供給するジュ
ール熱が大きく、ま7ef8接完了までの時間を要Tる
ので、パッケージ及びカバーは。
、気密封止するパッケージが大きい場合、供給するジュ
ール熱が大きく、ま7ef8接完了までの時間を要Tる
ので、パッケージ及びカバーは。
蓄熱されてしまうことになる。このために溶接時にはパ
ッケージ内部の気体は膨張されているが、室温に戻した
時にはパッケージ内部の気体は収縮して、負圧になる◇
この圧力差がパッケージ及びカバーに常時かかり、パッ
ケージ及びカバーの変形、並びに封止接合部への応力が
有り、信頼性などに問題があつに。
ッケージ内部の気体は膨張されているが、室温に戻した
時にはパッケージ内部の気体は収縮して、負圧になる◇
この圧力差がパッケージ及びカバーに常時かかり、パッ
ケージ及びカバーの変形、並びに封止接合部への応力が
有り、信頼性などに問題があつに。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、パッケージ及びカバーへの蓄熱をおさえるこ
とにより、パッケージ内部気体の膨張・収縮により生ず
る圧力差を減少させ、パッケージ及びカバーの変形を少
なくシ、かつ接合部の信頼性を向上させるとともに、パ
ッケージ内に実装された部品への熱影響を軽減させる気
密封止装置を得ることを目的とする〇 L問題点を解決τるための手段〕 この発明に係る気密封止装置は、左右のり一う゛電極の
中間部に強制冷却ガス吹付はノズルを備えるとともに、
固定治具に冷却板を装備したものである。
たもので、パッケージ及びカバーへの蓄熱をおさえるこ
とにより、パッケージ内部気体の膨張・収縮により生ず
る圧力差を減少させ、パッケージ及びカバーの変形を少
なくシ、かつ接合部の信頼性を向上させるとともに、パ
ッケージ内に実装された部品への熱影響を軽減させる気
密封止装置を得ることを目的とする〇 L問題点を解決τるための手段〕 この発明に係る気密封止装置は、左右のり一う゛電極の
中間部に強制冷却ガス吹付はノズルを備えるとともに、
固定治具に冷却板を装備したものである。
この発明においては、強制冷却ガス吹付ノズルよりカバ
ー上面に冷却ガス(チッ素などンを吹付けると同時に、
下面より冷却板によって、溶接封止時にカバー及びパッ
ケージ内部に発生し蓄熱された熱を冷却する〇 〔実施例〕 以ドこの発明の一実施例を図について説明する。
ー上面に冷却ガス(チッ素などンを吹付けると同時に、
下面より冷却板によって、溶接封止時にカバー及びパッ
ケージ内部に発生し蓄熱された熱を冷却する〇 〔実施例〕 以ドこの発明の一実施例を図について説明する。
第1図において、1〜5は上記従来例と同様であり、6
はパッケージ2上に配設された強制冷却ガス吹付はノズ
ル、7は固定治具5上に設けられた電子冷熱テーブル、
8は移動テーブルである。
はパッケージ2上に配設された強制冷却ガス吹付はノズ
ル、7は固定治具5上に設けられた電子冷熱テーブル、
8は移動テーブルである。
次にその作用について説明Tる。パッケージlとカバー
2の両縁部にローラ電極3を接妙させてm接封止Tるに
際し、左右のローラ電極間の中央、つまりパッケージl
の中央でカバー2の上面より約5fl離して配設した強
制冷却ガス吹付はノズル6より冷却ガス(チッ素など)
を吹付は冷却させる。大型パッケージの場合、溶接封止
部には大量のジュール熱を印加し、封止性を高めている
か、このジュール熱が大量であれば発熱が大きくなるの
で、前記の問題か生ずる。このために印加するジュール
熱は同等として封止性を維持し、上述のように冷却ガス
を吹付けることにより、カバー及びパッケージ内部の昇
温を低減させるものであり。
2の両縁部にローラ電極3を接妙させてm接封止Tるに
際し、左右のローラ電極間の中央、つまりパッケージl
の中央でカバー2の上面より約5fl離して配設した強
制冷却ガス吹付はノズル6より冷却ガス(チッ素など)
を吹付は冷却させる。大型パッケージの場合、溶接封止
部には大量のジュール熱を印加し、封止性を高めている
か、このジュール熱が大量であれば発熱が大きくなるの
で、前記の問題か生ずる。このために印加するジュール
熱は同等として封止性を維持し、上述のように冷却ガス
を吹付けることにより、カバー及びパッケージ内部の昇
温を低減させるものであり。
またこれと同時に固定治具5上に設け7S:IIL子冷
熱テーブル7も上記と同様な効果を果し、パッケージ底
部から冷却し、昇温を低減させる作用をなT。
熱テーブル7も上記と同様な効果を果し、パッケージ底
部から冷却し、昇温を低減させる作用をなT。
なお上記の実施例では、カバーのみを冷却させているか
、ローラ電極部及びカバー寸法の増加に従って強制冷却
ガス吹付ノズルの形状を変え、カバーの封止部全体を冷
却可能にTるようにしてもよい。またパッケージの寸法
サイズが多種になる場合は、冷却ガスの流量及び亀子冷
却テーブルの冷却容量を可変し得る機能を付加してもよ
い。
、ローラ電極部及びカバー寸法の増加に従って強制冷却
ガス吹付ノズルの形状を変え、カバーの封止部全体を冷
却可能にTるようにしてもよい。またパッケージの寸法
サイズが多種になる場合は、冷却ガスの流量及び亀子冷
却テーブルの冷却容量を可変し得る機能を付加してもよ
い。
以上のようにこの発明によれば、封止後のカバー及びパ
ッケージの変形が従来0.2〜0.8fl程度発生して
いたものが、01fl以下の変形量に低減され、封止接
合部の信頼性が向上する0またパッケージ内部の昇温も
従来装置と比べ10〜80%低減し、内部実装部品への
熱影響を少なくTるなどの丁ぐれた効果がある。
ッケージの変形が従来0.2〜0.8fl程度発生して
いたものが、01fl以下の変形量に低減され、封止接
合部の信頼性が向上する0またパッケージ内部の昇温も
従来装置と比べ10〜80%低減し、内部実装部品への
熱影響を少なくTるなどの丁ぐれた効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による気密封止装置を示す
斜視和、第2□□□は従来の気密封止装置を示T正面■
である。 図中、1はパッケージ%2はカバー、3はローラ電極、
5は固定治具、6は強制冷却ガス吹付はノズル、7は亀
子冷却テーブルである。
斜視和、第2□□□は従来の気密封止装置を示T正面■
である。 図中、1はパッケージ%2はカバー、3はローラ電極、
5は固定治具、6は強制冷却ガス吹付はノズル、7は亀
子冷却テーブルである。
Claims (2)
- (1)固定治具上に被封止物を載せ、その両縁を左右の
ローラ電極により封止するようにしたパラレルシーム溶
接型気密封止装置において、上記左右ローラ電極の中間
部に強制冷却ガス吹付けノズルを配設するとともに、上
記固定治具に冷却板を備えたことを特徴とする気密封止
装置。 - (2)冷却板は電子冷却テーブルである特許請求の範囲
第1項記載の気密封止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32441087A JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32441087A JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01165146A true JPH01165146A (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=18165489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32441087A Pending JPH01165146A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 気密封止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01165146A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5700318B1 (ja) * | 2014-07-23 | 2015-04-15 | Cross大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32441087A patent/JPH01165146A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5700318B1 (ja) * | 2014-07-23 | 2015-04-15 | Cross大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
JP2016025268A (ja) * | 2014-07-23 | 2016-02-08 | Cross大阪株式会社 | 封止装置及び封止・冷却方法 |
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