JPH01149209A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法

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JPH01149209A
JPH01149209A JP62307868A JP30786887A JPH01149209A JP H01149209 A JPH01149209 A JP H01149209A JP 62307868 A JP62307868 A JP 62307868A JP 30786887 A JP30786887 A JP 30786887A JP H01149209 A JPH01149209 A JP H01149209A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度記録に適するリング型磁気へツビデオテ
ープレコーダなどの長時間化に対応して記録密度を向上
するために、磁気記録媒体の抗磁力が増大し従来用いら
れていたフェライトヘッドでは磁性層の裏側まで十分に
記録することが困難になってきた。そこでアモルファス
磁性体など飽和磁束密度の大きい金属磁性体を少な(と
も磁気ギャップ近傍に配した磁気ヘッドが開発されてい
る。このようなリング型磁気ヘッドの製造方法の一例を
第2図(a)(b)をもとに説明する。
金属磁性体23を片面に形成した非磁性基板22を接着
ガラス21を介して複数枚積層し、このブロックを短冊
状に切断し、ギャップ面に巻線窓24とガラスだめ溝2
5を設け、非磁性のギャップ膜を形成後、ギャップ面2
6および巻線窓24中の低融点ガラス27の融着により
両コア半体を接合したギャップドパ−29,29°を作
成する。
次にこのギャップドパ−を所定のコア幅で切断してヘッ
ドチップ28となし、テープ摺動面を研摩して、第2図
(b)に示す磁気ヘッドを得る。
ところでスパッタなどの方法で成膜したアモルファス磁
性体の場合、良好な磁気特性を得るためには高温でアニ
ールする必要がある。結晶化温度Txがキューリー温度
Tcより高いアモルファス磁性体ではTc以上の温度で
磁化が無(なるので、ヘッド製造工程中の積層接着や、
ガラス接着等の温度をTc以上、Tx以下に選べば特別
のアニールを行わな(でも、それらの工程で同時にアニ
ールの効果が得られる。ところが一般的に飽和磁束密度
の高いアモルファス磁性体ではTxがTCより低いので
、Txより低いアニール温度を選ぶとTc以下になり、
アニール温度では磁化が残るので不要な異方性を付けな
いため外部がら回転磁界または固定磁界を加えながらア
ニールする必要がある。この磁界印加は上記のヘッド製
造工程の内、大部分で行う必要がある。
発明が解決しようとする問題点 磁界中でのアニールにおいて、スパッタ後の矩形の基板
上のアモルファス磁性体の場合には問題ないが、巻線溝
加工されたギャップドパ−の場合アニールされるものの
形状により反磁界係数が異なるので印加磁界強度が不足
すると、不要な異方性が残ることとなる。また印加磁界
強度が十分大きい場合でも磁界の方向により反磁界係数
が異なると、回転磁界中に置かれた場合磁性体の磁化の
回転が一様でなくなるので異方性が残ることがある。第
3図は膜厚40ミクロンのヘッドの膜面内に回転磁界を
印加した場合の磁気ギャップ近傍の磁気コア内のA点の
磁化の様子を示したものである。等方的に磁界を印加し
ているにもかかわらず磁化の方向は反磁界係数の小さい
方向に向き易くなっていることがわかる。特に巻線窓の
近傍では窓の端面に発生する磁荷の影響で窓の形状に沿
った方向に異方性が形成され易い。従ってこのような形
状の磁気ヘッドを回転磁界中アニールした場合、巻線窓
のある側の磁気ギャップ近傍の磁気コアは、巻線窓に沿
った方向の磁気異方性を持つことになる。
ところで磁気コアの異方性を第4図に示すように磁気ギ
ャップ面と平行(a)及び垂直(b)につけた場合、磁
気ギャップ中の磁束の漏れは磁気ギャップに平行な異方
性を持つヘッドの方が小さいが、上記のような回転磁界
中アニールを行ったヘッドでは、ギャップ面近傍の磁気
コアの異方性は磁気ギャップ面に垂直な方向に近いので
、良好な特性が得られないことが予想される。また更に
良好な周波数特性を得るために、固定磁界中でアニール
して一軸異方性を付与する場合にも印加磁界の方向によ
る反磁界係数の違いにより同様な問題の生じる可能性が
ある。
問題点を解決するための手段 少な(とも磁気ギャップ近傍が金属磁性体よりなる複数
の磁気コア半体を磁界中で非磁性材を介して接合した後
で、巻線窓加工をすることによりリング型磁気ヘッドを
製造する。
作用 磁気ギャップ形成時に同時に磁界を印加してアニールし
た後で巻線窓を加工することにより、アニール時にヘッ
ド形状や巻線窓の端面に発生する磁荷の影響で、磁気コ
アに意図しない磁気異方性が付(ことがなく、優れた特
性のヘッドが得られる。
実施例 本発明の第1の実施例について第1図をもとに説明する
。チタン酸カルシウムなどの非磁性基板2の片面に接着
ガラス3を形成した第1基板6と、非磁性基板の片側に
CoNbZrなどの金属磁性体1、他の面に接着ガラス
3を形成した第2基板7と、非磁性基板の片面に金属磁
性体1を形成した第3基板8を作成する(a)。次に(
b)に示すように第1基板6と第3基板8で第2基板7
を数枚積み重ねたものを挟み、磁性体の面内で回転する
(15)4000eの磁界14を印加しながら460℃
に加熱し接着ガラス3の融着により、各基板が接着され
た積層ブロックを作成する。次にこの積層ブロックを短
冊上に切断し、(C)に示すような1対のコア半体9.
9゛を作る。次に(d)に示すようにコア半体9.9゛
の磁気ギャップ面10にそれぞれガラスだめ溝11.1
2を設は低融点ガラス13を充填した後、磁気ギャップ
面10を平滑に研磨し、ギャップ長に応じた厚さのSi
O2と低融点ガラスの非磁性層をスパッタ等で形成する
。2つのコア半体9.9゛を金属磁性体1が対向するよ
うに挟み、回転磁界14を印加しなから460’Cに加
熱しギャップ面10およびガラスだめ溝11.12中の
低融点ガラス13の融着により両コア半体を接合したギ
ャップドパ−を作成する。次に、このギャップドパーを
所定のコア幅で切断して、ヘッドチップ16とする。こ
の後巻線窓17の加工を行いテープ摺動面を研摩して、
(e)に示す磁気ヘッドを得る。巻線窓加工の方法とし
ては、レーザーにより対象物を蒸発させる方法や、研磨
液を用いて超音波加工する方法、研磨粉を高速で吹き付
けるサンドブラスト法など、各種の方法を用いることが
できる。例えば150mWのYAGレーザーを5μmに
収束し上記ヘッドに照射することにより、直径300μ
mの巻線穴を3分で開けることができる。
第5図は本発明のヘッド(a)と従来例のヘッド(b)
の特性を示す図である。5MHzにおいて4dB以上大
きな出力が得られる。
本発明のヘッドの製造方法は第6図に示すようなMIG
(Metal  In  Gap)タイプのヘッドの製
造の場合にも有効である。MnZnフェライト22で挟
まれるギャップ近傍に金属磁性体21が形成され、低融
点ガラス24で接着されたヘッドを製造する場合、ギャ
ップ形成時にギャップ面に平行に磁界25を印加すれば
ギャップ面に平行に異方性が付くので、良好な特性が得
られる。この場合巻線窓23の加工をギャップ形成後に
行うことにより、巻線窓端面に生じる反磁界の影響でギ
ャップ近傍の金属磁性体21の配向性が乱れることがな
い。
発明の効果 本発明によれば、ギャップ形成を磁界を印加しながら行
い、金属磁性膜の磁気特性をヘッド特性が良好になるよ
うにした後、巻線窓加工を行うので、ギャップ形成前に
巻線窓加工を行った場合と比べ、巻線窓の端面に生じる
反磁界やヘッドコアの形状の影響で金属磁性膜の磁気特
性が乱れることがな(、優れたヘッド特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造工
程を説明する斜視図、第2図は従来の磁気ヘッドの製造
工程を説明する斜視図、第3図はギャップ近傍の磁化の
変化を説明する図、第4図は異方性の違いによるヘッド
特性の差を説明する図、第5図は本発明のヘッドの特性
を示す図、第6図は本発明の他の実施例における磁気ヘ
ッドを示す斜視図である。 1・・・・非金属磁性体、2・・・・非磁性基板、3・
・・・接着ガラス、6・・・・第1基板、7・・・・第
2基板、8・・・・第3基板、9,9゛・・・・コア半
体、10・・・・磁気ギャップ面、11.12・・・・
ガラスだめ溝、13・・・・低融点ガラス、14・・・
・回転磁界、16・・・・ヘッドチップ、17・・・・
後巻線窓。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか1名第1図 ((IJ 第1図 (4+ 第1図 (aJ 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  少なくとも磁気ギャップ近傍が金属磁性体よりなる複
    数の磁気コア半体を磁界中で非磁性材を介して接合した
    後で、巻線窓加工をすることを特徴とする磁気ヘッドの
    製造方法。
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