JPH01245408A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体からデータを読み出したり、磁
気記録媒体にデータを書き込んだりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に関するも
のである。

従来の技術 画像やデータ等の保存を目的に磁気記録再生装置が広い
分野にわたって利用されているが、近年は小型化及び高
密度化の進歩が著しい。小型化及び高密度化を実現する
ために磁気記録媒体及び磁気ヘッドは数々の改良がなさ
れている。磁気記録媒体においては高保磁力化や薄膜化
の技術が進み、Ｃｏ−Ｎｉ等の強磁性金属材料をスパッ
タリング等の真空薄膜技術により形成した薄膜磁気記録
媒体やＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金属粉末を塗布した
金属塗布磁気記録媒体が提案されている。これらの磁気
記録媒体の保磁力は従来主に用いられているＦｅ等の酸
化物塗布記録媒体の２〜４倍と高く、高い周波数域での
信号の記録再生を可能にしている。一方磁気ヘッドは、
高い保磁力を有する磁気記録媒体を飽和記録するために
高い飽和磁束密度を有する金属磁性材料で磁気ヘッドの
磁気ギャップ近傍を形成する技術が提案されている。

第６図は従来の磁気ヘッドを示す拡大平面図である。第
６図において１は非磁性基板、２は非磁性基板１の上に
形成された金属磁性膜で、金属磁性膜２は高飽和磁束密
度を有するＦｅ−Ａｌ−３ｉ合今や、非晶質磁性材料等
をスパッタリングして形成される。又金属磁性膜２の膜
厚は所望のトラック幅に等しくなる様に形成する。３は
非磁性基板１と同じ材料で形成されたカバー材で、カバ
ー材３は金属磁性膜２上に接着される。４は磁気ギャッ
プである。なお、巻線が施されるバックコアの部分も第
６図に示す様に非磁性基板とカバー材で金属磁性膜を挟
んだ構成となっている。

以上の様に構成された従来の磁気ヘッドについて、その
製造方法を説明する。先ず非磁性基板１の上に金属磁性
膜２を形成する。この時金属磁性膜２の膜厚はトラック
幅に等しくなる様に形成する。次にカバー材３を金属磁
性膜２の上に接着する。次にこの様に構成した二つのコ
ア体を金属磁性膜２同志が対向する様に突き合わせて、
非磁性膜を介して接合する。この構造の磁気ヘッドは金
属磁性膜２の膜厚がトラック幅になるので、１０マイク
ロメートル程度の狭トラツク幅の磁気ヘッドの製造が容
易である。

第７図は他の従来の磁気ヘッドを示す拡大平面図である
。第７図において、５は酸化物磁性材料により形成され
ている磁気コア、６は磁気コア５に形成された金属磁性
膜で、金属磁性膜６は高飽和磁束密度を有するＦｅ−Ａ
ｌ−３ｉ合金や、非晶質磁性材料等をスパッタリングし
て形成される。

７は磁気ギャップ、８は磁気ギャップの幅を規制する規
制溝で、規制溝８の中にはガラスが充填されている。

以上の様に構成された磁気ヘッドについてその製造方法
を説明する。

先ず磁気コア５の一面に金属磁性膜６を形成した二つの
コア体を作成し、金属磁性膜６が対向する様に二つのコ
ア体を非磁性膜を介して接合する。

最後に磁気ギャップ７の幅を規制する規制溝８を形成し
た後に、規制溝８にガラスを充填する。ギャップ形成面
が金属磁性膜６で形成されているので、磁気ヘッドの記
録再生能力に優れており、金属磁性膜６の膜厚が４〜５
マイクロメートルと薄（でも良いため量産性に優れてい
た。

発明が解決しようとする課題 しかしながら第６図に示す従来の構成では、巻線が施さ
れる部分は金属磁性膜で形成されているので、巻線に磁
束を発生させて磁気回路に流そうとしても金属磁性膜は
薄膜であるので磁気抵抗が高（なり磁気ヘットの効率低
下を招きやすい。又金属磁性膜６の膜厚がトラック幅に
なるので、トラック幅の広い磁気ヘッドを作成しようと
すると、薄膜の形成に時間を要する事から、量産性の向
上が難しいという問題点を有していた。又第７図に示す
従来の構成では磁気コア５と金属磁性膜６の接合面が磁
気ギャップと平行になってしまうので、接合面が擬似ギ
ャップとなってしまう。又この様な疑似ギャップの発生
を防止するために、金属磁性膜とコア体の接合面を磁気
ギャップと非平行になる様に形成する事も考えられる。

しかしこの様な特殊な構成にすると繁雑な加工工程が生
じるので量産性には優れていなかった。又磁気コア５に
用いられる酸化物磁性材料は一般には脆いために金属磁
性ＩＩＩ　６の内部応力や磁気キャップ７形成時の高温
熱処理により磁気コアにクラックが発生し磁気効率が悪
くなり、歩留りの向上が難しいという問題点を有してい
た。

本発明は、前記従来の問題点を解決するもので、磁気効
率が低下せず、量産性に優れた磁気ヘッド及びその製造
方法を提供する事を目的としている。

課題を解決するための手段 本発明は前記従来の問題点を解決するために、非磁性体
の上に金属磁性膜を形成した二つのブロツクを金属磁性
膜が対向する様に磁気ギャップを介して接続したフロン
トコアをバックコアと接続し、金属磁性膜をバックコア
との接合面まで形成した。

作　　　用 この構成によって、巻線の施される部分の磁気抵抗を高
める事もなく、シかも擬似ギャップの発生を防止する事
ができる。

実　　　施　　　例 第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す斜
視図である。第１図において９，１０は非磁性ブロック
で、非磁性ブロック９の非磁性ブロック１０との対向面
９ａ及び対向面９ａに隣接する斜面９ｂには金属磁性膜
１１が形成されている。又非磁性ブロック１０も同様に
非磁性ブロック９との対向面１０ａ及び対向面１０ａに
隣接する斜面１０ｂには金属磁性膜１２が形成されてい
る。又非磁性ブロック９，１０の両側面には溝が設けら
れガラスが充填されている。１３は金属磁性膜１１．１
２の間に形成された磁気ギャップ、１４は非磁性ブロッ
ク９，１０を接着するための接着剤１，１５はバックコ
アで、バックコア１５には巻線を施す事が出来るように
巻線溝１５ａが設けられている。又巻線溝１５ａを隔て
た部分に金属磁性膜１１と金属磁性膜１２がバックコア
１５に接触する様に非磁性ブロック９，１０とバックコ
ア１５は接続されている。

以上の様に構成された磁気ヘッドは、巻線が施される部
分はバックコア１５によって形成されており磁気効率が
良好である。又磁気記録媒体との対向面に近い部分は金
属磁性膜１１．１２のみで磁気回路を形成しているので
、疑似ギャップの発生する心配が全くない。金属磁性膜
１１．１２に生じる内部応力やギャップ形成時の高温熱
処理による応力によって非磁性ブロック９，１０にクラ
ックが生じない様に非磁性ブロック９，１０の材料を抗
折力の強いものにする事が出来る。又万一非磁性ブロッ
ク９．１０にクラックが生じても、非磁性ブロック９，
１０は磁気回路を形成していないので、磁気抵抗はさほ
ど増さず磁気効率にもあまり影響しない。

以上の様に形成された磁気ヘッドの製造方法を第２図か
ら第５図を用いて説明する。

非磁性ブロック１６の一面１６ａをラッピング等によっ
て鏡面に仕上げた後にダイヤモンド砥石等を用いて一面
１６ａに溝１６ｂを形成する。溝１６ｂは三面で構成さ
れており、底面は一面１６ａと平行に形成されている。

又第−の側面は一面１６ａと垂直に形成されている。又
第二の側面は一面１６ａと垂直にならない様に形成され
ている。

次に一面１６ａにスパッタリング等の真空薄膜形成技術
を用いてＦｅ−Ａｌ−８ｉ等の金属磁性膜１７を５〜２
０マイクロメートル形成する。次に非磁性ブロック１６
と同じ様な工程で非磁性ブロック１８を形成する。そし
て非磁性ブロック１６及び非磁性ブロック１８を金属磁
性膜が対向する様にしかも磁気ギャップの充填材となる
二酸化シリコン等の非磁性膜を介して突き合わせる。次
に第２図に示す様に溝１６ｂの第二の側面に接着剤１９
によって５００〜７５０度の温度で非磁性ブロック１６
．１８を接合する。非磁性ブロック１６．１８は金属磁
性膜１７の熱膨脹率とほぼ同じ熱膨脹率を持ち、又抗折
力が強く、耐摩耗性に優れた材料が用いられている。例
えば金属磁性膜１７がＦｅ−Ａｌ−３ｉ合金の場合の非
磁性ブロック１６．１８はチタン酸バリウム等のセラミ
ックや結晶化ガラス等が考えられる。次に第３図に示す
様にギャップ幅を規１ｔｉ１１する規制溝２０を非磁性
ブロック１６．１８の接合面の長手方向に垂直に複数個
形成し、規制溝２０にガラスを注入する。

又、規制溝２０は第４図に示す様に非磁性ブロック１６
．１８を接合する前に予め形成しておいてもよい。次に
第３図に示す実線り、Ｍを含む面で切断する。次に規制
溝２０が設けられた方の切断面を鏡面加工して第一コア
２１を作成する。この場合接合面を一箇所にすると非磁
性ブロック１６゜１８のクラックや磁気ギャップ長さの
歩留りが悪（なるので、三箇所の接合面を持つ様に非磁
性ブロック１６．１８を接合した。次に第５図に示す様
にＭｎ−Ｚｎフェライト等の酸化物磁性材料によりなる
バックコア２２の一面にダイヤモンド砥石等を用いた機
械加工により巻線溝２２ａを形成する。次に第一コア２
１の２つの金属磁性膜が巻線溝２２ａを隔てて接触する
様に第一コア２１とバックコア２２を接合する。次に第
５図で示す実線Ｙ、Ｙ１及び実線Ｘ、Ｘ１を含む面で切
断して、第１図に示す様な磁気ヘッドを形成する。

以上の様に本実施例よれば、規制溝２０の位置及び幅を
決めるだけでギャップ幅を決めることができるので、ギ
ャップ幅がばらつかない。又金属磁性膜の膜厚がトラッ
ク幅とはならず、いつも−定でよいのでいろいろなトラ
ック幅の磁気ヘッドを形成する場合に生産性が向上する
。

発明の効果 本発明は、非磁性体の上に金属磁性膜を形成した二つの
ブロックを金属磁性膜が対向する様に磁気ギャップを介
して接続したフロントコアをバックコアと接続し、金属
磁性膜をバックコアとの接合面まで形成した事により、
磁気ヘッドが形成する磁気回路を金属磁性膜のみの部分
上酸化物磁性材料との部分に分ける事ができ、巻線が施
されるバックコアの部分の磁気抵抗を小さくする事がで
きるので、磁気効率の低下を防止する事ができるととも
に、媒体対向面の近くの磁気回路は金属磁性膜だけで構
成されているので擬似ギャップが形成されない。又、金
属磁性膜の膜厚を所望のギャップに応じて変化させる必
要がな（常に一定でよいので生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す斜
視図、第２図から第５図までは本発明の一実施例におけ
る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図、第６図は従来の
磁気ヘッドを示す拡大平面図、第７図は同拡大平面図で
ある。 ９．１０　・・・・・・非磁性ブロック９　ａ　！　１
０　ａ・・・・・・対向面９ｂ、１０ｂ・・・・・・斜
面 １１．１２　　・・・・・・金属磁性膜１３　・・・・
・・磁気ギャップ １４　・・・・・・接着剤 １５　・・・・・・バックコア １５ａ・・・・・・巻線溝 １６　・・・・・・非磁性ブロック １６ａ・・・・・・一面 １６ｂ・・・・・・溝 １７　・・・・・・金属磁性膜 １８　・・・・・・非磁性ブロック １９　・・・・・・接着剤 ２０　・・・・・・規制溝 ２１　・・・・・・第一コア ２２　・・・・・・バックコア ２２ａ・・・・・・巻線溝 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　はが１名９．１０−
一一非ぶＥ砂ブロック １５１１−、為、線溝 第１図 ／ど、ｌ＆　−−−ＩＰ＝　、磁性フロ、７グ第２図 ２０−現制講 第３図 第４図 ２１−−一焙一コア ２２−　　バッグコア ２２（１−−一泰逮講 第５図　　　　　２１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性体の上に金属磁性膜を形成した二つのブロ
   ックを前記金属磁性膜が対向する様に磁気ギャップを介
   して接合したフロントコアと、前記フロントコアに接続
   され、前記フロントコアとともに磁気回路を形成するバ
   ックコアを備え、前記バックコアとの接合部まで前記金
   属磁性膜が形成されている事を特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）非磁性ブロックの一面に溝を設け、前記一面に金
   属磁性膜を形成する第一の工程と、前記第一の工程で形
   成された二つのブロックを前記金属磁性膜が対向する様
   に非磁性膜を介して突き合わせ接合する第二の工程と、
   前記金属磁性膜を所望の幅に規制する規制溝を前記第二
   の工程で形成された接合面に交わる様に形成し、前記規
   制溝にガラスを充填する第三の工程と、前記接合面の下
   方を第三の工程で形成されたブロック体の長手方向に除
   去する第四の工程と、前記第四の工程で除去されたブロ
   ックと磁性体で形成されたコア体を接合する第五の工程
   と、前記規制溝に沿って切断する第六の工程を有する磁
   気ヘッドの製造方法。