JPH01148853U - - Google Patents
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- JPH01148853U JPH01148853U JP4489488U JP4489488U JPH01148853U JP H01148853 U JPH01148853 U JP H01148853U JP 4489488 U JP4489488 U JP 4489488U JP 4489488 U JP4489488 U JP 4489488U JP H01148853 U JPH01148853 U JP H01148853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- humidity sensing
- thick
- sensitive
- sensing element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第1図は本考案に係る厚膜湿度検知素子の外観
射視図、第2図は第1図の−断面図、第3図
は第2図の−断面図、第4図及び第5図は本
考案に係る厚膜湿度検知素子の他の実施例を示す
構成図、第6図は従来の厚膜湿度検知素子の構成
例である。 10……セラミツク板、12……櫛型電極、1
4……感湿膜、16……隔壁。
射視図、第2図は第1図の−断面図、第3図
は第2図の−断面図、第4図及び第5図は本
考案に係る厚膜湿度検知素子の他の実施例を示す
構成図、第6図は従来の厚膜湿度検知素子の構成
例である。 10……セラミツク板、12……櫛型電極、1
4……感湿膜、16……隔壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板表面に設けられた一対の櫛形電極と該電極
を覆うよう設けられた感湿膜とを備えた厚膜湿度
検知素子であつて、 上記感湿膜部分を囲むことができる多孔質性物
質から成る枠状の隔壁を、対向配置された一対の
上記厚膜湿度検知素子で挾持する構成とすること
により、該感湿膜部分が直接外気にさらされない
構成としたことを特徴とする厚膜湿度検知素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4489488U JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4489488U JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01148853U true JPH01148853U (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=31271229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4489488U Pending JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01148853U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021099364A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-01 | パナソニック株式会社 | ガスセンサ |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP4489488U patent/JPH01148853U/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021099364A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-01 | パナソニック株式会社 | ガスセンサ |
US11262324B2 (en) | 2017-04-05 | 2022-03-01 | Panasonic Corporation | Gas sensor |
JP2022091977A (ja) * | 2017-04-05 | 2022-06-21 | パナソニックホールディングス株式会社 | ガスセンサ |
US11740197B2 (en) | 2017-04-05 | 2023-08-29 | Panasonic Holdings Corporation | Gas sensor |
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