JPS6433058U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6433058U JPS6433058U JP12775487U JP12775487U JPS6433058U JP S6433058 U JPS6433058 U JP S6433058U JP 12775487 U JP12775487 U JP 12775487U JP 12775487 U JP12775487 U JP 12775487U JP S6433058 U JPS6433058 U JP S6433058U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film resistor
- resistance element
- view
- passivation material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
第1図イは本考案の一例を示す感温素子の平面
図、第1図ロはその側面図、第2図は本考案の感
温素子を用いた湿度センサの出力特性を示すグラ
フ、第3図イは従来の感温素子の一例を示す平面
図、第3図ロはその側面図、第4図イは従来の感
温素子の別の例の平面図、第4図ロはその側面図
、第5図は第3図に示す感温素子を用いた従来の
温度センサの特性を示すグラフである。 10……抵抗素子、11……絶縁基板、12…
…薄膜抵抗体、13……リード、20……パツシ
ベーシヨン材。
図、第1図ロはその側面図、第2図は本考案の感
温素子を用いた湿度センサの出力特性を示すグラ
フ、第3図イは従来の感温素子の一例を示す平面
図、第3図ロはその側面図、第4図イは従来の感
温素子の別の例の平面図、第4図ロはその側面図
、第5図は第3図に示す感温素子を用いた従来の
温度センサの特性を示すグラフである。 10……抵抗素子、11……絶縁基板、12…
…薄膜抵抗体、13……リード、20……パツシ
ベーシヨン材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 薄膜抵抗体を有する抵抗素子と、 該抵抗素子を、前記薄膜抵抗体が露出するよう
に被覆するパツシベーシヨン材と、 を具備する感温素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12775487U JPS6433058U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12775487U JPS6433058U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6433058U true JPS6433058U (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=31380465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12775487U Pending JPS6433058U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6433058U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101948U (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-23 |
-
1987
- 1987-08-21 JP JP12775487U patent/JPS6433058U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101948U (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-23 |