JPH01124233A - 収納治具 - Google Patents
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- JPH01124233A JPH01124233A JP62281119A JP28111987A JPH01124233A JP H01124233 A JPH01124233 A JP H01124233A JP 62281119 A JP62281119 A JP 62281119A JP 28111987 A JP28111987 A JP 28111987A JP H01124233 A JPH01124233 A JP H01124233A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
- G03F1/28—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof with three or more diverse phases on the same PSM; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
- G03F1/30—Alternating PSM, e.g. Levenson-Shibuya PSM; Preparation thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、異物の付着を嫌う部材の処理、*送。
保管などに使用される収納治具に係り、とくに部材の格
納数を生産ロッド数の変化に対応しうるようにする場合
に好適な収納治具に関する。
納数を生産ロッド数の変化に対応しうるようにする場合
に好適な収納治具に関する。
従来のウェハなどの収納ケースは、たとえば特開昭59
−213142に記載されているように、丸形あるいは
角形をした基板を約25枚収納するための溝を有し、上
端と下端が開放され、基板と上端の溝にそうて収納する
一体形の構成をしたものが提案されている。
−213142に記載されているように、丸形あるいは
角形をした基板を約25枚収納するための溝を有し、上
端と下端が開放され、基板と上端の溝にそうて収納する
一体形の構成をしたものが提案されている。
また、特開昭61−170042に記載されているよう
に、ウェハを比較的長い期間運搬、保管するのにさいし
、ウェハを1枚あるいは2枚格納するウェハキャリヤを
搬送ボックスの内面に設けた突出部材により一定方向に
限って正規の方向に収納可能にし、もしウェハキャリヤ
が誤った方向に収納された場合には、ウェハ搬送ボック
ス本体よりウェハキャリヤが浮き出てこの状態では蓋が
斜めになって正規の密封状態にならなくなり、ウェハキ
ャリヤが誤った方向に収納されないことを検知するよう
にしたものが提案されている。
に、ウェハを比較的長い期間運搬、保管するのにさいし
、ウェハを1枚あるいは2枚格納するウェハキャリヤを
搬送ボックスの内面に設けた突出部材により一定方向に
限って正規の方向に収納可能にし、もしウェハキャリヤ
が誤った方向に収納された場合には、ウェハ搬送ボック
ス本体よりウェハキャリヤが浮き出てこの状態では蓋が
斜めになって正規の密封状態にならなくなり、ウェハキ
ャリヤが誤った方向に収納されないことを検知するよう
にしたものが提案されている。
前記前者の従来技術においては、1回のウエハの処理枚
数が1枚あるいは数枚の場合でも約25枚収納可能なウ
ェハキャリヤに1枚あるいは数枚毎に分割して収納して
それぞれを搬送保管する必要があるため、製造工程内に
滞留しているウェハの枚数に比較してウェハキャリヤの
数が多くなって搬送、保管、収納効率が低下する問題が
あった。
数が1枚あるいは数枚の場合でも約25枚収納可能なウ
ェハキャリヤに1枚あるいは数枚毎に分割して収納して
それぞれを搬送保管する必要があるため、製造工程内に
滞留しているウェハの枚数に比較してウェハキャリヤの
数が多くなって搬送、保管、収納効率が低下する問題が
あった。
また後者の従来技術においては、搬送ボックスの蓋をあ
けてウェハキャリヤを取り出したのち、ウェハキャリヤ
内からウェハを取り出す必要があるため、ウェハを自動
的に処理する装置に適用した場合、ウェハを自動的に取
り出すための機構が複雑となる問題があった。
けてウェハキャリヤを取り出したのち、ウェハキャリヤ
内からウェハを取り出す必要があるため、ウェハを自動
的に処理する装置に適用した場合、ウェハを自動的に取
り出すための機構が複雑となる問題があった。
本発明の目的は、部材の格納量に応じて収納サイズを変
更可能にして作業スペース、保管スペースの有効利用を
可能にし、かつ搬送時および保管時に外部の塵埃などの
異物の付着を防止し、かつ簡単な構成およびハンドリン
グ工数の低減を可能とする収納治具を提供することにあ
る。
更可能にして作業スペース、保管スペースの有効利用を
可能にし、かつ搬送時および保管時に外部の塵埃などの
異物の付着を防止し、かつ簡単な構成およびハンドリン
グ工数の低減を可能とする収納治具を提供することにあ
る。
前記の目的は、収納する部材の数量に対応する個数を分
離可能に結合して上記部材を間隔をおいて整列可能に保
持する保持具と、この保持具および上記部材を空間を有
するように覆う大きさ(こ形成され、上記保持具と同一
ピッチで同一個数だけ分離可能に結合し、一端部を密閉
し、他端開口部から上記保持具および上記部材を挿入し
て上記保持具の端部に対接したとき、内部を密閉される
蓋とから構成された収納治具によって達成される。
離可能に結合して上記部材を間隔をおいて整列可能に保
持する保持具と、この保持具および上記部材を空間を有
するように覆う大きさ(こ形成され、上記保持具と同一
ピッチで同一個数だけ分離可能に結合し、一端部を密閉
し、他端開口部から上記保持具および上記部材を挿入し
て上記保持具の端部に対接したとき、内部を密閉される
蓋とから構成された収納治具によって達成される。
本発明による収納治具は、生産計画、生産指示に即応し
た部材の格納数量にするため、保持具および蓋の長さを
格納する部材の数量に対応して自由に調整し、保持具お
よび蓋を洗浄したのち、部材を格納する。この場合、ク
リーンされた室内において行なうことはいうまでもない
ところである。
た部材の格納数量にするため、保持具および蓋の長さを
格納する部材の数量に対応して自由に調整し、保持具お
よび蓋を洗浄したのち、部材を格納する。この場合、ク
リーンされた室内において行なうことはいうまでもない
ところである。
部材の出し入れは、蓋を保持具の先端部の方向に移動し
て保持具を開放することにより直ちにウェハを取り出す
ことができるので、操作が容易でかつ構成が簡単である
。
て保持具を開放することにより直ちにウェハを取り出す
ことができるので、操作が容易でかつ構成が簡単である
。
また、部材を取り出したのち、蓋を上記と逆方向に移動
してその先端部を保持具の一端部に対接して固定するこ
とにより、内部を密閉して外気の雰囲気と遮断できるの
で、ウェハに異物が付着するのを防止することができ、
かつ部材の保管、*送を収納数量に対応できるスペース
にすることができるので、スペース効率を向上すること
ができる。
してその先端部を保持具の一端部に対接して固定するこ
とにより、内部を密閉して外気の雰囲気と遮断できるの
で、ウェハに異物が付着するのを防止することができ、
かつ部材の保管、*送を収納数量に対応できるスペース
にすることができるので、スペース効率を向上すること
ができる。
以下、本発明の一実施例であるウェハ収納治具を示す第
1図乃至第4図について説明する。
1図乃至第4図について説明する。
なお、本実施例においては、あらかじめ収納するウェハ
の枚数が決定され、これに対応する保持具および蓋の長
さが決定されたのち、ウェハ収納治具を洗浄することを
前提とするものである。
の枚数が決定され、これに対応する保持具および蓋の長
さが決定されたのち、ウェハ収納治具を洗浄することを
前提とするものである。
そのため途中工程でウェハの枚数を変更する必要が生じ
たときには、そのウェハ枚数に対応するウェハ収納治具
を用意するか、あるいは現在使用するウェハ収納治具を
組み付は換えをしたのち、再度洗浄する。(このことは
、後述の本発明の他の一実施例を示す第4図についても
同様である。)第1図乃至第3図に示すように、ウェハ
収納治具1は、ウェハ支持ビン14と本体プレート15
と補助プレート16とを有するウェハ収納治具本体11
と、リンク17と蓋プレート18と、固定リング19と
を有する蓋12と、固定クリップ13とから構成されて
いる。
たときには、そのウェハ枚数に対応するウェハ収納治具
を用意するか、あるいは現在使用するウェハ収納治具を
組み付は換えをしたのち、再度洗浄する。(このことは
、後述の本発明の他の一実施例を示す第4図についても
同様である。)第1図乃至第3図に示すように、ウェハ
収納治具1は、ウェハ支持ビン14と本体プレート15
と補助プレート16とを有するウェハ収納治具本体11
と、リンク17と蓋プレート18と、固定リング19と
を有する蓋12と、固定クリップ13とから構成されて
いる。
上記ウェハ支持ビン14は、第3図に示すように、中央
部外周面に角形状した着脱用溝141を形成し、一端に
オネジ部142を形成し、他端にメネジ部143を形成
し、今収納するウェハlOの枚数が4枚のときには4X
3+3=15個用意し、互いにオネジ部142とメネジ
部143とを螺着して各5個づつを直列に結合したもの
を3組形成する。なお、2個のウェハ支持ビン14の結
合部分には、第2図に示すように1枚のウェハ10を挿
入支持しうるウニ/%セフト溝144を形成している。
部外周面に角形状した着脱用溝141を形成し、一端に
オネジ部142を形成し、他端にメネジ部143を形成
し、今収納するウェハlOの枚数が4枚のときには4X
3+3=15個用意し、互いにオネジ部142とメネジ
部143とを螺着して各5個づつを直列に結合したもの
を3組形成する。なお、2個のウェハ支持ビン14の結
合部分には、第2図に示すように1枚のウェハ10を挿
入支持しうるウニ/%セフト溝144を形成している。
またウェハ支持ビン14の各ピッチP、は振動などによ
ってウェハ10同志が接触して割れ、カケなどの損傷を
発生しない大きさに形成されている。
ってウェハ10同志が接触して割れ、カケなどの損傷を
発生しない大きさに形成されている。
上記本体プレート15は、第2図に示すようにその内側
面の内周方向3カ所にウェハ支持ピン14のオネジ部1
42と螺着するメネジ部151を形成し、それぞれ複数
個直列に結合した3組の支持ピン14の一端部を支持し
ている。
面の内周方向3カ所にウェハ支持ピン14のオネジ部1
42と螺着するメネジ部151を形成し、それぞれ複数
個直列に結合した3組の支持ピン14の一端部を支持し
ている。
上記補強プレート16は第2図に示すように、その内側
面の上記本体プレート15のメネジ部151に対向する
位置に3個のオネジ部161を形成し、3組の支持ピン
14の他端部を支持している。
面の上記本体プレート15のメネジ部151に対向する
位置に3個のオネジ部161を形成し、3組の支持ピン
14の他端部を支持している。
上記リンク17はその内径を、ウェハ支持ビン14およ
びウェハ10に対して空間を有する大きさに形成され1
、そのピッチP2をウェハ支持ビン14のピッチP1と
同一に形成され、かつウェハ支持ビン14と同一数だけ
直列に結合している。
びウェハ10に対して空間を有する大きさに形成され1
、そのピッチP2をウェハ支持ビン14のピッチP1と
同一に形成され、かつウェハ支持ビン14と同一数だけ
直列に結合している。
上記固定クリップ13はバネ板材にて形成され、両端部
が常に内方に折り曲がっていて、その両端部を外方に開
いて本体プレート15と蓋プレート18とを介挿するこ
とにより弾性力によってウェハ収納治具本体11六11
12とを一体に固定させるように形成されている。
が常に内方に折り曲がっていて、その両端部を外方に開
いて本体プレート15と蓋プレート18とを介挿するこ
とにより弾性力によってウェハ収納治具本体11六11
12とを一体に固定させるように形成されている。
本発明によるウェハ収納治具1は前記のように構成され
ているから、つぎにウェハ10を処理するため、その着
脱方法について説明する。
ているから、つぎにウェハ10を処理するため、その着
脱方法について説明する。
まず、あらかじめ収納するウェハの枚数に対応した個数
のウェハ支持ビン14および蓋プレート18を結合して
支持ピン14は本体プレート15および補助プレート1
6に組み付け、蓋プレート18は蓋プレート18および
固定リング19に組み付ける。
のウェハ支持ビン14および蓋プレート18を結合して
支持ピン14は本体プレート15および補助プレート1
6に組み付け、蓋プレート18は蓋プレート18および
固定リング19に組み付ける。
ついで、組み付けられたウェハ収納治具本体11および
蓋12を洗浄したのち、各ウェハセット溝144内にウ
ェハ10を格納する。
蓋12を洗浄したのち、各ウェハセット溝144内にウ
ェハ10を格納する。
ついで1112を移動してその先端部の固定リング19
を本体プレート15の内側面に対接させこれらを固定ク
リップ13にて一体に固定することによって蓋12内に
ウェハ10が密閉される。
を本体プレート15の内側面に対接させこれらを固定ク
リップ13にて一体に固定することによって蓋12内に
ウェハ10が密閉される。
ついで、クリーンされた室内においてウェハ10を出し
入れするときには上記と逆の動作を繰返して蓋12を開
放することにより、ウェハ10を直接ウェハ支持ピン1
4から取り出すことができるので、操作が容易である。
入れするときには上記と逆の動作を繰返して蓋12を開
放することにより、ウェハ10を直接ウェハ支持ピン1
4から取り出すことができるので、操作が容易である。
つぎに前記ウェハ収納治具1を用いてウェハ10の着脱
機構について第4図により説明する。
機構について第4図により説明する。
第4図に示すように、ウェハ着脱装置20は、往復台2
2.固定台26.ウェハ10をウェハ収納治具1にチャ
ージおよびディスチャージするハンドリング装置本体3
0とから構成されている。
2.固定台26.ウェハ10をウェハ収納治具1にチャ
ージおよびディスチャージするハンドリング装置本体3
0とから構成されている。
つぎにウェハ収納治具1内からウェハ10を取り出す方
法について説明する。
法について説明する。
まず、ウェハ収納治具1が本着脱機構に運搬されると、
往復台22が図示しない駆動源に接続する移動軸23に
より32A矢印方向に図示位置まで移動する。このとき
往復台22の上面に支持された本体プレート固定板21
−1および固定台26の上面に支持された蓋プレート固
定板214がそれぞれ図示位置より外方に回動して開い
た状態になっている。
往復台22が図示しない駆動源に接続する移動軸23に
より32A矢印方向に図示位置まで移動する。このとき
往復台22の上面に支持された本体プレート固定板21
−1および固定台26の上面に支持された蓋プレート固
定板214がそれぞれ図示位置より外方に回動して開い
た状態になっている。
この状態で蓋プレート18を固定台26にセントし、固
定台26の外側面に固定され図示されていない蓋プレー
ト固定用駆動源を駆動し、蓋プレート固定板21−2を
元の図示位置まで回動してウェハ収納治具本体11およ
びウェハ10を内部に収納する蓋プレート18を固定す
る。
定台26の外側面に固定され図示されていない蓋プレー
ト固定用駆動源を駆動し、蓋プレート固定板21−2を
元の図示位置まで回動してウェハ収納治具本体11およ
びウェハ10を内部に収納する蓋プレート18を固定す
る。
ついで、往復台22を32B矢印方向に移動し、本体プ
レート15の外側面に接触して停止すると、往復台22
の外側面に固定されたプレート固定板駆動源24が駆動
し、本体プレート固定板21−1が元の図示位置まで回
動して本体プレート15を固定する。
レート15の外側面に接触して停止すると、往復台22
の外側面に固定されたプレート固定板駆動源24が駆動
し、本体プレート固定板21−1が元の図示位置まで回
動して本体プレート15を固定する。
しかるのち、クリップチャック25が作動して固定クリ
ップ13を取り外すと、往復台22が32A矢印方向に
移動してウェハ収納治具本体11およびウェハ10を1
i12から取り出す。
ップ13を取り外すと、往復台22が32A矢印方向に
移動してウェハ収納治具本体11およびウェハ10を1
i12から取り出す。
一方、ウェハハンド31が図示位置からウェハ収納治具
l側に移動および回動し、ウェハ支持ビン14にて支持
されたウェハ10の裏面側を真空吸着してウェハ10を
一点鎖線にて示す処理部に運搬する。
l側に移動および回動し、ウェハ支持ビン14にて支持
されたウェハ10の裏面側を真空吸着してウェハ10を
一点鎖線にて示す処理部に運搬する。
ついでウェハ10をウェハ収納治具1に収納する場合に
は、前記と逆の手順によって行うことができる。
は、前記と逆の手順によって行うことができる。
つぎに本発明の他の一実施例であるウェハ収納治具を示
す第5図について説明する。
す第5図について説明する。
第5図に示すように、ウェハ収納治具40は、スライド
組立方式を利用したもので、中間収納治具411と、端
面収納治具412と、ウェハ保持柱413とを有する収
納治具本体41と、それぞれ中間M421と端面M42
2とウェハ振動板423とを有する蓋42と、固定クリ
ップ13とから構成されている。
組立方式を利用したもので、中間収納治具411と、端
面収納治具412と、ウェハ保持柱413とを有する収
納治具本体41と、それぞれ中間M421と端面M42
2とウェハ振動板423とを有する蓋42と、固定クリ
ップ13とから構成されている。
上記中間収納治具411は、格納するウェハ10の枚数
と同一数だけ設置され、それぞれコ形状をし、その上下
2個の水平壁411aの一方端面には、台形状をした組
立溝411bを形成し、他方の端面には、この組立溝4
11bに嵌挿する組立突起部411cを形成し、外側面
には、端部に上記固定クリップ13にて蓋42と一体に
固定されるフランジ部411dを形成するための溝41
1eを形成し、下方の水平壁411aの内側面には2個
の上記ウェハ保持柱413を間隔をおいて固定し、垂直
壁411fは各2個の水平壁411aの端部と並列方向
に位置をずらしてその両端部に一対の凸部411gおよ
び凹部411hを有するように固定されている。なお上
記2個の水平壁411aの間隔は、ウェハ10をウェハ
保持柱413から取り外して外部に取り出しうる大きさ
に形成されている。
と同一数だけ設置され、それぞれコ形状をし、その上下
2個の水平壁411aの一方端面には、台形状をした組
立溝411bを形成し、他方の端面には、この組立溝4
11bに嵌挿する組立突起部411cを形成し、外側面
には、端部に上記固定クリップ13にて蓋42と一体に
固定されるフランジ部411dを形成するための溝41
1eを形成し、下方の水平壁411aの内側面には2個
の上記ウェハ保持柱413を間隔をおいて固定し、垂直
壁411fは各2個の水平壁411aの端部と並列方向
に位置をずらしてその両端部に一対の凸部411gおよ
び凹部411hを有するように固定されている。なお上
記2個の水平壁411aの間隔は、ウェハ10をウェハ
保持柱413から取り外して外部に取り出しうる大きさ
に形成されている。
上記端面収納治具412は、上記中間収納治具411の
両側面に配置され、(図では手前側の端面収納治具が省
略されている。)それぞれ43矢印方向からみて対称的
なコ形状をし、その上下2端面には、上記組立溝411
bもしくは組立突起部411cと同一形状をした組立溝
412aもしくは組立突起部(図示せず)を形成し、4
3矢印方向と反対側端部には、上記凸部411gもしく
は凹部411hと同一形状をした凸部412bもしくは
凹部(図示せず)を形成している。
両側面に配置され、(図では手前側の端面収納治具が省
略されている。)それぞれ43矢印方向からみて対称的
なコ形状をし、その上下2端面には、上記組立溝411
bもしくは組立突起部411cと同一形状をした組立溝
412aもしくは組立突起部(図示せず)を形成し、4
3矢印方向と反対側端部には、上記凸部411gもしく
は凹部411hと同一形状をした凸部412bもしくは
凹部(図示せず)を形成している。
上記ウェハ保持柱413は、上記各下方の水平壁411
aの内側面に2個宛固定され、それぞれ上端面を円弧状
に形成するとともにその中央部にウェハ10の下方部を
嵌挿支持するウェハ’/R413aを形成している。
aの内側面に2個宛固定され、それぞれ上端面を円弧状
に形成するとともにその中央部にウェハ10の下方部を
嵌挿支持するウェハ’/R413aを形成している。
上記中間M421は、上記中間収納治具411と同一数
だけ設置され、それぞれ一方の側面には角形状をした組
立溝421aを形成し、他方の側面には、この組立溝4
21aに嵌挿する組立突起部421bを形成し、内側上
方部には、ウェハ10の斜上方部を保持するウェハ振動
防止板421cを固定し、その上端部には、上記中間収
納治具411のフランジ部411d上端面と係合するス
トッパ421dを固定している。
だけ設置され、それぞれ一方の側面には角形状をした組
立溝421aを形成し、他方の側面には、この組立溝4
21aに嵌挿する組立突起部421bを形成し、内側上
方部には、ウェハ10の斜上方部を保持するウェハ振動
防止板421cを固定し、その上端部には、上記中間収
納治具411のフランジ部411d上端面と係合するス
トッパ421dを固定している。
上記端面422は、上記中間蓋421の両側面に設置さ
れ、それぞれ内端面には、上記中間蓋421の組立溝4
21aもしくは組立突起部421bと同一形状をした組
立溝422aもしくは組立突起部(図示せず)を形成し
、内側面上端部に上記中間M421のストッパ421d
と同一形状をしたストッパ422bを固定している。
れ、それぞれ内端面には、上記中間蓋421の組立溝4
21aもしくは組立突起部421bと同一形状をした組
立溝422aもしくは組立突起部(図示せず)を形成し
、内側面上端部に上記中間M421のストッパ421d
と同一形状をしたストッパ422bを固定している。
本実施例によるウェハ収納治具40は、前記のように構
成されているから、つぎにウェハ収納治具40の組立お
よびウェハ10の出し入れの手順について説明する。
成されているから、つぎにウェハ収納治具40の組立お
よびウェハ10の出し入れの手順について説明する。
まず、格納するウェハ10の枚数と同一数の中間収納治
具411および中間M421を用意する。
具411および中間M421を用意する。
しかるのち、所定数の中間収納治具411を互いに組立
溝411bと、組立突起部411cとを、および凸部4
11gと凹部411hとをスライドしながら嵌挿して組
み付ける。
溝411bと、組立突起部411cとを、および凸部4
11gと凹部411hとをスライドしながら嵌挿して組
み付ける。
また、所定数の中間M421を互いに組立溝421aと
組立突起部421bとをスライドしながら嵌挿して組み
付ける。
組立突起部421bとをスライドしながら嵌挿して組み
付ける。
ついで、両端の中間収納治具411の組立溝411bお
よび組立突起部411cと端面収納治具412の組立突
起部および組立溝421aとを互いにスライドしながら
嵌挿してウェハ収納治具本体41を組み付ける。
よび組立突起部411cと端面収納治具412の組立突
起部および組立溝421aとを互いにスライドしながら
嵌挿してウェハ収納治具本体41を組み付ける。
また両端の中間M421の組立溝421aおよび組立突
起部421bと、端面M422の組立突起部および組立
溝422aとを互いにスライドしながら嵌挿して蓋42
を組み付ける。
起部421bと、端面M422の組立突起部および組立
溝422aとを互いにスライドしながら嵌挿して蓋42
を組み付ける。
ついでウェハ収納治具本体41および蓋42を洗浄した
のち、所定数のウェハ10をそれぞれウェハ保持柱41
3のウェハ溝413a内に嵌挿して支持させる。
のち、所定数のウェハ10をそれぞれウェハ保持柱41
3のウェハ溝413a内に嵌挿して支持させる。
ついで、蓋42を移動してそのウェハ振動防止板421
cをウェハ10の斜上方に接触させ、かつM42の内側
面をウェハ収納治具41の43矢印方向側端面に対接さ
せるとともにストッパ422bをフランジ部411d上
端面に係合させる。
cをウェハ10の斜上方に接触させ、かつM42の内側
面をウェハ収納治具41の43矢印方向側端面に対接さ
せるとともにストッパ422bをフランジ部411d上
端面に係合させる。
この状態で、固定クリップ13にてフランジ部411d
とストッパ422bとを挟むように固定すると、内部の
ウェハ10を外部と遮断した状態でウェハ収納治具40
が組み立てられる。
とストッパ422bとを挟むように固定すると、内部の
ウェハ10を外部と遮断した状態でウェハ収納治具40
が組み立てられる。
このようにして組立られたウェハ収納治具40は搬送、
保管のさい、蓋42に固定されたウェハ振動防止板42
1cがウェハ10の斜上方部を保持しているので、ウェ
ハ10の振動を防止することができる。
保管のさい、蓋42に固定されたウェハ振動防止板42
1cがウェハ10の斜上方部を保持しているので、ウェ
ハ10の振動を防止することができる。
したがって、本発明のよ−y=Ipbウェハ収納治具は
上記の実施例から明らかなように、格納するウェハの枚
数に対して柔軟な対応ができる保管スペースを存するの
で、保管スペースの効率向上をはかることができる。
上記の実施例から明らかなように、格納するウェハの枚
数に対して柔軟な対応ができる保管スペースを存するの
で、保管スペースの効率向上をはかることができる。
また、外気との空気の流れを遮断できるウェハ収納治具
および蓋が構成されているので、ウェハへの異物付着を
防止できるとともに蓋を外すことでウェハの取り置きを
容易に行なうことができ、これによって治具のハンドリ
ング工数を減少しかつ異物発生を防止することができる
。
および蓋が構成されているので、ウェハへの異物付着を
防止できるとともに蓋を外すことでウェハの取り置きを
容易に行なうことができ、これによって治具のハンドリ
ング工数を減少しかつ異物発生を防止することができる
。
なお、前記の各実施例はウェハ収容に関するものである
が、これに限定されるものではなく、たとえば異物の付
着を嫌う物品あるいはスペース効率が問題になる場合に
適用できる。
が、これに限定されるものではなく、たとえば異物の付
着を嫌う物品あるいはスペース効率が問題になる場合に
適用できる。
本発明によればつぎに述べるような効果が得られる。
(11被収納物があるウェハを生産計画に応じ、ロフト
のサイズを自由に編成しても、おのおのの収納枚数に追
随できるフレキシブル構造の収納治具であるために、従
来の定形サイズのキャリアに比較して、作業スペース、
保管スペースを有効に利用することができる。
のサイズを自由に編成しても、おのおのの収納枚数に追
随できるフレキシブル構造の収納治具であるために、従
来の定形サイズのキャリアに比較して、作業スペース、
保管スペースを有効に利用することができる。
(2)収納治具本体、蓋をクリップにより収納治具内部
を密閉した雰囲気を確保できるので、搬送時および保管
時に外部の塵埃などの異物の付着を防止することができ
る。
を密閉した雰囲気を確保できるので、搬送時および保管
時に外部の塵埃などの異物の付着を防止することができ
る。
(3)従来のキャリアとウェハ搬送ボックスの二重の容
器であったために、ウェハのハンドリング時は二重の操
作が必要であったが、本発明では、蓋を外す1回のハン
ドリング機構でウェハを取り出せるため、機構の簡素化
に伴い安価な装置となる、また人が介在する場合には、
ハンドリング工数が少ない工数ですむ、さらに、ハンド
リングにともなう振動回数が少ないことにより、ウェハ
と治具間においての振動等による異物発生の防止と異物
付着の防止をすることができる。
器であったために、ウェハのハンドリング時は二重の操
作が必要であったが、本発明では、蓋を外す1回のハン
ドリング機構でウェハを取り出せるため、機構の簡素化
に伴い安価な装置となる、また人が介在する場合には、
ハンドリング工数が少ない工数ですむ、さらに、ハンド
リングにともなう振動回数が少ないことにより、ウェハ
と治具間においての振動等による異物発生の防止と異物
付着の防止をすることができる。
第1図は本発明の一実施例であるウェハ収納治具を示す
斜視図、第2図は第1図に示すウェハ収納治具本体の拡
大正面図、第3図は第1図および第2図に示すウェハ支
持ビンの一部断面拡大図・第4図は本発明が適用するウ
ェハ着脱装置の一例を示す斜視図、第5図は本発明の他
の一実施例であるウェハ収納治具を示す斜視図である。 l・・・ウェハ収納治具、10・・・ウェハ、11・・
・ウェハ収納治具本体、12・・・蓋、13・・・固定
クリップ、14・・・ウェハ支持ビン。
斜視図、第2図は第1図に示すウェハ収納治具本体の拡
大正面図、第3図は第1図および第2図に示すウェハ支
持ビンの一部断面拡大図・第4図は本発明が適用するウ
ェハ着脱装置の一例を示す斜視図、第5図は本発明の他
の一実施例であるウェハ収納治具を示す斜視図である。 l・・・ウェハ収納治具、10・・・ウェハ、11・・
・ウェハ収納治具本体、12・・・蓋、13・・・固定
クリップ、14・・・ウェハ支持ビン。
Claims (1)
- 1.収納する部材の数量に対応する個数を分離可能に結
合して上記部材を間隔をおいて整列可能に保持する保持
具と、この保持具および上記部材を空間を有するように
覆う大きさに形成され、上記保持具と同一ピツチで同一
個数だけ分離可能に結合し、一端部を密閉し、他端開口
部から上記保持具および上記部材を挿入して上記保持具
の端部に対接したとき、内部を密閉される蓋とから構成
されていることを特徴とする収納治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62281119A JPH01124233A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62281119A JPH01124233A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 収納治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01124233A true JPH01124233A (ja) | 1989-05-17 |
Family
ID=17634621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62281119A Pending JPH01124233A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 収納治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01124233A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0840489A (ja) * | 1994-07-29 | 1996-02-13 | Nec Corp | マガジンラック |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62281119A patent/JPH01124233A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0840489A (ja) * | 1994-07-29 | 1996-02-13 | Nec Corp | マガジンラック |
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R250 | Receipt of annual fees |
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