JPH01120032A - ウェーハの位置検出装置 - Google Patents

ウェーハの位置検出装置

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JPH01120032A
JPH01120032A JP62277896A JP27789687A JPH01120032A JP H01120032 A JPH01120032 A JP H01120032A JP 62277896 A JP62277896 A JP 62277896A JP 27789687 A JP27789687 A JP 27789687A JP H01120032 A JPH01120032 A JP H01120032A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ウェーハのオリエンテーションフラットを検
出すると共に、該ウェーハの中心出しを行なうウェーハ
の位置検出装置に関する。
「従来の技術」 従来、ウェーハのオリエンテーションフラットを検出す
る装置としては、ウェーハを持上げて回転させ、オリフ
ラ部の両端を光学式センサーで検出し、その間の角度を
ステッピングモーターの回転量から計算し、その角度の
１／２が所定の位置に来るまで補正するものが知られて
いる。
また、ウェーハの回転中心出しを行なう装置としては、
漏斗状の凹所を利用して、その中につ工−ハを落とし、
振動を与えてウェーハを水平にして中心を出すもの、あ
るいは、回転テーブル上にウェーハを載せて、回転させ
、その時のウェーハの外周と回転テーブルの回転中心と
のずれを検出してそのずれ分を補正するものが知られて
いる。
［発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、上記従来のウェーハのオリエンテーショ
ンフラットを検出するものにあっては、装置が複雑で、
かつ光学式センサーでのオリフラ部の端部検出精度が低
い上に、検出装置を設置するためのスペースが必要とな
る。−また、上記従来のウェーハの回転中心出し装置に
おいても、上記オリエンテーションフラット検出用装置
と同横の問題点を有する。
このように、従来のウェーハのオリエンテーションフラ
ット検出と、ウェーハの中心出しは、それぞれ、別々の
メカニズムによって行なわれ、専用の装置を必要として
いた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ウェーハのオリエンテーションフラッ
ト検出と中心出しとを同時にかつ高精度に行なうことが
できると共に、設置スペースをとることがないウェーハ
の位置検出装置を提Ｕ（することにある。
「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本発明は、ハンドベースの
軸線に対して対称な位置に、一対のガイドローラをそれ
ぞれ設け、かつ上記ハンドベースの軸線上の位置に、位
置決めストッパを上記ハンドベースの軸線に沿って移動
自在に設けたものである。
「作用」 本発明のウェーハの位置検出装置にあっては、一対のガ
イドローラの間にウェーハを挾持し、位置決めストッパ
をウェーハのオリエンテーションフラット面（以下オリ
フラ面と称する）に押し当てろことにより、ウェーハの
オリフラ部が位置決めストッパに密接するまでウェーハ
を回転させる。
そして、停止した位置において、ウェーハのオリエンテ
ーションフラット検出及び中心出しが完了する。
「実施例」 以下、第１図ないし第４図に基づいて本発明の一実施例
を説明する。
図中符号１は、ウェーハカセット２に収納されたウェー
ハ３を取出すためのロボット等の移送装置（図示せず）
に取付けられたハンドベースであり、このハンドベース
Ｉは、矩形状のベース本体ｌＯと、このベース本体１０
の軸Ｒ（ｌに対して所定角度Ｏ（例えば、５０〜６０°
）分岐した一対の翼部１１とから構成されている。そし
て、上記ベース本体１０の一端には、シリンダ４が設置
され、かつベース本体ＩＯの他端には、矩形状の窓部Ｉ
２が形成されている。この窓部１２内には、摺動部材５
が上記ベース本体１０（ハンドベースｌ）の軸線Ｑに沿
って摺動自在に嵌め付けられており、この摺動部材５に
は、位置決めストッパ６がその基草面６ａを上記軸線Ｑ
に対して直交するように配置して固定されている。また
、上記摺動部材５とベース本体１０の他端との間には、
該摺動部材５をベース本体１０の他端側に付勢するスプ
リング７が取付けられている。さらに、上記シリンダ４
のピストンロッドの先端と位置決めストッパ６との間に
はワイヤ８が連結されている。さらにまた、上記ハンド
ベースｌの両翼部！Ｉには、それぞれガイドローラ９が
、真の中心０から上記ウェーハ３の外径の１／２の位置
に配置された状態で回転自在に設けられている。
上記ウェーハ３を収納するウェーハカセット２は、例え
ば、第３図と第４図に示すように、内面にウェーハ３を
収納する溝２０を有し、かつ上部に外方に張り出す張り
出し部２１を形成してなる一対の側板２２と、これらの
側板２２の前後部にそれぞれ一体的に形成された府後支
持板２３．２４とから構成されている。そして、これら
の前後支持板２３．２４　　はそれぞれ略Ｕ字状及びＩ
−（字状に形成されたものである。
上記のように構成されたウェーハの位置検出装置を用い
て、ウェーハカセット２内に収納されたウェーハ３のオ
リエンテーションフラット検出及び中心出しを行なう場
合には、まず、ロボット等の移送装置に取付けられたハ
ンドベースｌをウェーハカセット２の下方から内部に挿
入する。この時、ウェーハカセット２内のウェーハ３に
形成されたオリエンテーションフラット（オリフラ部）
３０は、第１図では上方を向いているか、実際はつニー
バカセットの溝に平行に置かれ、−船釣には開口部の反
対側に位置すると共に、２つのガイドローラ９及び位置
決めストッパ６は、対象とされるウェーハ３に接触して
いない。
次いで、ハンドベースｌを上記ウェーハ３の側面に対向
するように配置した後に、両ガイドローラ９で持上げ気
味に保持する。ここで、上記つ工−ハ３は、第１図に示
すように、ウェーハ３の中心線ｍがハンドベースｌの軸
線Ｑに対して角度α傾斜しており、ウェーハ３のオリフ
ラ部３０の端部３１と中心０とを結ぶ直線と上記軸線Ｑ
とが角度±β　（但しこの角度は一定ではない、ランダ
ムにおかれる）だけ傾いている。この状態において、位
置決めストッパ６を、シリンダ４によりワイヤ８を介し
てウェーハ３側に押し付けると、ウェーハ３のオリフラ
部３０の端部３１と位置決めストッパ６とが接触し、か
つウェーハ３の外周とガイドローラ９とが接触する。そ
して、上記ガイドローラ９は、真の中心０からウェーハ
３の外径の１／２の位置に設けられているから、上記位
置決めストッパ６からウェーハ３が抑圧力Ｆを受けるこ
とにより、ウェーハ３のオリフラ部３０の端部３１にお
いて、接線方向の力ｒ（＝　Ｆ　ｓｉｎβ）が働き、ウ
ェーハ３は、真の中心Ｏを回転中心として第１図におい
て時計回り又は反時計回りに回転しながら、位置決めス
トッパ６の基準面６ａとオリフラ部３０のオリフラ面３
２とが一致して密接するまで動き、一致した時点で停止
する。この停止した状態において、ウェーハ３のオリフ
ラ面３２は位置決めストッパ６の基準面６ａに完全に密
着しており、従って、オリエンテーションフラット検出
が完了していると共に、ハンドベース１の指示する中心
０にウェーハ３の中心が位置しており、従って、ウェー
ハ３の中心出しも完了している。このようにして、ウェ
ーハ３の中心とオリフラ面３２との距離の公差に無関係
に正確なオリフラ面３２を検出できろ。
そして、これらの作業が終了した時点で、さらにハンド
ベースｌを持上げ、ウェーハカセット２の溝２０からウ
ェーハ３を浮上がらせてウェーハ３を取出すと共に、ハ
ンドベースｌをウェーハカセット２から引出して次の作
業位置に移動させる。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明は、ハンドベースの軸線に
対して対称な位置に、一対のガイドローラをそれぞれ設
け、かつ上記ハンドベースの軸線上の位置に、位置決め
ストッパを上記ハンドベースの軸線に沿って移動自在に
設けたものであるから、一対のガイドローラの間にウェ
ーハを挾持し、位置決めストッパをウェーハのオリエン
テーションフラット面（以下オリフラ面と称する）に押
し当てることにより、ウェーハのオリフラ面が位置決め
ストッパに密接するまでウェーハを回転させ、ウェーハ
のオリエンテーションフラット検出及び中心出しを同時
にかつ高精度に行なうことができると共に、設置スペー
スをとることがないという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図と第２図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は正面図、第２図は側面図、第３図と第４図はウェー
ハカセットの一例を示すもので、第３図は斜視図、第４
図は平面図である。 ｌ・・・・・・ハンドベース、３・・・・・・ウェーハ
、６・・・・・・位置決めストッパ、９・・・・・・ガ
イドローラ、３２・・・・・・オリフラ面、ａ・・・・
・・軸線。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　ウェーハのオリエンテーションフラットを検出すると
    共に、該ウェーハの中心出しを行なうウェーハの位置検
    出装置であって、ハンドベースの軸線に対して対称な位
    置に、一対のガイドローラがそれぞれ設けられ、かつ上
    記ハンドベースの軸線上の位置に、位置決めストッパが
    上記ハンドベースの軸線に沿って移動自在に設けられた
    ことを特徴とするウェーハの位置検出装置。
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