JP7504802B2 - 固体撮像素子、固体撮像装置及び電子機器 - Google Patents

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Description

本開示は、固体撮像素子、固体撮像装置及び電子機器に関する。
小型化するとともに画素の開口率を向上させるため、画素が配置された画素基板と、周辺回路が実装されたロジック基板とを積層して構成された撮像装置が知られている。
例えば、画素基板には画素が2次元格子状に配置されており、画素から出力された画素信号を処理するアナログデジタル変換器をロジック基板に配置する撮像装置が提案されている(例えば、特許文献1)。
国際公開第2016/009832号
しかしながら、上記の従来技術では、画素とアナログデジタル変換器とが異なる基板に配置されているため、画素とアナログデジタル変換器とを接続する配線が長くなる。アナログの画素信号は信号レベルが比較的弱いため、配線を伝達する際にノイズの影響を受けやすい。そのため、ノイズの影響を軽減することのできる技術が望まれている。
そこで、本開示では、ノイズの影響を軽減することのできる固体撮像素子、固体撮像装置及び電子機器を提案する。
上記の課題を解決するために、本開示に係る一形態の固体撮像素子は、画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、前記画素回路は、参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する。
本開示の実施形態に係る固体撮像素子の構成要素の一例を示すブロック図である。 本開示の実施形態に係る固体撮像素子の積層構造を説明するための模式図である。 本開示の実施形態に係る画素の構成を示す模式図である。 本開示の実施形態に係る画素回路の構成を示す回路図である。 本開示の実施形態に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態に係る画素の断面の構成の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第1変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第2変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第3変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第4変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第4変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第4変形例に係る画素を示す回路図である。 本開示の実施形態の第5変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第5変形例に係る画素の断面の構成の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第6変形例に係る画素内のトランジスタの配置の一例を示す模式図である。 本開示の実施形態の第6変形例に係る画素の断面の構成の一例を示す模式図である。 固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。 内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。 カメラヘッド及びCCUの機能構成の一例を示すブロック図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
以下に、本開示の実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。
また、以下に示す項目順序に従って本開示を説明する。
1.実施形態
1-1.固体撮像素子の構成
1-2.固体撮像素子の積層構造
1-3.画素回路の構成
2.第1変形例
3.第2変形例
4.第3変形例
5.第4変形例
6.第5変形例
7.第6変形例
8.固体撮像装置への適用例
9.内視鏡手術システムへの応用例
10.移動体への応用例
(1.実施形態)
[1-1.固体撮像素子の構成]
図1を用いて、本開示の実施形態に係る固体撮像素子の構成要素について説明する。図1は、本開示の実施形態に係る固体撮像素子の構成要素の一例を示すブロック図である。本開示の実施形態に係る固体撮像素子は、デジタルカメラなどを搭載する種々の電子機器に適用することができる。
図1に示すように、固体撮像素子1は、画素アレイ部110と、画素駆動回路220と、DAC230と、垂直駆動回路240と、タイミング生成回路250と、出力部260とを備える。
画素アレイ部110には、複数の画素111が2次元アレイ状に配列されている。画素111の構成については後述する。
画素駆動回路220は、例えば、画素111内の図3に示される画素回路を駆動する。
DAC230は、例えば、時間経過に応じて電圧が単調減少する参照信号REFを生成する。DAC230は、例えば、生成した参照信号REFを画素111に出力する。
垂直駆動回路240は、例えば、画素111内で生成されたデジタルの画素信号を、タイミング生成回路250から供給されるタイミング信号に基づいて、所定の順番で出力部260に出力させる制御を行う。
タイミング生成回路250は、例えば、各種のタイミング信号を生成する。タイミング生成回路250は、例えば、生成した各種のタイミング信号を、画素駆動回路220、DAC230及び垂直駆動回路240などに出力する。
[1-2.固体撮像素子の積層構造]
図2を用いて、本開示の実施形態に係る固体撮像素子の積層構造について説明する。図2は、本開示の実施形態に係る固体撮像素子の積層構造を説明するための模式図である。
図2に示すように、固体撮像素子1は、第1基板100と、第2基板200とが積層された構造を有している。固体撮像素子1は、例えば、画素アレイ部110と、ロジック回路210と、画素駆動回路220と、DAC(Digital to Analog Converter)230と、垂直駆動回路240と、タイミング生成回路250と、出力部260とを備える。
第1基板100と、第2基板200とは、例えば、第1基板100及び第2基板200をそれぞれチップに個片化した後、これら個片化された第1基板100及び第2基板200を貼り合わせる、いわゆるCoC(Chip on Chip)方式で貼り合わせればよい。また、第1基板100と第2基板200とのうち一方(例えば、第1基板100)をチップに個片化した後、この個片化された第1基板100を個片化前(すなわち、ウエハ状態)の第2基板200に貼り合わせる、いわゆるCoW(Chip on Wafer)方式で貼り合わせてもよい。さらに、第1基板100と第2基板200とを共にウエハの状態で、いわゆるWoW(Wafer on Wafer)方式で貼り合わせてもよい。
第1基板100と第2基板200との接合方法には、例えば、プラズマ接合等を使用することができる。ただし、これに限定されず、種々の接合方法が用いられてよい。
第1基板100と、第2基板200とのサイズは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。第1基板100と、第2基板200とは、例えば、シリコン基板などの半導体基板である。
第1基板100には、例えば、画素アレイ部110が配置されている。
第2基板200には、例えば、ロジック回路210と、画素駆動回路220と、DAC230と、垂直駆動回路240と、タイミング生成回路250と、出力部260とを備える。
図3を用いて、本実施形態に係る画素111について説明する。図3は、本実施形態に係る画素111の構成を示すブロック図である。
図3に示すように、画素111は、画素回路20と、カレントミラー回路30とを備える。
画素回路20は、具体的には後述するが、例えば、受光した光の光量に応じた電荷信号を生成し、かつ蓄積する光電変換部を有し、アナログの画素信号を生成する。また、画素回路20は、例えば、生成したアナログの画素信号をデジタルの画素信号に変換する機能を有している。すなわち、画素回路20は、生成したアナログの画像信号を、自らデジタルの画像信号に変換する。具体的には、画素回路20には、DAC230から参照信号REFが入力されるトランジスタと、バイアス電流が入力されるトランジスタとを備えている。
カレントミラー回路30は、画素信号SIGが参照信号REFよりも大きい場合に、所定の信号を周辺回路270に出力する。
[1-3.画素回路の構成]
図4を用いて、本開示の実施形態に係る画素回路の構成について説明する。図4は、本開示の実施形態に係る画素回路の構成を示す回路図である。
図4に示すように、画素回路20は、光電変換部21と、排出トランジスタ22と、転送トランジスタ23と、リセットトランジスタ24と、浮遊拡散層(FD)25と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを備える。すなわち、本実施形態は、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とが、画素回路20の内部に配置されている。言い換えれば、本実施形態は、画素回路20の内部に、参照信号の電流源と、バイアス電流の電流源とが配置されている。
カレントミラー回路30は、トランジスタ31と、トランジスタ32とを有している。トランジスタ31と、トランジスタ32とは、例えば、PMOSトランジスタで構成される。
光電変換部21は、例えば、光を受光して光電変換を実行し、受光した光の光量に応じた電荷を生成する。光電変換部21は、例えば、フォトダイオードで実現することができる。
排出トランジスタ22は、露光期間を調整する場合に使用される。具体的には、露光期間を任意のタイミングで開始したいときに排出トランジスタをオンにすると、それまでの間に光電変換部21に蓄積されていた電荷が、オーバーフロードレイン41に排出される。そのため、排出トランジスタ22が次にオフされた以降から、露光期間が開始されることになる。
転送トランジスタ23は、光電変換部21で生成された電荷を浮遊拡散層25に転送する。
リセットトランジスタ24は、浮遊拡散層25に保持されている電荷をリセットする。
増幅トランジスタ26のゲートは、浮遊拡散層25に接続されている。このため、増幅トランジスタ26は、浮遊拡散層25から出力される電荷信号を増幅する。増幅トランジスタ26のソースは、バイアストランジスタ28のドレインと接続されている。ここで、増幅トランジスタのソースと、バイアストランジスタ28とのドレインとは、引き回し配線61によって接続されている。増幅トランジスタ26のドレインは、トランジスタ32のドレインと接続されている。
参照トランジスタ27は、増幅トランジスタ26と差動対を構成している。すなわち、画素回路20には、差動増幅部の一部が設けられている。具体的には、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28と、カレントミラー回路30とで差動増幅部として機能する。参照トランジスタ27のゲートには、DAC230から出力された参照信号REFが入力される。参照トランジスタ27のソースは、バイアストランジスタ28のドレインと接続されている。ここで、参照トランジスタ27のソースと、バイアストランジスタ28のドレインとは、引き回し配線61によって接続されている。参照トランジスタ27のドレインは、トランジスタ31及びトランジスタ32のゲートと接続されている。また、参照トランジスタ27のドレインは、トランジスタ31のドレインと接続されている。
バイアストランジスタ28のゲートは、図示しない電流源に接続されている。そして、バイアストランジスタ28のゲートには、電流源から電流信号を出力する。バイアストランジスタ28のソースはGNDに接続されている。このため、バイアストランジスタ28は、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27とに対し、バイアス電流Vbを出力する。
上述したように、画素回路20は、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを有している。そのため、画素回路20の内部において、アナログの画素信号を、デジタルの画素信号に変換することができる。その結果、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを接続する引き回し配線61を短くすることができる。これにより、ノイズの影響を低減することができる。
図5を用いて、画素回路20内における各トランジスタの配置例について説明する。図5は、本開示の実施形態に係る各トランジスタの配置の一例を示す模式図である。
光電変換部21には、第1排出トランジスタ21-1と、第2排出トランジスタ21-2と、転送トランジスタ23と接続されている。この場合、第1排出トランジスタ21-1は、第1オーバーフロードレイン41-1に、光電変換部21に蓄積されている電荷を排出する。具体的には、第1排出トランジスタ21-1は、光電変換部21において、第2排出トランジスタ21-2よりも第1排出トランジスタ21-1側に蓄積されている電荷を排出する。第2排出トランジスタ21-2は、第2オーバーフロードレイン41-2に、光電変換部21に蓄積されている電荷を排出する。具体的には、第2排出トランジスタ21-2は、光電変換部21において、第1排出トランジスタ21-1よりも第2排出トランジスタ21-2側に蓄積されている電荷を排出する。このように、光電変換部21に2つの排出トランジスタを接続することで、光電変換部21に蓄積された電荷を効率的に排出することができる。
光電変換部21には、第1排出トランジスタ21-1と、第2排出トランジスタ21-2との2つのトランジスタに接続されているが、これは例示であり、本開示を限定するものではない。光電変換部21に接続されている排出トランジスタの数は、1つであってもよいし、3個以上であってもよい。すなわち、光電変換部21には、少なくとも1つの排出トランジスタが接続されていればよい。また、光電変換部21に複数の排出トランジスタを接続する場合には、それぞれを同じ辺に接続してもよいし、異なる辺に接続してもよい。
転送トランジスタ23は、上述したように、光電変換部21で生成された電荷を浮遊拡散層25に転送する。浮遊拡散層25は、グランドパッドGNDと、増幅トランジスタ26に接続されている。なお、画素回路20にいて、グランドはSUBパットにより決められる。
リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27は、直線状に配置されている。リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27は、第1拡散層51によって電気的に接続されている。端子CULと、端子CURとは、増幅トランジスタ26や、参照トランジスタ27の出力信号を周辺回路に出力させるための端子である。
バイアストランジスタ28は、第1拡散層51とは異なる第2拡散層52と電気的に接続されている。ここで、第1拡散層51と、第2拡散層52とは、電気的に接続されていない。そのため、バイアストランジスタ28と、増幅トランジスタ26及び参照トランジスタ27との間を引き回し配線61で電気的に接続している。
上述のとおり、本実施形態では、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを画素回路20に配置し、引き回し配線61によって、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを電気的に接続している。これにより、定電流源として機能するバイアストランジスタ28が画素回路20の外部に配置されている場合と比較して、引き回し配線の長さを短くすることができる。これにより、ノイズの影響が軽減される。
図6は、実施形態に係る画素の断面の構成を示す模式図である。図6には、第1基板上に形成された、光電変換部21と、排出トランジスタ22と、転送トランジスタ23と、リセットトランジスタ24と、浮遊拡散層25とが示されている。排出トランジスタ22の左部には、ドナーが比較的多くドープされたN+層が形成されている。光電変換部21は、排出トランジスタ22と、転送トランジスタ23との間に設けられており、N型の半導体の上部にP+層を積層することで構成されている。浮遊拡散層25は、N+層で形成されている。また、第1基板100と、第2基板200とは、例えば、それぞれに形成されているN+層間を繋ぐように設けられた接続配線70によって接続されている。
(2.第1変形例)
図7を用いて、本実施形態の第1変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図7は、本実施形態の第1変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図7に示すように、リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27は、直線状に配置されている。リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27は、第1拡散層51によって電気的に接続されている。バイアストランジスタ28は、第1拡散層51とは異なる第2拡散層52と電気的に接続されている。
ここで、画素回路20Aにおいて、第1拡散層51に沿って、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、この順で配置されている。これにより、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを電気的に接続する引き回し配線61の長さをより短くすることができる。その結果、ノイズの影響をより軽減することができる。
第1変形例において、参照トランジスタ27のソースと、バイアストランジスタ28のドレインが接続されているグランドノードとが隣接していることが好ましい。参照トランジスタ27のソースを、グランドに隣接させることで暗電流を抑制することができる。
(3.第2変形例)
図8を用いて、本実施形態の第2変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図8は、本実施形態の第2変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図8に示すように、リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、同一の第3拡散層53によって、電気的に接続されている。すなわち、リセットトランジスタ24と、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、拡散層を共有している。具体的には、第3拡散層には、バイアストランジスタ28のドレインが接続されている。そのため、第2変形例では、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とを電気的に接続する引き回し配線61を設ける必要がなくなる。これにより、第2変形例は、例えば、コストを削減することができる。また、引き回し配線61の引き回しパターンを考慮しなくともよいため、設計が容易になる。
(4.第3変形例)
図9を用いて、本実施形態の第3変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図9は、本実施形態の第3変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図9には、第1画素回路20C-1と、第2画素回路20C-2とが示されている。第1画素回路20C-1は、図5に示した画素回路20と同様の構成を有している。第2画素回路20C-2は、バイアストランジスタ28を備えていない点で図5に示した画素回路20とは異なっている。
図9に示すように、第1画素回路20C-1と、第2画素回路20C-2とは、第1画素回路20C-1が備えるバイアストランジスタ28を共有している。具体的には、第2画素回路20C-2と、バイアストランジスタ28とは、第1画素回路20C-1と、第2画素回路20C-2との間に設けられた引き回し配線61によって接続されている。この場合、バイアストランジスタ28は、第1画素回路20C-1及び第2画素回路20C-2それぞれの増幅トランジスタ26及び参照トランジスタ27にバイアス電流を出力する。これにより、固体撮像素子の全体で使用するバイアストランジスタ28の個数を少なくすることができる。その結果、コストを削減することができる。
なお、図9では、バイアストランジスタを2つの画素回路で共有している構成について説明したが、これは例示であり、本開示を限定するものではない。本開示は、3個以上の画素回路で、バイアストランジスタを共有してもよい。この場合、例えば、複数の画素に渡って引き回し配線も設ければよい。さらに、本開示では、バイアストランジスタを備えた複数の画素回路と、バイアストランジスタを備えていない複数の画素回路とを組み合わせてもよい。
(5.第4変形例)
図10を用いて、本実施形態の第4変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図10は、本実施形態の第4変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図10には、第1画素回路20D-1と、第2画素回路20D-2とは、それぞれ、バイアストランジスタ28を備えていない点で図5に示した画素回路20とは異なっている。
第4変形例では、バイアストランジスタ28は、例えば、画素アレイ部の周辺回路に搭載されている。すなわち、第4変形例では、増幅トランジスタ26及び参照トランジスタ27は第1画素回路20D-1及び第2画素回路20D-2内に配置されているが、バイアストランジスタ28は外部に配置されている。
第1画素回路20D-1と、第2画素回路20D-2とは、外部に配置されたバイアストランジスタ28を共有している。具体的には、第1画素回路20D-1と、第2画素回路20D-2とは、例えば、引き回し配線61によって、バイアストランジスタ28と電気的に接続されている。この場合、バイアストランジスタ28は、第1画素回路20D-1及び第2画素回路20D-2それぞれの増幅トランジスタ26及び参照トランジスタ27にバイアス電流を入力する。これにより、固体撮像素子の全体で使用するバイアストランジスタ28の個数を少なくすることができる。その結果、コストを削減することができる。
なお、図10では同じ基板内の画素回路間でバイアストランジスタ28を共有するものとして説明したが、これは例示であり、本開示を限定するものではない。本開示は、例えば、異なる基板に配置されている画素回路間でバイアストランジスタ28を共有してもよい。
図11は、異なる基板内に設けられた画素回路間でバイアストランジスタ28を共有する例を示す模式図である。図11に示すように、バイアストランジスタ28は、例えば、第1画素回路20D-1が配置されている基板と、第2画素回路20D-2が配置されている基板との、間の基板に設けられていてもよい。また、図11において、バイアストランジスタ28は、例えば、第1画素回路20D-1や、第2画素回路20D-2に配置されていてもよい。さらに、図11において、2層以上の複数の基板に設けられた画素回路間で、バイアストランジスタ28を共有してもよい。
図12は、本実施形態の第4変形例に係る画素回路を示す回路図である。図12に示すように、第1画素回路20D-1と、第2画素回路20D-2とは、バイアストランジスタ28が外部に設けられている点を除き、図4に示した画素回路20と同様の回路構成を有している。また、第4変形例では、第1画素回路20D-1は第1カレントミラー回路30-1と接続され、第2画素回路20D-2は第2カレントミラー回路30-2と接続されている。
なお、図10~図12では、2つの画素回路間で、画素回路の外部に設けられた1つのバイアストランジスタを共有する構成について説明したが、これは例示であり、本開示を限定するものではない。本開示では、外部に設けられた1つのバイアストランジスタを3個以上の画素回路で共有してもよい。また、外部に設けられた2つ以上のバイアストランジスタを、複数の画素回路で共有してもよい。バイアストランジスタを2つ以上設けることで、複数の画素回路は、安定してバイアス電流を受けることができるようになる。
(6.第5変形例)
図13を用いて、本実施形態の第5変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図13は、本実施形態の第5変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図13に示すように、本実施形態に係る画素回路20Eは、バイアストランジスタ28が、画素回路20Eが設けられている基板とは異なる基板に設けられている点で、図5に示した画素回路20とは異なっている。
図14は、画素回路20Eの断面の一例を示す模式図である。図14に示す例では、例えば、画素回路20Eは、第1基板100に配置されているものとする。そして、第1基板100に積層された第2基板200Aには、例えば、画素領域80と、ロジック領域90とを有しているものとする。この場合、例えば、バイアストランジスタ28は、第1基板100とは異なる第2基板200Aの画素領域80に設けられており、図14には図示されていない、増幅トランジスタ26及び参照トランジスタ27にバイアス電流を供給する。なお、バイアストランジスタ28は、例えば、ロジック領域90に配置されていてもよい。図14において、第1基板100の構成は、図6と同様なので説明は省略する。
(7.第6変形例)
図15を用いて、本実施形態の第6変形例に係る画素内のトランジスタの配置について説明する。図15は、本実施形態の第6変形例に係る画素内のトランジスタの配置を示す模式図である。
図15に示すように、本実施形態に係る画素回路20Fは、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とが、画素回路20Fが設けられている基板とは異なる基板に設けられている点で、図5に示した画素回路20とは異なっている。
第6変形例の断面は、例えば、図14に示した第5変形例の画素回路20Eと同様の構成を有している。この場合、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、例えば、画素領域80に配置されている。なお、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、ロジック領域90に配置されていてもよい。また、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、画素領域80と、ロジック領域90とに分かれて配置されていてもよい。
また、第6変形例では、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、例えば、3つ以上の基板に分かれて配置されていてもよい。図16は、画素回路20Fの断面の一例を示す模式図である。図16に示す例では、第1基板100と、第2基板200Bと、第3基板300とが示されている。ここで、画素回路20Fは、例えば、第1基板100に配置されているものとする。そして、第2基板200Bは、ロジック回路などの周辺回路が配置されているロジック基板であるものとする。また、第1基板100と、第2基板200Bとの間に位置する第3基板300は、画素基板であるものとする。
図16に示す例の場合、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27と、バイアストランジスタ28とは、例えば、第2基板200Bと、第3基板300とに分かれて配置されている。この場合、例えば、増幅トランジスタ26と、参照トランジスタ27とを第2基板200Bに配置して、バイアストランジスタ28を第3基板300配置するようにすればよい。この場合、第1基板100と、第3基板300とは、例えば、それぞれに形成されているN+層間を繋ぐように設けられた接続配線70-1によって接続されている。また、第2基板200Bと、第3基板300とは、例えば、それぞれに形成されているN+層間を繋ぐように設けられた接続配線70-2によって接続されている。
(8.固体撮像装置への適用例)
また、上述したような、各固体撮像素子は、例えば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどの撮像システム、撮像機能を備えた携帯電話機、または、撮像機能を備えた他の機器といった各種の電子機器に適用することができる。
図17を用いて、電子機器に搭載される固体撮像装置の構成例について説明する。図17は、電子機器に搭載される固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。
図17に示すように、固体撮像装置1010は、光学系1020と、固体撮像素子1030と、DSP(Digital Signal Processor)1040を備えている。DSP1040は、バス1070を介して、表示装置1050と、操作系1060と、メモリ1080と、記録装置1090と、電源系1100とが接続されて構成されている。このような構造を有しているので、固体撮像装置1010は、静止画像および動画像を撮像可能である。
光学系1020は、1枚または複数枚のレンズを有して構成され、被写体からの像光(入射光)を固体撮像素子1030に導き、固体撮像素子1030の受光面(センサ部)に結像させる。
固体撮像素子1030とはしては、上述した各固体撮像素子が適用される。固体撮像素子1030には、光学系1020を介して受光面に結像される像に応じて、一定期間、電子が蓄積される。そして、固体撮像素子1030に蓄積された電子に応じた信号がDSP1040に供給される。
DSP1040は、固体撮像素子1030からの信号に対して各種の信号処理を施して画像を取得し、その画像のデータを、メモリ1080に一時的に記憶させる。メモリ1080に記憶された画像のデータは、記録装置1090に記録されたり、表示装置1050に供給されて画像が表示されたりする。また、操作系1060は、ユーザによる各種の操作を受け付けて固体撮像装置1010の各ブロックに操作信号を供給し、電源系1100は、固体撮像装置1010の各ブロックの駆動に必要な電力を供給する。
(9.内視鏡手術システムへの応用例)
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
図18は、本開示に係る技術(本技術)が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
図18では、術者(医師)11131が、内視鏡手術システム11000を用いて、患者ベッド11133上の患者11132に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム11000は、内視鏡11100と、気腹チューブ11111やエネルギー処置具11112等の、その他の術具11110と、内視鏡11100を支持する支持アーム装置11120と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート11200と、から構成される。
内視鏡11100は、先端から所定の長さの領域が患者11132の体腔内に挿入される鏡筒11101と、鏡筒11101の基端に接続されるカメラヘッド11102と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒11101を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡11100を図示しているが、内視鏡11100は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
鏡筒11101の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡11100には光源装置11203が接続されており、当該光源装置11203によって生成された光が、鏡筒11101の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者11132の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡11100は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。
カメラヘッド11102の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光(観察光)は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、RAWデータとしてカメラコントロールユニット(CCU: Camera Control Unit)11201に送信される。
CCU11201は、CPU(Central Processing Unit)やGPU(Graphics Processing Unit)等によって構成され、内視鏡11100及び表示装置11202の動作を統括的に制御する。さらに、CCU11201は、カメラヘッド11102から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、例えば現像処理(デモザイク処理)等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。
表示装置11202は、CCU11201からの制御により、当該CCU11201によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。
光源装置11203は、例えばLED(Light Emitting Diode)等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡11100に供給する。
入力装置11204は、内視鏡手術システム11000に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置11204を介して、内視鏡手術システム11000に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。例えば、ユーザは、内視鏡11100による撮像条件(照射光の種類、倍率及び焦点距離等)を変更する旨の指示等を入力する。
処置具制御装置11205は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具11112の駆動を制御する。気腹装置11206は、内視鏡11100による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者11132の体腔を膨らめるために、気腹チューブ11111を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ11207は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ11208は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。
なお、内視鏡11100に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置11203は、例えばLED、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。RGBレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色(各波長)の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置11203において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、RGBレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御することにより、RGBそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
また、光源装置11203は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。
また、光源装置11203は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、例えば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光(すなわち、白色光)に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察(Narrow Band Imaging)が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること(自家蛍光観察)、又はインドシアニングリーン(ICG)等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置11203は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び/又は励起光を供給可能に構成され得る。
図19は、図18に示すカメラヘッド11102及びCCU11201の機能構成の一例を示すブロック図である。
カメラヘッド11102は、レンズユニット11401と、撮像部11402と、駆動部11403と、通信部11404と、カメラヘッド制御部11405と、を有する。CCU11201は、通信部11411と、画像処理部11412と、制御部11413と、を有する。カメラヘッド11102とCCU11201とは、伝送ケーブル11400によって互いに通信可能に接続されている。
レンズユニット11401は、鏡筒11101との接続部に設けられる光学系である。鏡筒11101の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド11102まで導光され、当該レンズユニット11401に入射する。レンズユニット11401は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。
撮像部11402は、撮像素子で構成される。撮像部11402を構成する撮像素子は、1つ(いわゆる単板式)であってもよいし、複数(いわゆる多板式)であってもよい。撮像部11402が多板式で構成される場合には、例えば各撮像素子によってRGBそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部11402は、3D(Dimensional)表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための1対の撮像素子を有するように構成されてもよい。3D表示が行われることにより、術者11131は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部11402が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット11401も複数系統設けられ得る。
また、撮像部11402は、必ずしもカメラヘッド11102に設けられなくてもよい。例えば、撮像部11402は、鏡筒11101の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。
駆動部11403は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部11405からの制御により、レンズユニット11401のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部11402による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。
通信部11404は、CCU11201との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11404は、撮像部11402から得た画像信号をRAWデータとして伝送ケーブル11400を介してCCU11201に送信する。
また、通信部11404は、CCU11201から、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部11405に供給する。当該制御信号には、例えば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに/又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。
なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてCCU11201の制御部11413によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるAE(Auto Exposure)機能、AF(Auto Focus)機能及びAWB(Auto White Balance)機能が内視鏡11100に搭載されていることになる。
カメラヘッド制御部11405は、通信部11404を介して受信したCCU11201からの制御信号に基づいて、カメラヘッド11102の駆動を制御する。
通信部11411は、カメラヘッド11102との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11411は、カメラヘッド11102から、伝送ケーブル11400を介して送信される画像信号を受信する。
また、通信部11411は、カメラヘッド11102に対して、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。
画像処理部11412は、カメラヘッド11102から送信されたRAWデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。
制御部11413は、内視鏡11100による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。例えば、制御部11413は、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を生成する。
また、制御部11413は、画像処理部11412によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置11202に表示させる。この際、制御部11413は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。例えば、制御部11413は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具11112の使用時のミスト等を認識することができる。制御部11413は、表示装置11202に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者11131に提示されることにより、術者11131の負担を軽減することや、術者11131が確実に手術を進めることが可能になる。
カメラヘッド11102及びCCU11201を接続する伝送ケーブル11400は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。
ここで、図示する例では、伝送ケーブル11400を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド11102とCCU11201との間の通信は無線で行われてもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る内視鏡手術システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、例えば撮像部11402に適用され得る。例えば、図1の固体撮像素子1は、撮像部10402に適用することができる。
なお、ここでは、一例として内視鏡手術システムについて説明したが、本開示に係る技術は、その他、例えば、顕微鏡手術システム等に適用されてもよい。
(10.移動体への応用例)
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図20は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図20に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図20の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図21は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図21では、車両12100は、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。撮像部12101及び12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図21には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち例えば、撮像部12031に適用され得る。具体的には、図1の固体撮像素子1は、撮像部12031に適用することができる。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)
画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、
前記画素回路は、
参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する、
固体撮像素子。
(2)
前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのソースは、前記第3トランジスタのドレインと接続され、
前記第2トランジスタのゲートに前記参照信号発生部が接続され、
前記第3トランジスタのソースはグランドに接続されている、
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのドレインは、外部のカレントミラー回路に接続されている、
前記(1)または(2)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、この順で直線状に配置されている、
前記(1)~(3)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(5)
前記第2トランジスタのソースと、前記第3トランジスタのドレインが接続されているグランドノードとが、隣接して配置されている、
前記(4)に記載の固体撮像素子。
(6)
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、拡散層を共有している、
前記(1)~(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(7)
前記第3トランジスタは、複数の前記画素回路で共有されている、
前記(1)~(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(8)
前記第3トランジスタは、複数の前記画素回路に渡って形成された引き回し配線によって共有されている、
前記(7)に記載の固体撮像素子。
(9)
複数の前記画素回路は、積層された複数の半導体基板に渡って設けられており、
前記第3トランジスタは、複数の前記半導体基板に渡って設けられた複数の前記画素回路で共有されている、
前記(7)または(8)に記載の固体撮像素子。
(10)
前記画素回路が配置された第1半導体基板と、
前記第1半導体基板に積層され、前記画素回路が配置されていない第2半導体基板とを備え、
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとのうち、少なくとも前記第3トランジスタは、前記第2半導体基板の前記画素に配置されている、
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(11)
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとは、前記第2半導体基板の前記画素に配置されている、
前記(10)に記載の固体撮像素子。
(12)
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとが、前記画素回路が配置された基板とは異なる基板に配置されている、
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(13)
画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、
前記画素回路は、
参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する固体撮像素子と、
前記固体撮像素子に、被写体からの入射光を導く光学系と、を有する、
固体撮像装置。
(14)
画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、
前記画素回路は、
参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する固体撮像素子と、
前記固体撮像素子に、被写体からの入射光を導く光学系と、を含む、固体撮像装置を搭載した、
電子機器。
1 固体撮像素子
20 画素回路
21 光電変換部
22 排出トランジスタ
23 転送トランジスタ
24 リセットトランジスタ
25 浮遊拡散層(FD)
26 増幅トランジスタ(第1トランジスタ)
27 参照トランジスタ(第2トランジスタ)
28 バイアストランジスタ(第3トランジスタ)
30 カレントミラー回路
31,32 トランジスタ
100 第1基板
110 画素アレイ部
111 画素
200 第2基板
210 ロジック回路
220 画素駆動回路
230 DAC
240 垂直駆動回路
250 タイミング生成回路
260 出力部
270 周辺回路
300 第3基板
1010 固体撮像装置
11000 内視鏡手術システム
12000 車両制御システム

Claims (8)

  1. 画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、
    前記画素回路は、
    参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有し、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのソースは、前記第3トランジスタのドレインと接続され、
    前記第2トランジスタのゲートに前記参照信号発生部が接続され、
    前記第3トランジスタのソースはグランドに接続され、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのドレインは、外部のカレントミラー回路に接続されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、この順で直線状に隣接するように配置されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、拡散層を共有している、
    固体撮像素子。
  2. 前記第2トランジスタのソースと、前記第3トランジスタのドレインが接続されているグランドノードとが、隣接して配置されている、
    請求項に記載の固体撮像素子。
  3. 前記第3トランジスタは、複数の前記画素回路で共有されている、
    請求項1又は2に記載の固体撮像素子。
  4. 前記第3トランジスタは、複数の前記画素回路に渡って形成された引き回し配線によって共有されている、
    請求項に記載の固体撮像素子。
  5. 複数の前記画素回路は、積層された複数の半導体基板に渡って設けられており、
    前記第3トランジスタは、複数の前記半導体基板に渡って設けられた複数の前記画素回路で共有されている、
    請求項3又は4に記載の固体撮像素子。
  6. 前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、前記画素が配置された基板とは異なる基板に配置されている、
    請求項1又は2に記載の固体撮像素子。
  7. 画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備え、
    前記画素回路は、
    参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する固体撮像素子と、
    前記固体撮像素子に、被写体からの入射光を導く光学系と、を有し、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのソースは、前記第3トランジスタのドレインと接続され、
    前記第2トランジスタのゲートに前記参照信号発生部が接続され、
    前記第3トランジスタのソースはグランドに接続され、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのドレインは、外部のカレントミラー回路に接続されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、この順で直線状に隣接するように配置されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、拡散層を共有している、
    固体撮像装置。
  8. 画素に入射された光を光電変換部によって光電変換することで画素信号を生成し、前記画素信号を増幅する第1トランジスタが配置された画素回路を備える固体撮像装置を搭載した電子機器であって、
    前記画素回路は、
    参照信号発生部から参照信号が入力される第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとに、バイアス電流を出力する第3トランジスタと、を有する固体撮像素子と、
    前記固体撮像素子に、被写体からの入射光を導く光学系と、を含み、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのソースは、前記第3トランジスタのドレインと接続され、
    前記第2トランジスタのゲートに前記参照信号発生部が接続され、
    前記第3トランジスタのソースはグランドに接続され、
    前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタのドレインは、外部のカレントミラー回路に接続されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、この順で直線状に隣接するように配置されており、
    前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタと、前記第3トランジスタとは、拡散層を共有している、
    電子機器。
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