JP7497660B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、第2検査部80は、第2保持台81と、第2保持台81を移動させる第2移動装置85とを有している。第2保持台81は、第1検査部20の第1スライド機構30のX方向における他端部(図1の左端部)と対向する位置に配置されている。そのため、第2保持台81は、第1保持台21がX方向にスライド移動したときに該第1保持台21と対向可能な位置に設けられている。第2保持台81は、四角板状に形成されてセパレータSと当接する下板82と、下板82の上面に固定された第2吸着アクチュエータ83とからなる。第2保持台81の下板82は、セパレータSの上面、すなわち他端面が当接する第2保持面82Aを有している。第2保持面82Aには、複数の第2吸引孔82Bが形成されている。なお、複数の第2吸引孔82Bの配置は、第1保持台21の第1保持面22Aに設けられた第1吸引孔22Bの配置と同じである。また、第2吸引孔82Bにおける吸引力を第1吸引孔22Bにおける吸引力と同じに設定している。そのため、第2保持台81は、セパレータSへの吸引痕の発生を抑えつつも、セパレータSの保持力を充分に担保可能に構成されている。
図6に二点鎖線で示すように、第1検査部20の第1保持台21にセパレータSが載置されると、第1保持台21がセパレータSを吸着して保持する。その後、図6に実線で示すように、第1移動装置25は、第1スライド部31及び第2スライド部40を駆動して、第1保持台21を第2保持台81に対向する位置までX方向にスライド移動させる。第1光源60は、第1保持台21がスライド移動し始めると、光を放射する。図6に破線で示すように、第1撮像部70は、第1保持台21が移動しているときに、第1保持台21が第1光源60に近接して最も光の照射量が多くなる位置(図6に一点鎖線で示す位置)に到達すると、セパレータSの上面の画像を撮影する。なお、第1光源60は、第1保持台21が第2保持台81に対向する位置まで移動すると、光の放射を停止する。
(1)本実施形態では、第1保持台21は、セパレータSの下端面が当接する第1保持面22Aに複数の第1吸引孔22Bが形成されており、該複数の第1吸引孔22Bを介してセパレータSを第1保持面22Aに吸着している。そのため、第1保持台21を移動させたときに、セパレータSの変形が生じ難くなり、セパレータSにおける振動の発生を抑えることができる。したがって、第1保持台21を移動させながら撮影したセパレータSの上端面の画像に、セパレータSの振動の影響が反映されることを抑えることができ、撮影した画像に基づく外観の検査精度の向上を図ることが可能になる。
・上記実施形態では、第1照射部61及び第2照射部121による光の放射タイミングを、第1保持台21又は第2保持台81が移動し始めるタイミングに設定していたが、こうした光の放射タイミングは適宜変更が可能である。例えば、第1撮像部70または第2撮像部130によって画像を撮影する位置の直前から所定時間の間だけ光を放射するといった構成を採用することも可能である。
20…第1検査部
21…第1保持台
22…上板
22A…第1保持面
22B…第1吸引孔
23…第1吸着アクチュエータ
25…第1移動装置
26…第1連結台
30…第1スライド機構
31…第1スライド部
32…第1ボールねじ部
33…第1ガイドレール
34…第1ナット部
35…第1基台
36…第1天板部
37…第1脚部
40…第2スライド部
50…第1昇降機構
51…第1エアシリンダ
52…第1ハウジング
53…第1エアロッド
54…第1固定板
55…第2エアシリンダ
56…固定柱
57…第1連結柱
58…第1軸支壁
58A…第1縦壁
58B…第1横壁
59…第1軸
60…第1光源
61…第1照射部
62…第1連結具
65…第2軸支壁
66…第2軸
70…第1撮像部
71…第1本体部
72…第2連結具
80…第2検査部
81…第2保持台
82…下板
82A…第2保持面
82B…第2吸引孔
83…第2吸着アクチュエータ
85…第2移動装置
86…第2連結台
90…第2スライド機構
91…第3スライド部
92…第2ボールねじ部
93…第2ガイドレール
94…第2ナット部
95…第2基台
96…第2天板部
97…第2脚部
100…第4スライド部
110…第2昇降機構
111…第3エアシリンダ
112…第2ハウジング
113…第2エアロッド
114…第2固定板
115…第4エアシリンダ
117…第2連結柱
118…第3軸支壁
118A…第2縦壁
118B…第2横壁
119…第3軸
120…第2光源
121…第2照射部
122…第3連結具
125…第4軸支壁
126…第4軸
130…第2撮像部
131…第2本体部
132…第4連結具
S…セパレータ(ワーク)
S1…開口部
S2…溝部
Claims (5)
- 板状のワークの一端面が当接する保持台と、
前記保持台を移動させる移動装置と、
前記移動装置によって前記保持台を移動させているときに前記ワークの他端面の画像を撮影する撮像部とを備え、
前記撮像部によって撮影された画像に基づいて前記ワークの外観を検査する外観検査装置であって、
前記移動装置は、前記撮像部が前記ワークの他端面の画像を撮影した後の前記保持台の移動速度を、前記撮像部が前記画像を撮影する前の移動速度よりも大きくし、
前記保持台は、前記ワークの一端面が当接する保持面に複数の吸引孔が形成されており、該複数の吸引孔を介して前記ワークを前記保持面に吸着する外観検査装置。 - 板状のワークの一端面が当接する保持台と、
前記保持台を移動させる移動装置と、
前記移動装置によって前記保持台を移動させているときに前記ワークの他端面の画像を撮影する撮像部とを備え、
前記撮像部によって撮影された画像に基づいて前記ワークの外観を検査する外観検査装置であって、
前記ワークは、板厚方向に貫通する開口部を有しており、
前記保持台は、前記ワークの一端面が当接する保持面に複数の吸引孔が形成されており、該複数の吸引孔を介して前記ワークを前記保持面に吸着し、
前記複数の吸引孔は、前記保持面のうち吸着された前記ワークの前記開口部に対応する領域に形成されていない外観検査装置。 - 前記保持台を第1保持台とし、前記移動装置を第1移動装置とし、前記撮像部を第1撮像部としたとき、
前記第1撮像部が前記ワークの前記他端面の画像を撮影した後、前記ワークの他端面を保持する第2保持台と、
前記第2保持台を移動させる第2移動装置と、
前記第2移動装置によって第2保持台を移動させているときに、前記ワークの前記一端面の画像を撮影する第2撮像部とを備える
請求項1または請求項2に記載の外観検査装置。 - 前記第1保持台において前記ワークの一端面が当接する前記保持面を第1保持面としたとき、
前記第2保持台は、前記ワークの他端面が当接する第2保持面に複数の吸引孔が形成されており、該複数の吸引孔を介して前記ワークを前記第2保持面に吸着する
請求項3に記載の外観検査装置。 - 前記第1移動装置は、前記第1撮像部により前記ワークの前記他端面の画像を撮影した後、前記第1保持台に保持されている前記ワークの前記他端面が前記第2保持台の前記第2保持面に当接するように前記第1保持台を移動させ、
前記第2保持台は、前記第2保持面に前記ワークの前記他端面が当接した状態で該ワークを吸着し、
前記第1保持台は、前記第2保持台によって前記ワークが吸着された後に、該ワークの吸着を解除する
請求項4に記載の外観検査装置。
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