JP7488820B2 - 除害方法及び装置 - Google Patents
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Description
図1は、一実施形態による除害装置10を示す。除害装置10は、プロセスツール30のプロセスチャンバー20A,20Bと結合する。ポンプ40A,40Bは、上流側で関連するプロセスチャンバー20A,20Bと結合し、下流側で関連するバイパスバルブ50A,50Bと結合する。バイパスバルブ50A,50Bは、下流側で切替えバルブ60と結合する。切替えバルブ60は、下流側で遮断バルブ70A,70Bと結合する。遮断バルブ70Aは、下流側で第1の除害デバイス80Aと結合する。遮断バルブ70Bは、下流側で第2の除害デバイス80Bと結合する。
20A プロセスチャンバー
20B プロセスチャンバー
30 プロセスツール
40A ポンプ
40B ポンプ
50A バイパスバルブ
50B バイパスバルブ
60 切替えバルブ
70A 遮断バルブ
70B 遮断バルブ
80A 第1の除害デバイス
80B 第2の除害デバイス
90 制御論理回路
Claims (7)
- 半導体プロセスツールからの排出流を処理するための除害装置であって、
前記排出流を受け取るように構成され、前記排出流を処理するためにアクティブモードで稼働するように動作可能な第1の除害デバイスと、
待機モードで稼働するように動作可能な第2の除害デバイスと、
前記第1の除害デバイスに関連する警報状態の指示を受け取ると、前記第2の除害デバイスを前記アクティブモードで稼働させるように動作可能な制御論理回路と、
を備え、
前記警報状態は、前記第1の除害デバイスの動作特性が閾値以上に変化したことを示し、
前記動作特性は、圧力、流量、センサーエラー、及びバルブエラーのうちの少なくとも1つを含み、
前記除害装置は、さらに、
前記第1の除害デバイス及び前記第2の除害デバイスのうちの1つに前記排出流を供給するように動作可能な切替えバルブと、
前記切替えバルブの上流にバイパスバルブと、
を備え、
前記警報状態は、それに関連する切替え時間を有し、前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスが前記切替え時間内で前記待機モードから前記アクティブモードへの切替えに失敗した場合に、前記バイパスバルブをアクティブにして、前記切替えバルブへの前記排出流の供給を防止するように動作可能であり、
前記除害装置は、さらに、
前記切替えバルブと前記第1の除害デバイスとの間に第1の遮断バルブを備え、
前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスに前記排出流を供給するために、前記切替えバルブがアクティブになった後に、前記第1の除害デバイスへの前記排出流の供給を防止するために、前記第1の遮断バルブをアクティブにするように動作可能である、
除害装置。 - 前記制御論理回路は、前記第1の除害デバイスに関連する前記警報状態の前記指示を受け取った後に、前記排出流を前記第2の除害デバイスに供給するために前記切替えバルブを制御するように動作可能である、請求項1に記載の除害装置。
- 前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスのモード状態の指示を受け取り、前記モード状態の前記指示が、前記第2の除害デバイスが前記アクティブモードで稼働していることを示す場合に、前記第2の除害デバイスに前記排出流を供給するように前記切替えバルブを制御するように動作可能である、請求項1又は2に記載の除害装置。
- 前記第2の除害デバイスの前記モード状態の前記指示は、前記第2の除害デバイスの温度の指示から決定される、請求項3に記載の除害装置。
- 前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスに前記排出流を供給するための前記切替えバルブの動作の後に、前記第1の除害デバイスを停止させるように動作可能である、請求項1から4のいずれか一項に記載の除害装置。
- 前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスが前記アクティブモードで稼働しているとの指示を受け取ると、前記バイパスバルブを非アクティブにして、前記排出流を前記切替えバルブに供給するように動作可能である、請求項1に記載の除害装置。
- 半導体プロセスツールからの排出流を処理する方法であって、
前記排出流を処理するためにアクティブモードで稼働する第1の除害デバイスに前記排出流を供給するステップと、
待機モードで稼働する第2の除害デバイスを提供するステップと、
制御論理回路が前記第1の除害デバイスに関連する警報状態の指示を受け取ると、前記第2の除害デバイスを前記アクティブモードで稼働させるステップと、
を含み、
前記警報状態は、前記第1の除害デバイスの動作特性が閾値以上に変化したことを示し、
前記動作特性は、圧力、流量、センサーエラー、及びバルブエラーのうちの少なくとも1つを含み、
前記第1の除害デバイス及び前記第2の除害デバイスのうちの1つに前記排出流を供給するように動作可能な切替えバルブと、前記切替えバルブの上流にバイパスバルブと、が設けられており、
前記警報状態は、それに関連する切替え時間を有し、前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスが前記切替え時間内で前記待機モードから前記アクティブモードへの切替えに失敗した場合に、前記バイパスバルブをアクティブにして、前記切替えバルブへの前記排出流の供給を防止するように動作可能であり、
前記切替えバルブと前記第1の除害デバイスとの間に第1の遮断バルブが設けられており、
前記制御論理回路は、前記第2の除害デバイスに前記排出流を供給するために、前記切替えバルブがアクティブになった後に、前記第1の除害デバイスへの前記排出流の供給を防止するために、前記第1の遮断バルブをアクティブにするように動作可能である、
方法。
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