JP7488442B2 - 搬送システム - Google Patents

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Description

本発明は、対象物（典型的には、ウエハ、あるいは、粘着テープやフィルム等を介してフレームに保持されたウエハ）を、これを収納する収納容器と、該対象物に対する処理を行う処理装置との間で搬送する搬送システムに関する。
周知の通り、一般的な半導体の製造プロセスは、ウエハに回路を形成するウエハプロセス（前工程）と、ウエハをチップに切断し、外部端子を形成して樹脂封止する、パッケージングプロセス（後工程）とからなる。また、近年、前工程と後工程の間で配線層や素子の形成等が行われるケースもある。
前工程を施されたウエハは非常に薄く、それ単体でのハンドリングが難しい。そこで、一般に、このようなウエハのハンドリングを容易にするべく、前工程を施されたウエハは、後工程に送られる前に、図２７に示されるように、ウエハ９１よりも一回り大きな枠状（図の例では略円環状）のフレーム９３に張設された粘着テープ９２（あるいは粘着性のフィルム）に貼着された状態とされる（以下、粘着テープ９２等を介してフレーム９３に保持されたウエハ９１を「テープフレームウエハ９０」ともいう）。このような形態とされることで、ウエハ９１を、フレーム９３を介して保持等することが可能となり、単体のままではハンドリングが難しい薄肉のウエハ９１であってもこれを容易にハンドリングすることができる。また、このような形態とされることで、後工程においてウエハ９１がチップに分割切断された際に、チップが分散してしまうことも回避される。
一般的な半導体の製造工場等では、ウエハやテープフレームウエハ（以下、「ウエハ等」という）は、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、カセット、等と呼ばれる密閉式の収納容器（キャリア）内に複数枚収納されて、搬送・保管等される。多くの場合、ウエハ等に処理を行う処理装置には、これと収納容器のインターフェースとして、収納容器を載置する載置部と、ここに載置された収納容器と処理装置との間でウエハ等を搬送する搬送装置とが設けられており、この搬送装置が、載置部に載置された収納容器から未処理のウエハ等を取り出してこれを処理装置の本体部に搬入するとともに、該本体部から処理済みのウエハ等を搬出して、これを載置部に載置された収納容器に収納する。
特開２０１７－０６９４８８号公報 特開２０１２－２２２２８８号公報
ところで、半導体の製造プロセスで用いられる処理装置は、ウエハ等を１枚ずつ処理するもの（いわゆる、枚葉式）と、複数枚のウエハ等に対してまとめて一度に処理を行うもの（いわゆる、バッチ式）に大別される。後者の一例として、複数枚のウエハ等をトレイの上に平面状に並べて、該複数枚のウエハ等を一括処理するような処理装置が知られている。
このようにトレイを用いたバッチ式の処理装置においては、インターフェース部分において、収納容器に収納されている未処理のウエハ等をトレイ上に並べていくとともに、トレイに保持されている処理済みのウエハ等を収納容器に収納していく搬送工程が必要とされる。
処理装置の稼働率を低下させないためには、このインターフェース部分における搬送工程のタクトタイムを十分に短縮する必要がある。このためには、搬送動作を効率的に行わなければならない。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、対象物を収納する収納容器と、複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を効率的に搬送することができる技術の提供を目的としている。
本発明は、上記の目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明は、
対象物を複数収納する収納容器と、ｎ行×ｍ列（ただし、ｎは２以上の整数、ｍは１以上の整数）に配列されてトレイに保持された複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を搬送する搬送システムであって、
前記収納容器が載置される載置部と、
複数の対象物が載置されるステージと、
前記トレイを支持するトレイ支持部と、
前記載置部に載置された収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する第１搬送装置と、
前記ステージと前記トレイ支持部に支持されたトレイとの間で対象物を搬送する第２搬送装置と、
を備え、
前記ステージが、
前記第１搬送装置および前記第２搬送装置がアクセス可能な受渡し位置と、前記受渡し位置から外れており、前記第１搬送装置がアクセス可能であり前記第２搬送装置がアクセスできない位置であって、前記受渡し位置から列方向に移動することで到達できる位置である退避位置との間で移動可能に設けられた可動ステージ部分、
を備え、
前記第２搬送装置が、前記受渡し位置において列方向に配列されたｎ枚の対象物を保持して、行方向に移動して、前記ステージと前記トレイとの間で該ｎ枚の対象物を一度に搬送する、
ことを特徴とする。
上記の構成において、対象物は例えばウエハである。対象物であるウエハは、例えばそれ単体であってもよいし、粘着テープやフィルム等を介して枠状のフレームに保持されていてもよい。
上記の構成によると、２個の搬送装置（第１搬送装置および第２搬送装置）が、ステージを介して協働しつつ、収納容器とトレイの間で対象物を搬送するので、例えば、一方の搬送装置が、未処理の対象物をトレイに向けて搬送する動作（送り搬送動作）を行っているときに、他方の搬送装置で、処理済みの対象物を収納容器に向けて搬送する動作（戻り搬送動作）を行うことも可能となる。つまり、送り搬送動作と戻り搬送動作を同時に進行させることが可能となり、対象物を収納する収納容器と、複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を効率的に搬送することができる。
また、上記の構成によると、第２搬送装置が一度に複数の対象物を搬送するので、ステージとトレイとの間で対象物を効率的に搬送することができる。特に、第２搬送装置が一度に搬送できる対象物の枚数の整数倍が、トレイに保持される対象物の総数となっているので、第２搬送装置の搬送効率を特に高めることができる。
好ましくは、前記搬送システムにおいて、
前記第１搬送装置を備える第１搬送部が収容される第１筐体と、
前記第２搬送装置を備える第２搬送部が収容される第２筐体と、
を備えることを特徴とする。
好ましくは、前記搬送システムにおいて、
前記第１搬送部が前記ステージを備え、
前記第２搬送部が前記トレイ支持部を備える、
ことを特徴とする。
好ましくは、前記搬送システムにおいて、
前記トレイ支持部に支持される前記トレイに保持される複数の対象物が、前記ステージに近い列から順に、処理済みの対象物から未処理の対象物に置き換えられていく、
ことを特徴とする。
好ましくは、前記搬送システムにおいて、
前記第１搬送装置が、前記第２搬送装置の移動方向と交差する方向に移動して、前記収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する、
ことを特徴とする。
本発明によると、対象物を収納する収納容器と、複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を効率的に搬送することができる。
実施形態に係る搬送システムの構成を模式的に示す斜視図。 該搬送システムの構成を模式的に示す平面図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第１局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第２局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第２局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第２局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第２局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第３局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第３局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第３局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第３局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第４局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第４局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第４局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第４局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第５局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第６局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第６局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第６局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第６局面を説明するための図。 該搬送システムで行われる一連の動作における第６局面を説明するための図。 テープフレームウエハを説明するための図。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
＜１．全体構成＞
実施形態に係る搬送システムの全体構成を、主として図１、図２を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る搬送システム１の構成を模式的に示す斜視図である。図２は、搬送システム１の構成を模式的に示す平面図である。
搬送システム１は、処理装置２に接続されて使用されるものであり、対象物９０を複数収納する収納容器９と、複数の対象物９０に対して一括して処理を行う処理装置２との間で、対象物９０を搬送する。ここでは、対象物９０は、粘着テープ９２を介してフレーム９３に保持されたウエハ９１、すなわちテープフレームウエハ９０である（図２７参照）。また、収納容器９は、テープフレームウエハ９０の搬送・保管等に用いられる密閉式の容器であり、複数枚のテープフレームウエハ９０を水平姿勢で多段に収納する本体部９０１と、本体部９０１の一方の側壁に設けられた開口を塞ぐ蓋９０２と、を備えるものである。
搬送システム１について具体的に説明する前に、これが接続される処理装置２について説明する。
処理装置２は、トレイ８（図３参照）の上に平面状に並べられた複数枚のテープフレームウエハ９０に対して一括して所定の処理を行う処理部２１を備える。ただし、ここで用いられるトレイ８は、平面視で略正方形状であり、９枚のテープフレームウエハ９０を３列×３行に並べて載置できるものである。図示は省略されているが、このトレイ８の底面（テープフレームウエハ９０の載置面）には、３列×３行に配列された開口が形成されており、ここに載置される各テープフレームウエハ９０の少なくともウエハ９１の部分が、この開口と重なるようになっている。テープフレームウエハ９０は、ウエハ９１の表面（回路形成面）を下に向けて、該表面をこの開口に臨ませるようにして、トレイ８に載置される。処理部２１では、このトレイ８の下側から、該開口を介して、ウエハ９１の表面に対する所定の処理が行われる。
処理部２１には、真空予備室であるロードロック部２２が接続されており、搬送システム１は、このロードロック部２２を介して、処理部２１に接続されている。ロードロック部２２における搬送システム１（あるいは処理部２１）との接続部分には、扉２２１が設けられており、この扉２２１が閉鎖されることによって、ロードロック部２２の内部空間が気密に封止される。また、ロードロック部２２には、トレイ８を水平姿勢で支持するためのトレイ支持ピン群２２２が設けられている。以下においては、説明の便宜上、ロードロック部２２に対して搬送システム１が接続される側を「前方」とする。また、前後方向と直交する水平方向を「左右方向」とする。
次に、搬送システム１について具体的に説明する。
搬送システム１は、複数のロードポート１１と、第１搬送部１２と、第２搬送部１３と、これら各部１１，１２，１３を制御する制御部１４と、を備える。
複数のロードポート１１は、第１搬送部１２の前方に接続される。すなわち、第１搬送部１２の筐体（第１筐体）１２１の前方の壁部には、１個以上（図の例では５個）の開口Ｔ１が形成されており、各開口Ｔ１を塞ぐようにロードポート１１が気密に取り付けられる。
第１搬送部１２は、第２搬送部１３の前方に隣接して設けられる。第１筐体１２１の後方の壁部には、開口Ｔ２が形成されており、第２搬送部１３の筐体（第２筐体）１３１の前方の壁部における、開口Ｔ２と対応する位置には、開口Ｔ３が形成されている。つまり、両筐体１２１，１３１の内部空間は、開口Ｔ２，Ｔ３を介して互いに連通している。また、第２筐体１３１の後方の壁部には、開口Ｔ４が形成されており、該開口Ｔ４は、ロードロック部２２の扉２２１によって、気密に塞がれている。
以下において、搬送システム１が備える各部１１～１４の構成について、引き続き図１、図２を参照しながら、より具体的に説明する。
（ロードポート１１）
ロードポート１１は、収納容器９に収納された複数枚のテープフレームウエハ９０を外部の雰囲気に晒すことなく、収納容器９の内部空間を第１筐体１２１の内部空間と連通させるための装置であり、収納容器９が載置される載置部３１を備える。載置部３１には、必要に応じて、収納容器９を所定の位置に案内するガイドピン、収納容器９を該所定の位置に固定する固定ピン、収納容器９の内部空間に所定のガスを供給するガス供給ノズル、収納容器９の内部空間のガスを排出するガス排出ノズル、載置部３１を前後にスライドさせる駆動機構、等が設けられる（いずれも図示省略）。
図１に示されるように、載置部３１は、平板状の部材であるパネル板３２の前面に設けられる。このパネル板３２は、第１筐体１２１に形成された開口Ｔ１よりも一回り大きなものであり、このパネル板３２が、開口Ｔ１を気密に塞ぐようにして取り付けられることによって、ロードポート１１が第１筐体１２１に接続される。
パネル板３２には、テープフレームウエハ９０を通過させるための開口３２１が形成されている。そして、パネル板３２の後方側には、開口３２１を気密に閉鎖可能なドア部３３と、これを閉鎖位置と開放位置との間で移動させるドア部駆動機構（図示省略）が設けられる。また、ドア部３３には、載置部３１に載置された収納容器９の蓋９０２を本体部９０１から取り外す（ラッチを解除する）とともに、該蓋９０２をドア部３３と連結して一体化（ドッキング）する蓋保持機構が設けられている。
ロードポート１１の動作は次の通りである。未処理のテープフレームウエハ９０を収納した収納容器９が、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、等の外部ロボットによって載置部３１に載置されると、載置部３１が後方にスライドされて、ここに載置されている収納容器９の蓋９０２とドア部３３とが十分に近接した状態とされる。そして、ドア部３３に設けられた蓋保持機構が、収納容器９の蓋９０２を本体部９０１から取り外すとともに、蓋９０２をドア部３３と連結して一体化する。続いて、ドア部駆動機構が、ドア部３３を、これと一体化されている蓋９０２とともに、開口３２１を気密に閉鎖する閉鎖位置から、開口３２１を完全に開口させる開放位置へと移動させる。これによって、本体部９０１の内部空間が、開口３２１を介して、第１筐体１２１の内部空間と連通した状態となる。いうまでもなく、これと逆の動作が行われることにより、収納容器９の本体部９０１が蓋９０２で閉鎖され、開口３２１がドア部３３によって閉鎖された状態、すなわち、収納容器９と第１筐体１２１とが切り離された状態となる。
（第１搬送部１２）
第１搬送部１２は、第１筐体１２１の内部に、複数枚のテープフレームウエハ９０が載置されるステージ４１、テープフレームウエハ９０を一時的に収納するストッカー４２、テープフレームウエハ９０を反転させる反転装置４３、これら各部４１，４２，４３の間でテープフレームウエハ９０を搬送する搬送装置（第１搬送装置）４４、等が配置された構成を備える。また、第１筐体１２１の内部には、図示しないファンフィルタユニット（ＦＦＵ：Fan Filter Unit）等が設けられており、第１筐体１２１の内部空間に清浄な気体のダウンフローが形成されるようになっている。
ステージ４１は、固定的に設けられたステージ部分（固定ステージ部分）４１１と、移動可能に設けられたステージ部分（可動ステージ部分）４１２と、可動ステージ部分４１２を移動させるためのステージ駆動機構４１３と、を備える。
固定ステージ部分４１１は、長尺平板状の部材であって、その上面に、長尺方向に沿って３枚のテープフレームウエハ９０を一列に並べて載置できるようになっており、該上面には、ここに載置される各テープフレームウエハ９０を支持するための支持ピン４１１１が設けられている。固定ステージ部分４１１は、長尺方向を左右方向に沿わせるようにして、第１筐体１２１の後方の壁部の近傍であって、開口Ｔ２に臨む位置Ｐ１に固定的に配置される。ここで、開口Ｔ２に臨む位置Ｐ１とは、後述する第２搬送装置５３がアクセス可能な位置であり、以下「受渡し位置Ｐ１」ともいう。
可動ステージ部分４１２は、固定ステージ部分４１１と同様、長尺平板状の部材であって、その上面に、長尺方向に沿って３枚のテープフレームウエハ９０を一列に並べて載置できるようになっており、該上面には、ここに載置される各テープフレームウエハ９０を支持するための支持ピン４１２１が設けられている。可動ステージ部分４１２は、長尺方向を左右方向に沿わせるようにして、第１筐体１２１の後方の壁部の近傍に配置されている。図２においては、可動ステージ部分４１２は、開口Ｔ２から外れた位置（すなわち、上方から見て受渡し位置Ｐ１と重ならずにこれから外れた位置であり、以下「退避位置」ともいう）Ｐ２に配置されているが、可動ステージ部分４１２は、後述するステージ駆動機構４１３の駆動を受けて左右方向（すなわち、延在方向）に移動されることによって、この退避位置Ｐ２と、開口Ｔ２に臨む位置（受渡し位置）Ｐ１との間で移動可能に構成されている（図９参照）。ただし、可動ステージ部分４１２は、固定ステージ部分４１１に対して上下にずれた高さ位置に配置されている。具体的には、可動ステージ部分４１２は、固定ステージ部分４１１の上側にずれた位置に配置されている。したがって、両ステージ部分４１１，４１２が互いに干渉することなくともに受渡し位置Ｐ１に配置されることが可能となっている。
ステージ駆動機構４１３は、可動ステージ部分４１２を移動させるための機構であり、ステージを支持するステージ支持部４１３１と、第１筐体１２１の底面に敷設された左右方向に延在する一対のレール４１３２，４１３２と、ステージ支持部４１３１を一対のレール４１３２，４１３２に沿って走行させるための直動機構（図示省略）と、を備える。直動機構は、例えば、ボールねじ機構およびこれに駆動力を与えるモータ等を含んで構成することができる（以下においても同様）。可動ステージ部分４１２は、その一端においてステージ支持部４１３１に片持ち状に支持されており、ステージ支持部４１３１が一対のレール４１３２，４１３２に沿って移動されることで、受渡し位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で移動される。
ストッカー４２は、複数枚のテープフレームウエハ９０を一時的に収納する収納部（所謂、バッファ部）であり、受渡し位置Ｐ１の近傍に配置される。ストッカー４２は、具体的には例えば、前側が開放された箱状の容器であり、その内部に、１２枚あるいは１３枚のテープフレームウエハ９０を、水平姿勢で多段に収納できるようになっている。
反転装置４３は、テープフレームウエハ９０を反転させる装置であり、ステージ４１を挟んでストッカー４２の逆側に配置される。ただし、ここでいう「反転」とは、テープフレームウエハ９０におけるウエハ９１の表面（回路形成面）が上を向いている姿勢と、該ウエハ９１の表面が下を向いている姿勢とを入れ替えることをいう。反転装置４３は、具体的には例えば、テープフレームウエハ９０のフレーム９３を水平方向から挟むことによってこれを保持する挟持部材４３１と、挟持部材４３１を水平な軸線の回りに回転させる駆動部４３２とを含んで構成される。このような構成において、挟持部材４３１がテープフレームウエハ９０を水平姿勢で保持した状態で、駆動部４３２が挟持部材４３１を水平な軸線の回りで１８０度回転させることで、テープフレームウエハ９０が反転する。
第１搬送装置４４は、テープフレームウエハ９０を搬送する装置であり、本体部４４１と、第１筐体１２１の前方の壁部に設けられた左右方向に延在するレール４４２と、本体部４４１をレール４４２に沿って走行させるための直動機構（図示省略）と、を備える。本体部４４１がレール４４２に沿って移動されることで、本体部４４１が左右方向に移動される。
本体部４４１には、２本のアーム４４３，４４３が設けられる。各アーム４４３は、基端部において、本体部４４１に対して鉛直な軸線の回りに回転自在に設けられており、基端部の回りで回転されることによって旋回自在に構成されている。また、各アーム４４３は、複数のリンク要素が水平旋回可能に連結されてなるものであり、伸縮自在に構成されている。
各アーム４４３の先端には、ハンド４４４が設けられる。ハンド４４４は、基端部において、アーム４４３に対して鉛直な軸線の回りに回転自在に設けられている。この実施形態では、ハンド４４４は、テープフレームウエハ９０のフレーム９３をメカチャック方式で保持することによってテープフレームウエハ９０を略水平姿勢で保持することができるように構成されている。もっとも、ハンド４４４のチャック方式はこれに限られるものではなく、バキューム吸着式等であってもよい。
第１搬送装置４４は、このような構成を備えることによって、ロードポート１１の載置部３１に載置された収納容器９、ステージ４１（具体的には、固定ステージ部分４１１および可動ステージ部分４１２）、ストッカー４２、および、反転装置４３の間で、テープフレームウエハ９０を搬送することができる。
（第２搬送部１３）
第２搬送部１３は、第２筐体１３１の内部に、トレイ８を支持するトレイ支持部５１、トレイ支持部５１を移動させるためのトレイ支持部駆動機構５２、第１搬送部１２のステージ４１とトレイ支持部５１に支持されているトレイ８との間でテープフレームウエハ９０を搬送する搬送装置（第２搬送装置）５３、等が配置された構成を備える。また、第２筐体１３１の内部には、図示しないファンフィルタユニット等が設けられており、第２筐体１３１の内部空間に清浄な気体のダウンフローが形成されるようになっている。
トレイ支持部５１は、トレイ８を水平姿勢で支持する部材である。具体的には、トレイ支持部５１は、３個の長尺な平板部材がコ字状に組み合わされてなる部材であり、左右方向に延在して配置される縦平板部材５１１と、その両端にそれぞれ連結されて前後方向に延在して配置される一対の横平板部材５１２，５１２を備える。これら３個の平板部材５１１，５１２，５１２の上面が略面一に配設されることによって、トレイ８を支持する支持面が構成される。該支持面には、ここに支持されるトレイ８の四隅を位置決めするための位置決め部材５１３が設けられている。
トレイ支持部５１は、後述するトレイ支持部駆動機構５２の駆動を受けて前後方向に移動されることによって、開口Ｔ３に臨む位置Ｑ１と、ロードロック部２２内の位置Ｑ２（図５参照）との間で移動可能に構成されている。ここで、開口Ｔ３に臨む位置Ｑ１とは、後述する第２搬送装置５３がアクセス可能な位置であり、以下「受渡し位置Ｑ１」ともいう。一方、ロードロック部２２内の位置Ｑ２とは、一対の横平板部材５１２，５１２の間に、ロードロック部２２に設けられているトレイ支持ピン群２２２が配置されるような位置であり、以下「ピン群上位置Ｑ２」ともいう。
トレイ支持部駆動機構５２は、トレイ支持部５１を移動させるための機構であり、トレイ支持部５１を支持する可動ベース部５２１を備える。可動ベース部５２１の上面には、左右方向に延在する一対のレール５２２，５２２が敷設されており（図５参照）、トレイ支持部５１は、この一対のレール５２２，５２２に沿ってスライド自在に設けられている。また、一対のレール５２２，５２２とトレイ支持部５１の間には、トレイ支持部５１を一対のレール５２２，５２２に沿って移動させるための直動機構（図示省略）が設けられている。
さらに、第２筐体１３１の床面上には、左右方向に延在する一対のレール５２３，５２３が敷設されており（図５参照）、可動ベース部５２１は、この一対のレール５２３，５２３に沿ってスライド自在に設けられている。また、一対のレール５２３，５２３と可動ベース部５２１の間には、可動ベース部５２１を一対のレール５２３，５２３に沿って移動させるための直動機構（図示省略）が設けられている。
このような構成において、可動ベース部５２１が第２筐体１３１内に配置されるとともに、トレイ支持部５１が可動ベース部５２１と重なるような位置に配置されることで、トレイ支持部５１が受渡し位置Ｑ１に配置される。この状態から、トレイ支持部５１が一対のレール５２２，５２２に沿って後方に移動され（図４参照）、さらに、可動ベース部５２１が一対のレール５２３，５２３に沿って後方に移動されることで、トレイ支持部５１がピン群上位置Ｑ２に配置される（図５参照）。
トレイ８を支持したトレイ支持部５１が、受渡し位置Ｑ１とピン群上位置Ｑ２との間で移動されることにより、搬送システム１と処理装置２との間でトレイ８が搬送される。つまり、トレイ支持部５１とトレイ支持部駆動機構５２とによって、搬送システム１と処理装置２との間でトレイ８を搬送するトレイ搬送装置が構成される。
第２搬送装置５３は、テープフレームウエハ９０を搬送する装置であり、第２筐体１３１の床面に敷設された左右方向に延在する一対のレール群５３１，５３１と、各レール群５３１に設けられた可動ブロック５３２と、可動ブロック５３２をレール群５３１に沿って走行させるための直動機構（図示省略）と、を備える。各可動ブロック５３２には伸縮自在の昇降柱（図示省略）が設けられており、一対の昇降柱の上端の間に架け渡されるようにして平面視門型の枠部５３３が設けられる。また、枠部５３３における左右に延在する部分には、左右に配列された３個の吸着部５３４，５３４，５３４が支持されている。
各吸着部５３４は、テープフレームウエハ９０のフレーム９３部分を真空吸着方式で保持することによって、テープフレームウエハ９０を略水平姿勢で保持することができるように構成されている。
第２搬送装置５３は、ステージ４１とトレイ支持部５１に支持されているトレイ８との間で、３枚のテープフレームウエハ９０を一度に搬送することができる。例えば、トレイ支持部５１に支持されたトレイ８に保持されているテープフレームウエハ９０を、ステージ４１上に移載する場合、第２搬送装置５３は次の動作を行う。
まず、各可動ブロック５３２がレール群５３１に沿って移動されることで、枠部５３３に設けられた３個の吸着部５３４，５３４，５３４が、上方から見て、受渡し位置Ｑ１に配置されているトレイ支持部５１に支持されているトレイ８上のテープフレームウエハ９０と重なるような位置（トレイアクセス位置）まで移動される（図８の仮想線）。そして、昇降柱が縮短され、各吸着部５３４がテープフレームウエハ９０と十分に近接するような位置まで下降される。この状態で、各吸着部５３４の吸着力が発揮される。すると、フレーム９３が吸着部５３４に吸着され、テープフレームウエハ９０が吸着部５３４に保持される。ここでは、３個の吸着部５３４，５３４，５３４における吸着状態が同期して切り替えられるものとし、これにより、トレイ８に保持されている３枚のテープフレームウエハ９０が同時に保持されることになる。
続いて、昇降柱が伸長され、各吸着部５３４がテープフレームウエハ９０とともに上昇される。その後、各可動ブロック５３２がレール群５３１に沿って移動されることで、各吸着部５３４が、上方から見て、受渡し位置Ｐ１に配置されている固定ステージ部分４１１（あるいは、受渡し位置Ｐ１に配置されている可動ステージ部分４１２であってもよい）と重なるような位置（ステージアクセス位置）に配置される（図８の実線）。そして、昇降柱が縮短され、各吸着部５３４に保持されているテープフレームウエハ９０が、固定ステージ部分４１１と十分に近接するような位置まで下降される。その後、各吸着部５３４の吸着力が停止される。ここでも、３個の吸着部５３４，５３４，５３４における吸着状態が同期して切り替えられるものとし、これにより、３枚のテープフレームウエハ９０が同時に開放され、固定ステージ部分４１１に設けられている支持ピン４１１１上に受け渡される。
以上の動作が行われることによって、トレイ８に保持されている３枚のテープフレームウエハ９０がまとめてステージ４１に移載される。また、上記と逆の動作が行われることによって、ステージ４１上に載置されている３枚のテープフレームウエハ９０がまとめてトレイ８に移載される。
（制御部１４）
制御部１４は、搬送システム１が備える各部の動作を制御する。制御部１４のハードウェアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部１４は、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスク、等を備えている。制御部１４のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって搬送システム１において所定の搬送動作が進行する。
＜２．搬送システム１の動作＞
搬送システム１は、所定の搬送動作を行うことによって、収納容器９に収納されている未処理のテープフレームウエハ９０を、トレイ８上に並べていくとともに、トレイ８に保持されている処理済みのテープフレームウエハ９０を、収納容器９に収納していく。以下において、搬送システム１において実行される搬送動作の一例について、図３～図２６を参照しながら説明する。以下に説明する一連の動作は、制御部１４の制御下で実行される。
なお、以下においては、搬送システム１で行われる一連の動作を６個の局面に分けて説明しているが、これはあくまでも説明を分かり易くするための便宜上のものである。すなわち、実際の動作において、各局面が時間的に分離して行われる必要はなく、例えば、ある局面の最後部分と、その次の局面の最初部分とが並行して行われることも当然に許容される。
（第１局面）
まず、未処理のテープフレームウエハ９０を複数枚収納した収納容器９が、ロードポート１１の載置部３１に載置される。そして、ロードポート１１が所定の動作を行うことにより、該収納容器９の本体部９０１の内部空間が、開口３２１を介して第１筐体１２１の内部空間と連通した状態とされる（図３）。
その一方で、処理装置２において、処理済みのテープフレームウエハ９０を９枚保持したトレイ８が、処理部２１からロードロック部２２に移動されて、ロードロック部２２に設けられているトレイ支持ピン群２２２に支持された状態される。そして、開口Ｔ４を閉鎖していた扉２２１が開放されて、ロードロック部２２の内部空間と第２筐体１３１の内部空間とが連通した状態とされる（図３）。
（第２局面）
載置部３１に載置された収納容器９の内部空間が第１筐体１２１の内部空間と連通した状態とされると、第１搬送装置４４が、収納容器９に収容されている未処理のテープフレームウエハ９０を取り出して、これを反転装置４３に渡す（図４）。反転装置４３が該テープフレームウエハ９０を反転させると、第１搬送装置４４は該反転されたテープフレームウエハ９０を受け取って、これを退避位置Ｐ２に配置されている可動ステージ部分４１２に搬送する（図５～図６）。このような動作が繰り返されて、可動ステージ部分４１２に、３枚の未処理のテープフレームウエハ９０が載置された状態とされる（図７）。
上記の動作と並行して、トレイ支持部駆動機構５２が、トレイ支持部５１を受渡し位置Ｑ１からピン群上位置Ｑ２に移動させる（図４～図５）。ロードロック部２２に設けられているトレイ支持ピン群２２２は、出没自在とされており、トレイ支持部５１がピン群上位置Ｑ２に配置された状態で、トレイ支持ピン群２２２が没入状態とされることにより、トレイ８がトレイ支持ピン群２２２上からトレイ支持部５１上に移載される。その後、トレイ支持部駆動機構５２が、トレイ支持部５１をピン群上位置Ｑ２から受渡し位置Ｑ１に移動させる（図６～図７）。これにより、トレイ８が、ロードロック部２２内から搬出されて、第２筐体１３１内に搬入される。トレイ８が搬出されると、ロードロック部２２の扉２２１が閉鎖される。
このようにして、図７に示される状態となる。すなわち、可動ステージ部分４１２が３枚の未処理のテープフレームウエハ９０で埋まり、第２筐体１３１内にトレイ８が配置された状態となる。
（第３局面）
第１搬送装置４４は、引き続き、収納容器９に収容されている４枚目のテープフレームウエハ９０を取り出して、これを反転装置４３に渡し、反転後の該テープフレームウエハ９０を反転装置４３から受け取る。可動ステージ部分４１２は既に３枚のテープフレームウエハ９０で埋まっているため、この４枚目のテープフレームウエハ９０を可動ステージ部分４１２に載置することはできない。そこで、第１搬送装置４４は、４枚目以降のテープフレームウエハ９０については、反転後、ストッカー４２に格納していく（図８）。第１搬送装置４４は、このような動作を、ストッカー４２に６枚の未処理のテープフレームウエハ９０が格納されるまで、繰り返す（図８～図１１）。
上記の動作と並行して、第２搬送装置５３が、トレイ８に保持されている９枚の処理済みのテープフレームウエハ９０のうち、最前列にある３枚のテープフレームウエハ９０を、まとめて、固定ステージ部分４１１に移載する（図８）。その後、ステージ駆動機構４１３が、可動ステージ部分４１２を、退避位置Ｐ２から受渡し位置Ｐ１に移動させる（図９）。可動ステージ部分４１２が受渡し位置Ｐ１に配置されると、第２搬送装置５３が、可動ステージ部分４１２に載置されている３枚の未処理のテープフレームウエハ９０を、まとめて、トレイ８の空いた位置（最前列）に移載する（図１０）。
このようにして、図１１に示される状態となる。すなわち、トレイ８に、３枚の未処理のテープフレームウエハ９０と６枚の処理済みのテープフレームウエハ９０が保持された状態となる。また、可動ステージ部分４１２は空いた状態となり、固定ステージ部分４１１が３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０で埋まった状態となる。また、ストッカー４２には未処理のテープフレームウエハ９０が、６枚格納された状態となる。
（第４局面）
固定ステージ部分４１１に処理済みのテープフレームウエハ９０が３枚載置されると、第１搬送装置４４は、固定ステージ部分４１１に載置されている処理済みのテープフレームウエハ９０を次々とストッカー４２に移載するとともに、固定ステージ部分４１１の空いた位置に、ストッカー４２に格納されていた未処理のテープフレームウエハ９０を次々に移載する。このような動作が繰り返されて、固定ステージ部分４１１に３枚の未処理のテープフレームウエハ９０が載置された状態とされる（図１２～図１４）。
上記の動作と並行して、第２搬送装置５３が、トレイ８に保持されている６枚の処理済みのテープフレームウエハ９０のうち、前方側の列にある３枚のテープフレームウエハ９０を、まとめて、可動ステージ部分４１２に移載する（図１２）。その後、ステージ駆動機構４１３が、可動ステージ部分４１２を受渡し位置Ｐ１から退避位置Ｐ２に移動させる（図１３）。可動ステージ部分４１２が退避位置Ｐ２に配置されると、第２搬送装置５３が、固定ステージ部分４１１に載置されている３枚の未処理のテープフレームウエハ９０を、まとめて、トレイ８の空いた位置（真ん中の列）に移載する（図１４）。
このようにして、図１５に示される状態となる。すなわち、トレイ８に、６枚の未処理のテープフレームウエハ９０と３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０が保持された状態となる。また、可動ステージ部分４１２が３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０で埋まった状態となり、固定ステージ部分４１１が空いた状態となる。また、ストッカー４２には３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０と３枚の未処理のテープフレームウエハ９０が格納された状態となる。
（第５局面）
可動ステージ部分４１２に処理済みのテープフレームウエハ９０が載置されると、第１搬送装置４４は、可動ステージ部分４１２に載置されている処理済みのテープフレームウエハ９０を次々とストッカー４２に移載するとともに、可動ステージ部分４１２の空いた位置に、ストッカー４２に格納されていた未処理のテープフレームウエハ９０を次々と移載する。このような動作が繰り返されて、可動ステージ部分４１２に３枚の未処理のテープフレームウエハ９０が載置された状態とされる（図１６～図１８）。可動ステージ部分４１２に３枚の未処理のテープフレームウエハ９０が載置された状態となると、続いて、第１搬送装置４４は、ストッカー４２に収容されている処理済みのテープフレームウエハ９０を取り出して、これを反転装置４３に渡し、反転後のテープフレームウエハ９０を受け取って、これを載置部３１に載置された収納容器９に搬送する（図１９～図２１）。
上記の動作と並行して、第２搬送装置５３が、トレイ８に保持されている残り３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０を、まとめて、固定ステージ部分４１１に移載する（図１６）。その後、可動ステージ部分４１２に未処理のテープフレームウエハ９０が３枚載置された状態となると（図１８）、ステージ駆動機構４１３が、可動ステージ部分４１２を退避位置Ｐ２から受渡し位置Ｐ１に移動させる（図１９）。可動ステージ部分４１２が受渡し位置Ｐ１に配置されると、第２搬送装置５３が、可動ステージ部分４１２に載置されている３枚の未処理のテープフレームウエハ９０を、まとめて、トレイ８の空いた位置（後列）に移載する（図２０）。
このようにして、図２１に示される状態となる。すなわち、トレイ８に、９枚の未処理のテープフレームウエハ９０が保持された状態となる。また、可動ステージ部分４１２が空いた状態となり、固定ステージ部分４１１は３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０で埋まった状態となる。また、ストッカー４２に処理済みのテープフレームウエハ９０が０～６枚だけ残っている。
（第６局面）
第１搬送装置４４は、ストッカー４２内から処理済みのテープフレームウエハ９０がなくなるまで、これを収納容器９に搬送する動作を繰り返す。すなわち、第１搬送装置４４は、ストッカー４２に収容されている処理済みのテープフレームウエハ９０を取り出して、これを反転装置４３に渡し、反転後のテープフレームウエハ９０を受け取って、これを載置部３１に載置された収納容器９に搬送する、という動作を繰り返す（図２２）。そして、ストッカー４２内から処理済みのテープフレームウエハ９０がなくなると、続いて、第１搬送装置４４は、固定ステージ部分４１１に載置されている処理済みのテープフレームウエハ９０を保持して、これを反転装置４３に渡し、反転後の該テープフレームウエハ９０を反転装置４３から受け取って、これを載置部３１に載置された収納容器９に搬送する。このような動作が繰り返されて、固定ステージ部分４１１に載置されている３枚の処理済みのテープフレームウエハ９０が全て収納容器９に収納される（図２３～図２５）。
上記の動作と並行して、トレイ支持部駆動機構５２が、トレイ支持部５１を受渡し位置Ｑ１からピン群上位置Ｑ２に移動させる（図２２～図２３）。トレイ支持部５１がピン群上位置Ｑ２に配置された状態で、トレイ支持ピン群２２２が突出状態とされることにより、トレイ８がトレイ支持部５１からトレイ支持ピン群２２２上に移載される。その後、トレイ支持部駆動機構５２が、トレイ支持部５１をピン群上位置Ｑ２から受渡し位置Ｑ１に移動させる（図２４～図２５）。これにより、トレイ８が、第２筐体１３１からロードロック部２２に搬入される。
その後、処理装置２の制御下で、トレイ８がロードロック部２２から処理部２１に搬入され、トレイ８に保持されている９枚のテープフレームウエハ９０に対して、所定の処理が一括して行われる（図２６）。図２６に示される状態においては、上述した「第１局面」で収納容器９に収納されていた９枚の未処理のテープフレームウエハ９０が、トレイ８に保持されて処理装置２で処理を受けるとともに、「第１局面」でトレイ８に保持されていた９枚の処理済みのテープフレームウエハ９０が、収納容器９に収納された状態となっている。
搬送システム１では、上述した一連の動作が繰り返されることによって、収納容器９に収納された未処理のテープフレームウエハ９０が次々にトレイ８に搬送されるとともに、トレイ８に保持された処理済みのテープフレームウエハ９０が収納容器９に次々に収納されていく。
もっとも、上記に説明した一連の搬送動作はあくまで１つの例であり、搬送システム１で行われる一連の搬送動作は、処理レシピ、トレイ８に載置されるテープフレームウエハ９０の枚数、収納容器９に収納されるテープフレームウエハ９０の枚数、等に応じて任意に設定することができる。
＜３．効果＞
上記の実施形態に係る搬送システム１は、対象物であるテープフレームウエハ９０を複数収納する収納容器９と、トレイ８に保持された複数のテープフレームウエハ９０に対して一括して処理を行う処理装置２との間で、テープフレームウエハ９０を搬送する。この搬送システム１は、収納容器９が載置される載置部３１と、複数のテープフレームウエハ９０が載置されるステージ４１と、トレイ８を支持するトレイ支持部５１と、載置部３１に載置された収納容器９とステージ４１との間でテープフレームウエハ９０を搬送する第１搬送装置４４と、ステージ４１とトレイ支持部５１に支持されたトレイ８との間でテープフレームウエハ９０を搬送する第２搬送装置５３と、を備える。
この構成によると、２個の搬送装置（第１搬送装置４４および第２搬送装置５３）が、ステージ４１を介して協働しつつ、収納容器９とトレイ８の間でテープフレームウエハ９０を搬送するので、例えば、一方の搬送装置が、未処理のテープフレームウエハ９０をトレイ８に向けて搬送する動作（送り搬送動作）を行っているときに、他方の搬送装置で、処理済みのテープフレームウエハ９０を収納容器９に向けて搬送する動作（戻り搬送動作）を行うことも可能となる。つまり、送り搬送動作と戻り搬送動作を同時に進行させることが可能となり、テープフレームウエハ９０を収納する収納容器９と、複数のテープフレームウエハ９０に対して一括して処理を行う処理装置２との間で、テープフレームウエハ９０を効率的に搬送することができる。
また、上記の実施形態に係る搬送システム１においては、第２搬送装置５３が、３枚のテープフレームウエハ９０を一度に搬送するものであり、トレイ８が、３×３枚のテープフレームウエハ９０を保持するものである。
この構成によると、第２搬送装置５３が一度に複数枚のテープフレームウエハ９０を搬送するので、ステージ４１とトレイ８との間でテープフレームウエハ９０を効率的に搬送することができる。特に、第２搬送装置５３が一度に搬送できるテープフレームウエハ９０の枚数の整数倍が、トレイ８に保持されるテープフレームウエハ９０の総数となっているので、第２搬送装置５３の搬送効率を特に高めることができる。
また、上記の実施形態に係る搬送システム１においては、ステージ４１が、第２搬送装置５３がアクセス可能な受渡し位置Ｐ１と、これから外れた退避位置Ｐ２との間で移動可能に設けられた可動ステージ部分４１２と、可動ステージ部分４１２と上下にずれた高さ位置において、受渡し位置Ｐ１に固定的に設けられた固定ステージ部分４１１と、を備える。
この構成によると、ステージ４１に載置できるテープフレームウエハ９０の個数を十分に確保することが可能となるので、第１搬送装置４４と第２搬送装置５３の搬送効率をともに高く維持することができる。特に、上記の実施形態では、各ステージ部分４１１，４１２に載置できるテープフレームウエハ９０の最大枚数と、第２搬送装置５３が一度に搬送するテープフレームウエハ９０の枚数とが一致しているので、搬送効率を特に高めることができる。
また、上記の実施形態に係る搬送システム１は、テープフレームウエハ９０を反転させる反転装置４３を備える。そして、第１搬送装置４４が、載置部３１に載置された収納容器９と、ステージ４１と、反転装置４３との間で、テープフレームウエハ９０を搬送する。
この構成によると、収納容器９に収納されているテープフレームウエハ９０を反転させてからトレイ８に載置することができる。搬送工程においてテープフレームウエハ９０を反転させてからトレイ８に載置する場合、搬送工程のタクトタイムの短縮が難しく、これがボトルネックとなって処理装置２の稼働率が低下する虞がある。しかしながら、ここでは、２個の搬送装置（第１搬送装置４４および第２搬送装置５３）がステージ４１を介して協働しつつ収納容器９とトレイ８の間でテープフレームウエハ９０を搬送することにより、テープフレームウエハ９０を効率的に搬送することができるので、テープフレームウエハ９０を反転させる場合であっても、搬送工程のタクトタイムを十分に短縮することができる。
また、上記の実施形態に係る搬送システム１は、テープフレームウエハ９０を一時的に収納するストッカー４２を備える。そして、第１搬送装置４４が、載置部３１に載置された収納容器９と、ステージ４１と、ストッカー４２との間で、テープフレームウエハ９０を搬送する。
この構成によると、第１搬送装置４４が、状況に応じて、収納容器９に収納されているテープフレームウエハ９０あるいはステージ４１に載置されているテープフレームウエハ９０をストッカー４２に一時的に収納することで、テープフレームウエハ９０を効率的に搬送することができる。
また、上記の実施形態に係る搬送システム１では、トレイ支持部５１とトレイ支持部駆動機構５２とによって、搬送システム１と処理装置２との間でトレイ８を搬送するトレイ搬送装置が構成されており、このトレイ搬送装置が、処理装置２から、処理済みのテープフレームウエハ９０が保持されたトレイ８を受け取るとともに、処理装置２に、未処理のテープフレームウエハ９０が保持されたトレイ８を受け渡す。
この構成によると、処理装置２が、搬送システム１に対してトレイ８を受け渡すための機構を有している必要がないので、搬送システム１を幅広い処理装置２に適用することができる。
＜４．変形例＞
上記の実施形態では、ステージ４１が備える各ステージ部分４１１，４１２が、最大で３枚のテープフレームウエハ９０を載置できるものとしたが、各ステージ部分４１１，４１２に載置できるテープフレームウエハ９０の最大枚数は３枚でなくともよい。もっとも、上記の通り、搬送効率を高めるためには、各ステージ部分４１１，４１２に載置できるテープフレームウエハ９０の最大枚数と、第２搬送装置５３が一度に搬送するテープフレームウエハ９０の枚数とが一致していることが好ましい。
上記の実施形態では、ステージ４１が、可動ステージ部分４１２と固定ステージ部分４１１とを備えるものとしたが、可動ステージ部分４１２は必ずしも設けられる必要はない。逆に、可動ステージ部分４１２を複数個設けてもよい。この場合、固定ステージ部分４１１および複数の可動ステージ部分４１２の全てを、互いに上下にずれた高さ位置に設けて、全てのステージ部分４１１，４１２が互いに干渉することなく受渡し位置Ｐ１に載置されるように構成しておく。
上記の実施形態では、第２搬送装置５３が、３枚のテープフレームウエハ９０を一度に搬送するものであるとしたが、第２搬送装置５３は、テープフレームウエハ９０を１枚ずつ搬送するものであってもよいし、２枚あるいは４枚以上を一度に搬送するものであってもよい。もっとも、上記の通り、第２搬送装置５３の搬送効率を高めるためには、これが一度に搬送できるテープフレームウエハ９０の枚数の整数倍が、トレイ８に保持されるテープフレームウエハ９０の総数となっていることが好ましい。
上記の実施形態に係る搬送システム１は、反転装置４３を備えるものとしたが、反転装置４３は必須の要素ではなく、これを省略してもよい。例えば、処理装置２が、テープフレームウエハ９０を、収納容器９に格納されている姿勢のままで処理するものである場合、反転装置４３を省略してもよい。
上記の実施形態に係る搬送システム１は、ストッカー４２を備えるものとしたが、ストッカー４２は必須の要素ではなく、これを省略してもよい。例えば、ステージ４１が十分に多数個のテープフレームウエハ９０を載置できるのであれば、ストッカー４２を省略してもよい。
上記の実施形態に係る搬送システム１は、ロードポート１１を５個備えるものとしたが、ロードポート１１の個数は５個に限られるものではない。
上記の実施形態に係る搬送システム１において、第１搬送装置４４はアーム４４３およびこれに接続されたハンド４４４を２組備えるものとしたが、第１搬送装置４４はこれらを１組あるいは３組以上備えるものであってもよい。
上記の実施形態に係る搬送システム１において、トレイ支持部駆動機構５２は必須の要素ではなく、これを省略してもよい。例えば、処理装置の側に、搬送システムに対してトレイを受け渡すための機構が設けられている場合は、トレイ支持部駆動機構５２を省略することができる。
上記の実施形態では、搬送システム１で搬送される対象物は、粘着テープ９２を介して円環状のフレーム９３に保持されたウエハ９１であったが、このフレーム９３は円環状に限るものではなく、多角形の枠状等であってもよい。また、対象物は、テープフレームウエハ９０でなくともよく、フレームに保持されないウエハであってもよい。あるいは、対象物は、ウエハ以外のものであってもよい。
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
１ 搬送システム
１１ ロードポート
３１ 載置部
１２ 第１搬送部
４１ ステージ
４１１ 固定ステージ部分
４１２ 可動ステージ部分
４１３ ステージ駆動機構
４２ ストッカー
４３ 反転装置
４４ 第１搬送装置
１３ 第２搬送部
５１ トレイ支持部
５２ トレイ支持部駆動機構
５３ 第２搬送装置
１４ 制御部
２ 処理装置
２１ 処理部
２２ ロードロック部
８ トレイ
９ 収納容器
９０ 対象物（テープフレームウエハ）

Claims (5)

  1. 対象物を複数収納する収納容器と、ｎ行×ｍ列（ただし、ｎは２以上の整数、ｍは１以上の整数）に配列されてトレイに保持された複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を搬送する搬送システムであって、
    前記収納容器が載置される載置部と、
    複数の対象物が載置されるステージと、
    前記トレイを支持するトレイ支持部と、
    前記載置部に載置された収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する第１搬送装置と、
    前記ステージと前記トレイ支持部に支持されたトレイとの間で対象物を搬送する第２搬送装置と、
    を備え、
    前記ステージが、
    前記第１搬送装置および前記第２搬送装置がアクセス可能な受渡し位置と、前記受渡し位置から外れており、前記第１搬送装置がアクセス可能であり前記第２搬送装置がアクセスできない位置であって、前記受渡し位置から列方向に移動することで到達できる位置である退避位置との間で移動可能に設けられた可動ステージ部分、
    を備え、
    前記第２搬送装置が、前記受渡し位置において列方向に配列されたｎ枚の対象物を保持して、行方向に移動して、前記ステージと前記トレイとの間で該ｎ枚の対象物を一度に搬送する、
    ことを特徴とする、搬送システム。
  2. 請求項１に記載の搬送システムであって、
    前記第１搬送装置を備える第１搬送部が収容される第１筐体と、
    前記第２搬送装置を備える第２搬送部が収容される第２筐体と、
    を備えることを特徴とする、搬送システム。
  3. 請求項２に記載の搬送システムであって、
    前記第１搬送部が前記ステージを備え、
    前記第２搬送部が前記トレイ支持部を備える、
    ことを特徴とする、搬送システム。
  4. 請求項１から３のいずれかに記載の搬送システムであって、
    前記トレイ支持部に支持される前記トレイに保持される複数の対象物が、前記ステージに近い列から順に、処理済みの対象物から未処理の対象物に置き換えられていく、
    ことを特徴とする、搬送システム。
  5. 請求項１から３のいずれかに記載の搬送システムであって、
    前記第１搬送装置が、前記第２搬送装置の移動方向と交差する方向に移動して、前記収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する、
    ことを特徴とする、搬送システム。
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