JP7481271B2 - 噴出ディスペンサの位置的制御システム及び方法 - Google Patents

Description

本開示内容、すなわち本発明は、一般に、噴出（ジェッティング）システムに関し、特に、噴出システム内におけるニードルの位置を制御するための閉ループフィードバック制御に関する。

〔関連出願の参照〕
本願は、２０１８年６月２５日に出願された米国特許仮出願第６２／６８９，６９４号の権益主張出願であり、この米国特許仮出願を参照により引用し、その開示内容を本明細書の一部とする。

流動物、例えば接着剤、はんだペースト、共形被膜（コンフォーマルコーティング）、封入剤、アンダーフィル材料、及び表面実装接着剤を噴出させる公知の噴出システムは、一般に、ニードルを往復動作させることによって少量の流動物を基材上に噴出させるよう働く。ニードルを作動させる一方法は、圧電装置によってであり、この圧電装置は、高レベルの制御及び操作の変化に対する迅速な応答を提供する。噴出操作中、各下降ストローク時、ニードルは、弁座に接触して少量の物質を噴出システムのノズルから噴出させる明確な高圧パルスを生じさせる。ニードルの往復動は、特定の目的に合った規定の寸法形状特性を有する物質の噴出ドットを維持するために正確でなければならない。

首尾一貫した往復ニードル運動を経時的に維持することは、特定の噴出作業と小出しされた物質、及び噴出システムの各組み合わせが特有のニードル運動パターンを必要とする場合があるので困難であると言える。幾つかの場合、物質の噴出ドットの寸法形状は、意図した値から経時的に外れる場合がある。これは、一つには物質摩耗、環境上の変化、部品許容誤差、部品交換などに起因している場合がある。これらの変化を考慮に入れることなしに、望ましくない流体パターンを適用する場合があり、それにより望ましくない最終製品が生じる場合がある。

その結果、噴出物質の首尾一貫したドット寸法形状を提供するためにニードルストロークの動的補正を許容するシステムが要望されている。

本発明の実施形態は、物質をアプリケータから噴出させるためのアプリケータの可動部品の動きを制御する方法である。本方法は、ニードルに作動的に連結された圧電装置に電圧波形を提供することによって圧電装置を作動させて可動部品が第１の小出し操作で位置的経路に沿って並進するようにするステップを含む。本方法は、可動部品の位置をある期間にわたって検出するステップをさらに含み、かかる位置は、可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定め、本方法は、第２の小出し操作のためのパラメータを受け取るステップと、第２の小出し操作に関するパラメータ及び可動部品の時間依存性位置的プロフィールに基づくパラメータに基づいて、圧電装置に印加されるべき所要の電圧波形を決定して第２の小出し操作を実行するステップとをさらに含む。本方法は、所要の電圧波形を圧電装置に印加して第２の小出し操作を実行するステップをさらに含む。

本発明の別の実施形態は、可動部品の動きをアクチュエータに印加される電圧に関連させる方法である。本方法は、電圧波形を可動部品に作動的に連結された圧電装置に提供して可動部品が小出し操作において位置的経路に沿って並進するようにするステップと、小出し操作中における可動部品の位置を検出するステップとを含み、かかる位置は、可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定める。本方法は、可動部品の時間依存性位置的プロフィールと圧電装置に印加された電圧波形との関係を生成するステップをさらに含む。

本発明の別の実施形態は、物質を噴出させるアプリケータである。アプリケータは、弁を有し、弁は、弁座及び弁から物質を噴出させるために小出し操作の際に第１の位置と第２の位置との間で並進するよう構成されたニードルを有する。アプリケータは、電圧の受け取りに応じてニードルを動かす圧電装置と、圧電装置とニードルとの間に作動的に連結された増幅器と、可動部品の位置をモニタする位置センサとを有し、かかる位置は、可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定め、可動部品は、ニードル、増幅器、又は増幅器に作動的に連結されたプッシュロッドを含む。アプリケータは、圧電装置及び位置センサと電気的連絡状態にあるコントローラをさらに有し、コントローラは、可動部品の時間依存性位置的プロフィールと圧電装置に印加された電圧波形との関係を定めるよう構成されている。

上記概要説明並びに以下の詳細な説明は、添付の図面と関連して読まれると、良好に理解されよう。図面は、本発明の例示の実施形態を示している。しかしながら、理解されるべきこととして、本願は、図示の配置及び構成そのものには限定されない。

本発明の例示の実施形態に係るアプリケータの斜視図である。 図１の２‐２線に沿って取った図１に示されているアプリケータの断面図である。 図２に示されたアプリケータの弁組立体の拡大断面図であり、ニードルを第１の位置で示す図である。 図２Ａに示された弁組立体の拡大断面図であり、ニードルが第２の位置にある状態を示す図である。 図１に示されたアプリケータの圧電装置の部分分解組立斜視図である。 図３に示された圧電装置の斜視図であり、ある特定の要素が内部の内側の細部を良好に示すために破線で示されている状態を示す図である。 図３に示された圧電装置の下側部分の側面図である。 本発明の変形実施形態に係るアプリケータの等角図である。 図６の７‐７線に沿って取った図６に示されているアプリケータの一部分の断面図である。 図７に示されたアプリケータの断面図の拡大部分図である。 図６に示されたアプリケータの弁組立体の断面図の拡大部分図であり、ニードルが第１の位置にある状態を示す図である。 図９Ａに示された弁組立体の拡大断面図であり、ニードルが第２の位置にある状態を示す図である。 図９Ａに示された弁組立体の機械式増幅器の等角図である。 図１０に示された機械式増幅器の別の等角図である。 図１０に示された機械式増幅器の断面図であり、機械式増幅器が非変形形態にある状態を示す図である。 図１０に示された機械式増幅器の断面図であり、機械式増幅器が変形後の形態にある状態を示す図である。 図１０に示された機械式増幅器の断面図であり、弁組立体が別の位置にある状態を示す図である。 本発明の実施形態に係るアプリケータの可動部品の動きを制御する方法のプロセス流れ図である。 経時的な所望の可動部品軌道及び本発明の実施形態に従って生じた実際の可動部品軌道を示すグラフ図である。 図１６Ａに示された実際の可動部品軌道を生じさせるために本発明の実施形態に従って生じた電圧波形を示すグラフ図である。 従来型開ループシステムを用いて生じた実際の可動部品軌道を示すグラフ図である。 図１７Ａに示された実際の可動部品軌道を生じさせるために用いられた電圧波形を示すグラフ図である。

図１～図４を参照すると、本発明の実施形態に係るアプリケータ１０が主要構成要素として、コントローラ１４に結合された噴出（ジェッティング）ディスペンサ１２を有する。噴出ディスペンサ１２は、アクチュエータハウジング１８に結合された流体本体１６を有する。具体的に説明すると、流体本体１６は、流体本体ハウジング１９内に保持され、この流体本体ハウジングは、噴出操作の必要性に応じて、１つ又は２つ以上の加熱器（図示せず）を有するのが良い。流体本体１６は、適当な物質供給源２０、例えば注射器筒（図示せず）から圧力下で物質を受け入れる。弁組立体２２がハウジング１８に結合されており、この弁組立体は、流体本体１６中に延びている。機械式増幅器（例えば、レバー２４）が圧電装置２６と弁組立体２２との間に結合され、これについては以下にさらに説明する。

圧電装置２６を冷却する目的で、空気が源２７から入口ポート２８中に導入され、そして排気ポート３０から排出されるのが良い。変形例として、冷却の必要性に応じて、入口ポート２８と排気ポート３０の両方は、図２に示されているように源２７から冷却用空気を受け入れても良い。かかる場合、１つ又は２つ以上の他の排気ポート（図示せず）がハウジング１８に設けられる。温度及びサイクル制御部３６が噴出操作中に圧電装置２６をサイクル動作させるとともに小出しされた物質を所望の温度に維持するために噴出ディスペンサ１２によって指示された１つ又は２つ以上の加熱器（図示せず）を制御するために設けられている。もう１つのオプションとして、温度及びサイクル制御部３６、又は別の制御部が閉ループ方式で圧電装置２６の冷却の必要性を制御することができる。さらに図４に示されているように、圧電装置２６は、圧電素子のスタック４０をさらに有する。このスタック４０は、スタック４０の互いに反対側の側部に結合されたそれぞれの扁平な圧縮ばね要素４２，４４によって圧縮状態に維持されている。具体的に説明すると、扁平なばね要素４２，４４を圧電素子のスタック４０がこれらばね要素相互間に位置した状態で互いに保持する上側及び下側ピン４６，４８が設けられている。上側ピン４６は、圧電装置２６の上側アクチュエータ部分２６ａ内に保持され、下側ピン４８は、スタック４０の下端部に直接的に又は間接的に係合している。上側アクチュエータ部分２６ａは、圧電素子のスタック４０を固定的に収容し、その結果、スタック４０は、何らかの側方の動きを生じないよう安定化されている。この実施形態では、下側ピン４８は、下側アクチュエータ部分２６ｂ、より具体的に言えば、機械式アーマチュア５０（図２）に結合されている。

機械式アーマチュア５０の上面５０ａは、圧電スタック４０の下端部に当接している。ばね要素４２，４４は、ピン４６，４８相互間に引き延ばされており、その結果、ばね要素４２，４４は、図４の矢印５３によって示されているように一定の圧縮力をスタック４０に及ぼすようになっている。扁平なばね要素４２，４４は、より具体的に言えば、ワイヤＥＤＭプロセスから形成されるのが良い。圧電素子スタック４０の上端部は、上側アクチュエータ部分２６ａの内面に当たった状態で保持されている。したがって、上側ピン４６は、静止状態にあり、他方、下側ピン４８がばね要素４２，４４及び機械式アーマチュア５０と一緒に浮動し又は動き、これについては後述する。圧電波形が圧電スタック４０に印加されると、スタック４０は、膨張し又は長くなり、これにより、アーマチュア５０がばね要素４２，４４の力に抗して下方に動く。スタック４０は、印加された電圧波形の大きさに比例して経時的に長さを変える。

さらに図２に示されているように、機械式アーマチュア５０は、機械式増幅器に作動的に結合され、この機械式増幅器は、この例示の実施形態では、全体として第１の端部２４ａのところが機械式アーマチュア５０に結合されかつ第２の端部２４ｂのところがプッシュロッド６８に結合されたレバー２４として形成されている。レバー２４は、例えばＥＤＭプロセスにより下側アクチュエータ部分２６ｂから一体に形成されるのが良く、このＥＤＭプロセスはまた、機械式アーマチュア５０とレバー２４との間に一連のスロット５６を形成する。以下にさらに説明するように、レバー２４又は別の機械式増幅器は、スタック４０が膨張し又は長くなる距離を所望の量だけ増幅する。例えば、この実施形態では、スタック４０及び機械式アーマチュア５０の下方の動き又は運動距離は、レバー２４の第２の端部２４ｂのところで約８倍に増幅される。

いま、特に図２、図２Ａ、図２Ｂ及び図５を参照すると、屈曲部分６０がレバー２４を機械式アーマチュア５０に結合している。図５に最も良く示されているように、レバー２４は、レバー２４の第２の端部２４ｂとほぼ同一の水平高さ位置のところにあるピボット点６２回りに回動する。ピボット点６２のこの位置は、レバー２４の回転円弧の作用を最小限に抑えるのに役立つ。下側アクチュエータ部分２６ｂに形成された一連のスロット５６は、屈曲部分６０を形成している。圧電スタック４０が図５の矢印６６によって示されているようにコントローラ１４によって電圧波形の印加の影響を受けた状態で長くなると、レバー２４は、スタック４０が機械式アーマチュア５０を押し下げているときにピボット点６２回りに全体的に時計回りに回転する。レバー２４の僅かな回転が屈曲部分６０によって印加される弾性付勢力に抗して起こる。第２の端部２４ｂがピボット点６２回りに僅かに時計回りの方向に回転しているとき、この第２の端部は、下方に動き、同様に図５の矢印６７によって指示されているように、取り付け状態のプッシュロッド６８を下方に動かす（図２）。

コントローラ１４は、本明細書において説明するようにアプリケータ１０の種々の作動をモニタするとともに制御するためのソフトウェアアプリケーションをホストとして処理するよう構成された任意適当なコンピュータ計算装置を有するのが良い。理解されるように、コントローラ１４は、任意適当なコンピュータ計算装置を含むことができ、かかるコンピュータ計算装置の例示としては、プロセッサ、デスクトップ型コンピュータ計算装置、サーバコンピュータ計算装置、又は携帯型コンピュータ計算装置、例えばラップトップ、タブレット、又はスマートホンが挙げられる。具体的に説明すると、コントローラ１４は、メモリ１５及びＨＭＩデバイス１７を有するのが良い。メモリ１５は、揮発性（例えば、幾つかの形式のＲＡＭ）、不揮発性（例えば、ＲＯＭ、フラッシュメモリなど）、又はこれらの組み合わせであるのが良い。コントローラ１４は、追加の記憶装置（例えば、リムーバブル記憶装置及び／又は取り外しができない記憶装置）を有するのが良く、かかる追加の記憶装置としては、テープ、フラッシュメモリ、スマートカード、ＣＤ‐ＲＯＭ、ディジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）又は他の光記憶装置、磁気テープ、磁気ディスク記憶装置又は他の磁気記憶装置、ユニバーサル・シリアス・バス（ＵＳＢ）準拠メモリ、又は情報を記憶するために使用できるとともにコントローラ１４によってアクセス可能な任意他の媒体が挙げられるが、これらには限定されない。ＨＭＩデバイス１７は、例えばボタン、ソフトキー、マウス、音声作動式制御部、タッチスクリーン、コントローラ１４の運動、ビジュアルキュー（例えば、コントローラ１４に設けられたカメラの前での手の動き）などによりコントローラ１４を制御することができる能力を提供する入力を有するのが良い。ＨＭＩデバイス１７は、グラフィカル・ユーザ・インターフェースを介して出力を提供することができ、かかるグラフィカル・ユーザ・インターフェースは、視覚的情報、例えばニードル７６の現在の位置及び速度の値の視覚表示並びにディスプレイを介するこれらパラメータの許容範囲を含む。他の出力は、聴覚情報（例えば、スピーカを介する）、機械的情報（例えば、振動機構体を介する）、又はこれらの組み合わせを含むのが良い。種々の構成例では、ＨＭＩデバイス１７は、ディスプレイ、タッチスクリーン、キーボード、マウス、運動検出器、スピーカ、マイクロホン、カメラ、又はこれらの任意の組み合わせを含むことができる。ＨＭＩデバイス１７は、バイオメトリック情報、例えば指紋情報、網膜情報、音声情報、及び／又は顔の特徴に関する情報を入力してコントローラ１４にアクセスするための特定のバイオメトリック情報を必要とする任意適当な装置をさらに含むのが良い。

レバー２４の第２の端部２４ｂは、適当なねじ山付き締結具（ねじ部品）７０，７２を用いてプッシュロッド６８に固定されている。プッシュロッド６８は、案内ブッシュ７４内で移動して弁組立体２２のニードル７６の上側頭部分７６ａに当接する下側頭部分６８ａを有する。案内ブッシュ７４は、図２Ａ及び図２Ｂで最も良く分かるようにピン７５との圧力嵌めによってハウジング１８内に保持されている。プッシュロッド６８、案内ブッシュ７４及びピン７５から成る組立体は、作動中におけるプッシュロッド６８の適正な動きを保証するための幾分かの「屈従性（give）」を考慮に入れている。加うるに、プッシュロッド６８は、ニードル７６及びレバー２４と一緒のその往復運動中に、弾性的に側方に僅かに曲がる材料で作られている。弁組立体２２は、環状要素８０を用いてアクチュエータハウジング１８の下側部分内に設けられたコイルばね７８をさらに含む。弁組立体２２は、Ｏリング８４によって流体本体１６内に保持されたインサート８２をさらに含む。環状要素８０及びインサート８２は、この実施形態では、一体形要素、すなわちカートリッジ本体を有する。十字穿孔ウィープホール８５がＯリング８６を越えて漏れる液体がどのようなものであってもこれが逃げることができるようにするためにばね７８の下端部とほぼ一線をなしている。追加のＯリング８６がタペット又はニードル７６を封止し、その結果、流体本体１６の流体ボア８８内に収容された加圧物質が漏れ出ることがないようになっている。物質が流体本体１６の入口９０及び通路９２，９４を通って流体供給源２０から流体ボア８８に供給される。Ｏリング８４は、ボア８８及び通路９４内の加圧液体から見て環状要素８０及びインサート８２によって形成されたカートリッジ本体の外側を封止する。流体通路９２，９４は、流体本体１６にねじ込まれたプラグ部材９５によって封止されている。プラグ部材９５は、内部通路９４のクリーニングのために接近可能であるよう取り外し可能であるのが良い。

図２及び図３～図５を参照すると、アプリケータ１０は、第２の端部２４ｂの近くでレバー２４に取り付けられた基準コンポーネント６９並びにアクチュエータハウジング１８内に設けられた位置センサ７１を有するのが良い。位置センサ７１は、レバー２４が圧電スタック４０の伸長及び収縮時に回動しているときに基準コンポーネント６９の位置を検出するとともにモニタするよう構成されている。位置センサ７１は、コントローラ１４と電子連絡状態にあり、この位置センサは、基準コンポーネント６９の位置を連続的に又は定期的にモニタしてこれをコントローラ１４に伝えることができる。基準コンポーネント６９の位置をモニタすることによって、位置センサ７１はまた、小出し操作中に基準コンポーネント６９が取り付けられたレバー２４の位置をモニタする。一実施形態では、基準コンポーネント６９は、磁石であり、位置センサ７１は、ホール効果センサであり、ただし、他の構成もまた想定される。また、基準コンポーネント６９は、レバー２４に取り付けられるものとして図示されているが、基準コンポーネント６９は、レバー２４、プッシュロッド６８、又はニードル７６の任意のものに取り付け可能である。レバー２４、プッシュロッド６８、ニードル７６をひとまとめにアクチュエータの「可動部品」と言う場合がある。基準コンポーネント６９を異なって位置決めすることができるので、位置センサ７１は、同様に、基準コンポーネント６９の位置を最も良くモニタするようアクチュエータハウジング１８内に再位置決め可能である。位置センサ７１及び基準コンポーネント６９を用いてアプリケータ１０を制御する方法について以下にさらに説明する。

液滴状態の又は少量の物質を噴出させるアプリケータ１０の作動は、図２～図４を再検討することによって最も良く理解される。図２Ａは、圧電スタック４０への電圧波形が十分に除かれたときに引っ込み状態の第１の位置に上昇させられたニードル７６を示している。これにより、スタック４０が収縮する。スタック４０が収縮しているときに、扁平なばね要素４２，４４は、アーマチュア５０を上方に引き、そしてこれにより、レバー２４の第２の端部２４ｂが持ち上げられるとともにプッシュロッド６８が持ち上げられる。かくして、この場合、弁組立体２２のコイルばね７８は、ニードル７６の上側頭部分７６ａを上方に押してニードル７６の遠位端部７６ｂを上昇させてこれを流体本体１６に取り付けられている弁座９６から離すことができる。この位置では、流体ボア８８及びニードル７６の遠位端部７６ｂの下に位置する領域は、噴出ディスペンサ１２を「チャージ」するよう追加の物質で一杯になり、そして次の噴出サイクルのために噴出ディスペンサ１２を準備する。

圧電スタック４０を作動させると、すなわち、電圧波形をコントローラ１４によって圧電スタック４０に印加すると（図１）、スタック４０は、膨張して機械式アーマチュア５０に押し当たる。これにより、レバー２４が時計回りに回転するとともに第２の端部２４ｂが下方に動き、さらにプッシュロッド６８が下方に動く。プッシュロッド６８の下側頭部分６８ａは、図２Ｂに示されているようにニードル７６の上側頭部分７６ａを押し下げ、ニードル７６は、コイルばね７８の力に抗して迅速に下方に動き、ついには、遠位端部７６ｂが第２の位置において弁座９６に係合する。運動のプロセスの際、ニードル７６の遠位端部７６ｂは、物質の液滴９７を排出出口９８から押し出す。次に、電圧を圧電スタック４０から除き、すると、これにより、これらコンポーネントの各々の運動が反転して次の噴出サイクルのためにニードル７６を上昇させる。幾つかの実施形態では、ニードル７６は、コイルばね７８の力に抗して迅速に下方に動くことができ、ついには、遠位端部７６ｂは、第２の位置において弁座９６の近くに来るが、これには接触せず、それにより物質の液滴９７を排出出口９８から押し出す。ニードル７６の遠位端部７６ｂを弁座９６に接触させない場合の利益は、アプリケータ１０の小出し特性を変更する仕方でこれらコンポーネントのうちのいずれか一方又は両方に対する摩耗又は損傷を阻止することにある。

圧電装置２６を逆向きに利用しても液滴を噴出させることができるということは理解されよう。この場合、レバー２４を含む種々の機械式作動構造体を上記とは異なる設計にして、電圧が圧電スタック４０から除かれたときのスタック４０の結果としての収縮により生じる弁座９６及び排出出口１０４に向かうニードル７６の動きが物質の液滴９７を排出させるようにする。次に、スタック４０への電圧波形の印加時点、増幅システム及び他の作動コンポーネントは、流体ボア８８に次の噴出操作のための追加の物質をチャージするためにニードル７６を上昇させる。この実施形態では、ニードル７６は、常態では閉じられ、すなわち、このニードルは、圧電スタック４０に電圧が印加されない場合には弁座９６に係合していることになる。

さらに図２に示されているように、上側アクチュエータ部分２６ａは、下側アクチュエータ部分２６ｂとは別体であり、これらの部分２６ａ，２６ｂはそれぞれ、互いに異なる材料で作られている。具体的に言えば、上側アクチュエータ２６ａは、下側アクチュエータ部分２６ｂを形成している材料よりも小さい熱膨張率の材料で作られている。上側及び下側アクチュエータ部分２６ａ，２６ｂは各々、下側アクチュエータ部分２６ｂから上側アクチュエータ部分２６ａ中に延びているねじ山付き締結具（図示せず）を用いて互いにしっかりと締結されている。次に、上側及び下側アクチュエータ部分２６ａ，２６ｂの組立体を複数のボルト９９によってハウジングに締結する。より具体的には、下側アクチュエータ部分２６ｂは、ＰＨ１７‐４ステンレス鋼で作られるのが良く、上側アクチュエータ部分２６ａは、ニッケル‐鉄合金、例えば、インバール（Ｉｎｖａｒ）で作られるのが良い。１７‐４ＰＨステンレス鋼は、屈曲部分６０の寿命を延ばす極めて高い耐久限度又は疲労強度を有する。このステンレス鋼の熱膨張率は、約１０μｍ／ｍ‐Ｃであり、インバールの熱膨張率は、約１μｍ／ｍ‐Ｃである。熱膨張率の比は、これら材料とほぼ１０対１の比よりも高い場合があり又は低い場合がある。上側及び下側アクチュエータ部分２６ａ，２６ｂと関連した熱膨張率は互いに相殺する特性を提供すると効果的である。それにより、上側及び下側アクチュエータ部分２６ａ，２６ｂの互いに異なる熱膨張率により、圧電アクチュエータ２６は、広い温度範囲にわたって首尾一貫して働くことができる。具体的には、この温度範囲は、圧電アクチュエータ２６を高い周波数でかつよりアグレッシブな波形を持った状態で稼働させることができる。また、圧電スタックは、高いデューティサイクルでの動作時に、相当な熱を発生させることができる。インバールの使用により、圧電アクチュエータ２６の端部のより絶対的な位置決めが可能であり、それゆえより正確かつ使用可能なストロークが得られる。

図６～図１４を参照すると、物質を基材上に噴出させるアプリケータの別の実施形態が示されている。アプリケータ１００は、アクチュエータハウジング１１８に結合された流体本体１１６を有する状態で示されている。流体本体１１６は、流体本体ハウジング１１９内に保持され、この流体本体ハウジングは、用途の必要性に応じて１つ又は２つ以上の加熱器（図示せず）を備えることができる。流体本体１１６は、適当な物質供給源１２０、例えば注射器筒から圧力下で物質を受け入れるよう構成されている。弁組立体１２２がハウジング１１８に結合されており、この弁組立体は、流体本体１１６中に延びている。機械式増幅器２０６が圧電装置１２６と弁組立体１２２との間に結合されており、これについては以下にさらに説明する。圧電装置１２６は、複数のボルト（図示せず）又は他の適当な締結具によってアクチュエータハウジング１１８に締結されるのが良い。圧電装置１２６は、種々の材料で構成でき、かかる材料としては、例えば、ステンレス鋼又はニッケル‐鉄合金が挙げられるが、これらには限定されない。

さらに、図７及び図８に示されているように、圧電装置１２６は、圧電素子のスタック１４０、近位端部２１８、及び近位端部２１８と反対側の遠位端部２２０を有する。圧電素子は、電圧波形の印加時及び／又はその除去時に変形するよう構成されている。このスタック１４０は、圧電装置１２６に結合された圧縮ばね１４４によって圧縮状態に維持されている。

スタック１４０は、遠位端部２２０のところの圧縮ばね１４４と例えばハウジング１８の内面に当たっている硬質の表面（図示せず）との間に圧縮状態で保持されるのが良い。硬質表面は、近位端部２１８に接触するのが良い。幾つかの観点では、スタック１４０は、複数の圧縮ばね１４４、例えば近位端部２１８のところの第１の圧縮ばね１４４と遠位端部２２０のところの第２の圧縮ばね１４４によって保持されるのが良い。

圧電装置１２６は、プッシュロッド１６８に作動的に係合し、この圧電装置は、プッシュロッド１６８を第１の方向に動かすよう構成されている。図９Ａ及び図９Ｂを参照すると、プッシュロッド１６８は、案内ブッシュ１７４で移動して弁組立体１２２と関連したニードル１７６の近位端部１７６ａに当接する下側頭部分１６８ａを有し、ニードル１７６は、可動シャフトであるのが良い。案内ブッシュ１７４は、ピン１７５との圧力嵌めによってアクチュエータハウジング１１８内に保持されるのが良い。プッシュロッド１６８、案内ブッシュ１７４及びピン１７５から成る組立体は、作動中におけるプッシュロッド１６８の適正な動きを保証するための幾分かの「屈従性（give）」を考慮に入れている。

弁組立体１２２は、環状要素１８０を用いてアクチュエータハウジング１１８の下側部分内に設けられたコイルばね１７８をさらに含むのが良い。インサート１８２がＯリング１８４によって流体本体１１６内に保持されるのが良い。環状要素１８０及びインサート１８２は、図示の観点では、一体形要素、すなわちカートリッジ本体を有する。

追加のＯリング１８６がニードル１７６を封止し、その結果、流体本体１１６の流体ボア１８８内に収容された加圧物質が漏れ出ることがないようになっている。物質が流体本体１１６の入口１９０及び通路１９２，１９４を通って流体供給源１２０から流体ボア１８８に供給される。Ｏリング１８４は、ボア１８８及び通路１９４内の加圧液体から見て環状要素１８０及びインサート１８２によって形成されたカートリッジ本体の外側を封止する。十字穿孔ウィープホール１８５がＯリング１８６を越えて漏れる液体があったとしてもこれが逃げることができるようにするためにコイルばね１７８の下端部とほぼ一線をなしている。

電圧波形がスタック１４０に印加されると、圧電素子を変形し、スタック１４０が膨張し又は長くなり、それにより遠位端部２２０は、ばね１４４によって及ぼされている力に抗して近位端部２１８から遠ざかる方向に動く。スタック１４０は、経時的にスタック１４０に印加された電圧波形の大きさに比例して長さを変化させるよう構成されているのが良い。印加された電圧が除かれ又は十分に減少すると、スタック１４０は、電圧の印加前におけるスタックの長さと実質的に同一の長さまで収縮し又は短くなる。

スタック１４０の動きにより、圧電装置１２６に作動的に結合されているプッシュロッド１６８が動く。プッシュロッド１６８は、弁組立体１２２に設けられたニードル１７６に作動的に結合されるのが良い。プッシュロッド１６８を動かしているとき、ニードル１７６もまた動いて弁組立体１２２に設けられている排出出口２０４を開閉する。スタック１４０の動きの繰り返しの結果として、ニードル１７６の往復動が生じるとともに液滴状態又は少量の物質がアプリケータ１００の排出出口２０４を通って小出しされ又は噴出する。幾つかの実施形態では、ニードル１７６は、ニードル１７６が排出出口２０４の近くに至るがこれに接触しないところまで迅速に下方に動くことができる。

再び図７及び図８を参照すると、機械式増幅器２０６がスタック１４０の動きを比例的に増幅させるようアプリケータ１００内に設けられるのが良い。増幅器２０６は、スタック１４０及び弁組立体１２２に結合され、その結果、スタック１４０の動きにより、増幅器２０６の少なくとも一部分が動き、それによりニードル１７６が動く。電圧波形がスタック１４０に印加されると、スタック１４０の動きにより、力が増幅器２０６に及ぼされるとともに増幅器２０６が同様に動くとともにニードル１７６を動かす。理解されるように、元々の動きの量の増幅が所望される場合、増幅器２０６によりニードル１７６の動きの大きさは、スタック１４０の動きの大きさよりも大きいであろう。

図１０及び図１１を参照すると、増幅器２０６は、実質的に丸い断面を備えたディスクであるのが良い。しかしながら、理解されるように、増幅器２０６は、任意適当な形状のものであって良く、例えば、長方形、三角形、又は別の多角形断面形状を有することができる。

増幅器２０６は、アプリケータ１００と一体であっても良く、単一の一体形コンポーネントのいずれか一方の部分であって良く、あるいはアプリケータ１００に取り付けられた別個のコンポーネントであっても良い。幾つかの観点では、増幅器２０６は、アプリケータ１００に取り外し可能に結合されかつスタック１４０及び弁組立体１２２と選択的に係合し又はこれから外されるよう構成された別個のコンポーネントであるのが良い。アプリケータ１００は、増幅器を係合させた状態で又は増幅器を係合させない状態のいずれかで働くよう構成可能である。幾つかの観点では、アプリケータ１００は、選択的に係合し又は外されてその結果として様々な増幅度を提供することができる複数の増幅器２０６を有するのが良い。アプリケータ１００は、多数の増幅器２０６に同時に係合させた状態で働くよう構成可能である。幾つかの観点では、増幅器２０６は、異なる増幅度を結果的にもたらすよう別の増幅器２０６と交換可能であるのが良い。

依然として図１０及び図１１を参照すると、増幅器２０６は、本体２０８を有し、本体２０８は、一次的表面２１０及び一次的表面２１０と反対側の二次的表面２１２を有する。本体２０８は、力を加えると変形させることができる変形可能な材料から成るのが良い。変形可能な材料は、変形を生じさせる力を減少させ又は除いたときに本体２０８が実質的にその非変形状態に戻るよう十分に弾性であるべきである。本体２０８は、スタック１４０から力を受け取るとともに損傷を受けないで（例えば、亀裂又は破断を）生じさせない及び力をニードル１７６に加えるのに足るほど剛性であるべきである。理解されるように、完全に弾力的でありかつ無限に耐久性のある材料は存在せず、当業者であれば、所望の機能を適当な度合いまで実行する材料を認識するであろう。

増幅器２０６は、本体２０８を貫通して一次的表面２１０を二次的表面２１２に連結する開口部２１４を有するのが良い。中心軸線Ａが開口部２１４の幾何学的中心を貫通している。中心軸線Ａはまた、スタック１４０及びプッシュロッド１６８の中心線と共通しているのが良い。幾つかの観点では、１つ又は２つ以上のローブ２１６が本体２０８の周囲から中心軸線Ａに向かって開口部２１４中に半径方向内方に延びるのが良い。ローブ２１６は、増幅器２０６が変形形態にはない場合に中心軸線Ａに実質的に垂直であるのが良い。増幅器２０６は、２つ、３つ、・・・１０個、又は別の適当な数のローブを有することができる。変形例として、増幅器２０６は、本体２０８から延びるローブを備えていなくても良く、かかる増幅器は、ドーナツの形をしていても良い。

増幅器２０６は、プッシュロッド１６８に作動的に結合されるのが良く、その結果、増幅器２０６を動かすと、プッシュロッド１６８もまた動くようになっている。理解されるように、プッシュロッド１６８は、任意適当な仕方で、例えば摩擦嵌めにより、接着剤を用いて、締結具を用いるなどして増幅器２０６に結合されるのが良い。変形例として、プッシュロッド１６８は、増幅器２０６と一体に形成されても良い。図１１に示された諸観点を参照すると、プッシュロッド１６８は、増幅器本体２０８の開口部２１４を貫通するのが良い。かかる観点では、プッシュロッド１６８の少なくとも一部分は、これが開口部２１４を自由に貫通することができるような寸法形状のものであるべきである。プッシュロッド１６８の上側頭部分１６８ｂは、例えば一次的表面２１０のところで増幅器２０６に接触するのが良い。上側頭部分１６８ｂは、これが開口部２１４を貫通することがないよう開口部２１４よりも大きな寸法及び形状のものであるのが良い。幾つかの観点では、増幅器２０６を変形させる場合、開口部２１４は、増幅器２０６を変形させない場合の開口部よりも大きいのが良い。かかる観点では、上側頭部分１６８ｂは、同様に変形後の増幅器２０６の開口部２１４よりも大きいように寸法決めされるべきである。

上側頭部分１６８ｂは、開口部２１４を貫通するよう構成されたプッシュロッド１６８の部分に一体的に取り付けられている。増幅器２０６は、力を上側頭部分１６８ｂに及ぼすのが良く、この力は、次に、プッシュロッド１６８の残部に伝えられる。

増幅器２０６は、スタック１４０から力を受け取って力をプッシュロッド１６８に及ぼすレバー機構として働くのが良い。増幅器２０６は、圧電装置１２６の遠位端部２２０と基部２３０との間に設けられるのが良い。再び図７及び図８を参照すると、一次的表面２１０は、遠位端部２２０に取り付けられるのが良く、二次的表面２１２は、基部２３０に隣接して位置するのが良い。

幾つかの観点では、力の伝達の精度を高めるため、遠位端部２２０及び基部２３０に設けられた特定の接触領域を増幅器２０６に接触させる。図８に示されているように、例えば、一次的突出部２２２が遠位端部２２０に設けられるのが良く、この一次的突出部は、この遠位端部から増幅器２０６の一次的表面２１０に向かう方向に延びるのが良い。同様に、基部２３０は、二次的突出部２３２を有するのが良く、この二次的突出部は、基部から増幅器２０６の二次的表面２１２に向かう方向に延びている。一次的突出部２２２及び二次的突出部２３２がそれぞれ、任意の許容限度内の角度で遠位端部２２０及び基部２３０から延びるのが良いが、伸長角度の少なくとも一成分は、一次的表面２１０及び二次的表面２１２に実質的に垂直であるべきであることは理解されよう。

幾つかの別の観点では、一次的突出部２２２は、増幅器本体２０８の一次的表面２１０に一体であるのが良くかつこの一次的表面から遠位端部２２０に向かって延びるのが良い。同様に、二次的突出部２３２は、増幅器本体２０８の二次的表面２１２に一体でありかつこの二次的表面から基部２３０に向かって延びるのが良い。別の観点では、突出部は、増幅器２０６、遠位端部２２０及び／又は基部２３０のうちの１つ又は２つ以上から延びるのが良く、本発明は、上述した突出部の特定の構成には限定されない。

作用を説明すると、アプリケータ１００は、液滴状態又は少量の物質を噴出させるよう構成されている。スタック１４０を作動させると、すなわち、電圧波形を主電子制御部（図示せず）により圧電素子に印加すると、スタック１４０は、膨張して増幅器２０６に一次的表面２１０のところで圧接する。上述した一次的及び二次的突出部２２２，２３２の位置に基づいて、増幅器２０６は、変形して力をプッシュロッド１６８の上側頭部分１６８ｂに及ぼす。この力により、プッシュロッド１６８は、圧電装置１２６に向かう開き方向に動く。上側頭部分１６８ｂが増幅器２０６によって動かされる距離は、好ましくは、スタック１４０の遠位端部２２０によって動かされる距離よりも長い。プッシュロッド１６８と一体である下側頭部分１６８ａもまた同一の開き方向に動く。下側頭部分１６８ａがニードル１７６から遠ざかって動くと、ニードル１７６もまた、第１の位置に向かって開き方向に動くようになる。ニードル１７６は、コイルばね１７８によって開き方向に向かって付勢されるのが良く、プッシュロッド１６８がニードル１７６から遠ざかって動くと、コイルばね１７８は、ニードル１７６も開き方向に動かす。

電圧がスタック１４０から除かれ又は十分に減少すると、上述の動きが逆になる。スタック１４０は長さが短くなり、かくして増幅器２０６に加えられる力が減少する。次に、増幅器２０６は、その実質的に非変形状態に戻ることができ、それによりプッシュロッド１６８の上側頭部分１６８ｂに加えられる力が減少する。プッシュロッド１６８は、コイルばね１６９によって開き方向とは逆の閉じ方向に付勢されるのが良い。増幅器２０６によってプッシュロッド１６８に加えられる力が減少してコイルばね１６９の付勢力を下回ると、コイルばね１６９は、プッシュロッド１６８を閉じ方向に動かす。下側頭部分１６８ａは、ニードル１７６の近位端部１７６ａに接触してニードル１７６をコイルばね１７８の力に抗して閉じ方向に押し、ついには、近位端部１７６ａの反対側でニードル１７６に設けられている遠位端部１７６ｂが弁座２００に当たり又は第１の位置から間隔を置いて位置する第２の位置で弁座２００に近づくようになる。コイルばね１７８は、コイルばね１６９よりも低いスチフネスを有するのが良く、その結果、外力が存在しない場合、閉じ方向にコイルばね１６９によって及ぼされている力は、開き方向にコイルばね１７８によって及ぼされている力よりも大きくなる。

ニードル１７６を第１の位置から第２の位置に動かすプロセスにおいて、ニードル１７６の遠位端部１７６ｂは、遠位端部１７６ｂが排出出口２０４の弁座２００に当たったとき又はその近くに位置したとき、物質の液滴２０２を排出出口２０４から押し出すのが良い。加うるに、この小出し操作中、アプリケータ１００は、システムの可動部品のうちの１つの動きをモニタするのが良い。このようにするため、アプリケータ１００は、プッシュロッド１６８に上側頭部分１６８ｂのところで取り付けられた基準コンポーネント１４８並びにアクチュエータハウジング１１８内に設けられた位置センサ１５０を有するのが良い。位置センサ１５０は、プッシュロッド１６８が圧電スタック１４０の伸長及び収縮時に上下に動いているときの基準コンポーネント１４８の位置を検出してこれをモニタするよう構成されている。位置センサ１５０は、コントローラ１１２と電子連絡状態にあり、この位置センサは、基準コンポーネント１４８の位置を連続的に又は定期的にモニタしてこれをコントローラ１１２に伝えるのが良い。基準コンポーネント１４８の位置をモニタすることによって、位置センサ１５０はまた、小出し操作中に位置センサが接触状態にある機械式増幅器２０６の位置をモニタする。一実施形態では、基準コンポーネント１４８は、磁石であり、位置センサ１５０は、ホール効果センサであり、ただし、他の構成もまた想定される。また、基準コンポーネント１４８は、プッシュロッド１６８に取り付けられた状態で示されているが、基準コンポーネント１４８は、機械式増幅器２０６、プッシュロッド１６８、又はニードル１７６のうちの任意のものに取り付け可能である。機械式増幅器２０６、プッシュロッド１６８、ニードル１７６をひとまとめにアクチュエータの「可動部品」と言う場合がある。基準コンポーネント１４８を異なる位置に配置することができるので、位置センサ１５０は、同様に、基準コンポーネント１４８の位置を最も良くモニタするようアクチュエータハウジング１１８内に再位置決め可能である。位置センサ１４８及び基準コンポーネント１５０を用いてアプリケータ１００を制御する方法について以下にさらに説明する。

コントローラ１１２は、本明細書において説明するようにアプリケータ１０の種々の作動をモニタするとともに制御するためのソフトウェアアプリケーションをホストとして処理するよう構成された任意適当なコンピュータ計算装置を有するのが良い。理解されるように、コントローラ１１２は、任意適当なコンピュータ計算装置を含むことができ、かかるコンピュータ計算装置の例示としては、プロセッサ、デスクトップ型コンピュータ計算装置、サーバコンピュータ計算装置、又は携帯型コンピュータ計算装置、例えばラップトップ、タブレット、又はスマートホンが挙げられる。具体的に説明すると、コントローラ１１２は、メモリ１１３及びＨＭＩデバイス１１４を有するのが良い。メモリ１１３は、揮発性（例えば、幾つかの形式のＲＡＭ）、不揮発性（例えば、ＲＯＭ、フラッシュメモリなど）、又はこれらの組み合わせであるのが良い。コントローラ１１２は、追加の記憶装置（例えば、リムーバブル記憶装置及び／又は取り外しができない記憶装置）を有するのが良く、かかる追加の記憶装置としては、テープ、フラッシュメモリ、スマートカード、ＣＤ‐ＲＯＭ、ディジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）又は他の光記憶装置、磁気テープ、磁気ディスク記憶装置又は他の磁気記憶装置、ユニバーサル・シリアス・バス（ＵＳＢ）準拠メモリ、又は情報を記憶するために使用できるとともにコントローラ１１２によってアクセス可能な任意他の媒体が挙げられるが、これらには限定されない。ＨＭＩデバイス１１４は、例えばボタン、ソフトキー、マウス、音声作動式制御部、タッチスクリーン、コントローラ１１２の運動、ビジュアルキュー（例えば、コントローラ１１２に設けられたカメラの前での手の動き）などによりコントローラ１１２を制御することができる能力を提供する入力を有するのが良い。ＨＭＩデバイス１１４は、グラフィカル・ユーザ・インターフェースを介して出力を提供することができ、かかるグラフィカル・ユーザ・インターフェースは、視覚的情報、例えばニードル１７６の現在の位置及び速度の値の視覚表示並びにディスプレイを介するこれらパラメータの許容範囲を含む。他の出力は、聴覚情報（例えば、スピーカを介する）、機械的情報（例えば、振動機構体を介する）、又はこれらの組み合わせを含むのが良い。種々の構成例では、ＨＭＩデバイス１１４は、ディスプレイ、タッチスクリーン、キーボード、マウス、運動検出器、スピーカ、マイクロホン、カメラ、又はこれらの任意の組み合わせを含むことができる。ＨＭＩデバイス１１４は、バイオメトリック情報、例えば指紋情報、網膜情報、音声情報、及び／又は顔の特徴に関する情報を入力してコントローラ１１２にアクセスするための特定のバイオメトリック情報を必要とする任意適当な装置をさらに含むのが良い。

圧電装置１２６を逆向きに利用しても液滴を噴出させることができるということは理解されよう。この場合、種々の機械式作動構造体は、電圧波形がスタック１４０に印加されたときのスタック１４０の結果としての膨張により生じる弁座２００及び排出出口１０４に向かうニードル１７６の動きが物質の液滴１０２を排出させるように上記とは異なる設計にされるのが良い。次に、スタック１４０への電圧の除去時、増幅システム及び他の作動コンポーネントは、流体ボア１８８に次の噴出操作のための追加の物質をチャージするためにニードル１７６を上昇させる。かかる観点では、ニードル１７６は、常態では開いており、すなわち、このニードルは、スタック１４０に電圧が印加されない場合には弁座２００に係合していない。

増幅器２０６の変形量及びその結果としてのスタック１４０の動きの増幅度は、１つには、一次的及び二次的突出部２２２，２３２がそれぞれ一次的及び二次的表面２１０，２１２に接触したときに一次的及び二次的突出部２２２，２３２の相対位置によって求められる。電圧波形がスタック１４０に印加されると、スタック１４０は、長くなって遠位端部２２０を動かし、それにより力を増幅器２０６に加える。遠位端部２２０のところの一次的突出部２２２は、増幅器２０６の比較的中心を通る中心軸線Ａから第１の距離Ｄ１遠ざかったところで増幅器２０６の一次的表面２１０に接触するのが良い。基部２３０は、増幅器２０６の他方の側に設けられており、その結果、この基部は、二次的表面２１２に接触するよう構成されている。二次的突出部２３２が中心軸線Ａから第２の距離Ｄ２遠ざかったところで二次的表面２１２に接触するのが良い。遠位端部２２０によって動かされる距離を増幅させるよう適当なレバー作用を生じさせるため、第１の距離Ｄ１と第２の距離Ｄ２は、互いに異なるべきである。

図１２及び図１３を参照すると、第１の距離Ｄ１は、第２の距離Ｄ２よりも長いのが良い。力が一次的突出部２２２によって一次的表面２１０に加えられると、二次的突出部２３２は、支点として作用する。かくして、中心軸線Ａから見て第２の距離Ｄ２よりも遠くに位置する増幅器２０６の一部分が一次的突出部２２２によって一方向に（例えば、下方に）押されると、第２の距離Ｄ２よりも中心軸線Ａの方の近くに位置する増幅器２０６の別の部分が反対側の方向に（例えば、上方に）てこ作用を受ける。例えば一次的表面２１０又はローブ２１６と上側頭部分１６８ｂの相互作用のところで増幅器に作動的に結合されたプッシュロッド１６８は、かくして、同一の方向に動かされる。図１３は、スタック１４０が長くなり、力が増幅器２０６の一次的表面２１０に加えられる例示の観点を示している。増幅器２０６がかくして変形し、上側頭部分１６８ｂは、プッシュロッド１６８の残部と一緒に、中心軸線Ａに沿って軸方向に動かされる。

プッシュロッド１６８の動く距離は、第１及び第２の距離Ｄ１，Ｄ２に応じて動く。第２の距離Ｄ２が長くなると（すなわち、支点が中心軸線Ａから見て遠くに位置すると）、プッシュロッド１６８の動く距離もまた長くなる。増幅量は、第２の距離Ｄ２を長くし又は短くすることによって制御できる。図１４は、例えば、中心軸線Ａから第２の距離Ｄ２′遠くのところに設けられた二次的突出部２３２′を備えた基部２３０′を有する変形実施形態を示している。第２の距離Ｄ２′は、第２の距離Ｄ２よりも短い。したがって、基部２３０′を有する実施形態では、プッシュロッド１６８は、基部２３０を利用する観点の場合よりも動く距離が短くなり、その結果、小さな同等の増幅量が生じる（他の全ての要因が等しいと見なして）。

第２の距離Ｄ２を変化させることは、増幅量を調節する適当な方法であるが、増幅量を種々の仕方で変化させることができる。幾つかの観点では、増幅器２０６は、容易に変形するよう構成された材料（例えば、この材料は、軟質であり又は弾力性がある）又はより剛性であるよう構成された材料（例えば、この材料は、剛く又は弾力性が低い）を含むことができる。本体２０８の厚さを増大させることができ（剛性を高めるために）、あるいは減少させることができる（柔軟性を高めるために）。幾つかの観点では、ローブ２１６は、厚さ、材料特性、及び／又は長さ（すなわち、ローブ２１６が本体２０８から中心軸線Ａまで延びる距離）に関して変更することができる。

増幅器２０６の本体２０８は、これを貫通する方向に漸変厚さ（すなわち、一次的表面２１０と二次的表面２１２との間の距離）を有するのが良い。幾つかの観点では、例えば、本体２０８は、開口部２１４から見て最も遠ざかったところの厚さが最大であり、開口部２１４の最も近くに位置するところの厚さが最小であるのが良く、この厚さは、最大厚さから最小厚さまで次第に減少している。変形例として、本体２０８は、１つ又は２つ以上の段部（図示せず）を有しても良く、各段部は、異なる厚さを有し、例えば、開口部２１４から最も遠くに位置する段部は、最大厚さの状態にあり、開口部２１４の最も近くに位置する段部は、最小厚さの状態にある。

上述したように、アプリケータ１０，１００の各々は、位置センサ７１，１５０及びアプリケータ１０，１００のそれぞれの可動部品に取り付けられた対応の基準コンポーネント６９，１４８を有するのが良い。図１５を参照すると、物質をアプリケータ１０，１００から噴出させるためのアプリケータ１０，１００の可動部品の動きを制御する方法３００が示されている。上述したように、可動部品は、ニードル７６，１７６、増幅器２４，２０６、又はプッシュロッド６８，１６８であるのが良い。当初、ステップ３０２において、ニードル７６，１７６にそれぞれ作動的に取り付けられた圧電装置２６，１２６を作動させるのに電圧波形を圧電装置２６，１２６に提供する。この電圧波形が提供された結果として、ニードル７６，１７６は、小出し操作における第１の位置と第２の位置との間で位置的経路に沿って並進するのが良く、この小出し操作を第１の小出し操作とも言う場合もある。一実施形態では、ステップ３０２中に印加される電圧波形は、ニードル７６，１７６の迅速な動きを誘起させる台形の形をしている。この小出し操作は、通常の小出し操作（すなわち、物質をアプリケータ１０，１００から噴出させる操作）であるのが良く、あるいは、変形例として、ニードル７６，１７６の動きをモニタするためだけの操作であっても良い。さらに、ステップ３０２は、機械式増幅器、例えばレバー２４又は機械式増幅器２０６の使用により圧電装置２６，１２６の動きを作動させるステップを含むのが良い。

方法３００の次のステップでは、ステップ３０６における小出し操作中にアプリケータ１０，１００の可動部品の位置を経時的に検出する。一実施形態では、期間は、５００～１０００ミリ秒（ｍｓ）であるのが良く、ただし、種々の他の期間が想定される。可動部品の経時的な検出位置をこれら検出位置が生じる時間とともに、ひとまとめに、時間依存性位置的プロフィールと称する場合がある。ステップ３１０は、位置センサ７１，１５０によって実施されるのが良く、これら位置センサは、基準コンポーネント６９，１４８の位置をモニタする。上述したように、基準コンポーネント６９，１４８は、アプリケータ１０，１００の可動部品（かかる可動部品は、ニードル７６，１７６、増幅器２４，２０６、又はプッシュロッド６８，１６８であるのが良い）のうちの任意のものに取り付けられるのが良い。位置センサ７１，１５０が基準コンポーネント６９，１４８の位置を経時的に検出すると、位置センサ７１，１５０は、それぞれの基準コンポーネント６９，１４８の時間依存性位置的プロフィールをコントローラ１４，１１２に連続的に送信するのが良い。変形例として、位置センサ７１，１５０は、それぞれの基準コンポーネント６９，１４８の時間依存性位置的プロフィールを単一の又は複数の小出しサイクルにわたって飛び飛びの間隔でコントローラ１４，１１２に間欠的に送信しても良い。さらにまた、時間依存性位置的プロフィールに基づいて定められたパラメータを時間依存性位置的プロフィール自体に代えてコントローラ１４，１１２に送信しても良い。上述したように、位置センサ７１，１５０は、ホール効果センサであるのが良く、基準コンポーネント６９，１４８は、磁石であるのが良い。

小出し操作が始まって可動部品の位置が検出された後、コントローラ１４，１１２は、ステップ３１０において、別の小出し操作のパラメータを受け取るのが良く、かかる小出し操作を第２の小出し操作と言う場合がある。コントローラ１４，１１２は、コントローラ１４，１１２のそれぞれのＨＭＩデバイス１７，１１４中へのユーザ入力によりパラメータを受け取るのが良く、かかるパラメータは、噴出されるべき物質の種類もしくはサイズ、噴出操作の特定の形式、物質を噴出させる基材又はパターン、所望のニードルの動きなどの形態をしているのが良い。ステップ３０６は、ステップ３０２の直後に実施されるステップとして示されているが、方法３００中の任意他の時点で実施できる。

引き続き図１５を参照すると、方法３００の次に、コントローラ１４，１１２は、ステップ３１４において、ある期間にわたる可動部品の時間依存性位置的プロフィールと小出し操作中に圧電装置２６，１２６に印加される電圧波形との関係を求めるのが良い。この関係は、圧電装置２６，１２６に印加されるに電圧波形に対する可動部品の動的応答をモデル化するパラメータ化数学方程式の形態を取ることができる。例えば、この方程式は、時間領域における多項式であるのが良い。これを行うため、コントローラ１４，１１２は、経時的に位置センサ７１，１５０によって検出される可動部品の動き並びに圧電装置２６，１２６に提供された電圧波形を最良適合モデルに入力してモデル方程式を生成するのが良い。一実施形態では、最良適合モデルは、外的入力付きの自己回帰移動平均（autoregressive moving average with exogenous input：ＡＲＭＡＸ）モデルであり、ただし、他の最良適合モデルが想定される。モデル方程式を生成するために利用される位置センサ７１，１５０による電圧波形及び可動部品の動きの検出期間は、圧電装置２６，１２６の１回の小出し操作（一種類の別個の量の物質を噴出させるための動き）、多数回の小出し操作などであるのが良い。

ステップ３１４をいったん実行すると、ステップ３１８において、コントローラ１４，１１２は、ステップ３０６において受け取ったユーザ入力を用いて所望の小出し操作を生じさせる対応の圧電スタック４０，１４０の所望の動きを定め、同様に、ニードル７６，１７６の所望の動きを特定するのが良い。コントローラ１４，１１２は、メモリ１５，１１３に記憶されている物質及び／又はアプリケータ１０，１００のモデルパラメータ及び／又はユーザ入力に基づいて理想的な位置的プロフィールを経時的に定めるアルゴリズムを用いて第２の小出し操作のための圧電スタック４０，１４０の所望の動きを求めることができる。この所望の動きを用いてステップ３２２を実行するのが良く、かかるステップ３２２では、コントローラ１４，１１２は、ニードル７６，１７６が第２の小出し操作を実行するために圧電装置２６，１２６に印加されるべき所要の電圧波形を求める。このステップを実施するにはニードル７６，１７６の所望の動きをコントローラ１４，１１２に入力して電圧波形を生じさせる。次に、この電圧波形をステップ３１４において作られた数学方程式に入力してニードル７６，１７６の動きを生じさせる。数学方程式のこの出力をニードル７６，１７６の所望の動きと数学方程式によって計算されたニードル７６，１７６の動きの差を求める減算結合に入力するのが良い。しかしながら、電圧波形を生じさせる他の方法が想定される。数学モデルに加えて、コントローラ１４，１１２は、コントローラ１４，１１２のメモリ１５，１１３に記憶されているモデルパラメータ、例えば封止されるべき物質の諸観点を参照して所要の電圧を求めるのが良い。所要の電圧は、台形の波形から成っていても良く、あるいは、所要の圧電装置の動きを生じさせるのに適した任意他の波形から成っていても良い。

所要の電圧をステップ３２２で求めた後、コントローラ１４，１１２は、ステップ３２６において圧電装置２６，１２６に提供された電圧波形を調節してステップ３２２において求めた所要の電圧に一致させるのが良い。一実施形態では、電圧波形を５マイクロ秒（μｓ）ごとに調節するのが良く、ただし、他の増分が想定される。その結果、ステップ３２２の実施後、アプリケータ１０，１００は、ステップ３０６において特定された第２の小出し操作を開始するのが良い。第２の小出し操作が行われている間、可動部品の位置をステップ３３０において経時的にモニタするのが良い。ステップ３３０は、モニタされている可動部品の動きの変化を検出することができるようにするとともに圧電装置２６，１２６に提供された電圧波形を微調整して首尾一貫した小出し操作を達成することができるようにする。可動部品の位置を経時的に連続方式で又は間欠的にモニタすることができる。例えば、可動部品の位置を１００小出しサイクルごとに１回モニタするのが良い。しかしながら、この小出しサイクルのこの回数は、例示に過ぎない。

次に図１６Ａ及び図１６Ｂを参照すると、経時的なアプリケータ１０，１００の可動部品の位置及び図示の動きプロフィールを生じさせるために用いられる方法３００に従って決定された電圧波形を示すグラフ図が示されている。図１６Ａに示されているように、線４０２によって示された可動部品の所望の位置は、第１の位置からの迅速な動き（２３０～５００μｓ）、第２の位置における休止（５００～１０００μｓ）、及び第２の位置から第１の位置に戻る別の迅速な動き（１０００～１２７５μｓ）を含む明確に台形の波形を有する。この動きでは、第１の位置は、ニードル７６，１７６の上述の第１の位置に対応すると言え、第２の位置は、ニードル７６，１７６の第２の位置に対応すると言える。所望の位置的プロフィールとは対照的に、経時的な可動部品の実際の位置は、線４０４を用いて示されている。経時的な実際の位置は、僅かな偏差を伴った状態で所望の位置にぴったりと続くものとして理解できる。さらに、線４０４は、線４０２の形状からの比較的数の少ないバンプ又は他の逸脱を示している。これは、図１６Ｂに線４０６として示されている方法３００に従って求められた電圧波形の使用によるものである。方法３００により、電圧波形は、アプリケータ１０，１００の種々の可動部品の減衰、振動、及び運動量を考慮に入れた位置的動きを生じさせることができる。

対照的に、図１７Ａ及び図１７Ｂを参照すると、経時的なアプリケータの可動部品の位置及びその位置的動きを生じさせるために用いられた電圧波形入力を示すグラフ図が示されており、この場合、電圧波形は、開ループを用いるシステムにより作られている。図１７Ａに示されているように、可動部品の位置は、図１６Ａに示されるように線４０２によって表された可動部品の所望の位置を達成しようとして開ループを用いて線４１０によって表されている。しかしながら、線４１０は、望ましくない振動を含み、さらに、所望の値を一貫してオーバーシュートし、このことは、噴出される任意の物質の品質に悪影響を及ぼす。この位置的動きを生じさせるために用いられる電圧波形が図１７Ｂに示されるとともに線４１４によって表されている。２つの別々の位置的動きを比較すると、方法３００に従って得られた電圧波形によってもたらされる位置的動き４０４は、開フィードバックループから得られた波形によってもたらされる位置的動き４１０よりも極めて近い動きの所望の軌道に追従する。

さらに、上述したアプリケータ１０，１００は、電圧を圧電装置に印加することができる動的及び個別化された性状に起因して現行の既存の開ループアプリケータシステムと比較して利点を提供する。ニードル並進中に振動を生じさせる種々のアプリケータは、減衰不足であることに加えて、これら自体の固有の許容度、固有振動数、減衰力などを有する。その結果、同一の小出し操作であっても、これら操作は、互いに異なるシステムの圧電装置に印加される互いに異なる電圧を必要とする場合がある。加うるに、ニードルの動きは、部品摩耗又は環境上の変化に起因して経時的に変化する場合がある。アプリケータの可動部品の動的にモニタするとともにこれら部品の動きをモデル化することによって、アプリケータは、所望の小出し操作を正確に実施するために特定の固有のアプリケータについて所要の電圧を決定することができる。また、アプリケータは、この所要の電圧を経時的に変えてアプリケータ内の又はアプリケータが設けられている環境の変化に対応することができる。その結果、オペレータは、圧電装置の励起を単に制御するのではなく、ニードルの動きに対する直接的な制御を実行することができる。これにより、物質小出しのより正確かつ精密なプロセス制御並びに圧電装置に提供される新たな電圧波形の生成を得ることができる。

本発明の種々の独創性のある観点、概念、及び特徴を例示の実施形態において組み合わせ状態で具体化されたものとして本願において説明するとともに図示したが、これら種々の観点、概念、及び特徴を個々にあるいは種々のコンビネーション及びそのサブコンビネーションの状態で多くの変形実施形態において使用することができる。本明細書において明示的に排除されていない場合、かかる全てのコンビネーション及びサブコンビネーションは、本発明の範囲に含まれることが意図されている。さらに、本発明の種々の観点、概念、及び特徴に関する種々の変形実施形態、例えば代替材料、構造、形態、方法、回路、装置及びコンポーネント、ソフトウェア、ハードウェア、制御論理、形態、適合及び機能に関する変形例などを本明細書において説明した場合があるが、かかる説明は、現在知られているにせよ後で開発されるにせよいずれにせよ、利用可能な変形実施形態の完全な又は排他的な一覧であることが意図されてはいない。当業者であれば、独創性のある観点、概念、又は特徴のうちの１つ又は２つ以上を容易に採用して追加の実施形態を構成することができ、そしてかかる実施形態が本明細書において明示的に開示されていない場合であっても、本発明の範囲内で用いることができる。加うるに、本発明の幾つかの特徴、概念、又は観点を好ましい構成又は方法であると本明細書において説明することができる場合であっても、かかる説明は、かかる特徴が必要とされ又は必要であるということを示唆することが意図されておらず、このことは、明示的にそのように記載されていない場合であってもそうである。さらにまた、例示の又は代表的な値及び範囲が本開示内容の理解を助けるために含まれている場合があるが、かかる値及び範囲は、限定的な意味で解されるべきではなく、明示的にそのように記載されている場合のみ臨界的な意味を持つ値又は範囲であることが意図されている。さらに、種々の観点、特徴、及び概念が独創的であるとして又は本発明の要部をなすものとして本明細書において明示的に特定されている場合があるが、かかる特定は、網羅的であることを意図しておらず、これとは異なり、このようなものとして又は本発明の一部として明示的に特定されていない場合に本明細書において詳細に説明されている本発明の観点、概念、及び特徴が存在する場合があり、その代わりに、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲又は関連出願又は継続出願の特許請求の範囲に記載されている。例示の方法又はプロセスの説明は、あらゆる場合において必要とされるものとして全てのステップを含むことには限定されず、これらステップが必要とされ又は必要であると解されるように提供されている順序もまた限定されず、ただし、明示的にそのように記載されていない場合にもそうである。

本発明を限定された数の実施例を用いて本明細書において説明したが、これら特定の実施形態は、本明細書において違ったやり方で説明されてクレーム請求されている本発明の範囲を限定するものではない。種々の要素の配置そのもの及び本明細書において説明した物品及び方法のステップの順序は、本発明を限定するものと解されるべきではない。例えば、方法のステップが一連の連続した参照符号及び図中のブロックの一連の進捗状況を参照して説明されているが、本方法は、所望に応じて特定の順序で実施できる。

Claims (24)

1. 物質をアプリケータから噴出させるための前記アプリケータの可動部品の動きを制御する方法であって、
   ニードルに作動的に連結された圧電装置に電圧波形を提供することによって前記圧電装置を作動させて前記可動部品が第１の小出し操作で位置的経路に沿って並進するようにするステップを含み、
   前記可動部品の位置をある期間にわたって検出するステップを含み、前記位置は、前記圧電装置に印加される前記電圧波形に対する前記可動部品の動的応答を示す前記可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定め、
   前記可動部品の検出された位置に基づいて、前記圧電装置に印加されるべき電圧波形に対する前記可動部品の動的応答のモデルを生成するステップを含み、
   第２の小出し操作のためのパラメータを受け取るステップを含み、
   前記第２の小出し操作のための前記パラメータに基づいて、前記第２の小出し操作に対する前記圧電装置の所望の動きを特徴付ける前記第２の小出し操作のための所望の位置的プロフィールを決定するステップを含み、
   前記第２の小出し操作のための前記所望の位置的プロフィールを前記モデルに適用することによって前記圧電装置に印加されるべき所要の電圧波形を決定して前記第２の小出し操作を実行するステップを含み、
   前記所要の電圧波形を前記圧電装置に印加して前記第２の小出し操作を実行するステップを含む、方法。
2. 前記圧電装置に印加されるべき前記所要の電圧波形を決定して前記第２の小出し操作を実行する前記ステップは、前記第２の小出し操作に関する前記パラメータ及び複数の小出しサイクルの間、前記可動部品の前記検出位置に基づくパラメータに基づいている、請求項１記載の方法。
3. 前記所要の電圧波形を印加する前記ステップは、一義的な電圧と時間の関係を有する、請求項１記載の方法。
4. 前記可動部品は、前記圧電装置に作動的に連結された増幅器、前記増幅器に作動的に連結されたプッシュロッド、又は前記ニードルである、請求項１記載の方法。
5. 前記ニードルの前記位置は、ホール効果センサを用いて検出される、請求項１記載の方法。
6. 前記圧電装置に印加されるべき前記所要の電圧波形を決定して前記第２の小出し操作を実行する前記ステップは、前記第２の小出し操作において小出しされるべき前記物質のモデルパラメータを参照するステップを含む、請求項１記載の方法。
7. 前記第２の小出し操作の前記パラメータは、前記第２の小出し操作で小出しされるべき前記物質の種類又はサイズを含む、請求項１記載の方法。
8. 前記所要の電圧波形の形状は、台形である、請求項１記載の方法。
9. 前記圧電装置を作動させる前記ステップは、前記圧電装置の動きを増幅させるステップを含む、請求項１記載の方法。
10. 前記モデルは、最良適合モデルである、請求項１記載の方法。
11. 前記モデルは、複数の小出し操作を含むある期間にわたる前記可動部品の検出された位置に基づいて生成される、請求項１０記載の方法。
12. 可動部品の動きをアクチュエータに印加される電圧に関連させる方法であって、
    電圧波形を前記可動部品に作動的に連結された圧電装置に提供して前記可動部品が小出し操作において位置的経路に沿って並進するようにするステップを含み、
    前記小出し操作中における前記可動部品の位置を検出するステップを含み、前記位置は、前記圧電装置に印加される前記電圧波形に対する前記可動部品の動的応答を示す前記可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定め、
    前記可動部品の検出された位置に基づいて、前記可動部品の前記動的応答のモデルを前記圧電装置に印加された前記電圧波形に生成するステップを含む、方法。
13. 前記可動部品は、前記圧電装置に作動的に連結された増幅器、前記増幅器に作動的に連結されたプッシュロッド、又は前記プッシュロッドに作動的に連結されたニードルである、請求項１２記載の方法。
14. 前記モデルは、最良適合モデルに従って決定される、請求項１２記載の方法。
15. 前記可動部品の前記位置を検出する前記ステップは、ホール効果センサを用いて実施される、請求項１２記載の方法。
16. 前記小出し操作中、所定間隔で前記可動部品の前記位置をモニタするステップをさらに含む、請求項１５記載の方法。
17. 所望の小出し操作のパラメータを受けるステップと、
    前記所望の小出し操作のパラメータに基づいて前記可動部品の動きを特徴付ける第２の小出し操作のための所望の位置的プロフィールを前記第２の小出し操作のパラメータに基づいて決定するステップとをさらに含む、請求項１２記載の方法。
18. 前記所望の位置的プロフィールを決定する前記ステップは、前記圧電装置に印加された前記電圧波形と前記可動部品の前記時間依存性位置的プロフィールを関係付ける噴出されるべき物質のパラメータを参照するステップを含む、請求項１７記載の方法。
19. 物質を噴出させるアプリケータであって、前記アプリケータは、
    弁を有し、前記弁は、弁座及び前記弁から物質を噴出させるために小出し操作の際に第１の位置と第２の位置との間で並進するよう構成されたニードルを有し、
    電圧波形の受け取りに応じて前記ニードルを動かす圧電装置を有し、
    前記圧電装置と前記ニードルとの間に作動的に連結された増幅器を有し、
    可動部品の位置をモニタする位置センサを有し、前記位置は、前記圧電装置に印加される前記電圧波形に対する前記可動部品の動的応答を示す前記可動部品の時間依存性位置的プロフィールを定め、前記可動部品は、前記ニードル、前記増幅器、又は前記増幅器に作動的に連結されたプッシュロッドを含み、
    前記圧電装置及び前記位置センサと電気的連絡状態にあるコントローラを有し、前記コントローラは、前記可動部品の検出された位置に基づいて、前記可動部品の前記動的応答のモデルを前記圧電装置に印加された前記電圧波形に生成するように構成され、
    前記圧電装置に印加されるべき所望の電圧波形を決定し、前記小出し操作のための所望の位置的プロフィールを前記モデルに適用することにより小出し操作を実行するように構成されている、アプリケータ。
20. 前記可動部品に作動的に連結された磁石をさらに有し、前記位置センサは、ホール効果センサである、請求項１９記載のアプリケータ。
21. 前記増幅器は、実質的に丸い断面を有するディスクである、請求項１９記載のアプリケータ。
22. 前記増幅器は、レバーである、請求項１９記載のアプリケータ。
23. 前記ニードルは、前記第１の位置において前記弁座から間隔を置いて位置し、前記ニードルは、前記第２の位置において前記弁座に接触する、請求項１９記載のアプリケータ。
24. 前記ニードルは、前記第１の位置において前記弁座から第１の距離だけ間隔を置いて位置し、かつ前記第２の位置において前記弁座から第２の距離だけ間隔を置いて位置し、前記第２の距離は、前記第１の距離よりも短い、請求項１９記載のアプリケータ。

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