JP6793397B2 - シール構造および該シール構造を備える装置 - Google Patents
シール構造および該シール構造を備える装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6793397B2 JP6793397B2 JP2017032975A JP2017032975A JP6793397B2 JP 6793397 B2 JP6793397 B2 JP 6793397B2 JP 2017032975 A JP2017032975 A JP 2017032975A JP 2017032975 A JP2017032975 A JP 2017032975A JP 6793397 B2 JP6793397 B2 JP 6793397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- seal
- hole
- main body
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 117
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 66
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 27
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/50—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall
- F16J15/52—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall by means of sealing bellows or diaphragms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/18—Sealings between relatively-moving surfaces with stuffing-boxes for elastic or plastic packings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/02—Spindle sealings with stuffing-box ; Sealing rings
- F16K41/04—Spindle sealings with stuffing-box ; Sealing rings with at least one ring of rubber or like material between spindle and housing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/30—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages
- B05B1/3033—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head
- B05B1/304—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve
- B05B1/3046—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve the valve element, e.g. a needle, co-operating with a valve seat located downstream of the valve element and its actuating means, generally in the proximity of the outlet orifice
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/18—Sealings between relatively-moving surfaces with stuffing-boxes for elastic or plastic packings
- F16J15/24—Sealings between relatively-moving surfaces with stuffing-boxes for elastic or plastic packings with radially or tangentially compressed packing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/46—Sealings with packing ring expanded or pressed into place by fluid pressure, e.g. inflatable packings
- F16J15/48—Sealings with packing ring expanded or pressed into place by fluid pressure, e.g. inflatable packings influenced by the pressure within the member to be sealed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/46—Attachment of sealing rings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1026—Valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Architecture (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Seal Device For Vehicle (AREA)
Description
シール構造としては、一般的にOリングが用いられることが多いが、シール性を高めるために、貫通孔内をニードルが摺動するロッドシール(例えば特許文献1)やダイアフラム(例えば特許文献2)などが用いられることがある。
ロッドシールを用いる例として特許文献1には、弁棒の往復動により液体を小出しするアプリケータにおいて、一対の動的シール(90、92)が本体(14)内に設けられ、第1の動的シール(90)は、液体流路内の液体が本体の頂部のところでピストンチャンバ内に漏れ込む又は移動するのを阻止し、第2の動的シール(92)は、ピストンチャンバ内の空気が液体流路内に漏れ込み又は移動するのを阻止する、アプリケータが開示される([0014])。
上記シール構造において、前記本体部および前記つば部が、一体的に形成されていることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記ニードル挿着孔が、(a)第一の直径、第二の直径および段部を備えること、(b)内周面がテーパ状の断面を有すること、(c)内周面が内側に膨らむ曲線状の断面を有すること、または、(d)内周面が外側に膨らむ曲線状の断面を有することを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部の外周部(105)に、前記流出孔側および前記流出孔と反対側の少なくともいずれか一方に***する***部が形成されていることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部(104、105)が、前記流出孔側の端部よりも前記流出孔と反対側の端部に近い位置から半径方向外側に延出されることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部(104、105)が、前記本体部の前記流出孔と反対側の端部から半径方向外側に延出されることを特徴としてもよい。
上記第2の観点のシール構造において、前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径(D3)および前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径(D2)のいずれもが、前記ニードルの径(D1)と比べ小径であることを特徴としてもよい。
上記バルブ装置において、前記ニードル駆動装置が、アクチュエータを備えて構成され、さらに、前記ニードルのストロークを調整するストローク調整機構を備えることを特徴としてもよい。
上記流体吐出装置において、前記貯留容器が、液体材料の貯留容器であることを特徴としてもよく、さらに、前記ニードルを進出移動し、前記流出孔の入り口部分である弁座に衝突させて、または、前記ニードルを進出移動し、前記弁座に衝突する直前に停止して、前記吐出口より液滴を飛翔吐出させるジェット式の吐出装置であることを特徴としてもよい。
本発明の塗布装置は、上記流体吐出装置と、塗布対象物を載置するステージと、前記流体吐出装置と前記ステージとを相対動させる相対駆動装置と、前記相対駆動装置の動作を制御するステージ制御装置とを備えることを特徴とする。
また、工具や技能を要することなくシールを容易に着脱できる。
第1実施形態に係るシール構造は、シール101と、流体室205が形成された上下ハウジング部材(206、207)と、ニードル203とを備えて構成される。
シール101は、図1に示すように、円筒状の本体部102と、本体部102を貫通して形成され、上側と下側とで内径の異なる貫通孔103と、本体部102の外周に凸状に形成されるつば部(104、105)と、から構成される。
内周部104は、つば部の内側の部分であり、本体部102と外周部105とを接続する。別の観点からは、つば部の流体室205の内径から本体部102の外径までに相当する部分が、内周部104に相当する。内周部104の厚さH1は、例えば0.2〜2mmの厚さとする。別の観点からは、本体部102の水平方向厚さ(本体部102の外径(D4)から貫通孔103の内径(D2)を引いて2で割った値)の例えば0.5〜3倍の厚さとする。厚すぎると、弾性変形が起こりにくくなって、ニードル203が貫通孔側壁111と摺動するおそれがあるからである。
内周部104が、本体部102と外周部105との間で弾性変形することで、シール101の貫通孔103内でニードル203が摺動せず、ニードル203を適切に動作させることができる。なお、本実施形態では、つば部(104、105)が本体部102の上側端部121に設けられるが、後述するように、上側端部121より下方の位置に設けるのでもよい(例えば、後述の図6参照)。
シール101は、図2に示すように、貫通孔103にニードル203が挿嵌され、外周部105が上下ハウジング部材(206、207)に挟持されて流体室205内で位置決めされる。
本実施形態とは異なり、上ハウジング部材206に拡径壁213を設けるようにしてもよい。また、上ハウジング部材206および下ハウジング部材207の両方に同径の拡径壁213を設けるようにしてもよい。
図2に示すように、シール101は、前述のシール復元力(符号109)および周囲の流体圧力による押付力(符号110)によりニードル203にしっかりと固定されている。また、シール101は、外周部105が上下の各ハウジング部材(206、207)に挟持されることで流体室205内にしっかりと固定されている。
Ff=μ(Fs+Fp)>Fn
ここで、μは摩擦係数である。
第2実施形態は、図4(a)に示すように、テーパ部113を有する貫通孔側壁111を備えるシール101に関する。
第3実施形態は、図4(b)に示すように、内側に膨らむ曲線部114を有する貫通孔側壁111を備えるシール101に関する。
第4実施形態は、図4(c)に示すように、外側に膨らむ曲線部115を有する貫通孔側壁111を備えるシール101に関する。
第5実施形態は、図5(a)に示すように、つば部の端部に、上側および下側へ向かって対称に断面が矩形状の***部116を有する外周部105を備えている。
第6実施形態は、図5(b)に示すように、つば部の端部に内周部104の厚さより大きい外径の断面が円形の円形部117を有する外周部105を備えている。
第7実施形態は、図5(c)に示すように、つば部の端部に、上側および下側へ向かって対称に、内側がすぼんだ断面が台形状の***部118を有する外周部105を備えている。
第8実施形態は、図5(d)に示すように、つば部の端部に下側へのみ向かって断面が矩形状の***部119を有する外周部105を備えている。
第9実施形態は、図5(e)に示すように、内周部104端部に上側にのみ向かって断面が矩形状の***部120を設けている。
第10実施形態は、図5(f)に示すように、つば部の端部に下側へのみ向かって断面が矩形状の***部119を有する外周部105を備え、当該内周部104および外周部105の各角部にはアールが形成されている。
なお、図5に図示する各シール101は、左右対称形状であるので、シール101の右半分のみ図示し、左半分の図示は省略している。第5〜10実施形態で例示した形状以外の形状であってもよく、図示はしないが、例えば対称な楕円状、長円状、十字状や非対称の半円状などであってもよい。
第11実施形態は、図6(a)に示すように、本体部102の上側端部121と下側端部122の中間位置に設けられたつば部(104、105)を備えている。つば部(104、105)の位置は図6(a)の位置に限定されず、上側端部121と下側端部122の中間位置からずれた位置に断面が線対称となるように配置してもよい。
第12実施形態は、図6(b)に示すように、本体部102の下側端部122に設けられたつば部(104、105)を備えている。
つば部(104、105)の位置は、上側端部121と下側端部122の間の任意の位置に配置することができるが、流体室205を満たす流体からの圧力を効果的に受けてシール力を高めるという観点からは、上側端部121に近い位置に配置することが好ましい。
第11〜12実施形態で開示するつば部(104、105)の位置と、第2〜4実施形態で開示する貫通孔103の形状および/または第5〜10実施形態で開示する外周部105の形状は任意に組み合わせることができる。
第13実施形態に係るバルブ装置201は、図7に示すように、ニードル駆動装置202を格納する駆動室204と、ニードル203が往復動する流体室205とが設けられるハウジング(206、207)、流体室205と連通し、流体が供給される流入孔208および流体を排出する流出孔209、流出孔209を有するバルブシート210、および、駆動室204と流体室205とを隔てるシール101、から主に構成される。なお、以下では説明の都合上、駆動室204側を上、流体室205側を下ということがある。
シール101は、第1実施形態と同じものであるので説明を割愛する。なお、第1実施形態のシール101に代えて、第2〜12実施形態のシール101を用いてもよい。
環状の板状部材からなるシール押さえ部材214a、214bの中心部には、ニードル203より大径の貫通孔が設けられている。図7の例示とは異なり、シール押さえ部材214a、214bを一枚の板状部材により構成してもよい。また、シール押さえ部材214a、214bは、シール101の下側に配置してもよい。
バルブシート210の流出孔209の内径は、ニードル203の外径より小さくなっており、ニードル203の半球状の先端がバルブシート210に接触すると、流出孔209を塞ぐことができる。なお、ニードル203の先端の形状は例示の形状に限定されず、例えば平面であってもよいし中心に突起が設けられていてもよいしテーパ状としてもよい。
流体室205への流体の供給は、図示しないポンプ等により行われ、流体室205へは圧力が印加された状態で供給される。これにより、ニードル203へのシール101の固定に、シール101の復元力(符号109)に加えて、流体に印加される圧力による押付力(符号110)を利用することができ、駆動室204側への流体の進入をより確実に防ぐことができる。
図7に示すように、ニードル駆動装置202によりニードル203を上方に位置するように動作させて、ニードル203先端をバルブシート210の流出孔209から離し、バルブシート210の流出孔209を開放しているとき、流入孔208から供給された流体(符号218)は、流体室205を通過し、バルブシート210の流出孔209から排出される(符号219)。
一方、ニードル駆動装置202によりニードル203を下方に向けて動作させると、図3(c)に示すようにシール101は変形し、やがてニードル203先端がバルブシート210の流出孔209を塞ぎ流体の流れを止める閉鎖状態とすることができる。このとき、シール101の内周部104が弾性変形するので、ニードル203はシール101に対して位置ズレすることがない。このように、ニードル駆動装置202によりニードル203を動作させて、上記開放状態と閉鎖状態のいずれかの状態をとるよう制御することにより、バルブ装置201で、流体の流れを制御することができる。例えば、(1)通常は開放状態で、必要な場合に閉鎖状態にする、逆に、(2)通常は閉鎖状態で、必要な場合に開放状態にするなどといった制御を行う。
第14実施形態に係る吐出装置301は、図8に示すように、前述の第13実施形態のバルブ装置201の流入孔208に貯留容器302を接続し、下ハウジング部材207の下端部にノズル部材305を接続して構成したものである。バルブ装置201については第13実施形態と同じであるので、説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
吐出装置301は、動作停止時は閉鎖状態とする。まず、ニードル駆動装置202によりニードル203を上方へ動作させ、閉鎖状態から開放状態にすると、貯留容器302から供給される圧力を印加された流体が流入孔208から流体室205に入り、バルブシート210の流出孔209を通ってノズル部材305から外部へ排出される。そして、ある時間経過後、ニードル駆動装置202によりニードル203を下方へ動作させ、開放状態から閉鎖状態になると、ニードル203の先端がバルブシート210の流出孔209を塞ぐことで流体の流れを止め、ノズル部材305からの排出は停止する。以上が、基本的な1回の吐出動作となる。言い換えると、吐出装置301は、開放状態となっている時間だけ、圧力が印加された流体を管状部材306から外部へ排出する。
また、流入孔208から供給される液体の圧力を弱め、ニードル203を高速前進させ急停止することにより流体室205内の液体材料に慣性力を与えて一つの液滴を飛翔吐出させてもよい。この吐出方法は、ジェット式吐出方法と呼称される場合がある。ジェット式吐出方法には、一つの液滴を形成する際にニードル203の先端をバルブシート210に当接させる着座タイプのジェット式吐出方法と一つの液滴を形成する際にニードル203の先端をバルブシート210に当接させない非着座タイプのジェット式吐出方法があるが、本発明のシール101はいずれにも適用可能である。
第15実施形態に係る塗布装置401は、図9に示すように、流体を吐出するための吐出装置301、塗布対象物403をその上面に載置するステージ402、吐出装置301とステージ402とを相対移動させるXYZ駆動装置(404、405、406)、前記各装置の動作を制御する制御装置412、から主に構成される。
吐出装置301は、前述の第14実施形態で説明した吐出装置301と同じであるので、説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
Claims (14)
- 流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、
シールと、前記シールに挿通されるニードルとを備えてなり、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部(104、105)とを備え、
前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径(D3)が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径(D2)と比べ小径であり、かつ、前記流出孔側の端部開口径(D 3 )および前記流出孔と反対側の端部開口径(D 2 )のいずれもが、前記ニードルの径(D 1 )と比べ小径であることを特徴とするシール構造。 - 前記本体部および前記つば部が、一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 前記ニードル挿着孔が、
(a)第一の直径、第二の直径および段部を備えること、
(b)内周面がテーパ状の断面を有すること、
(c)内周面が内側に膨らむ曲線状の断面を有すること、または、
(d)内周面が外側に膨らむ曲線状の断面を有することを特徴とする請求項1または2に記載のシール構造。 - 前記つば部の外周部(105)に、前記流出孔側および前記流出孔と反対側の少なくともいずれか一方に***する***部が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のシール構造。
- 前記つば部(104、105)が、前記流出孔側の端部よりも前記流出孔と反対側の端部に近い位置から半径方向外側に延出されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のシール構造。
- 前記つば部(104、105)が、前記本体部の前記流出孔と反対側の端部から半径方向外側に延出されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のシール構造。
- 流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、
シールと、前記流体室が形成されたハウジングとを備えてなり、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部(104、105)とを備え、
前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭に構成されており、
前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径(D 3 )が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径(D 2 )と比べ小径であり、
前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材(207)と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室(204)を備える第二ハウジング部材(206)とを備え、
前記第一ハウジング部材(207)および前記第二ハウジング部材(206)の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部(215)を備え、
前記第一ハウジング部材(207)と前記第二ハウジング部材(206)とが前記つば部の外周部(105)を狭圧した状態で連結されること、
前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部(104)が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とするシール構造。 - 前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径(D3)および前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径(D2)のいずれもが、前記ニードルの径(D1)と比べ小径であることを特徴とする請求項7に記載のシール構造。
- シールと、
流出孔および流入孔を有する流体室と、
先端が流体室内で往復移動するニードルと、
前記流体室が形成されたハウジングと、
前記ニードルを往復移動させるニードル駆動装置と、を備え、前記流入孔から供給された流体を前記流出孔から排出するバルブ装置であって、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部(104、105)とを備え、
前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭であり、
前記ニードル挿着孔が、前記ニードルよりも幅狭であり、前記ニードル挿着孔の一方の端部開口径(D 3 )が、前記ニードル挿着孔のもう一方の端部開口径(D 2 )と比べ小径であり、
前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材(207)と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室(204)を備える第二ハウジング部材(206)とを備え、
前記第一ハウジング部材(207)および前記第二ハウジング部材(206)の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部(215)を備え、
前記第一ハウジング部材(207)と前記第二ハウジング部材(206)とが前記つば部の外周部(105)を狭圧した状態で連結されること、
前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部(104)が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とするバルブ装置。 - 前記ニードル駆動装置が、アクチュエータを備えて構成され、
さらに、前記ニードルのストロークを調整するストローク調整機構を備えることを特徴とする請求項9に記載のバルブ装置。 - 請求項9または10に記載のバルブ装置と、
前記流入孔と流体的に接続された貯留容器と、
前記流出孔と流体的に接続された吐出口を有するノズルと、
前記バルブ装置の動作を制御するバルブ制御装置とを備える流体吐出装置。 - 前記貯留容器が、液体材料の貯留容器である請求項11に記載の流体吐出装置。
- 前記ニードルを進出移動し、前記流出孔の入り口部分である弁座に衝突させて、または、前記ニードルを進出移動し、前記弁座に衝突する直前に停止して、前記吐出口より液滴を飛翔吐出させるジェット式の吐出装置であることを特徴とする請求項12に記載の流体吐出装置。
- 請求項11ないし13のいずれかに記載の流体吐出装置と、
塗布対象物を載置するステージと、
前記流体吐出装置と前記ステージとを相対動させる相対駆動装置と、
前記相対駆動装置の動作を制御するステージ制御装置とを備える塗布装置。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017032975A JP6793397B2 (ja) | 2017-02-24 | 2017-02-24 | シール構造および該シール構造を備える装置 |
MYPI2019004874A MY196551A (en) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | Seal Structure, and Device with Said Seal Structure |
EP18758331.5A EP3587866A4 (en) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | SEALING STRUCTURE AND DEVICE WITH THIS SEALING STRUCTURE |
PCT/JP2018/006538 WO2018155580A1 (ja) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | シール構造および該シール構造を備える装置 |
SG11201906854TA SG11201906854TA (en) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | Seal structure, and device with said seal structure |
KR1020197020700A KR102449612B1 (ko) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | 시일 구조 및 상기 시일 구조를 구비하는 장치 |
CN201880013577.2A CN110325772B (zh) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | 密封结构及具备该密封结构的装置 |
US16/487,296 US11384862B2 (en) | 2017-02-24 | 2018-02-22 | Seal structure, and device with said seal structure |
TW107106194A TWI757434B (zh) | 2017-02-24 | 2018-02-23 | 密封構造及具備該密封構造之裝置 |
PH12019550161A PH12019550161A1 (en) | 2017-02-24 | 2019-08-20 | Seal structure, and device with said seal structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017032975A JP6793397B2 (ja) | 2017-02-24 | 2017-02-24 | シール構造および該シール構造を備える装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018138788A JP2018138788A (ja) | 2018-09-06 |
JP2018138788A5 JP2018138788A5 (ja) | 2020-03-19 |
JP6793397B2 true JP6793397B2 (ja) | 2020-12-02 |
Family
ID=63252723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017032975A Active JP6793397B2 (ja) | 2017-02-24 | 2017-02-24 | シール構造および該シール構造を備える装置 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11384862B2 (ja) |
EP (1) | EP3587866A4 (ja) |
JP (1) | JP6793397B2 (ja) |
KR (1) | KR102449612B1 (ja) |
CN (1) | CN110325772B (ja) |
MY (1) | MY196551A (ja) |
PH (1) | PH12019550161A1 (ja) |
SG (1) | SG11201906854TA (ja) |
TW (1) | TWI757434B (ja) |
WO (1) | WO2018155580A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6778426B2 (ja) * | 2016-09-20 | 2020-11-04 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体材料吐出装置 |
DE202018006781U1 (de) | 2017-04-21 | 2022-12-14 | Nordson Corporation | Dosiersystem |
ES2906064T3 (es) * | 2019-03-29 | 2022-04-13 | Robatech Ag | Dispositivo para la distribución de un medio capaz de fluir |
US20210301943A1 (en) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | Illinois Tool Works Inc. | Dispensing unit having fixed flexible diaphragm seal |
KR102511232B1 (ko) | 2020-11-20 | 2023-03-20 | 농업회사법인 퓨리원 합자회사 | 인삼 재배용 상토 조성물 및 이를 이용한 인삼 재배 방법 |
CN112431930A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-03-02 | 石家庄禾柏生物技术股份有限公司 | 一种密封阀及包含该密封阀的出液结构 |
TWI807812B (zh) * | 2022-05-06 | 2023-07-01 | 高科晶捷自動化股份有限公司 | 出膠裝置及其出膠方法 |
CN116146720B (zh) * | 2023-02-17 | 2023-10-20 | 江苏江沅机械有限公司 | 一种安全控制阀门 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2594539A (en) * | 1945-09-08 | 1952-04-29 | Bridgeport Brass Co | Insecticide dispenser |
US3073490A (en) * | 1959-07-06 | 1963-01-15 | Dole Valve Co | Fluid dispensing valve |
US3255974A (en) * | 1964-08-17 | 1966-06-14 | Hartford Machine Screw Co | Fuel injection nozzle |
US3722801A (en) * | 1970-09-11 | 1973-03-27 | Stanadyne Inc | Fuel injector |
JPS514841U (ja) * | 1974-06-27 | 1976-01-14 | ||
JPS52160047U (ja) * | 1976-05-28 | 1977-12-05 | ||
GB2194822A (en) * | 1986-09-05 | 1988-03-16 | Grace W R & Co | Dispensing gun seal |
FR2659115B1 (fr) * | 1990-03-02 | 1992-05-15 | Procal | Joint d'etancheite pour injecteur de moteur a combustion interne. |
JP3529156B2 (ja) | 1994-05-10 | 2004-05-24 | 株式会社ニレコ | ムービングコイル駆動型ニードル弁 |
KR100506642B1 (ko) * | 2001-12-19 | 2005-08-05 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 디스플레이 패널의 패턴 형성방법 및 형성장치 |
WO2004087847A1 (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | New Japan Chemical Co., Ltd. | 潤滑油及び潤滑方法 |
US7070066B2 (en) | 2004-04-08 | 2006-07-04 | Nordson Corporation | Liquid dispensing valve and method with improved stroke length calibration and fluid fittings |
JP2008267493A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Kyoei Ind Co Ltd | 往復動作する作動軸のシール構造 |
US9346074B2 (en) | 2010-09-13 | 2016-05-24 | Nordson Corporation | Conformal coating applicator and method |
-
2017
- 2017-02-24 JP JP2017032975A patent/JP6793397B2/ja active Active
-
2018
- 2018-02-22 MY MYPI2019004874A patent/MY196551A/en unknown
- 2018-02-22 US US16/487,296 patent/US11384862B2/en active Active
- 2018-02-22 SG SG11201906854TA patent/SG11201906854TA/en unknown
- 2018-02-22 WO PCT/JP2018/006538 patent/WO2018155580A1/ja active Search and Examination
- 2018-02-22 CN CN201880013577.2A patent/CN110325772B/zh active Active
- 2018-02-22 EP EP18758331.5A patent/EP3587866A4/en active Pending
- 2018-02-22 KR KR1020197020700A patent/KR102449612B1/ko active IP Right Grant
- 2018-02-23 TW TW107106194A patent/TWI757434B/zh active
-
2019
- 2019-08-20 PH PH12019550161A patent/PH12019550161A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11384862B2 (en) | 2022-07-12 |
KR20190116265A (ko) | 2019-10-14 |
SG11201906854TA (en) | 2019-08-27 |
TW201839301A (zh) | 2018-11-01 |
KR102449612B1 (ko) | 2022-09-29 |
JP2018138788A (ja) | 2018-09-06 |
EP3587866A1 (en) | 2020-01-01 |
US20190376617A1 (en) | 2019-12-12 |
PH12019550161A1 (en) | 2020-06-08 |
MY196551A (en) | 2023-04-19 |
CN110325772A (zh) | 2019-10-11 |
WO2018155580A1 (ja) | 2018-08-30 |
EP3587866A4 (en) | 2020-12-09 |
CN110325772B (zh) | 2022-04-29 |
TWI757434B (zh) | 2022-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6793397B2 (ja) | シール構造および該シール構造を備える装置 | |
US10457061B2 (en) | Liquid ejecting apparatus and pressure-regulating device | |
JP4942758B2 (ja) | 改良された空気源を備える供給ユニット | |
JP5166656B2 (ja) | 液体吐出装置、および、液体吐出方法 | |
JP2013094778A (ja) | 容積式ディスペンサー及び個別量の液体を吐出する方法 | |
JPWO2017122683A1 (ja) | 液体材料吐出装置 | |
JP5114527B2 (ja) | 液体供給装置 | |
JP4668330B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP5254177B2 (ja) | 中空型のアクチュエータ駆動方式の液滴ディスペンシング装置 | |
JP6629838B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
TWI760339B (zh) | 液體材料吐出裝置、其之塗佈裝置及塗佈方法 | |
CN113165005A (zh) | 计量***和控制计量***的方法 | |
CN110701363A (zh) | 电动驱动式流量控制阀 | |
JP2008188496A (ja) | ノズル装置及びその駆動方法 | |
KR101763121B1 (ko) | 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치 | |
JPH09500949A (ja) | 微量流体インゼクタ | |
JP2013139745A (ja) | 粘性非接触噴射方法および装置 | |
JP2017127838A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2017127839A (ja) | 液体吐出用の吐出ノズル | |
JP2014031811A (ja) | 液体供給制御弁 | |
JP2008221752A (ja) | 流体噴射装置 | |
US6558136B1 (en) | Micropump underpressure control device | |
JP7066229B2 (ja) | 液体材料吐出装置、その塗布装置および塗布方法 | |
CN112334237A (zh) | 用于喷射分配器位置控制的***和方法 | |
KR102569209B1 (ko) | 분무량 조절이 가능한 미스트 분무기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6793397 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |