JP7465138B2 - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Description
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された複数の領域の光学画像に関する所定のデータとして、光学画像内に配置される図形パターンの輪郭線のデータを記憶する記憶装置と、
記憶装置から所定のデータをロードするロード処理部と、
前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する図形パターンデータ変換回路と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する参照画像作成回路と、
取得された光学画像と、ロードされた所定のデータに基づく画像とを比較する比較回路と、
を備え、
ロード処理部は、過去に取得された複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された前記輪郭線のデータをロードし、
前記比較回路は、前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とする。
比較回路は、複数の領域のうち、ダイ-ダイ検査を行う領域同士については、取得された光学画像同士を比較し、ダイ-ダイ検査を行う領域同士を除いたその他の領域について、取得された光学画像と、所定のデータに基づく画像とを比較すると好適である。
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータを記憶する記憶装置と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードするロード処理部と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する比較回路と、
過去に取得された前記光学画像内の図形パターンの輪郭線のデータを用いて、前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する図形パターンデータ変換回路と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する参照画像作成回路と、
を備え、
前記記憶装置は、前記所定のデータとして、前記図形パターンデータを記憶し、
前記ロード処理部は、過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された図形パターンデータを参照画像作成回路にロードし、
比較回路は、所定のデータに基づく画像として、参照画像を用いると好適である。
比較回路は、所定のデータに基づく画像を比較対象の光学画像と同様に回転させた画像を所定のデータに基づく画像として用いると好適である。
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された複数の領域の光学画像に関する所定のデータとして、光学画像内に配置される図形パターンの輪郭線のデータを記憶装置に記憶する工程と、
記憶装置から所定のデータをロードする工程と、
図形パターンデータ変換回路を用いて、前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する工程と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する工程と、
取得された光学画像と、ロードされた所定のデータに基づく画像とを比較する工程と、
を備え、
過去に取得された複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された前記輪郭線のデータがロードされ、
前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とする。
また、本発明の他の態様のパターン検査方法は、
パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータを記憶装置に記憶する工程と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードする工程と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する工程と、
過去に取得された前記光学画像内の図形パターンの輪郭線のデータを用いて、前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する図形パターンデータ変換回路と、
参照画像作成回路を用いて、前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する参照画像作成回路と、
を備え、
前記所定のデータとして、前記図形パターンデータが前記記憶装置に記憶され、
過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された図形パターンデータが前記参照画像作成回路にロードされ、
前記比較回路は、前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とする。
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、検査対象基板、例えばマスクに形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得機構150、及び制御系回路160を備えている。
実施の形態1では、検査済データを画像データのままロードする場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態2では、画像データよりもデータ容量が少ないデータに加工した状態でバス120を介してロードする構成について説明する。
実施の形態2では、バス120を介して輪郭線データをロードする場合を説明したが、これに限るものではない。実施の形態3では、画像データよりもデータ容量が少ない設計データに検査済画像を変換した状態でバス120を介してロードする構成について説明する。
11,12,14,41,42,44 領域
20 検査ストライプ
30 フレーム領域
31 フレーム画像
50,52 検査済画像
60 輪郭線
62 図形パターン
70,71,72,76 記憶装置
74 フレーム画像生成部
75 画像加工部
78 位置合わせ部
79 比較処理部
100 検査装置
101 基板
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 TDIセンサ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 メモリ
112 参照画像作成回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 FD
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
121,124 専用ケーブル
122 レーザ測長システム
123 ストライプパターンメモリ
130 オートローダ
131 記憶装置
132 データ解析回路
134 データ変換回路
136 輪郭線データ生成回路
150 光学画像取得機構
160 制御系回路
170 照明光学系
Claims (7)
- パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータとして、光学画像内に配置される図形パターンの輪郭線のデータを記憶する記憶装置と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードするロード処理部と、
前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する図形パターンデータ変換回路と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する参照画像作成回路と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する比較回路と、
を備え、
前記ロード処理部は、過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された前記輪郭線のデータをロードし、
前記比較回路は、前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とするパターン検査装置。 - 前記ロード処理部は、ダイ-ダイ検査を行う領域同士については、前記所定のデータをロードせず、ダイ-ダイ検査を行う領域同士を除いたその他の領域について前記所定のデータをロードし、
前記比較回路は、前記複数の領域のうち、ダイ-ダイ検査を行う領域同士については、取得された光学画像同士を比較し、ダイ-ダイ検査を行う領域同士を除いたその他の領域について、取得された前記光学画像と、前記所定のデータに基づく画像とを比較することを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。 - 前記ロード処理部は、前記記憶装置から前記輪郭線のデータを前記図形パターンデータ変換回路にロードすることを特徴とする請求項1又は2記載のパターン検査装置。
- パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータを記憶する記憶装置と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードするロード処理部と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する比較回路と、
過去に取得された前記光学画像内の図形パターンの輪郭線のデータを用いて、前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する図形パターンデータ変換回路と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する参照画像作成回路と、
を備え、
前記記憶装置は、前記所定のデータとして、前記図形パターンデータを記憶し、
前記ロード処理部は、過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された図形パターンデータを前記参照画像作成回路にロードし、
前記比較回路は、前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とするパターン検査装置。 - 前記光学画像取得機構は、前記所定のデータに基づく画像に対して、90度、180度、及び270度の少なくとも1つに回転させた状態での前記光学画像を取得し、
前記比較回路は、前記所定のデータに基づく画像を比較対象の光学画像と同様に回転させた画像を前記所定のデータに基づく画像として用いることを特徴とする請求項1~4いずれかに記載のパターン検査装置。 - パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータとして、光学画像内に配置される図形パターンの輪郭線のデータを記憶装置に記憶する工程と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードする工程と、
前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する工程と、
前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する工程と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する工程と、
を備え、
過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置に記憶された前記輪郭線のデータがロードされ、
前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とするパターン検査方法。 - パターンが形成された被検査基板の複数の領域の光学画像を取得する工程と、
前記パターンと同じパターンが形成された基板から過去に取得された前記複数の領域の光学画像に関する所定のデータを記憶装置に記憶する工程と、
前記記憶装置から前記所定のデータをロードする工程と、
取得された前記光学画像と、ロードされた前記所定のデータに基づく画像とを比較する工程と、
過去に取得された前記光学画像内の図形パターンの輪郭線のデータを用いて、前記輪郭線のデータを図形パターンデータに変換する工程と、
参照画像作成回路を用いて、前記図形パターンデータを用いて参照画像を作成する工程と、
を備え、
前記所定のデータとして、前記図形パターンデータが前記記憶装置に記憶され、
過去に取得された前記複数の領域の光学画像の全データ容量よりも小さいデータ量のデータとして、前記記憶装置から前記図形パターンデータが前記参照画像作成回路にロードされ、
前記所定のデータに基づく画像として、前記参照画像を用いることを特徴とするパターン検査方法。
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