JP7462033B2 - 真空気密電気フィードスルー - Google Patents
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Description
電気フィードスルーの一実施形態は、第1の境界面および第2の境界面を分離する絶縁体要素の周囲に沿って真空気密に絶縁体要素に接続された金属フレームをさらに備える。
サファイアは、200nm~5000nmの波長範囲で高い透過率を有し、真空領域からの損失をほとんど伴わずに電磁放射線を光学範囲外に誘導するのに特に適している。特に、200nmを超える紫外線領域の透過率が高い。さらに、サファイアは機械的に非常に堅牢である。
真空圧力センサの一実施形態では、真空圧力センサはコールドカソード真空計として設計され、導体要素はコールドカソード真空計のアノードを形成する。
これは、光波長範囲の電磁放射線の放射強度を測定するための方法であって、
a)本発明による電気フィードスルーを有する真空装置を提供するステップと、
b)導体要素を介して真空装置の真空領域内に電気エネルギーを供給して、真空領域内でプラズマに点火し維持するステップと、
c)プラズマから放出された電磁放射線の放射強度を光センサによって測定するステップと、を含み、
電磁放射線は、プラズマから絶縁体要素を通って光センサ上に放射する。
1 導体要素
1’ 別の導体要素
2 絶縁体要素
3 溶融ガラスリング
4 金属フレーム(溶接リング)
5 電圧源
6 磁石アセンブリ
7 光センサ
10 電気フィードスルー
11 第1のロッド端部
12 第2のロッド端部
21 第1の境界面
22 第2の境界面
23 貫通開口部
24 真空気密接続
25’,25’’,hν 電磁放射線
26 プラズマ領域
27 磁極片
28 カソード
29 像面
30 真空圧力センサ
N,S 磁石アセンブリのN極、S極
U 電圧
真空側 動作中に真空が適用される側
Claims (14)
- 真空気密電気フィードスルー(10)であって、
-貫通開口部(23)を有し、前記貫通開口部(23)に隣接する第1の境界面(21)を有し、前記貫通開口部にまた隣接し、かつ前記第1の境界面の反対側の第2の境界面(22)を有する電気絶縁絶縁体要素(2)と、
-導電性導体要素(1)であって、前記貫通開口部(23)を通って延在し、前記導電性導体要素(1)の円周線に沿って前記電気絶縁絶縁体要素(2)に真空気密に接続された、前記導電性導体要素(1)と、
を備え、
前記電気絶縁絶縁体要素(2)は、光波長範囲の電磁放射線(25’、25’’、hν)を透過し、
前記第1の境界面(21)および/または前記第2の境界面(22)は、曲面として形成され、
前記導電性導体要素(1)は、第2のロッド端部(12)が前記第2の境界面(22)を越えて突出するよりも前記第1の境界面(21)をさらに越えて突出する第1のロッド端部(11)を有するロッド形状設計であり、
前記電気絶縁絶縁体要素(2)は、前記第1の境界面(21)と前記第1のロッド端部(11)との間の領域内の少なくとも第1の物点を、前記第2のロッド端部(12)よりも前記第1の境界面から遠い第1の像点上に結像する撮像レンズを形成する、真空気密電気フィードスルー(10)。 - 前記第1の境界面(21)および前記第2の境界面(22)を分離する前記電気絶縁絶縁体要素(2)の円周線に沿って前記電気絶縁絶縁体要素(2)に真空気密に接続された金属フレーム(4)をさらに備える、請求項1に記載の真空気密電気フィードスルー(10)。
- 前記導電性導体要素(1)は軸に沿って延在し、前記第1の境界面(21)は第1の領域を有し、前記第2の境界面(22)は第2の領域を有し、前記第1の領域および前記第2の領域は、前記軸を共通の回転軸として有する第1の回転面および第2の回転面の形態である、請求項1または2のいずれか1項に記載の真空気密電気フィードスルー(10)。
- 前記電気絶縁絶縁体要素(2)は、前記貫通開口部(23)を有する平凸レンズである、請求項1に記載の真空気密電気フィードスルー(10)。
- 前記電気絶縁絶縁体要素(2)はサファイアからなる、請求項1から4のいずれか1項に記載の真空気密電気フィードスルー(10)。
- 溶融ガラスリング(3)は、前記導電性導体要素(1)と前記電気絶縁絶縁体要素(2)との間に真空気密接続を形成する、請求項1から5のいずれか1項に記載の真空気密電気フィードスルー(10)。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の真空気密電気フィードスルー(10)を有する真空圧力センサ(30)。
- 前記真空圧力センサ(30)はコールドカソード真空計として形成され、前記導電性導体要素(1)は前記コールドカソード真空計のアノードを形成する、請求項7に記載の真空圧力センサ(30)。
- 前記第1の境界面(21)は、前記真空圧力センサ(30)のプラズマ領域(26)に面し、光センサ(7)は、前記光波長範囲の電磁放射線(25)が前記プラズマ領域(26)から前記電気絶縁絶縁体要素(2)を通って前記光センサ(7)まで伝播することができるように前記第2の境界面(22)の側に配置されている、請求項8に記載の真空圧力センサ(30)。
- 前記第1の物点は前記真空圧力センサ(30)の前記プラズマ領域(26)内に配置され、前記光センサ(7)は前記第1の像点に配置される、請求項9に記載の真空圧力センサ(30)。
- 前記プラズマ領域(26)は、磁石アセンブリ(6)によって前記電気絶縁絶縁体要素(2)から離れた前記アノードの端部に制限される、請求項9または10に記載の真空圧力センサ(30)。
- 前記導電性導体要素(1)は、前記電気絶縁絶縁体要素(2)に近い領域に電気絶縁性のコーティングを有する、請求項7から11のいずれか1項に記載の真空圧力センサ(30)。
- 光波長範囲の電磁放射線の放射強度を測定するための方法であって、
a)請求項1から6のいずれか1項に記載の真空気密電気フィードスルー(10)を有する真空装置を提供するステップと、
b)前記導電性導体要素(1)を介して前記真空装置の真空領域内に電気エネルギーを供給して、前記真空領域内でプラズマに点火して維持するステップと、
c)前記プラズマから放出された電磁放射線の前記放射強度を光センサ(7)によって測定するステップと、
を含み、
前記電磁放射線は、前記プラズマから前記電気絶縁絶縁体要素(2)を通って前記光センサ(7)上に放射する、方法。 - 光波長範囲の電磁放射線の放射強度を測定するための方法であって、
a)真空気密電気フィードスルー(10)を有する真空装置を提供するステップを含み、前記真空気密電気フィードスルー(10)は、
-貫通開口部(23)を有し、前記貫通開口部(23)に隣接する第1の境界面(21)を有し、前記貫通開口部にまた隣接し、かつ前記第1の境界面の反対側の第2の境界面(22)を有する電気絶縁絶縁体要素(2)と、
-導電性導体要素(1)であって、前記貫通開口部(23)を通って延在し、前記導電性導体要素(1)の円周線に沿って前記電気絶縁絶縁体要素(2)に真空気密に接続された、前記導電性導体要素(1)と、
を備え、
前記電気絶縁絶縁体要素(2)は、光波長範囲の電磁放射線(25’、25’’、hν)を透過し、
前記第1の境界面(21)および/または前記第2の境界面(22)は、曲面として形成され、
前記方法はさらに、
b)前記導電性導体要素(1)を介して前記真空装置の真空領域内に電気エネルギーを供給して、前記真空領域内でプラズマに点火して維持するステップと、
c)前記プラズマから放出された電磁放射線の前記放射強度を光センサ(7)によって測定するステップと、
を含み、
前記電磁放射線は、前記プラズマから前記電気絶縁絶縁体要素(2)を通って前記光センサ(7)上に放射する、方法。
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