JP7456394B2 - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7456394B2 JP7456394B2 JP2021009077A JP2021009077A JP7456394B2 JP 7456394 B2 JP7456394 B2 JP 7456394B2 JP 2021009077 A JP2021009077 A JP 2021009077A JP 2021009077 A JP2021009077 A JP 2021009077A JP 7456394 B2 JP7456394 B2 JP 7456394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cylindrical portion
- stator
- gas passage
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 23
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 130
- 239000000047 product Substances 0.000 description 24
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 22
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 22
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/002—Details, component parts, or accessories especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/5853—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps heat insulation or conduction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/68—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers
- F04D29/681—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/684—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers especially adapted for elastic fluid pumps by fluid injection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Electrophonic Musical Instruments (AREA)
Description
図9は、流出孔405の変形例を示す図である。図9(a)に示す変形例1では、外周壁402に断面形状が円形の流出孔405を形成し、排気ポート41の第1管部411の先端部分を挿入するようにした。第1管部411の挿入量が上述したLであり、第1管部411と流出孔405とのギャップ寸法が上述のgである。
特に、ロータ円筒部13とステータ円筒部22とのギャップからガスが排出される領域は低真空となることから、ベース30や第2ポンプケーシング20の内周面へ生成物堆積が生じやすいが、加熱されたガス通路容器を設けることにより、ベース30や第2ポンプケーシング20の内周面へ生成物堆積を抑制することができる。例えば、図5に示すように、第1管部411の先端の挿入部414が、ガス通路容器40の流出孔405に挿入されている。このような挿入構造とすることにより、挿入部414と流出孔405の隙間からの排気ガスの漏出が低減され、ベース30や第2ポンプケーシング20の内周面への生成物堆積を抑制することができる。
例えば、図5、6に示すように、流出孔405は、肉厚な外周壁402を貫通するように形成されたトンネル状の孔である。そのため、隙間空間は、ギャップ寸法gに比べて長さ寸法Lが大きいので、ガスに対するコンダクタンスを大きくでき、隙間を介したガス漏れをより低減することができる。
例えば、図5に示すように、ガス通路容器40をステータ円筒部22に固定し加熱部28により直接的または間接的に加熱することで、ガス通路容器40専用の加熱部を別に用意する必要がない。
例えば、図5に示すように、ガス通路容器40の周囲空間にパージガスPGを導入することで、パージガスPGが、ガス通路容器40に近接する部材(ロータ円筒部13、挿入部414、ステータ円筒部22等)との隙間からガス通路容器40に流れ込むため、隙間から周囲空間への排気ガス(プロセスガス)の漏出を低減することができる。その結果、ベース30や第2ポンプケーシング20の内周面への生成物堆積をさらに抑制することができる。
例えば、図5に示すように、ガス通路容器40の底面壁404の図示下側に凸部415が配置され、挿入部414および凸部415と底面壁404との間の隙間がラビリンスのような構造とすることで、ガス通路容器40の周囲領域への排気ガスGの漏れをさらに小さくすることができる。
Claims (6)
- 複数段の回転翼およびロータ円筒部が形成されたロータと、
複数段の固定翼、および、前記ロータ円筒部と所定のギャップを介して配置されたステータ円筒部が形成されたステータと、
前記ステータ円筒部を、生成物堆積を抑制する温度に加熱する第1 の加熱部と、
前記ロータおよび前記ステータが収容される筐体に設けられ、前記ロータおよび前記ステータにより排気されたガスを前記筐体の外部へ排出する排気管と、
前記排気管を、生成物堆積を抑制する温度に加熱する第2 の加熱部と、
前記筐体内に配置され、前記ロータ円筒部と前記ステータ円筒部とのギャップから排気されたガスが流入する流入口、および流入したガスを前記排気管へ流出する流出口を有し、生成物堆積を抑制する温度に加熱されるガス通路容器と、を備え、
前記排気管のガス流入側端部が、前記ガス通路容器の前記流出口に隙間を介して挿入されており、
前記排気管は、前記流出口に隙間を介して挿入される前記ガス流入側端部に加えて、前記ガス流入側端部と並設されて筐体内側に突出する凸部とを備え、
前記ガス通路容器の壁部の一部が、前記ガス流入側端部と前記凸部との間に隙間を介して配置される、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記流出口は前記ガス通路容器の外周壁に形成された孔であって、
前記排気管のガス流入側端部は、前記孔の壁面との間に隙間が形成されるように挿入されている、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス通路容器はリング状の容器であり、
前記流入口は、前記ロータ円筒部および前記ステータ円筒部のガス排出領域の全域に亘って対向するリング状の開口である、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス通路容器は、前記第1の加熱部により加熱される、真空ポンプ。 - 請求項4に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス通路容器は前記ステータ円筒部に固定され、前記ステータ円筒部を介して前記第1の加熱部により加熱される、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ガス通路容器の周囲空間にパージガスを導入するパージガス導入部をさらに備え、
前記周囲空間に導入されたガスにより、前記ロータ円筒部と前記ステータ円筒部とのギャップから排気されたガスが前記ガス通路容器の周囲に漏れないようにする、真空ポンプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021009077A JP7456394B2 (ja) | 2021-01-22 | 2021-01-22 | 真空ポンプ |
CN202110868761.9A CN114776608B (zh) | 2021-01-22 | 2021-07-30 | 真空泵 |
TW110129356A TWI780855B (zh) | 2021-01-22 | 2021-08-10 | 真空泵 |
US17/556,319 US11927198B2 (en) | 2021-01-22 | 2021-12-20 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021009077A JP7456394B2 (ja) | 2021-01-22 | 2021-01-22 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022113004A JP2022113004A (ja) | 2022-08-03 |
JP7456394B2 true JP7456394B2 (ja) | 2024-03-27 |
Family
ID=82423433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021009077A Active JP7456394B2 (ja) | 2021-01-22 | 2021-01-22 | 真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11927198B2 (ja) |
JP (1) | JP7456394B2 (ja) |
CN (1) | CN114776608B (ja) |
TW (1) | TWI780855B (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009275578A (ja) | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Shimadzu Corp | 磁気軸受式ターボ分子ポンプおよび真空システム |
JP2017002856A (ja) | 2015-06-12 | 2017-01-05 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2865959B2 (ja) * | 1992-11-30 | 1999-03-08 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
JP3160504B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2001-04-25 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
JP3795979B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2006-07-12 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
JP3734613B2 (ja) | 1997-12-26 | 2006-01-11 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
JP3912964B2 (ja) * | 2000-07-03 | 2007-05-09 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
JP4156830B2 (ja) * | 2001-12-13 | 2008-09-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US20120141254A1 (en) * | 2009-08-28 | 2012-06-07 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump and member used for vacuum pump |
EP2952743B1 (en) * | 2013-01-31 | 2022-05-11 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
JP6386737B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-09-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP6287475B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2018-03-07 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP6353257B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-07-04 | エドワーズ株式会社 | 排気口部品、および真空ポンプ |
JP6398337B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2018-10-03 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
JP6390478B2 (ja) | 2015-03-18 | 2018-09-19 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP6776971B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2020-10-28 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよびポンプ一体型の電源装置 |
JP7048391B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-04-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
-
2021
- 2021-01-22 JP JP2021009077A patent/JP7456394B2/ja active Active
- 2021-07-30 CN CN202110868761.9A patent/CN114776608B/zh active Active
- 2021-08-10 TW TW110129356A patent/TWI780855B/zh active
- 2021-12-20 US US17/556,319 patent/US11927198B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009275578A (ja) | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Shimadzu Corp | 磁気軸受式ターボ分子ポンプおよび真空システム |
JP2017002856A (ja) | 2015-06-12 | 2017-01-05 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022113004A (ja) | 2022-08-03 |
CN114776608A (zh) | 2022-07-22 |
US11927198B2 (en) | 2024-03-12 |
US20220235796A1 (en) | 2022-07-28 |
CN114776608B (zh) | 2023-09-08 |
TW202229727A (zh) | 2022-08-01 |
TWI780855B (zh) | 2022-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6287475B2 (ja) | 真空ポンプ | |
KR102106657B1 (ko) | 고정측 부재 및 진공 펌프 | |
JP2015086856A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP7137923B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP6641734B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP6390478B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP7456394B2 (ja) | 真空ポンプ | |
EP3339655B1 (en) | Centrifugal compressor with heat shield for protecting bearings and seals | |
JP6353257B2 (ja) | 排気口部品、および真空ポンプ | |
KR20220066250A (ko) | 진공 펌프 | |
JP7459811B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2012017672A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2005083271A (ja) | 真空ポンプ | |
WO2020090632A1 (ja) | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 | |
US12025142B2 (en) | Vacuum pump | |
JP2022158936A (ja) | 真空ポンプ | |
CN114427539B (zh) | 涡轮分子泵 | |
JP2011163127A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2018096303A (ja) | 回転機械 | |
JPH03290092A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2022073913A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210331 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210715 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210812 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230502 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240226 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7456394 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |