JP7455229B2 - 電子線応用装置 - Google Patents
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Description
活性化機構は、活性化領域に配置されたフォトカソードに励起光を照射する光源装置と、表面活性化プロセスにおいてフォトカソードの表面に蒸着されるアルカリ金属源と、アルカリ金属源に通電し、アルカリ金属蒸気を発生させる第1の電源と、発熱体と、発熱体の加熱により酸素を発生させる酸素発生部と、フォトカソードに光源装置からの励起光が照射されることによる電子放出に伴うエミッション電流をモニターするエミッション電流測定器と、を備え、
コンピュータは、表面活性化プロセスにおいて、フォトカソードに光源装置からの励起光を照射し、エミッション電流測定器によりフォトカソードのエミッション電流量をモニターし、発熱体を加熱して酸素発生部より酸素を発生させ、フォトカソードのエミッション電流量が所定の停止基準を満たしたときに、発熱体の加熱を停止させる。
Claims (10)
- 電子プローブ放射領域と活性化領域とを備え、前記電子プローブ放射領域と前記活性化領域との間で移送可能なフォトカソードを有する電子銃と、
前記電子プローブ放射領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射することにより放出される電子ビームが導入される電子光学系カラムと、
前記活性化領域に配置された活性化機構と、
前記活性化機構を制御する制御装置と、
前記制御装置を制御し、前記活性化機構による前記フォトカソードの表面活性化プロセスを実行するコンピュータと、を有し、
前記活性化機構は、
前記活性化領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射する光源装置と、
前記表面活性化プロセスにおいて前記フォトカソードの表面に蒸着されるアルカリ金属源と、
前記アルカリ金属源に通電し、アルカリ金属蒸気を発生させる第1の電源と、
発熱体と、
前記発熱体を発熱させるための電力を供給する第2の電源と、
前記発熱体の加熱により酸素を発生させる酸素発生部と、
前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光が照射されることによる電子放出に伴うエミッション電流をモニターするエミッション電流測定器と、を備え、
前記制御装置は、前記第2の電源から前記発熱体に電力を供給することにより前記発熱体を発熱させ、
前記酸素発生部は、安定化ジルコニアと、前記安定化ジルコニアの対向する表面にそれぞれ設けられるアノード電極及びカソード電極と、前記アノード電極及び前記カソード電極を通じて前記安定化ジルコニアに通電する第3の電源とを備え、
前記コンピュータは、前記表面活性化プロセスにおいて、前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光を照射し、前記エミッション電流測定器により前記フォトカソードのエミッション電流量をモニターし、前記発熱体を加熱して前記酸素発生部より酸素を発生させ、前記フォトカソードのエミッション電流量が所定の停止基準を満たしたときに、前記発熱体の加熱を停止させる電子線応用装置。 - 請求項1において、
前記コンピュータは、前記フォトカソードのエミッション電流量が所定の値以上となったとき、もしくは前記フォトカソードのエミッション電流量の変化率が所定の値以下となったときに、前記発熱体の加熱を停止させる電子線応用装置。 - 請求項1において、
前記第2の電源から前記発熱体に供給される電力は、立ち上がりをなまらせた波形を有する電子線応用装置。 - 請求項3において、
前記第2の電源から前記発熱体に供給される電力は、一定電力あるいは一定電圧、または初期に大きく徐々に小さくなる波形を有する電子線応用装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記第2の電源から前記発熱体にパルス電力を繰り返し供給する電子線応用装置。 - 請求項1において、
前記安定化ジルコニアは前記電子銃を内蔵する真空容器の壁に配置され、
前記アノード電極及び前記カソード電極は前記真空容器の壁を挟んで、真空側と大気側に配置され、
前記発熱体は、前記真空容器の外側に配置される電子線応用装置。 - 電子プローブ放射領域と活性化領域とを備え、前記電子プローブ放射領域と前記活性化領域との間で移送可能なフォトカソードを有する電子銃と、
前記電子プローブ放射領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射することにより放出される電子ビームが導入される電子光学系カラムと、
前記活性化領域に配置された活性化機構と、
前記活性化機構を制御する制御装置と、
前記制御装置を制御し、前記活性化機構による前記フォトカソードの表面活性化プロセスを実行するコンピュータと、を有し、
前記活性化機構は、
前記活性化領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射する光源装置と、
前記表面活性化プロセスにおいて前記フォトカソードの表面に蒸着されるアルカリ金属源と、
前記アルカリ金属源に通電し、アルカリ金属蒸気を発生させる第1の電源と、
発熱体と、
前記発熱体の加熱により酸素を発生させる酸素発生部と、
前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光が照射されることによる電子放出に伴うエミッション電流をモニターするエミッション電流測定器と、を備え、
前記コンピュータは、前記表面活性化プロセスにおいて、前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光を照射し、前記エミッション電流測定器により前記フォトカソードのエミッション電流量をモニターし、前記発熱体を加熱して前記酸素発生部より酸素を発生させ、前記フォトカソードのエミッション電流量が所定の停止基準を満たしたときに、前記発熱体の加熱を停止させ、
前記コンピュータは、前記表面活性化プロセスにおいて、前記アルカリ金属蒸気を発生させてアルカリ金属を前記フォトカソードの表面に蒸着させるアルカリ金属蒸着プロセスと前記酸素発生部より酸素を発生させる酸素導入プロセスとを繰り返し実行し、
前記コンピュータは、前記酸素導入プロセスにおいて、前記所定の停止基準を満たしたときの前記フォトカソードのエミッション電流量が設定値以上である場合には、前記アルカリ金属蒸着プロセスと前記酸素導入プロセスとの繰り返しを終了し、
前記コンピュータは、前記フォトカソードの使用履歴に基づき経時劣化を示す情報を有し、前記情報と前記表面活性化プロセスを終了したときの前記フォトカソードのエミッション電流量とに基づき、前記フォトカソードの交換を推奨する電子線応用装置。 - 電子プローブ放射領域と活性化領域とを備え、前記電子プローブ放射領域と前記活性化領域との間で移送可能なフォトカソードを有する電子銃と、
前記電子プローブ放射領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射することにより放出される電子ビームが導入される電子光学系カラムと、
前記活性化領域に配置された活性化機構と、
前記活性化機構を制御する制御装置と、
前記制御装置を制御し、前記活性化機構による前記フォトカソードの表面活性化プロセスを実行するコンピュータと、を有し、
前記活性化機構は、
前記活性化領域に配置された前記フォトカソードに励起光を照射する光源装置と、
前記表面活性化プロセスにおいて前記フォトカソードの表面に蒸着されるアルカリ金属源と、
前記アルカリ金属源に通電し、アルカリ金属蒸気を発生させる第1の電源と、
発熱体と、
前記発熱体の加熱により酸素を発生させる酸素発生部と、
前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光が照射されることによる電子放出に伴うエミッション電流をモニターするエミッション電流測定器と、を備え、
前記コンピュータは、前記表面活性化プロセスにおいて、前記フォトカソードに前記光源装置からの励起光を照射し、前記エミッション電流測定器により前記フォトカソードのエミッション電流量をモニターし、前記発熱体を加熱して前記酸素発生部より酸素を発生させ、前記フォトカソードのエミッション電流量が所定の停止基準を満たしたときに、前記発熱体の加熱を停止させ、
前記コンピュータは、前記フォトカソードの特性に影響を与えるパラメータを説明変数とし、前記表面活性化プロセスにおける制御パラメータを目的変数とする相関モデルを有し、前記相関モデルを用いて前記表面活性化プロセスにおける制御パラメータを決定する電子線応用装置。 - 請求項8において、
前記相関モデルの目的変数は前記フォトカソードの寿命を含み、
前記相関モデルの目的変数である前記制御パラメータは、前記フォトカソードへの前記アルカリ金属源からのアルカリ金属の蒸着量及び酸素の導入量を含む電子線応用装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項において、
前記アルカリ金属源はCs源である電子線応用装置。
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