JP7441942B2 - シリコン中の微量金属の定量方法 - Google Patents
シリコン中の微量金属の定量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7441942B2 JP7441942B2 JP2022523530A JP2022523530A JP7441942B2 JP 7441942 B2 JP7441942 B2 JP 7441942B2 JP 2022523530 A JP2022523530 A JP 2022523530A JP 2022523530 A JP2022523530 A JP 2022523530A JP 7441942 B2 JP7441942 B2 JP 7441942B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- silicon sample
- sample
- single crystal
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 105
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 105
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 68
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 33
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 title description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 103
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 65
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 31
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 25
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 18
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 claims description 13
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 7
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000004452 microanalysis Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 25
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 17
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 12
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 8
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000000673 graphite furnace atomic absorption spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000002354 inductively-coupled plasma atomic emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 2
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000624 total reflection X-ray fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002144 chemical decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- -1 hexafluorosilicic acid Chemical compound 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010949 in-process test method Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003947 neutron activation analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009828 non-uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/20—Metals
- G01N33/204—Structure thereof, e.g. crystal structure
- G01N33/2045—Defects
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/28—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/20—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B33/08—Etching
- C30B33/10—Etching in solutions or melts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/32—Polishing; Etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
Description
DL:検出限界
RDV:再溶解体積
RR:回収率
mSi:再溶融したシリコンの質量
σ:ブランク値の標準偏差
を表す。
回収率は分母の式にあるため、回収率が低いと検出限界が高くなる。さらに、フリーズナブを完全に溶解するため、比較的多量の酸が必要となる。この酸には不純物が含まれるため、これも検出限界値が高くなる。
a)棒状シリコン試料と棒状種結晶とを帯溶融装置に供給する工程と、
b)円錐形の端部領域を有する単結晶シリコンを形成する帯溶融(帯引き上げ)を行い、単結晶シリコンの端部に滴状融液を形成する分離工程と、
c)前記滴状融液を冷却して、固化したシリコン滴(ピンナブ)を形成する工程と、
d)前記シリコン滴を部分的または完全に酸に溶解させる工程と、
e)工程d)で得られた溶液を微量分析法により分析する工程と
を含む方法によって達成される。
前記方法は、工程b)の分離工程が、下記の時系列的な下位工程:
前記シリコン試料を再溶融してその直径を小さくする工程であって、第1の時間間隔において、前記シリコン試料および前記種結晶の移動方向を以前の移動方向に対して反転させ、前記円錐形の端部領域を形成する工程と、
滴状溶融帯を形成する工程であって、第2の時間間隔において、前記種結晶の移動が停止され、前記シリコン試料の移動方向が再び反転される工程と、
種結晶とシリコン試料を分離する工程であって、前記シリコン試料の移動方向を反転し、5~20秒の間、前記試料は150~400mm/分の移動速度を有する工程と
を含むことで区別される。
1.エッチング液を供給する。
2.ピンナブをエッチング液に3~15分間浸漬する。
3.エッチング液から取り出したピンナブを新しいエッチング液で濯ぐ。
4.100~350℃に加熱して、エッチング液を濃縮する。
チョクラルスキー法で引き上げたシリコンロッドから、直径22mm、長さ8cm程度のドリルコア(シリコン試料)6本を採取し、金属Fe、Cr、Ni、Cu、ZnおよびSnで既知の汚染を行った。この試料をHF(45%)とHNO3(65%)の1:6の割合で混合した酸で約15分間洗浄エッチングし、超純水で濯いだ。このための準備は、クリーンルーム条件下(クラス10)で行った。
溶融帯において、様々なパラメータを試験した。
Claims (15)
- シリコン中の金属不純物を定量する方法であって、以下の工程:
a)棒状シリコン試料と棒状種結晶とを帯溶融装置に供給する工程と、
b)円錐形の端部領域を有する単結晶シリコンを形成する帯溶融を行い、単結晶シリコンの端部に滴状融液を形成する分離工程と、
c)前記滴状融液を冷却して、固化したシリコン滴を形成する工程と、
d)前記シリコン滴を部分的または完全に酸に溶解させる工程と、
e)工程d)で得られた溶液を微量分析法により分析する工程と
を含み、
前記分離工程が、下記の下位工程:
前記シリコン試料を再溶融してその直径を小さくする工程であって、第1の時間間隔において、前記シリコン試料および前記種結晶の移動方向を以前の移動方向に対して反転させ、前記円錐形の端部領域を形成する工程と、
滴状溶融帯を形成する工程であって、第2の時間間隔において、前記種結晶の移動が停止され、前記シリコン試料の移動方向が再び反転される工程と、
種結晶とシリコン試料を分離する工程であって、前記シリコン試料の移動方向を反転し、5~20秒の間、前記試料は150~400mm/分の移動速度を有する工程と
を含むことを特徴とする、シリコン中の金属不純物の定量方法。 - 再溶融の後、長さlの端部領域における前記シリコン試料が、前記滴状融液との接触面における前記単結晶の直径以下の直径を有することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記単結晶の前記滴状融液との接触面の直径が、3~8mmであることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 長さlのその端部領域における前記シリコン試料の直径が、2~8mmであることを特徴とする、請求項2または3に記載の方法。
- 前記シリコン試料の端部領域の長さlが、その直径の1~3倍に相当することを特徴とする、請求項2~4のいずれか一項に記載の方法。
- 再溶融中の前記シリコン試料を、前記単結晶よりも高い移動速度で移動させることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シリコン試料の移動速度が、5~15mm/分であることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記単結晶の移動速度が、2~10mm/分であることを特徴とする、請求項6または7に記載の方法。
- 再溶融中の第1の時間間隔が、30~300秒持続することを特徴とする、請求項1~8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記滴状溶融帯の形成のために、前記シリコン試料の移動速度が、1~5mm/分であることを特徴とする、請求項1~9のいずれか一項に記載の方法。
- 第2の時間間隔が、1~4秒持続することを特徴とする、請求項1~10のいずれか一項に記載の方法。
- 種結晶とシリコン試料の前記分離のために、前記シリコン試料の移動速度が、250~350mm/分であることを特徴とする、請求項1~11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記滴状融液の冷却のために、前記シリコン試料の移動を停止し、前記シリコン試料から前記種結晶を150~400mm/分の移動速度で本来の移動方向に取り出すことを特徴とする、請求項1~12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シリコン滴を、3~15分間、酸に浸漬して部分的に溶解させることを特徴とする、請求項1~13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記酸が、濃硝酸およびフッ酸を4:1~3:1の割合で混合したものを含むことを特徴とする、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2020/070562 WO2022017586A1 (de) | 2020-07-21 | 2020-07-21 | Verfahren zur bestimmung von spurenmetallen in silicium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023506121A JP2023506121A (ja) | 2023-02-15 |
JP7441942B2 true JP7441942B2 (ja) | 2024-03-01 |
Family
ID=71738159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022523530A Active JP7441942B2 (ja) | 2020-07-21 | 2020-07-21 | シリコン中の微量金属の定量方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220381761A1 (ja) |
EP (1) | EP4018019B1 (ja) |
JP (1) | JP7441942B2 (ja) |
KR (1) | KR20220066147A (ja) |
CN (1) | CN114599972B (ja) |
TW (1) | TWI781693B (ja) |
WO (1) | WO2022017586A1 (ja) |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4912528A (en) * | 1988-07-01 | 1990-03-27 | Hemlock Semiconductor Corporation | Trace metals analysis in semiconductor material |
JPH07104334B2 (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-13 | 信越半導体株式会社 | Cz単結晶シリコン中の金属不純物濃度の定量方法 |
CN1280455C (zh) * | 1997-04-09 | 2006-10-18 | Memc电子材料有限公司 | 低缺陷浓度的硅 |
JPH11304791A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Tokuyama Corp | 多結晶シリコンの不純物分析方法 |
CN101131371B (zh) * | 2007-10-08 | 2010-06-02 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种精炼冶金硅的杂质含量检测分析方法 |
ITMI20081085A1 (it) * | 2008-06-16 | 2009-12-17 | N E D Silicon S P A | Metodo per la preparazione di silicio di grado metallurgico di elevata purezza. |
CA2739349A1 (en) * | 2008-09-30 | 2010-04-08 | Hemlock Semiconductor Corporation | Method of determining an amount of impurities that a contaminating material contributes to high purity silicon and furnace for treating high purity silicon |
DE102010039755A1 (de) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Bestimmung von Verunreinigungen in Silicium |
DE102010040836A1 (de) * | 2010-09-15 | 2012-03-15 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von Silicium-Dünnstäben |
DE102010043702A1 (de) * | 2010-11-10 | 2012-05-10 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Bestimmung von Verunreinigungen in Silicium |
CN102828233A (zh) * | 2012-08-17 | 2012-12-19 | 德阳瑞能电力科技有限公司 | 单晶硅区熔拉伸炉控制*** |
CA2892002A1 (en) * | 2012-12-11 | 2014-06-19 | Hemlock Semiconductor Corporation | Methods of forming and analyzing doped silicon |
CN103255473B (zh) * | 2013-04-25 | 2016-06-29 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于区熔炉的辅助加热装置及其单晶棒保温方法 |
KR101472349B1 (ko) * | 2013-05-21 | 2014-12-12 | 주식회사 엘지실트론 | 반도체용 실리콘 단결정 잉곳 및 웨이퍼 |
PL2881498T3 (pl) * | 2013-12-06 | 2020-06-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Sposób hodowli kryształu węgliku krzemu |
TW201527731A (zh) * | 2014-01-03 | 2015-07-16 | Hemlock Semiconductor Corp | 污染矽製品之金屬雜質的濃度之測定方法 |
DE102016209008B4 (de) * | 2016-05-24 | 2019-10-02 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium, Vorrichtung zur Herstellung einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium und Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium |
JP6732595B2 (ja) * | 2016-08-04 | 2020-07-29 | 株式会社トクヤマ | 多結晶シリコン中の金属不純物濃度測定方法 |
-
2020
- 2020-07-21 US US17/770,633 patent/US20220381761A1/en active Pending
- 2020-07-21 EP EP20743691.6A patent/EP4018019B1/de active Active
- 2020-07-21 KR KR1020227013419A patent/KR20220066147A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-07-21 WO PCT/EP2020/070562 patent/WO2022017586A1/de unknown
- 2020-07-21 JP JP2022523530A patent/JP7441942B2/ja active Active
- 2020-07-21 CN CN202080074602.5A patent/CN114599972B/zh active Active
-
2021
- 2021-07-20 TW TW110126688A patent/TWI781693B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202204868A (zh) | 2022-02-01 |
CN114599972A (zh) | 2022-06-07 |
KR20220066147A (ko) | 2022-05-23 |
TWI781693B (zh) | 2022-10-21 |
US20220381761A1 (en) | 2022-12-01 |
WO2022017586A1 (de) | 2022-01-27 |
EP4018019A1 (de) | 2022-06-29 |
EP4018019B1 (de) | 2022-12-21 |
CN114599972B (zh) | 2024-03-08 |
JP2023506121A (ja) | 2023-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5268314B2 (ja) | 金属汚染と熱処理を利用した単結晶シリコンの結晶欠陥領域の区分方法 | |
JP3249557B2 (ja) | 粒状シリコン不純物濃度測定法並びに単結晶シリコン製造法 | |
KR101349736B1 (ko) | 실리콘 단결정의 검사 방법 및 제조 방법 | |
JP7441942B2 (ja) | シリコン中の微量金属の定量方法 | |
US5361128A (en) | Method for analyzing irregular shaped chunked silicon for contaminates | |
JPH04285100A (ja) | シリコンウェーハの品質検査方法 | |
JPH0380193A (ja) | シリコン半導体単結晶 | |
JP2811582B2 (ja) | 半導体材料のこん跡金属の分析法 | |
US8801854B2 (en) | Method for evaluating metal contamination of silicon single crystal | |
JP6732595B2 (ja) | 多結晶シリコン中の金属不純物濃度測定方法 | |
JPH0848512A (ja) | 多結晶シリコン粒子 | |
JP3752890B2 (ja) | シリコン単結晶インゴットの製造方法 | |
JPH02259563A (ja) | Cz単結晶シリコン中の金属不純物濃度の定量方法 | |
JP6472768B2 (ja) | フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶中の不純物定量方法および多結晶シリコンの選別方法 | |
US20020000186A1 (en) | Evaluation method for polycrystalline silicon | |
JPH066495B2 (ja) | 高純度石英ガラスの製造方法 | |
US3795547A (en) | Method of improving electrical characteristics of high purity germanium or silicon | |
KR101523943B1 (ko) | 웨이퍼 제조 공정의 오염 분석 방법 | |
JP2008156185A (ja) | シリコン単結晶製造用原料とその製造方法ならびにシリコン単結晶の製造方法 | |
Abe et al. | A history and future of silicon crystal growth | |
DE102010039755A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung von Verunreinigungen in Silicium | |
JP2005288891A (ja) | 多結晶シリコンの切断方法および切断装置 | |
JP6329920B2 (ja) | 多結晶シリコン塊の評価方法 | |
JP2009249253A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2010263186A (ja) | シリコンウェーハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220620 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7441942 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |