JP7438767B2 - ミラーユニット - Google Patents
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Description
[ミラーユニットの全体構成]
[光走査デバイスの構成]
[パッケージの構成]
[配線部]
[作用及び効果]
[変形例]
(1)図2の断面において第1直線L1が第1壁部51と交差する
(2)図2の断面において第2直線L2が第2壁部52と交差する
(3)図3の断面において第3直線L3が第3壁部53と交差する
(4)図3の断面において第4直線L4が第4壁部54と交差する
Claims (7)
- ベースと、
可動部、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記ベース上に配置された光走査デバイスと、
第1方向から見た場合に前記光走査デバイスを囲むように前記ベース上に配置された枠部材と、
前記枠部材の開口を覆うように前記枠部材上に配置された平板状の窓部材と、
前記光走査デバイスに電気的に接続された配線部と、を備え、
前記枠部材は、前記第1方向に垂直な第2方向において互いに向かい合う第1壁部及び第2壁部と、前記第1方向及び前記第2方向の双方に垂直な第3方向において互いに向かい合う第3壁部及び第4壁部と、を有し、
前記第1壁部の高さは、前記第2壁部の高さよりも高く、
前記窓部材は、前記第1壁部の頂面上及び前記第2壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、
前記第1壁部、前記第2壁部、前記第3壁部及び前記第4壁部のいずれか1つを第1参照壁部とすると、前記ミラー面を通り前記第1参照壁部に垂直な断面において、前記ミラー面における前記第1参照壁部側の第1端と、前記窓部材において前記枠部材とは反対側の外表面と第1側面とにより前記第1参照壁部側に形成された第1角部とを通る第1直線が、前記第1参照壁部と交差しており、
前記配線部は、前記ベースの内部を延在する部分を有し、前記枠部材の外側へ引き出されている、ミラーユニット。 - 前記窓部材は、前記枠部材に接合されており、
前記窓部材の厚さは、前記窓部材と前記枠部材とが接合されている領域の幅よりも小さい、請求項1に記載のミラーユニット。 - 前記第1壁部、前記第2壁部、前記第3壁部及び前記第4壁部のうち、前記第1参照壁部と向かい合うものを第2参照壁部とすると、前記断面において、前記ミラー面における前記第2参照壁部側の第2端と、前記窓部材において前記外表面と第2側面とにより前記第2参照壁部側に形成された第2角部とを通る第2直線が、前記第2参照壁部と交差している、請求項1又は2に記載のミラーユニット。
- 前記配線部は、前記第1方向から見た場合に前記第1参照壁部と重なるように、前記ベースの内部を延在している、請求項1~3のいずれか一項に記載のミラーユニット。
- 前記配線部は、前記第1方向から見た場合に前記枠部材の内側に位置する領域において前記ベース上に設けられた電極パッドを有し、
前記第1壁部、前記第2壁部、前記第3壁部及び前記第4壁部のうち、前記第1参照壁部と向かい合うものを第2参照壁部とすると、前記光走査デバイスと前記第1参照壁部との間の距離は、前記光走査デバイスと前記第2参照壁部との間の距離よりも長く、
前記電極パッドは、前記ベース上において前記光走査デバイスと前記第1参照壁部との間に配置されている、請求項1~4のいずれか一項に記載のミラーユニット。 - 前記第1参照壁部は、前記第1壁部であり、前記第2参照壁部は、前記第2壁部である、請求項5に記載のミラーユニット。
- 前記配線部は、前記第1方向から見た場合に前記枠部材の内側に位置する第1領域において前記光走査デバイスに電気的に接続され、前記第1方向から見た場合に前記枠部材と重なる第2領域において前記ベースの内部を延在し、前記第1方向から見た場合に前記枠部材の外側に位置する第3領域へ引き出されている、請求項1~6のいずれか一項に記載のミラーユニット。
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