JP7421976B2 - ペリクル、およびその製造方法 - Google Patents
ペリクル、およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7421976B2 JP7421976B2 JP2020057399A JP2020057399A JP7421976B2 JP 7421976 B2 JP7421976 B2 JP 7421976B2 JP 2020057399 A JP2020057399 A JP 2020057399A JP 2020057399 A JP2020057399 A JP 2020057399A JP 7421976 B2 JP7421976 B2 JP 7421976B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- meth
- adhesive layer
- carbon
- acrylate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 72
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 37
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 34
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 claims description 27
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 26
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 claims description 25
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 21
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 claims description 17
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 claims description 11
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 51
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 50
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 50
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 28
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 8
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 8
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 8
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 8
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 5
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 5
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 5
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZCZFEIZSYJAXKS-UHFFFAOYSA-N [3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound OCC(CO)(CO)COC(=O)C=C ZCZFEIZSYJAXKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 2
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YMMLZUQDXYPNOG-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentan-2-yl 7,7-dimethyloctaneperoxoate Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(=O)CCCCCC(C)(C)C YMMLZUQDXYPNOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxypropan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N Lauroyl peroxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OOC(=O)CCCCCCCCCCC YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical group CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 2
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl propan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)C BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 229920001935 styrene-ethylene-butadiene-styrene Polymers 0.000 description 2
- SWAXTRYEYUTSAP-UHFFFAOYSA-N tert-butyl ethaneperoxoate Chemical compound CC(=O)OOC(C)(C)C SWAXTRYEYUTSAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- JXCAHDJDIAQCJO-UHFFFAOYSA-N (1-tert-butylperoxy-2-ethylhexyl) hydrogen carbonate Chemical compound CCCCC(CC)C(OC(O)=O)OOC(C)(C)C JXCAHDJDIAQCJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N (2,4-dichlorobenzoyl) 2,4-dichlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1Cl WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMYZLRSSLFFUQN-UHFFFAOYSA-N (2-chlorobenzoyl) 2-chlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1Cl JMYZLRSSLFFUQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVQMJJQUGGVLEP-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy 2-ethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OOOC(C)(C)C FVQMJJQUGGVLEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCXVPNKIBYLBIT-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy 3,5,5-trimethylhexaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(=O)OOOC(C)(C)C HCXVPNKIBYLBIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy benzenecarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOOC(=O)C1=CC=CC=C1 QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy propan-2-yl carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(C)(C)C KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQCZLYDKPFLMGD-BYPYZUCNSA-N (2s)-2-amino-3-prop-2-enoyloxypropanoic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)COC(=O)C=C CQCZLYDKPFLMGD-BYPYZUCNSA-N 0.000 description 1
- OXYKVVLTXXXVRT-UHFFFAOYSA-N (4-chlorobenzoyl) 4-chlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 OXYKVVLTXXXVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOBYOEQUFMGXBP-UHFFFAOYSA-N (4-tert-butylcyclohexyl) (4-tert-butylcyclohexyl)oxycarbonyloxy carbonate Chemical compound C1CC(C(C)(C)C)CCC1OC(=O)OOC(=O)OC1CCC(C(C)(C)C)CC1 NOBYOEQUFMGXBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N (5-benzoylperoxy-2,5-dimethylhexan-2-yl) benzenecarboperoxoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N (z)-3-carbonoperoxoyl-4,4-dimethylpent-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)/C=C(C(C)(C)C)\C(=O)OO BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)cyclohexane Chemical compound CC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)C)CCCCC1 HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTPYJEXTTINDEM-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(1-tert-butylperoxypropan-2-yl)benzene Chemical compound CC(C)(C)OOCC(C)C1=CC=CC=C1C(C)COOC(C)(C)C CTPYJEXTTINDEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBYDUPRWILCUIC-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethynylbenzene Chemical compound C#CC1=CC=CC=C1C#C CBYDUPRWILCUIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHBIJBUUMSDQMR-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxane prop-2-enoic acid Chemical compound O1CCOCC1.C(C=C)(=O)O DHBIJBUUMSDQMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYMDJPGTQFHDSA-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethenoxyethoxy)-2-ethoxyethane Chemical compound CCOCCOCCOC=C AYMDJPGTQFHDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-ol Chemical compound CCCOCC(C)O FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butyl prop-2-enoate Chemical compound CCC(CO)(CO)COC(=O)C=C SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(tert-butylperoxy)butane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(CC)OOC(C)(C)C HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRJIYMRJTJWVLU-UHFFFAOYSA-N 2,4,4-trimethylpentan-2-yl 3-(5,5-dimethylhexyl)dioxirane-3-carboxylate Chemical compound CC(C)(C)CCCCC1(C(=O)OC(C)(C)CC(C)(C)C)OO1 CRJIYMRJTJWVLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPGYCJUCJYUHTM-UHFFFAOYSA-N 2,4,4-trimethylpentan-2-yloxy 2-ethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OOOC(C)(C)CC(C)(C)C DPGYCJUCJYUHTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhex-3-yne Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C#CC(C)(C)OOC(C)(C)C ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEMBFTKNPXENSE-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylpentan-2-ylperoxy)propan-2-yl hydrogen carbonate Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(C)(C)OC(O)=O IEMBFTKNPXENSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKBHBVFIWWDGQX-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-3,3,4,4,5,5,5-heptafluoropent-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(Br)=C XKBHBVFIWWDGQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZACVGCNKGYYQHA-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexoxycarbonyloxy 2-ethylhexyl carbonate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)OOC(=O)OCC(CC)CCCC ZACVGCNKGYYQHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRQMAAFGEXNUOL-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl (2-methylpropan-2-yl)oxy carbonate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)OOC(C)(C)C BRQMAAFGEXNUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIRQGKQPLPBZQM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroperoxy-2,4,4-trimethylpentane Chemical compound CC(C)(C)CC(C)(C)OO MIRQGKQPLPBZQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODIARNBUHATISP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-[4-[[4-(2-hydroxy-2-methylpropyl)phenyl]methyl]phenyl]-2-methylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(CC(C)(O)C)=CC=C1CC1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 ODIARNBUHATISP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAQDPWONDFRAHF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-(2-methylpentan-2-ylperoxy)pentane Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(C)(C)CCC YAQDPWONDFRAHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFXDUNDBQDXPQZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutan-2-yl 2-ethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OOC(C)(C)CC IFXDUNDBQDXPQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTEZVHMDMFEURJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentan-2-yl 2,2-dimethylpropaneperoxoate Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(=O)C(C)(C)C RTEZVHMDMFEURJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXDJDZIIPSOZAH-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentan-2-yl benzenecarboperoxoate Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 WXDJDZIIPSOZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPBWMJBZQXCSFW-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropanoyl 2-methylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)C(=O)OOC(=O)C(C)C RPBWMJBZQXCSFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 2-oxooctanal Chemical compound CCCCCCC(=O)C=O MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUIZZJWNNGJSGL-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpropan-2-yl 2,2-dimethyloctaneperoxoate Chemical compound CCCCCCC(C)(C)C(=O)OOC(C)(C)c1ccccc1 NUIZZJWNNGJSGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 3,5,5-trimethylhexanoyl 3,5,5-trimethylhexaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(=O)OOC(=O)CC(C)CC(C)(C)C KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQNBDEOGKNZIQM-UHFFFAOYSA-N 3-[2-(2-prop-2-ynoxyethoxy)ethoxy]prop-1-yne Chemical compound C#CCOCCOCCOCC#C ZQNBDEOGKNZIQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoxyprop-1-ene Chemical compound C=CCOCC=C ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVIDTCAFIMQJAZ-UHFFFAOYSA-N 4,5,6-tris(tert-butylperoxy)triazine Chemical compound CC(C)(C)OOC1=NN=NC(OOC(C)(C)C)=C1OOC(C)(C)C CVIDTCAFIMQJAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKTOIPPVFPJEQO-UHFFFAOYSA-N 4-(3-carboxypropanoylperoxy)-4-oxobutanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC(=O)OOC(=O)CCC(O)=O MKTOIPPVFPJEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFWSICBKRCICMR-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-hexanone Chemical compound CC(C)CCC(C)=O FFWSICBKRCICMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEEKCUUSDRHGAC-UHFFFAOYSA-N 7,7-dimethyl-2-(2,4,4-trimethylpentyl)octaneperoxoic acid Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(C(=O)OO)CCCCC(C)(C)C HEEKCUUSDRHGAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBPADELTPKRSCQ-UHFFFAOYSA-N 9h-fluoren-1-yl prop-2-enoate Chemical compound C1C2=CC=CC=C2C2=C1C(OC(=O)C=C)=CC=C2 IBPADELTPKRSCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N AIBN Substances N#CC(C)(C)\N=N\C(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N Cellulose propionate Chemical class CCC(=O)OCC1OC(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C1OC1C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(COC(=O)CC)O1 DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Chemical class 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical class CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004373 Pullulan Chemical class 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Chemical class 0.000 description 1
- OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M Superoxide Chemical compound [O-][O] OUUQCZGPVNCOIJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSOONFBDIYMPEU-UHFFFAOYSA-N [3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COC(=O)C=C SSOONFBDIYMPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUIBLDFFVYKUAC-UHFFFAOYSA-N [5-(2-ethylhexanoylperoxy)-2,5-dimethylhexan-2-yl] 2-ethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(=O)C(CC)CCCC JUIBLDFFVYKUAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000005250 alkyl acrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- NSGQRLUGQNBHLD-UHFFFAOYSA-N butan-2-yl butan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CCC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)CC NSGQRLUGQNBHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAISMSJTPGJFIP-UHFFFAOYSA-N butyl 4-tert-butyl-4,5,5-trimethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCOOC(=O)CCC(C)(C(C)(C)C)C(C)(C)C HAISMSJTPGJFIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Chemical class 0.000 description 1
- 229920006218 cellulose propionate Chemical class 0.000 description 1
- NEHMKBQYUWJMIP-NJFSPNSNSA-N chloro(114C)methane Chemical compound [14CH3]Cl NEHMKBQYUWJMIP-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-M ctk4f8481 Chemical compound [O-]O.CC(C)C1=CC=CC=C1C(C)C SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- CIKJANOSDPPCAU-UHFFFAOYSA-N ditert-butyl cyclohexane-1,4-dicarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C1CCC(C(=O)OOC(C)(C)C)CC1 CIKJANOSDPPCAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000012156 elution solvent Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Chemical class 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- YFIBSNDOVCWPBL-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diyne Chemical compound C#CCCC#C YFIBSNDOVCWPBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002432 hydroperoxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005027 hydroxyaryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004464 hydroxyphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- SYWIXHZXHQDFOO-UHFFFAOYSA-N methyl n-phenyliminocarbamate Chemical class COC(=O)N=NC1=CC=CC=C1 SYWIXHZXHQDFOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N methyl phenylglyoxalate Chemical compound COC(=O)C(=O)C1=CC=CC=C1 YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000005634 peroxydicarbonate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005996 polystyrene-poly(ethylene-butylene)-polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000346 polystyrene-polyisoprene block-polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- YPVDWEHVCUBACK-UHFFFAOYSA-N propoxycarbonyloxy propyl carbonate Chemical compound CCCOC(=O)OOC(=O)OCCC YPVDWEHVCUBACK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007761 roller coating Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010421 standard material Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,2-dimethylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C(C)(C)C OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMOALOSNPWTWRH-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 7,7-dimethyloctaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CCCCCC(=O)OOC(C)(C)C NMOALOSNPWTWRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJBRNHKUVLOCEB-UHFFFAOYSA-N tert-butyl benzenecarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 GJBRNHKUVLOCEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOEYNURYLFDCEV-UHFFFAOYSA-N tert-butyl hydroxy carbonate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)OO YOEYNURYLFDCEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZTSTZPFKORISI-UHFFFAOYSA-N tert-butylperoxy propan-2-yl carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOOC(C)(C)C NZTSTZPFKORISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Description
[1] ペリクル枠と、
前記ペリクル枠の一端面に張設されたペリクル膜と、
前記ペリクル枠の他端面に設けられた粘着剤層とを有するペリクルであって、
前記粘着剤層が、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物の硬化物である(メタ)アクリル系粘着剤を含み、
前記粘着剤層の、前記ペリクル枠と接する面とは反対側の面に対して測定した応力が25μN以上50μN以下であり、前記応力は、ナノインデンテーション法によって測定した、押し込み深さが4μmのときに生じる応力である、ペリクル。
[2] 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が、(メタ)アクリル酸エステルに由来する構造単位、及び炭素-炭素多重結合含有基からなる側鎖を有する、[1]に記載のペリクル。
[3] 前記炭素-炭素多重結合含有基が、炭素-炭素二重結合含有基である、[2]に記載のペリクル。
[4] 前記硬化剤(B)がラジカル重合開始剤である、[1]~[3]のいずれかに記載のペリクル。
[5] 前記ラジカル重合開始剤が、熱ラジカル重合開始剤である、[4]に記載のペリクル。
[6] [1]~[5]のいずれかに記載のペリクルの製造方法であって、
ペリクル枠の一端面にペリクル膜を張設する工程と、
前記ペリクル枠の他端面に、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物を使用して粘着剤層を設ける工程と、
前記ペリクル膜、前記ペリクル枠、および前記粘着剤層を含む複合体に対して、酸素ガス雰囲気内で波長193nm以下の紫外線を照射する工程と
を含み、
前記紫外線を照射する工程によって、前記粘着剤層の、前記ペリクル枠と接する面とは反対側の面に対して測定した応力が25μN以上50μN以下となり、前記応力は、ナノインデンテーション法によって測定した、押し込み深さが4μmのときに生じる応力である、
ペリクルの製造方法。
[7] 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が、(メタ)アクリル酸エステルに由来する構造単位、及び炭素-炭素多重結合含有基からなる側鎖を有する、[6]に記載の製造方法。
本発明のペリクルは、ペリクル枠と、ペリクル枠の一端面に張設されたペリクル膜と、ペリクル枠の他端面に設けられた粘着剤層とを有する。
ペリクル枠は、ペリクル枠として通常用いられるものであってもよい。ペリクル枠の材質の例には、アルミニウム合金、ステンレス鋼、ポリエチレン、黒色アルマイト処理したアルミニウムなどが含まれる。これらの中でも、軽量であることなどから、アルミニウム合金や黒色アルマイト処理したアルミニウムなどが好ましい。
ペリクル膜は、ペリクル枠の一方の開口部に固定されている。ペリクル膜は、ペリクル膜として通常用いられているものであってよい。ペリクル膜の材質としては、例えばニトロセルロース、エチルセルロース、酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、プルラン化合物、非晶性フッ素系重合体、シリコーン変性ポリビニルアルコールなどが挙げられる。これらの中でも、エキシマ光に対して充分な耐性を有する非晶性フッ素系重合体が好ましい。
粘着剤層は、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物の硬化物である(メタ)アクリル系粘着剤を含む。
本発明において「(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)(以下、しばしば、「共重合体(A)」と略す場合もある)は、炭素数1~14のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、後述する硬化剤(B)との反応性を有する官能基を有する反応性モノマーとをモノマー単位として含むものが好ましい。
炭素-炭素多重結合含有基は、炭素-炭素二重結合および/または炭素-炭素三重結合を含む基である限り特に限定はない。重合性炭素-炭素多重結合は、エチレン性ならびにアルキン性の炭素-炭素多重結合を意味する。
多重結合当量(g/mol)=共重合体(A)中の固形分質量(g)/共重合体(A)の多重結合のモル数。
尚、ここでいう共重合体(A)の固形分質量とは、共重合体(A)の平均分子量(Mw)である。また、共重合体(A)の多重結合のモル数は、側鎖に位置する重合性多重結合基を有する化合物のモル数である。
構造単位(I)は、(メタ)アクリル酸エステルに由来する構造単位である。構造単位(I)は、-CH2-CH(COOCH3)-で表される構造を有している。
構造単位(II)は、ヒドロキシ基を含む構造単位である。共重合体(A)が構造単位(II)を有することで、粘着力がより向上する。
GPCカラム:例えば東ソー社の「TSKgel Multipore HXL-M」2本
カラム温度:40℃
溶出溶媒:テトラヒドロフラン(和光純薬工業社)
流量: 1.0mL/分
試料濃度: 0.05質量%
試料注入量:100μL
検出器:示差屈折計
標準物質:単分散ポリスチレン
粘着剤に使用する硬化剤(B)は、使用する共重合体(A)を重合可能なものである限り、その種類に特に限定はないが、ラジカル重合開始剤が好ましい。さらにラジカル重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤および熱ラジカル重合開始剤を使用することができる。
本発明に係る樹脂組成物は、架橋剤(C)をさらに含んでもよい。
架橋剤(C)は、加熱によって共重合体(A)に架橋構造を形成することができる成分である。当該樹脂組成物が架橋剤(C)をさらに含むことで、架橋構造を有する粘着剤層を形成することができる。
尚、多重結合当量は共重合体(A)に関連して上述した方法により求めることができる。
本発明に係る樹脂組成物は、上記成分に加えて、その他の任意成分を含有してもよい。任意成分としては、例えば、酸化防止剤、老化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、界面活性剤、保存安定剤、熱重合禁止剤、可塑剤、濡れ性改良剤、密着性付与剤、粘着付与剤(タッキーファイヤー)、有機溶媒等が挙げられる。これら任意成分は1種でもよいが、2種以上を加えることもできる。
ペリクルの粘着剤層を形成する(メタ)アクリル系粘着剤の製造方法に特に限定はなく、粘着剤の製造方法として公知の方法で製造することができる。例えば、上述した共重合体(A)と、硬化剤(B)と、所望により架橋剤(C)、有機溶媒およびその他の成分を、上述した配合量で混合することで、(メタ)アクリル系樹脂組成物を得て、当該粘着剤の溶液を硬化することで、(メタ)アクリル系粘着剤を得ることができる。
本発明のペリクルにおける粘着剤層は、ペリクル枠と接する面とは反対側の面に対して測定した応力が25μN以上50μN以下である。当該応力とは、ナノインデンテーション法によって測定した、押し込み深さが4μmのときに生じる応力である。
本発明のペリクルは、下記工程を含む方法によって製造することができる。
ペリクル枠の一端面にペリクル膜を張設する工程1)と、
ペリクル枠の他端面に、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物を使用して粘着剤層を設ける工程2)と、
前記ペリクル膜、前記ペリクル枠、および前記粘着剤層を含む複合体に対して、不活性ガス雰囲気内で波長193nm以下の紫外線を照射する工程3)と
を含む。
ペリクル枠の一方の開口部に、ペリクル膜を張設する。ペリクル膜の張設は、通常の方法で行うことができる。例えば、通常用いられる接着剤を、ペリクル枠の一方の端面に塗布して接着剤層を形成し、当該接着剤層上にペリクル膜を固定すればよい。
次に、ペリクル膜を張設したのと反対側のペリクル枠の開口部の端面に、粘着剤層を設ける。粘着剤層の形成には、上記(メタ)アクリル系の樹脂組成物そのものまたは(メタ)アクリル系の樹脂組成物を含む塗工溶液を調製し、ペリクル枠の開口部の端面に塗布し、乾燥及び硬化させて粘着剤とし、粘着剤層を形成する。
トルエン、キシレン等の芳香族系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、2-メチル-5-ヘキサノン等のケトン系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;塩化メチル、ジクロロメタン、ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒;
エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、
プロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、プロピレングリコール等のグリコール
エーテル系溶媒;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルカルボキシレート系溶媒。
有機溶媒は1種でもよいが、2種以上を混合して用いることもできる。
上記のようにして粘着剤層を形成して、ペリクル膜、ペリクル枠、および粘着剤層を含む複合体を得る。得られた複合体に対して、酸素雰囲気内で波長193nm以下、好ましくは172nm以上193nm以下の紫外線を照射する。
このようにして得られるペリクルは、上記粘着剤層を介してマスク上に装着される。それにより、マスクに異物が付着するのを防止しうる。マスクに付着した異物は、それに露光光の焦点が合うと、ウェハへの解像不良を引き起こす。そのため、ペリクルは、マスクの露光エリアを覆うように装着される。
尚、リソグラフィのための露光と、上述したペリクルの製造方法における工程3)の紫外線照射とを同時に行う場合には、露光光は、ArFエキシマレーザー(波長193nm)とする。
以下の実施例および比較例において、下記の材料を使用した。
RA-341:根上工業社製の「アートキュアRA-341」(多重結合当量:13000g/mol、重量平均分子量:80000)
SEBS:スチレン-エチレン・ブチレン-スチレンブロック共重合体(商品名「7A」(三井化学社製)、弾性率:1.0×105~2.0×105Pa、tanδ:10~18℃)
SIPS:スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体(商品名「HYBRAR 7125」(クラレ社製)、溶液粘度:30.0~90.0mPa・S、揮発分0.30%以下)
光ラジカル重合開始剤:BASF社製の「omnirad1173」
熱ラジカル重合開始剤:化薬ヌーリオン社製の「パーカドックス12-XL25」
実施例1: 樹脂組成物1の調製
ポリマー(A)として、(メタ)アクリル酸エステル共重合体であるRA-341を用い、100質量部のRA-341に、光ラジカル重合開始剤0.01質量部と、熱ラジカル重合開始剤(キシレンで希釈されたもの)1質量部とを添加し、混合して、樹脂組成物1を得た。
ポリマー(A)としてSIPSを用いる以外は実施例1と同様に樹脂組成物を調製し、樹脂組成物2を得た。
ポリマー(A)としてSEBSを用いる以外は実施例1と同様に樹脂組成物を調製し、樹脂組成物3を得た。
(メタ)アルキルエステル共重合体は、以下のように調整した。反応容器に、酢酸ブチル(30質量部)を入れ、イソブチルアクリレート/ブチルアクリレート/アクリル酸/2-ヒドロキシエチルアクリレート/2.2-アゾビスイソブチルニトリル(AIBN)=40/56/1.5/2.5/1.0の混合物(32質量部)を仕込み、窒素雰囲気下、60℃で10時間反応させた。終了後、トルエン(38質量部)を添加して、(メタ)アルキルエステル共重合体を得た。
得られた(メタ)アルキルエステル共重合体にエポキシ化合物(1.3-ビス(N,N-ジクリシジルアミノメチル)シクロヘキサンのトルエン溶液)を0.25質量部添加し、攪拌混合して、樹脂組成物4を得た。
樹脂組成物1~4をそれぞれ使用し、以下の手順でペリクルを製造した。
陽極酸化処理を施したアルミニウム製のペリクル枠(外寸:149mm×122mm、枠高さ:5.8mm、枠幅:2mm)の端面に、樹脂組成物をディスペンサーを用いて、塗布温度60℃で塗布した。これを加熱乾燥(60℃、30分)させた後、ドーズ量が654mJ/cm2になるよう照射量を調節して、樹脂組成物のUV硬化を365nm近傍の波長で行い、ペリクル枠の一端面に粘着剤を設けた。次に、粘着剤の上にPET製セパレータを貼付けた。セパレータ付きの粘着剤の平坦化を行うために、セパレータの上から平坦なガラス板を押し付けながら粘着剤を加熱硬化(120℃、30分)させ、厚みが最大で550μmの粘着剤層を設けた。
ガラス基板上にサイトップ溶液(商品名「CYTOP」、AGC製、濃度9%)をスピンコートして、成膜した。次に、剥離用の枠(プラスチック製)に粘着剤(商品名「AZ-2050」、旭化学合成社製)を塗り、基板上に形成された膜に貼り付け、膜を基板から剥離させ、ペリクル膜の自立化を行った。
4-1.マスクへのペリクルの貼り付け
ペリクルマウンター(松下精機社製)を用いて、得られたペリクルにマスク(HOYA社製、6025基板)を装着した。具体的には、ペリクルとマスクをペリクルマウンターに設置し、ペリクルをマスクに圧着させた。圧着条件は、室温、圧力が10kgF/cm2で、30秒とした。
ペリクルを貼り付けたマスク基板に対し、酸素雰囲気下でマスク基板側からArFエキシマレーザーを照射し、マスクを貼り付けた評価用ペリクルを得た。ArFエキシマレーザーの照射には、COHERENT社製のArF照射装置を用い、15J/cm2の照射を行った。
5-1.粘着剤層の応力
ペリクルの粘着剤層の硬さの指標となる応力を以下の方法で測定した。
ArFエキシマレーザーを照射した後の、マスクを貼り付けた評価用ペリクルからマスクを剥がして、粘着剤層が露出させた。露出した粘着剤層に対して、装置としてHyditron TI Premier(ブルカー社製)を用い、ナノインデンテーション法を実施した。20μmのコニカル型ダイヤモンド圧子が粘着剤層に接したら、押込速度0.8μm/秒にて4μm深さまで圧子を押し込み、このときに生じる応力を測定した。
各評価用ペリクルと重りとを図1に示すように組み立て、表1に示した条件(温度、荷重)で耐荷重試験を実施した。具体的には、エポキシ樹脂200(製品名:ハイスーパー5製造社名:セメダイン社製)を用いて評価用ペリクル100のペリクル枠122に重り300を固定した。次に、任意の温度に設定したクリーンオーブン中にマスク110が上になるように固定して、評価用ペリクル100および重り300がぶら下がるようにし、24時間放置した。24時間以内にマスク110からペリ粘着剤層121が剥がれてペリクル部120が落下するか否かを観察し、以下の基準に従って評価した。
○:24時間以内の落下なし
×:24時間以内に落下
110 マスク
120 ペリクル部
121 粘着剤層
122 ペリクル枠(ペリクル膜を含む)
200 エポキシ樹脂
300 重り
Claims (6)
- ペリクル枠と、
前記ペリクル枠の一端面に張設されたペリクル膜と、
前記ペリクル枠の他端面に設けられた粘着剤層とを有するペリクルであって、
前記粘着剤層が、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物の硬化物である(メタ)アクリル系粘着剤を含み、
前記粘着剤層の、前記ペリクル枠と接する面とは反対側の面に対して測定した応力が25μN以上50μN以下であり、前記応力は、ナノインデンテーション法によって測定した、押し込み深さが4μmのときに生じる応力である、ペリクル。 - 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が、(メタ)アクリル酸エステルに由来する構造単位、及び炭素-炭素多重結合含有基からなる側鎖を有する、請求項1に記載のペリクル。
- 前記炭素-炭素多重結合含有基が、炭素-炭素二重結合含有基である、請求項2に記載のペリクル。
- 前記硬化剤(B)がラジカル重合開始剤である、請求項1~3のいずれか一項に記載のペリクル。
- 前記ラジカル重合開始剤が、熱ラジカル重合開始剤である、請求項4に記載のペリクル。
- 請求項1~5のいずれか一項に記載のペリクルの製造方法であって、
ペリクル枠の一端面にペリクル膜を張設する工程と、
前記ペリクル枠の他端面に、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、硬化剤(B)とを含む樹脂組成物を使用して粘着剤層を設ける工程と、
前記ペリクル膜、前記ペリクル枠、および前記粘着剤層を含む複合体に対して、酸素雰囲気内で波長193nm以下の紫外線を照射する工程と
を含み、
前記紫外線を照射する工程によって、前記粘着剤層の、前記ペリクル枠と接する面とは反対側の面に対して測定した応力が25μN以上50μN以下となり、前記応力は、ナノインデンテーション法によって測定した、押し込み深さが4μmのときに生じる応力である、
ペリクルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020057399A JP7421976B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | ペリクル、およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020057399A JP7421976B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | ペリクル、およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021157058A JP2021157058A (ja) | 2021-10-07 |
JP7421976B2 true JP7421976B2 (ja) | 2024-01-25 |
Family
ID=77917696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020057399A Active JP7421976B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | ペリクル、およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7421976B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016018008A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル付フォトマスク、及び半導体素子の製造方法 |
JP2019047075A (ja) | 2017-09-07 | 2019-03-22 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハ保護用粘着テープ |
US20190202170A1 (en) | 2017-12-28 | 2019-07-04 | Nitto Denko Corporation | Method for producing glass unit, pressure-sensitive adhesive sheet, and use of corrosion inhibitor |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06148871A (ja) * | 1992-10-30 | 1994-05-27 | Tosoh Corp | ペリクル及びペリクルの製造方法 |
JPH10282640A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | マスク等の基板へのペリクルの貼付方法及び該方法によって得られるペリクル貼付基板 |
-
2020
- 2020-03-27 JP JP2020057399A patent/JP7421976B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016018008A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル付フォトマスク、及び半導体素子の製造方法 |
JP2019047075A (ja) | 2017-09-07 | 2019-03-22 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハ保護用粘着テープ |
US20190202170A1 (en) | 2017-12-28 | 2019-07-04 | Nitto Denko Corporation | Method for producing glass unit, pressure-sensitive adhesive sheet, and use of corrosion inhibitor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021157058A (ja) | 2021-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6729380B2 (ja) | 粘着シート、粘着剤層付き積層体の製造方法、粘着剤層付き積層体、画像表示装置およびタッチパネル | |
CA2757455C (en) | Ultraviolet radiation curable pressure sensitive acrylic adhesive | |
JP5854791B2 (ja) | 粘着剤、光学部材用粘着剤、粘着剤層付き光学部材、画像表示装置、活性エネルギー線硬化性粘着剤組成物 | |
JP6699544B2 (ja) | 粘着剤組成物、粘着剤、粘着シート、粘着剤層付き積層体の製造方法、画像表示装置、およびタッチパネル | |
WO2011090090A1 (ja) | 粘着剤、光学部材用粘着剤、粘着剤層付き光学部材、画像表示装置、活性エネルギー線および/または熱硬化性粘着剤組成物、粘着剤組成物 | |
JP6106080B2 (ja) | 硬化性組成物 | |
KR20180063165A (ko) | 경화성 및 경화된 접착제 조성물 | |
JP5808177B2 (ja) | 光学部材用粘着剤および粘着剤層付き光学部剤、ならびに画像表示装置 | |
JP2012021148A (ja) | 粘着剤、光学部材用粘着剤、粘着剤層付き光学部材、画像表示装置 | |
JP2007191671A (ja) | 樹脂組成物、光学部材用粘着剤、光学部材用粘着剤の製造方法 | |
JP5961610B2 (ja) | 粘着シート | |
JP7130849B2 (ja) | ペリクル | |
JP5548109B2 (ja) | 粘着シート用基材フィルムの製造方法、粘着シート用基材フィルムおよび粘着シート | |
KR102061686B1 (ko) | 아크릴계 점착제의 제조 방법 및 이로부터 제조된 점착 필름 | |
JP4702594B2 (ja) | 液晶パネルシール用光硬化性組成物及び液晶パネル | |
JP7421976B2 (ja) | ペリクル、およびその製造方法 | |
JP2015074776A (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
WO2021193681A1 (ja) | ペリクル、およびその製造方法 | |
JP2015074734A (ja) | 光学部材用粘着剤、粘着剤層付き光学部材、画像表示装置、活性エネルギー線及び/又は熱硬化性光学部材用粘着剤組成物 | |
JPH08311418A (ja) | 液晶表示用粘着シートの製造方法 | |
TWI658130B (zh) | 自癒合材料、其製造方法及應用 | |
CN112440536A (zh) | 层叠光学膜的制造方法 | |
JP2015054941A (ja) | 光学部材用粘着剤、粘着剤層付き光学部材、画像表示装置、活性エネルギー線及び/又は熱硬化性光学部材用粘着剤組成物 | |
KR102171979B1 (ko) | 점착 필름 및 이의 제조방법 | |
WO2024111438A1 (ja) | 透明粘着シート、離型フィルム付き透明粘着シート、フレキシブル画像表示装置構成部材用透明粘着シート、画像表示装置用積層体及びフレキシブル画像表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7421976 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |