JP7418248B2 - 真空計 - Google Patents
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Description
これにより、流路の上流及び下流の間には空気の密度勾配が生じるので、所謂煙突効果を利用して冷たい空気を回路基板に向かって押し上げることができる。その結果、真空計に外から風を当てずとも、回路基板を十分に冷却することが可能となる。
これならば、外気取り込み口が側方を向く構成に比べて、外気を取り込みやすく、より強い上昇気流を生じさせることができ、回路基板の冷却効果を高めることができる。
そこで、前記取付姿勢において、前記外気取り込み口が、前記第1インナーケースの下端部よりも上方に位置していることが好ましい。
このような構成であれば、真空計の取付環境によらず、外気を十分に取り込むことができる。
このような構成であれば、第2インナーケース及びアウターケースの間に形成される流路と回路基板との接触面積を大きくすることができ、回路基板の冷却効果をより向上させることができる。
これならば、第1インナーケースにセンサ部の保温機能を発揮させつつ、第2インナーケースやアウターケースに回路基板の放熱機能を発揮させることができ、これらの機能によっても、センサ部を高温に温調しつつ、回路基板を冷却することができる。
このように構成された真空計によれば、外気が流れる流路が、ヒータや高温に温調されているセンサ部の周囲から、回路基板の周囲に亘って形成されているので、この流路の上流及び下流の間に大きな温度差を生じさせることができる。
これにより、流路の上流及び下流の間には空気の密度勾配が生じるので、所謂煙突効果を利用して冷たい空気を回路基板に向かって押し上げることができる。その結果、真空計に外から風を当てずとも、回路基板を十分に冷却することが可能となる。
センサモジュール1は、図2に示すように、真空チャンバX内の圧力に応じた出力信号を出力するセンサ部Sと、センサ部Sを加熱するヒータHと、を備えている。
本体モジュール2は、上述したセンサ部S又はヒータHの少なくとも一方との間で信号を授受する回路を備えた回路基板Bを具備するものである。
断熱モジュール3は、図2に示すように、センサモジュール1と本体モジュール2との間を所定距離離間させるとともに、断熱のための断熱空間を有しているものである。この断熱モジュール3は、前記断熱空間をセンサモジュール1側及び本体モジュール2側とに仕切る断熱仕切部材17を備えており、センサモジュール1内のヒータHの発熱が本体モジュール2へと伝熱しにくくしてある。
然して、本実施形態の真空計100は、特に図4に示すように、上述した第1インナーケースC1及び第2インナーケースC2を取り囲み、これら第1インナーケースC1及び第2インナーケースC1との間で外気が流れる流路Lを形成するアウターケースC3をさらに備えてなり、この流路Lにより煙突効果を発揮するように構成されている。
これにより、流路Lの上流及び下流の間には空気の密度勾配が生じるので、上述したように煙突効果を利用して冷たい空気を回路基板Bに向かって押し上げることができる。その結果、本真空計100に外から風を当てずとも、回路基板Bを十分に冷却することが可能となる。
X ・・・真空チャンバ
1 ・・・センサモジュール
2 ・・・本体モジュール
S ・・・センサ部
H ・・・ヒータ
B ・・・回路基板
C1 ・・・第1インナーケース
C2 ・・・第2インナーケース
C3 ・・・アウターケース
L ・・・流路
La ・・・外気取り込み口
Lb ・・・通気口
Claims (9)
- 測定空間に接続ポートを介して連通するとともに、当該測定空間の圧力に応じた出力信号を出力するセンサ部と、
前記センサ部の周囲に設けられて該センサ部を加熱するヒータと、
前記センサ部に対して前記接続ポートとは反対側に配置された回路基板と、
前記センサ部及び前記ヒータを収容する第1インナーケースと、
前記回路基板を収容する第2インナーケースと、
前記第1インナーケース及び前記第2インナーケースを取り囲み、これら第1インナーケース及び第2インナーケースとの間で外気が流れる流路を形成するアウターケースとを備える、真空計。 - 前記回路基板が前記センサ部の上方に位置するように取り付けられた取付姿勢において、
前記流路の外気取り込み口が、下方を向いている、請求項1記載の真空計。 - 前記取付姿勢において、前記外気取り込み口が、前記第1インナーケースの下端部よりも上方に位置している、請求項2記載の真空計。
- 前記取付姿勢において、前記アウターケースの下端部が、前記第1インナーケースの下端部よりも上方に位置しており、
前記アウターケースの下方を向く開口のうち前記第1インナーケースの外周面よりも外側が、前記外気取り込み口として形成されている、請求項3記載の真空計。 - 前記アウターケースが、横断面矩形状又は横断面多角形状の筒状をなすものであり、
前記第2インナーケースが、前記アウターケースの複数辺に沿って設けられており、
前記回路基板が、前記第2インナーケースの内周面に沿って支持されている、請求項1乃至4のうち何れか一項に記載の真空計。 - 前記第1インナーケースが、前記第2インナーケース及び前記アウターケースよりも熱伝導率の低い材料からなる、請求項1乃至5のうち何れか一項に記載の真空計。
- 前記アウターケースが、筒状をなし、当該アウターケースの前記接続ポートとは反対側を向く開口を塞ぐ蓋体に、前記流路を流れた外気を再び外部に放出する通気口が設けられている、請求項1乃至6のうち何れか一項に記載の真空計。
- 前記アウターケースにおいて前記第2インナーケースに対向する位置に、前記流路を流れた外気を再び外部に放出する通気口がさらに設けられている、請求項7記載の真空計。
- 測定空間に接続ポートを介して連通するとともに、当該測定空間の圧力に応じた出力信号を出力するセンサ部と、
前記センサ部の周囲に設けられて該センサ部を加熱するヒータと、
前記センサ部に対して前記接続ポートとは反対側に配置された回路基板と、
前記センサ部及び前記回路基板の周囲に外気が流れる流路を形成するアウターケースとを備える、真空計。
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