JP4563312B2 - 静電容量式圧力センサ装置 - Google Patents
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Description
H・・・・・・・・・・・・ヒータ
2・・・・・・・・・・・・センサ
3・・・・・・・・・・・・回路部
4・・・・・・・・・・・・ケース
4a・・・・・・・・・・・センサ収容部
4b・・・・・・・・・・・回路収容部
4c・・・・・・・・・・・伝熱防止部
5・・・・・・・・・・・・コネクタ
31(31a〜31c)・・・基板
41・・・・・・・・・・・外側ケース
41x・・・・・・・・・・センサ側対流促進孔
41y・・・・・・・・・・回路側対流促進孔
42・・・・・・・・・・・内側ケース
511・・・・・・・・・・内側導体(回路部側中心コンタクト体)
521・・・・・・・・・・外側導体(回路部側シェル体)
521x・・・・・・・・・放熱促進孔
Claims (12)
- 外部のチャンバのガスの圧力を感知する静電容量式のセンサと、
このセンサを所定の動作温度に加熱するヒータと、
前記センサで感知したキャパシタンスの値から外部のチャンバのガスの圧力を表す出力信号を発生する回路部と、
前記センサおよび前記ヒータを収容するセンサ収容部と、前記回路部を収容する回路収容部と、これら各収容部を間仕切り且つ前記ヒータで発生した熱が前記回路収容部に伝熱することを防止する伝熱防止部とを備えるケースと、
前記伝熱防止部を厚み方向に貫通し、一端を前記センサに取り付け他端を前記回路部に取り付けて、前記センサと前記回路部とを電気的に接続するとともに、前記センサと前記回路部とを安定支持する構造体としての機能を有するコネクタとを具備し、
前記コネクタが、各収容部間の伝熱を防止する伝熱防止体としての機能を有するものであることを特徴とする静電容量式圧力センサ装置。 - 前記コネクタが、略筒状を成しシールド材として用いる外側導体とこの外側導体の内部空間内に配され信号ラインとして用いる内側導体とを具備し、これら各導体の両方を、前記構造体としての機能を有するように構成していることを特徴とする請求項1記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記外側導体の回路部側または前記内側導体の回路部側を、漸次先細形状に形成していることを特徴とする請求項2記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記外側導体の周壁に、内側導体で輻射される熱が外側導体の外部空間へ放熱されることを促す放熱促進孔を設けていることを特徴とする請求項2または3記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記外側導体及び前記内側導体に、ステンレス材を用いていることを特徴とする請求項2乃至4いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記コネクタが、放熱用フィンを具備して成ることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記コネクタが、前記ケースの構造体としての機能を発揮するように構成していることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記センサ収容部が、前記ケースの周壁である外側ケースから内側へオフセットさせた位置に設けた内側ケース内に形成して成るものであることを特徴とする請求項1乃至7いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記内側ケースを、光沢のある金属にて形成していることを特徴とする請求項8記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記外側ケースの周壁に、外側ケースと内側ケースとの間に形成される内部空間にある空気と、外側ケースの外部空間にある空気との対流を促すセンサ側対流促進孔を設けていることを特徴とする請求項8または9記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記回路収容部を形成する周壁に、当該回路収容部の内部空間にある空気と、当該回路収容部の外部空間にある空気との対流を促す回路側対流促進孔を設けていることを特徴とする請求項1乃至10いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
- 前記回路部が、前記センサに接離する方向に空気層を介して複数段に配して成る複数の基板を具備して成ることを特徴とする請求項1乃至11いずれか記載の静電容量式圧力センサ装置。
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