JP7411169B2 - 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
<水晶振動子1の概要>
まず、図1及び図2を参照しつつ、第1実施形態に係る水晶振動子(Quartz Crystal Resonator Unit)1の構成を説明する。図1は、第1実施形態に係る水晶振動子1の外観を示す斜視図である。図2は、図1のII-II線断面図である。以下の説明では、図2に示す水晶振動子1の状態を「組立状態」と呼ぶことがある。
次に、図1乃至図3を参照しつつ、水晶振動子1の各構成について詳細に説明する。図3は、第1実施形態に係る水晶振動子1の構成を説明するための平面図である。なお、図3において、蓋部材20及び一部の電極の図示は省略されている。
水晶振動素子10は、圧電振動素子の一例であり、板状をなしている。また、水晶振動素子10は、水晶片11と、水晶片11に設けられている複数の電極とを備える。水晶振動素子10の複数の電極は、励振電極14a,14b、接続電極16a,16b、及び引出電極15a,15bを含む。
基板30は、水晶振動素子10を搭載する基板の一例であり、板状をなしている。基板30は、基体31と、基体31に設けられている複数の電極とを有する。基板30の複数の電極は、接続電極33a,33b、ビア電極34a,34b、及び外部電極35a,35b,35c,35dを含む。
導電性保持部材50は、水晶振動素子10の接続電極16a,16bと基板30の接続電極33a,33bとを電気的に接続するための接着材である。また、導電性保持部材50は、例えば、導電性接着剤が熱硬化して形成されたものである。
蓋部材20は、基板30と接合する側に開口が形成されている箱状をなしている。また、蓋部材20の材質は、例えば金属等の導電材料で構成される。組立状態において、蓋部材20の内面と、基板30の主面32aとは、水晶振動素子10を収容する内部空間を構成する。
封止枠37及び接合部材40は、蓋部材20と基板30とを金属接合する構成である。封止枠37は、主面32aの周縁に設けられている。封止枠37の材料は、導電性を有する金属である。接合部材40は、封止枠37の上に設けられている。接合部材40は、例えば金(Au)‐錫(Sn)共晶合金等によって構成されたろう部材である。
続いて、図1乃至図4を参照しつつ、水晶振動子1の製造について説明する。図4は、第1実施形態に係る水晶振動子1の製造方法を説明するためのフローチャート図である。
続いて、図1乃至図3を参照しつつ、組立状態において、導電性保持部材50による水晶振動素子10へのZ´軸方向、X軸方向、及びY´軸方向における保持及び効果について詳細に説明する。
Z´軸方向において、導電性保持部材50は、水晶振動素子10の接続電極16a,16bと基板30の接続電極33a,33bとを電気的に接続するように、接続電極16a,16bと接続電極33a,33bとの間に設けられている。
X軸方向において、導電性保持部材50は、周縁部110のX軸方向の両側面である、周縁部110の第1側面111及び貫通穴120の第1壁面121のそれぞれに形成されたフィレット55を有する。また、導電性保持部材50のフィレット55による保持力を向上させるために、水晶片11の厚み方向において、フィレット55の高さは、水晶片11の主面12bを基準面として、水晶片11の厚みの1/3以上である。
Y´軸方向において、導電性保持部材50は、水晶片11の短手方向に沿って、互いに離間するように周縁部110に設けられている、第1導電性保持部材50aと、第2導電性保持部材50bとを有する。第1導電性保持部材50a及び第2導電性保持部材50bとも、Y´軸方向において、周縁部110のY´軸方向の両側面である第2側面112及び第3側面113よりも水晶片11の内側に設けられている。具体的には、第1導電性保持部材50a及び第2導電性保持部材50bのY´方向における外縁同士の間隔は、水晶片11のY´方向の幅、励振電極14a,14bのY´方向の幅、又は貫通穴120のY´方向の幅のいずれかよりも小さい。
続いて、図5を参照しつつ、第2実施形態に係る水晶振動子1の構成について説明する。図5は、第2実施形態に係る水晶振動子1の構成を説明するための平面図である。なお、図5において、蓋部材20及び一部の電極の図示は省略されている。
続いて、図6A乃至図6Cを参照しつつ、導電性保持部材50及び導電性保持部材50のフィレット55の構成の様々な変形例のうちの一部について説明する。図6A乃至図6Cは、変形例に係る導電性保持部材50の構成を説明するための図である。なお、図6A乃至図6Cにおいて、蓋部材20及び一部の電極の図示は省略されている。
本発明の一実施形態に係る水晶振動子1では、主面12a,12bを有する水晶片11と、水晶片11の主面12a,12bに形成された励振電極14a,14bと、水晶片11の主面12a,12bの平面視における第1方向である長手方向及び第1方向に交差する第2方向である短手方向のうち、長手方向の端部側に位置する周縁部110に設けられ、励振電極14a,14bに電気的に接続された接続電極16a,16bとを有する、水晶振動素子10と、基板30と、水晶振動素子10の接続電極16a,16bと基板30との間に設けられ、基板30の上に水晶振動素子10を保持する導電性保持部材50と、を備え、長手方向の周縁部110と励振電極14aとの間の水晶片11の領域には、水晶片11を貫通する貫通穴120が設けられ、導電性保持部材50は、長手方向に沿って周縁部110を跨るように設けられており、水晶片11の長手方向の、周縁部110の両側面である、周縁部110の第1側面111及び貫通穴120の第1壁面121のそれぞれに形成されたフィレット55を有する。
上記構成によれば、小型化を実現しつつ、良好な耐衝撃性及び電気特性を有する水晶振動子を提供することができる。
上記構成によれば、導電性保持部材のフィレットによる保持力を向上させることができるため、フィレットによる水晶片への保持を確実にすることができる。
上記構成によれば、導電性保持部材による接合面積を広げることが可能になり、接合の安定性及び短手方向の耐衝撃性を向上させることができる。
上記構成によれば、第2壁面及び第3壁面にフィレットが形成されていない場合に比べて、水晶振動子の短手方向の耐衝撃性を向上させることができるとともに、水晶振動子の小型化を実現することができる。
上記構成によれば、第2側面及び第3側面にフィレットが形成されていない場合に比べて、より良好な水晶振動子の短手方向の耐衝撃性を得ることができるとともに、水晶振動子の電気特性を向上させることができる。
上記構成によれば、第2壁面及び第2側面にフィレットが形成されていない場合に比べて、水晶振動子の短手方向の耐衝撃性の向上を実現できるとともに、導電性保持部材の設置自由度を高めることができる。
上記構成によれば、良好な耐衝撃性を有する水晶振動子を取得することが可能になる。
上記構成によれば、耐衝撃性及び電気特性の向上を実現できる小型化の水晶振動子を提供することができる。
上記方法によれば、小型化を実現しつつ、良好な耐衝撃性及び電気特性を有する水晶振動子を得ることができる。
上記方法によれば、高い保持力を有する導電性保持部材のフィレットを形成することが可能になり、水晶振動子の耐衝撃性の向上を実現することができる。
上記方法によれば、導電性保持部材による接合面積を広げることが可能になり、接合の安定性及び短手方向の耐衝撃性を向上させることができる。
上記方法によれば、第2壁面及び第3壁面にフィレットが形成されていない場合に比べて、水晶振動子の短手方向の耐衝撃性を向上させることができるとともに、水晶振動子の小型化を実現することができる。
上記方法によれば、第2側面及び第3側面にフィレットが形成されていない場合に比べて、より良好な水晶振動子の短手方向の耐衝撃性を得ることができるとともに、水晶振動子の良好な電気特性を得ることができる。
上記方法によれば、第2壁面及び第2側面にフィレットが形成されていない場合に比べて、水晶振動子の短手方向の耐衝撃性の向上を実現できるとともに、導電性保持部材の設置自由度を高めることができる。
Claims (12)
- 主面を有する圧電片と、前記圧電片の前記主面に形成された励振電極と、前記圧電片の前記主面の平面視における第1方向及び当該第1方向に交差する第2方向のうち、前記第1方向の端部側に位置する周縁部に設けられ、前記励振電極に電気的に接続された接続電極とを有する、圧電振動素子と、
基板と、
前記圧電振動素子の前記接続電極と前記基板との間に設けられ、前記基板上に前記圧電振動素子を保持する導電性保持部材と、を備え、
前記第1方向の前記周縁部と前記励振電極との間の前記圧電片の領域には、前記圧電片を貫通する貫通穴が設けられ、
前記導電性保持部材は、前記第1方向に沿って前記周縁部の前記第1方向の両側面に至るように設けられており、前記周縁部の前記第1方向の両側面である、前記周縁部の第1側面及び前記貫通穴の第1壁面のそれぞれに形成されたフィレットを有し、
前記圧電片の厚み方向において、前記導電性保持部材の前記フィレットの高さは、前記圧電片の厚みの1/3以上である、
圧電振動子。 - 前記導電性保持部材は、第1導電性保持部材と、第2導電性保持部材とを含み、
前記第1導電性保持部材及び前記第2導電性保持部材は、前記第2方向に沿って、互いに離間するように前記周縁部に設けられている、
請求項1に記載の圧電振動子。 - 前記貫通穴は、前記第2方向の一方側にある第2壁面と、前記第2方向の他方側にある第3壁面と、を有し、
前記第1導電性保持部材は、前記第2壁面に形成されたフィレットをさらに有し、
前記第2導電性保持部材は、前記第3壁面に形成されたフィレットをさらに有する、
請求項2に記載の圧電振動子。 - 前記周縁部は、前記第2方向の一方側にある第2側面と、前記第2方向の他方側にある第3側面と、を有し、
前記第1導電性保持部材は、前記第2側面に形成されたフィレットをさらに有し、
前記第2導電性保持部材は、前記第3側面に形成されたフィレットをさらに有する、
請求項2又は3に記載の圧電振動子。 - 前記第1導電性保持部材及び前記第2導電性保持部材のうち、少なくとも前記第1導電性保持部材は、前記貫通穴の前記第2方向の一方側にある第2壁面に形成されたフィレットと、前記周縁部の前記第2方向の前記一方側にある第2側面に形成されたフィレットと、をさらに有する、請求項2に記載の圧電振動子。
- 前記圧電片の前記主面を平面視するとき、前記圧電振動素子及び前記貫通穴はそれぞれ矩形状をなしており、
前記圧電振動素子の長手方向は前記第1方向に沿って延在しており、
前記貫通穴の長手方向は前記第2方向に沿って延在している、
請求項1乃至5の何れか一項に記載の圧電振動子。 - 前記圧電片の材料は、水晶である、請求項1乃至6の何れか一項に記載の圧電振動子。
- 主面を有する圧電片と、前記圧電片の前記主面に形成された励振電極と、前記圧電片の前記主面の平面視における第1方向及び当該第1方向に交差する第2方向のうち、前記第1方向の端部側に位置する周縁部に設けられ、前記励振電極に電気的に接続された接続電極とを有し、かつ前記第1方向の前記周縁部と前記励振電極との間の前記圧電片の領域には、前記圧電片を貫通する貫通穴が設けられている、圧電振動素子を準備する準備工程と、
前記圧電振動素子の前記接続電極と基板との間に導電性接着剤を設ける工程と、
前記導電性接着剤を硬化させて得られる導電性保持部材によって、前記圧電振動素子を前記基板に接合する接合工程と、を含み、
前記接合工程は、前記導電性保持部材のフィレットを、前記周縁部の前記第1方向の両側面である、前記周縁部の第1側面及び前記貫通穴の第1壁面のそれぞれに形成することを含み、
前記接合工程は、前記圧電片の厚み方向において、前記導電性保持部材の前記フィレットの高さを、前記圧電片の厚みの1/3以上に形成することを含む、
圧電振動子の製造方法。 - 前記接合工程は、
前記圧電振動素子の前記接続電極と前記基板との間に、前記第1方向と交差する第2方向に沿って、第1導電性保持部材と、前記第1導電性保持部材と離間する第2導電性保持部材とを形成することを含む、
請求項8に記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記接合工程は、
前記貫通穴の前記第2方向の一方側にある第2壁面に、前記第1導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、
前記貫通穴の前記第2方向の他方側にある第3壁面に、前記第2導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、を含む、
請求項9に記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記接合工程は、
前記周縁部の前記第2方向の一方側にある第2側面に、前記第1導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、
前記周縁部の前記第2方向の他方側にある第3側面に、前記第2導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、を含む、
請求項9又は10に記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記接合工程は、
少なくとも、前記貫通穴の前記第2方向の一方側にある第2壁面、及び前記周縁部の前記第2方向の前記一方側にある第2側面に、前記第1導電性保持部材のフィレットをさらに形成させることを含む、
請求項9に記載の圧電振動子の製造方法。
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