JP7491408B2 - 圧電振動子、圧電発振器、及び圧電振動子製造方法 - Google Patents
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Description
各図面には、各図面の相互の関係を明確にし、各部材の位置関係を理解する助けとするために、便宜的にX軸、Y’軸及びZ’軸からなる直交座標系を付すことがある。X軸、Y’軸及びZ’軸は各図面において互いに対応している。X軸、Y’軸及びZ’軸は、それぞれ、後述する水晶片11の結晶軸(Crystallographic Axes)に対応している。X軸は水晶の電気軸(極性軸)、Y軸は水晶の機械軸、Z軸は水晶の光学軸に、それぞれ相当する。Y’軸及びZ’軸は、それぞれ、Y軸及びZ軸をX軸の周りにY軸からZ軸の方向に35度15分±1分30秒回転させた軸である。
図5は、一実施形態の第1変形例における水晶振動素子10Aの構成を概略的に示す平面図である。図6は、一実施形態の第2変形例における水晶振動素子10Bの構成を概略的に示す平面図である。図7は、一実施形態の第3変形例における水晶振動素子10Cの構成を概略的に示す平面図である。図8は、一実施形態の第4変形例における水晶振動素子10Dの構成を概略的に示す平面図である。図9は、一実施形態の第5変形例における水晶振動素子10Eの構成を概略的に示す平面図である。図10は、一実施形態の第6変形例における水晶振動素子10Fの構成を概略的に示す平面図である。図11は、一実施形態の第7変形例における水晶振動素子10Gの構成を概略的に示す平面図である。
Claims (14)
- 圧電片と、前記圧電片の振動部に配置された第1励振電極及び第2励振電極と、前記圧電片の第1主面に設けられ、前記第1励振電極に電気的に接続される第1引出電極と、前記圧電片の第2主面に設けられ、前記第2励振電極に電気的に接続される第2引出電極と、前記第1主面に設けられ、前記第1励振電極と電気的に未接続の導電体と、を含む圧電振動素子と、
前記第2励振電極との間に空間を形成する空洞部を含む絶縁層と、を備え、
前記第1引出電極の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記第1引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記振動部を含む一方側に配置され、
前記導電体の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記導電体の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記一方側に配置される、
圧電振動子。 - 圧電片と、前記圧電片の振動部に配置された第1励振電極及び第2励振電極と、前記圧電片の第1主面に設けられ、前記第1励振電極に電気的に接続される第1引出電極と、前記圧電片の第2主面に設けられ、前記第2励振電極に電気的に接続される第2引出電極と、を含む圧電振動素子と、
前記第2励振電極との間に空間を形成する空洞部を含む絶縁層と、を備え、
前記第1引出電極の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記第1引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記振動部を含む一方側に配置され、
前記圧電振動素子は、前記振動部の周囲に形成され、前記空間に通ずる開口部をさらに含み、
前記開口部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記一方側に配置される、
圧電振動子。 - 圧電片と、前記圧電片の振動部に配置された第1励振電極及び第2励振電極と、前記圧電片の第1主面に設けられ、前記第1励振電極に電気的に接続される第1引出電極と、前記圧電片の第2主面に設けられ、前記第2励振電極に電気的に接続される第2引出電極と、を含む圧電振動素子と、
前記第2励振電極との間に空間を形成する空洞部を含む絶縁層と、を備え、
前記第1引出電極の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記第1引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記振動部を含む一方側に配置され、
前記圧電振動素子は、前記振動部と前記振動部の一端を保持する保持部との間に形成されたスリットをさらに含む、
圧電振動子。 - 圧電片と、前記圧電片の振動部に配置された第1励振電極及び第2励振電極と、前記圧電片の第1主面に設けられ、前記第1励振電極に電気的に接続される第1引出電極と、前記圧電片の第2主面に設けられ、前記第2励振電極に電気的に接続される第2引出電極と、を含む圧電振動素子と、
前記第2励振電極との間に空間を形成する空洞部を含む絶縁層と、を備え、
前記第1引出電極の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記第1引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記振動部を含む一方側に配置され、
前記圧電振動素子の主振動は、厚みすべり振動モードである、
圧電振動子。 - 圧電片と、前記圧電片の振動部に配置された第1励振電極及び第2励振電極と、前記圧電片の第1主面に設けられ、前記第1励振電極に電気的に接続される第1引出電極と、前記圧電片の第2主面に設けられ、前記第2励振電極に電気的に接続される第2引出電極と、を含む圧電振動素子と、
前記第2励振電極との間に空間を形成する空洞部を含む絶縁層と、を備え、
前記第1引出電極の厚さは、前記第2引出電極の厚さより大きく、
前記第1引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して前記振動部を含む一方側に配置され、
前記圧電片の材料は、水晶である、
圧電振動子。 - 前記第2引出電極の端部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して他方側に配置される、
請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電振動子。 - 前記圧電振動素子及び前記絶縁層を支持する支持基板をさらに備える、
請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電振動子。 - 前記絶縁層は、前記圧電振動素子と前記支持基板とを接合し、
前記絶縁層の材料は、二酸化ケイ素である、
請求項7に記載の圧電振動子。 - 前記支持基板の材料は、水晶である、
請求項7又は8に記載の圧電振動子。 - 蓋部材と、
前記圧電振動素子と前記蓋部材とを接合する接合部と、をさらに備える、
請求項1から9のいずれか一項に記載の圧電振動子。 - 前記接合部は、平面視において、前記空洞部の端部に対して他方側に配置される、
請求項10に記載の圧電振動子。 - 前記接合部の厚さは、前記絶縁層の厚さより大きい、
請求項10又は11に記載の圧電振動子。 - 前記蓋部材の材料は、水晶である、
請求項10から12のいずれか一項に記載の圧電振動子。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載の圧電振動子と、
蓋体と、を備える、
圧電発振器。
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