JP7402652B2 - 光プローブ、光プローブアレイ、検査システムおよび検査方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 383
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 270
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000003491 array Methods 0.000 title description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 31
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/07—Non contact-making probes
- G01R1/071—Non contact-making probes containing electro-optic elements
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/262—Optical details of coupling light into, or out of, or between fibre ends, e.g. special fibre end shapes or associated optical elements
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2607—Circuits therefor
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- G—PHYSICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2551—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding using thermal methods, e.g. fusion welding by arc discharge, laser beam, plasma torch
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
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Description
本発明の第1の実施形態に係る光プローブ10は、図1に示すように、被検査体200の発光部210から出力される光信号Lを受光する。光プローブ10は、コア部111およびコア部111の外周に配置されたクラッド部112により構成される屈折率分布型の光導波路11を有する。コア部111の屈折率は、クラッド部112の屈折率よりも大きい。例えば、光導波路11にグレーデッドインデックス型(GI型)光ファイバを利用して光プローブ10を製造できる。図1に示すように、光信号Lが入射する光導波路11の入射面100は、一定の曲率半径Rの凸球面である。
n(r)=n0×(1-(A1/2×r)2/2) ・・・(1)
式(1)で、n0はコア部111の中心軸C10での屈折率、A1/2はコア部111の屈折率分布定数である。屈折率分布定数A1/2は式(2)で表される:
A1/2={(n02-nd2)/(n0×rc)2}1/2 ・・・(2)
式(2)で、ndはクラッド部112の屈折率であり、rcはコア部111の半径(以下において「コア半径」という。)である。
n(r)×sin(β)=sin(αm+β) ・・・(3)
最大放射半角αmは、光信号Lの強度がピーク値の1/e2になる放射角の半角である。作動距離WDが最大作動距離WDmよりも短い場合の光信号Lの放射半角αは、最大放射半角αmより小さい。つまり、αm≧α>0の関係である。
WDm=rc/tan(αm) ・・・(4)
被検査体200の検査における作動距離WDの範囲は、WDm>WD>0である。
R=WDm×tan(αm)/{sin(β)+(cos(β)-1)×tan(αm)} ・・・(5)
式(3)から、中心半角βは式(6)で表される:
β=tan-1{sin(αm)/(n(r)-cos(αm))} ・・・(6)
WDm>(rc-δxy)/tan(αm)-δz≧WD>0 ・・・(7)
(rc-δxy)/tan(αm)-δz≧WD ・・・(8)
tanα=rc/WD2 ・・・(9)
このため、ステップS40において、以下の式(10)を用いて光信号Lの放射角2αを算出する:
2α=2×tan-1(rc/WD2) ・・・(10)
2αh=2×tan-1(rc/(WD2+H2)) ・・・(11)
本発明の第2の実施形態に係る光プローブ10は、図16に示すように、光導波路11が、第1領域101と、第1領域101よりもコア径が小さい第2領域102とを連結した構成である。すなわち、第1領域101のコア径2rcが、第2領域102のコア径2rcsよりも大きい。第1領域101の一端に入射面100が形成され、他端が第2領域102に連結している。
FL=2πP/A1/2+(WDm-WD)/n0 ・・・(12)
式(12)で、Pはコア部111を進行する光信号Lの周期に対する比率を示す係数(0≦P≦1)であり、P=1が1周期に相当し、P=0.5が1/2周期に相当する。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
11…光導波路
15…光プローブアレイ
21…光プローブヘッド
22…光プローブ駆動装置
23…電気プローブヘッド
24…電気プローブ駆動装置
30…電気プローブ
35…電気プローブアレイ
100…入射面
111…コア部
112…クラッド部
200…被検査体
210…発光部
300…半導体基板
Claims (9)
- 被検査体から出力される光信号を受光する光プローブであって、
コア部および前記コア部の外周に配置されたクラッド部により構成される光導波路を有し、
前記光信号が入射する前記光導波路の入射面がほぼ一定の曲率半径の凸球面であり、
前記光導波路の前記入射面に接続する領域において、
前記被検査体と前記入射面との間で取り得る最大の作動距離WDである最大作動距離WDm、前記最大作動距離WDmでの前記光信号の光軸と前記光信号の放射範囲の最外縁の進行方向とのなす最大放射半角αm、および前記光信号の入射点における前記コア部の屈折率nを用いて、前記入射面の曲率半径Rと前記入射点における中心半角βが、
R=WDm×tan(αm)/{sin(β)+(cos(β)-1)×tan(αm)}
β=tan -1 {sin(αm)/(n-cos(αm))}
の関係をほぼ満たすことを特徴とする光プローブ。 - 前記光導波路が、前記入射面に接続する第1領域と、前記第1領域よりも前記コア部の径が小さい第2領域とを連結した構成であることを特徴とする請求項1に記載の光プローブ。
- 前記入射面から前記第1領域と前記第2領域の境界までの長さFLが、前記コア部を進行する前記光信号の周期に対する比率を示す係数P(0≦P≦1)、前記コア部の屈折率分布定数A1/2、および前記コア部の中心軸の屈折率n0を用いて、
FL=2πP/A1/2+(WDm-WD)/n0
の関係をほぼ満たすことを特徴とする請求項2に記載の光プローブ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光プローブを有する光プローブアレイであって、
それぞれの前記入射面を同一方向に向けて複数本の前記光プローブをアレイ状に配置して構成され、
前記コア部のコア半径rc、前記最大放射半角αm、前記コア部の中心軸の延伸方向の公差δz、および前記コア部の中心軸に垂直な平面の公差δxyを用いて、前記光プローブそれぞれの前記作動距離WDが
(rc-δxy)/tan(αm)-δz≧WD
の関係を満たすことを特徴とする光プローブアレイ。 - 被検査体から出力される光信号を検査する検査システムであって、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光プローブを保持する光プローブヘッドと、
前記光プローブヘッドの位置を制御する光プローブ駆動装置と、
前記入射面と同一方向に先端を向けて電気プローブを保持する電気プローブヘッドと、
前記電気プローブヘッドの位置を制御する電気プローブ駆動装置と
を備え、1の前記被検査体について前記光プローブと前記電気プローブを含む1のプローブユニットを構成することを特徴とする検査システム。 - 前記光プローブヘッドの位置と前記電気プローブヘッドの位置を独立して制御することを特徴とする請求項5に記載の検査システム。
- 前記電気プローブと半導体基板に形成された前記被検査体の電気接続端子との位置を合わせて、前記光プローブヘッドと前記電気プローブヘッドを連結固定又は一体化して構成し、前記半導体基板を搭載したステージの位置を制御することを特徴とする請求項5に記載の検査システム。
- 被検査体から出力される光信号を請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光プローブによって受光する検査方法であって、
前記光信号の全体が前記光プローブに入射するように前記被検査体から第1の作動距離に前記光プローブを配置し、前記光信号の光出力を測定するステップと、
前記光プローブと前記被検査体との前記光信号の光軸の延伸方向に沿った相対的な距離を変化させることにより、前記光信号の光出力が、前記第1の作動距離での光出力に対して一定の比率となる第2の作動距離を検出するステップと、
前記光プローブのコア部のコア半径rcおよび前記第2の作動距離WD2を用いて、前記光信号の放射角2αを、
2α=2×tan-1(rc/WD2)
の式を用いて算出するステップと
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記第1の作動距離が、前記光信号の放射範囲が前記コア部の外縁より内側となる最大の作動距離であり、
前記第2の作動距離における前記光信号の光出力が、前記第1の作動距離における前記光信号の光出力の「1-1/e2」倍である
ことを特徴とする請求項8に記載の検査方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019183669A JP7402652B2 (ja) | 2019-10-04 | 2019-10-04 | 光プローブ、光プローブアレイ、検査システムおよび検査方法 |
CN202011055158.0A CN112612082B (zh) | 2019-10-04 | 2020-09-29 | 光探针、光探针阵列、检查***以及检查方法 |
KR1020200126501A KR102539526B1 (ko) | 2019-10-04 | 2020-09-29 | 광 프로브, 광 프로브 어레이, 검사 시스템 및 검사 방법 |
TW109133872A TWI752659B (zh) | 2019-10-04 | 2020-09-29 | 光探針、光探針陣列、檢查系統及檢查方法 |
US17/039,878 US11624679B2 (en) | 2019-10-04 | 2020-09-30 | Optical probe, optical probe array, test system and test method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019183669A JP7402652B2 (ja) | 2019-10-04 | 2019-10-04 | 光プローブ、光プローブアレイ、検査システムおよび検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021061290A JP2021061290A (ja) | 2021-04-15 |
JP7402652B2 true JP7402652B2 (ja) | 2023-12-21 |
Family
ID=75224410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019183669A Active JP7402652B2 (ja) | 2019-10-04 | 2019-10-04 | 光プローブ、光プローブアレイ、検査システムおよび検査方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11624679B2 (ja) |
JP (1) | JP7402652B2 (ja) |
KR (1) | KR102539526B1 (ja) |
CN (1) | CN112612082B (ja) |
TW (1) | TWI752659B (ja) |
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- 2020-09-29 CN CN202011055158.0A patent/CN112612082B/zh active Active
- 2020-09-29 TW TW109133872A patent/TWI752659B/zh active
- 2020-09-29 KR KR1020200126501A patent/KR102539526B1/ko active IP Right Grant
- 2020-09-30 US US17/039,878 patent/US11624679B2/en active Active
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JP2019035694A (ja) | 2017-08-18 | 2019-03-07 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11624679B2 (en) | 2023-04-11 |
TW202115403A (zh) | 2021-04-16 |
CN112612082A (zh) | 2021-04-06 |
KR20210040800A (ko) | 2021-04-14 |
JP2021061290A (ja) | 2021-04-15 |
CN112612082B (zh) | 2023-08-29 |
US20210102864A1 (en) | 2021-04-08 |
KR102539526B1 (ko) | 2023-06-02 |
TWI752659B (zh) | 2022-01-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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