JP7401975B2 - ワーク加工用粘着シート - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態に係るワーク加工用粘着シートは、基材と、当該基材における片面側に積層された粘着剤層とを備える。そして、本実施形態における粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤からなる。
本実施形態に係るワーク加工用粘着シートでは、基材における粘着剤層とは反対側の面から100cm離間して配置された蛍光灯を光源として、上記面に対して光束2100ルーメンの可視光を14日間照射する蛍光灯処理を行った後のワーク加工用粘着シートについて、90℃の温水中にて測定されるシリコンウエハに対する粘着力が、1600mN/25mm以上である。
(1)基材
本実施形態における基材としては、ワーク加工用粘着シートの使用の際に所望の機能を発揮するものである限り限定されないものの、耐メッキ性を有するものであることが好ましい。特に、基材は、樹脂系の材料を主材とする樹脂フィルムであることが好ましい。その具体例としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、エチレン-ノルボルネン共重合体フィルム、ノルボルネン樹脂フィルム等のポリオレフィン系フィルム;ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系フィルム;エチレン-酢酸ビニル共重合体フィルム;エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体フィルム、エチレン-(メタ)アクリル酸メチル共重合体フィルム、その他のエチレン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム等のエチレン系共重合フィルム;ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム等のポリ塩化ビニル系フィルム;(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム;ポリウレタンフィルム;ポリイミドフィルム;ポリスチレンフィルム;ポリカーボネートフィルム;フッ素樹脂フィルムなどが挙げられる。また、これらの架橋フィルム、アイオノマーフィルムといった変性フィルムも用いられる。また、基材は、上述したフィルムが複数積層されてなる積層フィルムであってもよい。この積層フィルムにおいて、各層を構成する材料は同種であってもよく、異種であってもよい。なお、本明細書における「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語についても同様である。
本実施形態における粘着剤層を構成する粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性粘着剤であるとともに、ワークの加工のために十分な対ワーク粘着力を発揮することができる限り、特に限定されない。
本実施形態に係るワーク加工用粘着シートでは、粘着剤層における粘着面に剥離シートが積層されていてもよい。この剥離シートは、粘着剤層形成のための工程材料であってもよいし、ワーク加工用粘着シートをワークに貼付するまでの間、粘着剤層の粘着面を保護するものであってもよい。なお、本実施形態に係るワーク加工用粘着シートにおいて、剥離シートは省略されてもよい。
本実施形態に係るワーク加工用粘着シートの製造方法は特に限定されず、好ましくは、本実施形態に係るワーク加工用粘着シートは、基材の片面側に粘着剤層を積層することにより製造される。
本実施形態に係るワーク加工用粘着シートは、ワークの加工のために使用することができる。すなわち、本実施形態に係るワーク加工用粘着シートの粘着面をワークに貼付した後、ワーク加工用粘着シート上にてワークの加工を行うことができる。当該加工に応じて、本実施形態に係るワーク加工用粘着シートは、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシート、ピックアップシート等として使用することができる。ここで、ワークの例としては、半導体ウエハ、半導体パッケージ等の半導体部材、ガラス板等のガラス部材が挙げられる。
(1)粘着性組成物の調製
アクリル酸n-ブチル69質量部と、メタクリル酸メチル10質量部と、アクリル酸1質量部と、アクリル酸2-ヒドロキシエチル10質量部とを、溶液重合法により重合させて、(メタ)アクリル酸エステル重合体を得た。この(メタ)アクリル酸エステル重合体と、当該(メタ)アクリル酸エステル重合体中のアクリル酸2-ヒドロキシエチルに対して80モル%に相当するメタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)とを反応させて、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入されたアクリル系重合体を得た。このアクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)を後述する方法にて測定したところ、60万であった。
厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面にシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート(リンテック社製,製品名「SP-PET381031」)の剥離面に対して、上記粘着性組成物の塗布液を塗布し、加熱により乾燥させることで、剥離シート上に、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。
上記工程(2)で形成した粘着剤層の露出面と、基材としてのポリプロピレンフィルム(厚さ:80μm)の片面とを貼り合わせることで、剥離シートと粘着剤層と基材とがこの順に積層してなるワーク加工用粘着シートを得た。
光重合開始剤の含有量を表1に示すように変更する以外、実施例1と同様にしてワーク加工用粘着シートを製造した。
アクリル酸n-ブチル68質量部と、メタクリル酸メチル10質量部と、アクリル酸1質量部と、アクリロニトリル1質量部と、アクリル酸2-ヒドロキシエチル10質量部とを、溶液重合法により重合させて、(メタ)アクリル酸エステル重合体を得た。この(メタ)アクリル酸エステル重合体と、当該(メタ)アクリル酸エステル重合体中のアクリル酸2-ヒドロキシエチルに対して80モル%に相当するメタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)とを反応させて、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入されたアクリル系重合体を得た。このアクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)を後述する方法にて測定したところ、60万であった。
<測定条件>
・測定装置:東ソー社製,HLC-8320
・GPCカラム(以下の順に通過):東ソー社製
TSK gel superH-H
TSK gel superHM-H
TSK gel superH2000
・測定溶媒:テトラヒドロフラン
・測定温度:40℃
実施例および比較例で製造したワーク加工用粘着シートを、長さ300mm、幅25mmに裁断し、サンプルとした。続いて、当該サンプルから剥離シートを剥離して、粘着剤層を露出させるとともに、その粘着剤層の露出した面を、23℃、相対湿度50%の環境下で、鏡面加工した6インチシリコンウエハの鏡面に重ね合わせ、2kgのローラーを1往復させることにより荷重をかけて貼合し、20分間放置した。
実施例および比較例で製造したワーク加工用粘着シートに対して、試験例1に示した蛍光灯処理を行った。その後、ワーク加工用粘着シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層の露出面を、鏡面加工したシリコンウエハ(直径:6インチ,厚さ:150μm)の鏡面に貼付した。このときの貼付条件は、温度23℃、貼付圧0.3MPa、貼付速度5mm/秒とした。次いで、貼付したこの粘着シートの外周部を、樹脂製のリングフレームに同じ条件で貼付した。
・ダイシング装置:ディスコ社製 DFD-6361
・ブレード :ディスコ社製 NBC-2H 2050 27HECC
・ブレード幅 :0.025~0.030mm
・刃先出し量 :0.640~0.760mm
・ブレード回転数:50000rpm
・切削速度 :20mm/sec
・切り込み深さ :ワーク加工用粘着シートにおける粘着剤層側の面から15μm
・流水供給量 :1.0L/min
・流水温度 :室温
・カットサイズ :10mm×10mm
◎:糊残りおよび割れがともにないチップの個数が、10個であった。
〇:糊残りおよび割れがともにないチップの個数が、9~6個であった。
×:糊残りおよび割れがともにないチップの個数が、5~0個であった。
実施例および比較例で製造したワーク加工用粘着シートに対して、試験例1に示した蛍光灯処理を行った。その後、ワーク加工用粘着シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層の露出面を、鏡面加工したシリコンウエハ(直径:6インチ,厚さ:150μm)の鏡面に貼付した。このときの貼付条件は、温度23℃、貼付圧0.3MPa、貼付速度5mm/秒とした。次いで、貼付したこの粘着シートの外周部を、樹脂製のリングフレームに同じ条件で貼付した。
○:ニッケルメッキ溶液の浸み込みおよび気泡がともに生じなかった。
×:ニッケルメッキ溶液の浸み込みおよび気泡の少なくとも一方が生じた。
BA:アクリル酸n-ブチル
MMA:メタクリル酸メチル
AA:アクリル酸
HEA:アクリル酸2-ヒドロキシエチル
MOI:メタクリロイルオキシエチルイソシアネート
AN:アクリロニトリル
Claims (5)
- 基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用粘着シートであって、
前記粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤からなり、
前記活性エネルギー線硬化性粘着剤は、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入されたアクリル系重合体、架橋剤および光重合開始剤を含有する粘着性組成物から形成されたものであり、
前記アクリル系重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、シアノ基を有するモノマーを含まないか、または、シアノ基を有するモノマーを0.2質量%以下で含み、
前記架橋剤は、金属キレート化合物であり、
前記光重合開始剤は、オリゴマー型の光重合開始剤であり、
前記粘着性組成物中における前記光重合開始剤の含有量は、前記側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入されたアクリル系重合体100質量部に対して、0.05質量部以上、3.0質量部未満であり、
前記基材における前記粘着剤層とは反対側の面から100cm離間して配置された蛍光灯を光源として、前記面に対して光束2100ルーメンの可視光を14日間照射する蛍光灯処理を行った後のワーク加工用粘着シートについて、90℃の温水中にて測定されるシリコンウエハに対する粘着力が、1600mN/25mm以上であり、
前記ワーク加工用粘着シートは、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシートおよびピックアップシートの少なくとも1種である
ことを特徴とするワーク加工用粘着シート。 - 前記蛍光灯処理を行っていないワーク加工用粘着シートについて、90℃の温水中にて測定されるシリコンウエハに対する粘着力は、3000mN/25mm以上、30000mN/25mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のワーク加工用粘着シート。
- 前記蛍光灯処理を行っていないワーク加工用粘着シートについて、90℃の温水中にて測定されるシリコンウエハに対する粘着力に対する、前記蛍光灯処理を行ったワーク加工用粘着シートについて、90℃の温水中にて測定されるシリコンウエハに対する粘着力の割合は、35%以上であることを特徴とする請求項2に記載のワーク加工用粘着シート。
- 前記蛍光灯処理を行っていないワーク加工用粘着シートにおける、活性エネルギー線照射後におけるシリコンウエハに対する粘着力に対する、前記蛍光灯処理を行ったワーク加工用粘着シートにおける、活性エネルギー線照射後におけるシリコンウエハに対する粘着力の割合は、90%以上、140%以下であり、
前記活性エネルギー線照射は、紫外線照射装置を用いて、照度:230mW/cm2および光量:190mJ/cm2で紫外線を照射するものである
ことを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のワーク加工用粘着シート。 - 前記蛍光灯処理を行ったワーク加工用粘着シートにおける、活性エネルギー線照射後におけるシリコンウエハに対する粘着力は、50mN/25mm以上、320mN/25mm以下であり、
前記活性エネルギー線照射は、紫外線照射装置を用いて、照度:230mW/cm2および光量:190mJ/cm2で紫外線を照射するものである
ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のワーク加工用粘着シート。
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