JP7393788B2 - 弁構造体 - Google Patents
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Description
本発明は、弁構造体に関する。
例えば特許文献１から特許文献４には、複数の流路口を切り替えることで異なる流体を供給できる弁構造体が提案されている。
特許文献１から特許文献４で提案されている弁構造体は、いずれも、流路とこの流路を開閉する弁体とを内部に備える弁箱ブロックと、弁体を動作させる弁体動作部材を内部に備える駆動部ブロックとをボルトによって固定するものではない。
更に、特許文献１は、単一の弁箱ブロックに複数の弁体を備えており、複数の弁箱ブロックを接続するものではない。
また、特許文献２は、弁構造体を複数ブロックで構成しているが、これらのブロック同士をボルトで固定するものではなく、クランプ部材を用いないものである。
また、特許文献３は、弁箱ブロックと駆動部ブロックは一体として弁ブロック体として形成されており、それぞれの弁ブロック体は、共通のベース部材に取り付けるものである。
また、特許文献４は、特許文献１と同様に、単一の弁箱ブロックに複数の弁体を備えており、複数の弁箱ブロックを接続するものではない。
更に、特許文献１は、単一の弁箱ブロックに複数の弁体を備えており、複数の弁箱ブロックを接続するものではない。
また、特許文献２は、弁構造体を複数ブロックで構成しているが、これらのブロック同士をボルトで固定するものではなく、クランプ部材を用いないものである。
また、特許文献３は、弁箱ブロックと駆動部ブロックは一体として弁ブロック体として形成されており、それぞれの弁ブロック体は、共通のベース部材に取り付けるものである。
また、特許文献４は、特許文献１と同様に、単一の弁箱ブロックに複数の弁体を備えており、複数の弁箱ブロックを接続するものではない。
本発明は、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及び第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定をボルトで行う際に、第１弁箱ブロックの第１接続口と第２弁箱ブロックの第２接続口との固定も行える弁構造体を提供することを目的とする。
請求項１記載の本発明の弁構造体は、第１流路１１２を内部に形成し前記第１流路１１２を開閉する第１弁体Ａを前記内部に配置する第１弁箱ブロック１１０と、前記第１弁体Ａを動作させる第１弁体動作部材１２１を内部に備える第１駆動部ブロック１２０と、第２流路２１２を内部に形成し前記第２流路２１２を開閉する第２弁体Ａを前記内部に配置する第２弁箱ブロック２１０と、前記第２弁体Ａを動作させる第２弁体動作部材２２１を内部に備える第２駆動部ブロック２２０と、前記第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１接続口１１１と、前記第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２接続口２１１ａ、２１１ｂとを有し、前記第１接続口１１１と前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂとをつなぐことで前記第１流路１１２と前記第２流路２１２とを連通する弁構造体であって、前記第１弁箱ブロック１１０には第１ボルト１３０を挿入する第１弁箱用ボルト挿通孔１１３を形成し、前記第１駆動部ブロック１２０には前記第１ボルト１３０を挿入して前記第１ボルト１３０を固定する第１駆動部用ボルト固定孔１２３を形成し、前記第２弁箱ブロック２１０には第２ボルト２３０を挿入する第２弁箱用ボルト挿通孔２１３を形成し、前記第２駆動部ブロック２２０には前記第２ボルト２３０を挿入して前記第２ボルト２３０を固定する第２駆動部用ボルト固定孔２２３を形成し、前記第１ボルト１３０によって、前記第１弁箱ブロック１１０と、前記第１駆動部ブロック１２０とを固定し、前記第２ボルト２３０によって、前記第２弁箱ブロック２１０と、前記第２駆動部ブロック２２０とを固定し、前記第１接続口１１１と前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂとをクランプ部材１０により固定することを特徴とする。
請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の弁構造体において、前記クランプ部材１０には、前記第１ボルト１３０を挿通して前記第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、前記第２ボルト２３０を挿通して前記第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成し、前記第１ボルト１３０によって前記クランプ部材１０を、前記第１弁箱ブロック１１０と前記第１駆動部ブロック１２０とに固定し、前記第２ボルト２３０によって前記クランプ部材１０を、前記第２弁箱ブロック２１０と前記第２駆動部ブロック２２０とに固定し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、前記第１ボルト保持部１１、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び前記第２ボルト保持部１２を、それぞれ一対形成し、前記第１ボルト１３０及び前記第２ボルト２３０を、それぞれ一対有し、一方の前記第１ボルト１３０ａを、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ａ、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、及び一方の前記第１ボルト保持部１１ａに配置し、他方の前記第１ボルト１３０ｂを、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ｂ、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３ｂ、及び他方の前記第１ボルト保持部１１ｂに配置し、一方の前記第２ボルト２３０ａ、２３０ｂを、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３ａ、２１３ｂ、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂ、及び一方の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂに配置し、他方の前記第２ボルト２４０ａ、２４０ｂを、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１４ａ、２１４ｂ、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂ、及び他方の前記第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂに配置することを特徴とする。
請求項３記載の本発明は、請求項１に記載の弁構造体において、前記第１ボルト１３０を挿通して前記第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、前記第２ボルト２３０を挿通して前記第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成した押さえ板材を設け、前記押さえ板材で前記クランプ部材１０を押さえ込んで、前記第１ボルト１３０によって前記押さえ板材を、前記第１弁箱ブロック１１０と前記第１駆動部ブロック１２０とに固定し、前記押さえ板材で前記クランプ部材１０を押さえ込んで、前記第２ボルト２３０によって前記押さえ板材を、前記第２弁箱ブロック２１０と前記第２駆動部ブロック２２０とに固定し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、前記第１ボルト保持部１１、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び前記第２ボルト保持部１２を、それぞれ一対形成し、前記第１ボルト１３０及び前記第２ボルト２３０を、それぞれ一対有し、一方の前記第１ボルト１３０を、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、及び一方の前記第１ボルト保持部１１に配置し、他方の前記第１ボルト１３０を、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、及び他方の前記第１ボルト保持部１１に配置し、一方の前記第２ボルト２３０を、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び一方の前記第２ボルト保持部１２に配置し、他方の前記第２ボルト２３０を、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び他方の前記第２ボルト保持部１２に配置することを特徴とする。
請求項４記載の本発明は、請求項２に記載の弁構造体において、前記第１接続口１１１には第１フランジ部１１４を形成し、前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂには第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂを形成し、一対の前記第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂの間に、前記第１フランジ部１１４に当接する第１固定部１３を形成し、一対の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂの間に、前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂに当接する第２固定部１４を形成し、前記第１固定部１３と前記第２固定部１４との間に、前記第１フランジ部１１４と前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂとを位置させることで前記第１接続口１１１と前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂとを固定することを特徴とする。
請求項５記載の本発明は、請求項４に記載の弁構造体において、一対の前記第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂによって前記第１フランジ部１１４のガイダーを形成し、一対の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂによって前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂのガイダーを形成することを特徴とする。
請求項６記載の本発明は、請求項４又は請求項５に記載の弁構造体において、前記第１固定部１３及び前記第２固定部１４を円弧状に形成することを特徴とする。
請求項７記載の本発明は、請求項４から請求項６のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１フランジ部１１４と前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂとを挟み込む第２クランプ部材５１を設け、前記第１固定部１３及び前記第２固定部１４を、前記第１フランジ部１１４及び前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂの一方側に配置し、前記第２クランプ部材５１を、前記第１フランジ部１１４及び前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂの他方側に配置することを特徴とする。
請求項８記載の本発明は、請求項２に記載の弁構造体において、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の一方には第１弁箱クランプ側当接面１１５を形成し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の他方には第１弁箱駆動部側当接面１１６を形成し、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３の開口には第１駆動部弁箱側当接面１２５を形成し、前記第１ボルト保持部１１の一方には前記第１ボルト１３０の第１ボルト頭部当接面１６を形成し、前記第１ボルト保持部１１の他方には第１ボルト保持部弁箱側当接面１７を形成し、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３の一方には第２弁箱クランプ側当接面２１５を形成し、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３の他方には第２弁箱駆動部側当接面２１６を形成し、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３の開口には第２駆動部弁箱側当接面２２５を形成し、前記第２ボルト保持部１２の一方には前記第２ボルト２３０の第２ボルト頭部当接面を形成し、前記第２ボルト保持部１２の他方には第２ボルト保持部弁箱側当接面１９を形成し、前記第１弁箱クランプ側当接面１１５と前記第１ボルト保持部弁箱側当接面１７とを突き合わせ、前記第１弁箱駆動部側当接面１１６と前記第１駆動部弁箱側当接面１２５とを突き合わせ、前記第２弁箱クランプ側当接面２１５と前記第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とを突き合わせ、前記第２弁箱駆動部側当接面２１６と前記第２駆動部弁箱側当接面２２５とを突き合わせることを特徴とする。
請求項９記載の本発明は、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１流路口１１７と、前記第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２流路口２１７とを有し、前記クランプ部材１０には、前記第１流路口１１７に当接する第１流路口当接面１７ａと、前記第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面１９ａとを形成することを特徴とする。
請求項１０記載の本発明は、請求項９に記載の弁構造体において、前記第１流路口当接面１７ａと、前記第２流路口当接面１９ａとを円弧状に形成することを特徴とする。
請求項１１記載の本発明は、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１弁箱ブロック１１０及び前記第２弁箱ブロック２１０の少なくとも一方には、複数の弁体Ａと、前記弁体Ａにそれぞれ対応する複数の流路口とを備え、前記第１駆動部ブロック１２０及び前記第２駆動部ブロック２２０には、前記弁体Ａにそれぞれ対応する複数の弁体動作部材１２１、２２１、３２１を備えることを特徴とする。
請求項１２記載の本発明は、請求項９に記載の弁構造体において、前記第１流路口１１７と前記第２流路口２１７には、それぞれ異なる薬液ａ、ｂ、ｃを導入することを特徴とする。
請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の弁構造体において、前記クランプ部材１０には、前記第１ボルト１３０を挿通して前記第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、前記第２ボルト２３０を挿通して前記第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成し、前記第１ボルト１３０によって前記クランプ部材１０を、前記第１弁箱ブロック１１０と前記第１駆動部ブロック１２０とに固定し、前記第２ボルト２３０によって前記クランプ部材１０を、前記第２弁箱ブロック２１０と前記第２駆動部ブロック２２０とに固定し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、前記第１ボルト保持部１１、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び前記第２ボルト保持部１２を、それぞれ一対形成し、前記第１ボルト１３０及び前記第２ボルト２３０を、それぞれ一対有し、一方の前記第１ボルト１３０ａを、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ａ、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、及び一方の前記第１ボルト保持部１１ａに配置し、他方の前記第１ボルト１３０ｂを、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ｂ、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３ｂ、及び他方の前記第１ボルト保持部１１ｂに配置し、一方の前記第２ボルト２３０ａ、２３０ｂを、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３ａ、２１３ｂ、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂ、及び一方の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂに配置し、他方の前記第２ボルト２４０ａ、２４０ｂを、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１４ａ、２１４ｂ、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂ、及び他方の前記第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂに配置することを特徴とする。
請求項３記載の本発明は、請求項１に記載の弁構造体において、前記第１ボルト１３０を挿通して前記第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、前記第２ボルト２３０を挿通して前記第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成した押さえ板材を設け、前記押さえ板材で前記クランプ部材１０を押さえ込んで、前記第１ボルト１３０によって前記押さえ板材を、前記第１弁箱ブロック１１０と前記第１駆動部ブロック１２０とに固定し、前記押さえ板材で前記クランプ部材１０を押さえ込んで、前記第２ボルト２３０によって前記押さえ板材を、前記第２弁箱ブロック２１０と前記第２駆動部ブロック２２０とに固定し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、前記第１ボルト保持部１１、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び前記第２ボルト保持部１２を、それぞれ一対形成し、前記第１ボルト１３０及び前記第２ボルト２３０を、それぞれ一対有し、一方の前記第１ボルト１３０を、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、及び一方の前記第１ボルト保持部１１に配置し、他方の前記第１ボルト１３０を、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３、及び他方の前記第１ボルト保持部１１に配置し、一方の前記第２ボルト２３０を、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び一方の前記第２ボルト保持部１２に配置し、他方の前記第２ボルト２３０を、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３、及び他方の前記第２ボルト保持部１２に配置することを特徴とする。
請求項４記載の本発明は、請求項２に記載の弁構造体において、前記第１接続口１１１には第１フランジ部１１４を形成し、前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂには第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂを形成し、一対の前記第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂの間に、前記第１フランジ部１１４に当接する第１固定部１３を形成し、一対の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂの間に、前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂに当接する第２固定部１４を形成し、前記第１固定部１３と前記第２固定部１４との間に、前記第１フランジ部１１４と前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂとを位置させることで前記第１接続口１１１と前記第２接続口２１１ａ、２１１ｂとを固定することを特徴とする。
請求項５記載の本発明は、請求項４に記載の弁構造体において、一対の前記第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂによって前記第１フランジ部１１４のガイダーを形成し、一対の前記第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂによって前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂのガイダーを形成することを特徴とする。
請求項６記載の本発明は、請求項４又は請求項５に記載の弁構造体において、前記第１固定部１３及び前記第２固定部１４を円弧状に形成することを特徴とする。
請求項７記載の本発明は、請求項４から請求項６のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１フランジ部１１４と前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂとを挟み込む第２クランプ部材５１を設け、前記第１固定部１３及び前記第２固定部１４を、前記第１フランジ部１１４及び前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂの一方側に配置し、前記第２クランプ部材５１を、前記第１フランジ部１１４及び前記第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂの他方側に配置することを特徴とする。
請求項８記載の本発明は、請求項２に記載の弁構造体において、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の一方には第１弁箱クランプ側当接面１１５を形成し、前記第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の他方には第１弁箱駆動部側当接面１１６を形成し、前記第１駆動部用ボルト固定孔１２３の開口には第１駆動部弁箱側当接面１２５を形成し、前記第１ボルト保持部１１の一方には前記第１ボルト１３０の第１ボルト頭部当接面１６を形成し、前記第１ボルト保持部１１の他方には第１ボルト保持部弁箱側当接面１７を形成し、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３の一方には第２弁箱クランプ側当接面２１５を形成し、前記第２弁箱用ボルト挿通孔２１３の他方には第２弁箱駆動部側当接面２１６を形成し、前記第２駆動部用ボルト固定孔２２３の開口には第２駆動部弁箱側当接面２２５を形成し、前記第２ボルト保持部１２の一方には前記第２ボルト２３０の第２ボルト頭部当接面を形成し、前記第２ボルト保持部１２の他方には第２ボルト保持部弁箱側当接面１９を形成し、前記第１弁箱クランプ側当接面１１５と前記第１ボルト保持部弁箱側当接面１７とを突き合わせ、前記第１弁箱駆動部側当接面１１６と前記第１駆動部弁箱側当接面１２５とを突き合わせ、前記第２弁箱クランプ側当接面２１５と前記第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とを突き合わせ、前記第２弁箱駆動部側当接面２１６と前記第２駆動部弁箱側当接面２２５とを突き合わせることを特徴とする。
請求項９記載の本発明は、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１流路口１１７と、前記第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２流路口２１７とを有し、前記クランプ部材１０には、前記第１流路口１１７に当接する第１流路口当接面１７ａと、前記第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面１９ａとを形成することを特徴とする。
請求項１０記載の本発明は、請求項９に記載の弁構造体において、前記第１流路口当接面１７ａと、前記第２流路口当接面１９ａとを円弧状に形成することを特徴とする。
請求項１１記載の本発明は、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の弁構造体において、前記第１弁箱ブロック１１０及び前記第２弁箱ブロック２１０の少なくとも一方には、複数の弁体Ａと、前記弁体Ａにそれぞれ対応する複数の流路口とを備え、前記第１駆動部ブロック１２０及び前記第２駆動部ブロック２２０には、前記弁体Ａにそれぞれ対応する複数の弁体動作部材１２１、２２１、３２１を備えることを特徴とする。
請求項１２記載の本発明は、請求項９に記載の弁構造体において、前記第１流路口１１７と前記第２流路口２１７には、それぞれ異なる薬液ａ、ｂ、ｃを導入することを特徴とする。
本発明の弁構造体によれば、クランプ部材は、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及び第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定に用いることができるとともに、クランプ部材と第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及びクランプ部材と第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定によって、第１接続口と第２接続口との固定を行える。
本発明の第１の実施の形態による弁構造体は、第１弁箱ブロックには第１ボルトを挿入する第１弁箱用ボルト挿通孔を形成し、第１駆動部ブロックには第１ボルトを挿入して第１ボルトを固定する第１駆動部用ボルト固定孔を形成し、第２弁箱ブロックには第２ボルトを挿入する第２弁箱用ボルト挿通孔を形成し、第２駆動部ブロックには第２ボルトを挿入して第２ボルトを固定する第２駆動部用ボルト固定孔を形成し、第１ボルトによって、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとを固定し、第２ボルトによって、第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとを固定、第１接続口と第２接続口とをクランプ部材により固定するものである。本実施の形態によれば、第１ボルトを、第１弁箱用ボルト挿通孔に挿入して第１駆動部用ボルト固定孔で固定し、第２ボルトを、第２弁箱用ボルト挿通孔に挿入して第２駆動部用ボルト固定孔で固定することで、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとが固定できるとともに第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとが固定でき、更にクランプ部材によって第１接続口と第２接続口とを固定できる。
本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態による弁構造体において、クランプ部材には、第１ボルトを挿通して第１ボルトを保持する第１ボルト保持部と、第２ボルトを挿通して第２ボルトを保持する第２ボルト保持部とを形成し、第１ボルトによってクランプ部材を、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとに固定し、第２ボルトによってクランプ部材を、第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとに固定し、第１弁箱用ボルト挿通孔、第１駆動部用ボルト固定孔、第１ボルト保持部、第２弁箱用ボルト挿通孔、第２駆動部用ボルト固定孔、及び第２ボルト保持部を、それぞれ一対形成し、第１ボルト及び第２ボルトを、それぞれ一対有し、一方の第１ボルトを、一方の第１弁箱用ボルト挿通孔、一方の第１駆動部用ボルト固定孔、及び一方の第１ボルト保持部に配置し、他方の第１ボルトを、他方の第１弁箱用ボルト挿通孔、他方の第１駆動部用ボルト固定孔、及び他方の第１ボルト保持部に配置し、一方の第２ボルトを、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔、一方の第２駆動部用ボルト固定孔、及び一方の第２ボルト保持部に配置し、他方の第２ボルトを、他方の第２弁箱用ボルト挿通孔、他方の第２駆動部用ボルト固定孔、及び他方の第２ボルト保持部に配置するものである。本実施の形態によれば、クランプ部材を第１弁箱ブロックと第２弁箱ブロックとに固定することで第１接続口と第２接続口とが固定できる。従って、クランプ部材は、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及び第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定に用いることができるとともに、クランプ部材と第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及びクランプ部材と第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定によって、第１接続口と第２接続口との固定を行える。また、一対の第１ボルト及び一対の第２ボルトを用いることで、クランプ部材と第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及びクランプ部材と第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定を強固に行え、第１接続口と第２接続口との固定も強固に行える。
本発明の第３の実施の形態は、第１の実施の形態による弁構造体において、第１ボルトを挿通して第１ボルトを保持する第１ボルト保持部と、第２ボルトを挿通して第２ボルトを保持する第２ボルト保持部とを形成した押さえ板材を設け、押さえ板材でクランプ部材を押さえ込んで、第１ボルトによって押さえ板材を、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとに固定し、押さえ板材でクランプ部材を押さえ込んで、第２ボルトによって押さえ板材を、第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとに固定し、第１弁箱用ボルト挿通孔、第１駆動部用ボルト固定孔、第１ボルト保持部、第２弁箱用ボルト挿通孔、第２駆動部用ボルト固定孔、及び第２ボルト保持部を、それぞれ一対形成し、第１ボルト及び第２ボルトを、それぞれ一対有し、一方の第１ボルトを、一方の第１弁箱用ボルト挿通孔、一方の第１駆動部用ボルト固定孔、及び一方の第１ボルト保持部に配置し、他方の第１ボルトを、他方の第１弁箱用ボルト挿通孔、他方の第１駆動部用ボルト固定孔、及び他方の第１ボルト保持部に配置し、一方の第２ボルトを、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔、一方の第２駆動部用ボルト固定孔、及び一方の第２ボルト保持部に配置し、他方の第２ボルトを、他方の第２弁箱用ボルト挿通孔、他方の第２駆動部用ボルト固定孔、及び他方の第２ボルト保持部に配置するものである。本実施の形態によれば、押さえ板材を第１弁箱ブロックと第２弁箱ブロックとに固定することで、クランプ部材と第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及びクランプ部材と第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定が行え、更に第１接続口と第２接続口との固定を行える。また、一対の第１ボルト及び一対の第２ボルトを用いることで、クランプ部材と第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとの固定、及びクランプ部材と第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとの固定を強固に行え、第１接続口と第２接続口との固定も強固に行える。
本発明の第４の実施の形態は、第２の実施の形態による弁構造体において、第１接続口には第１フランジ部を形成し、第２接続口には第２フランジ部を形成し、一対の第１ボルト保持部の間に、第１フランジ部に当接する第１固定部を形成し、一対の第２ボルト保持部の間に、第２フランジ部に当接する第２固定部を形成し、第１固定部と第２固定部との間に、第１フランジ部と第２フランジ部とを位置させることで第１接続口と第２接続口とを固定するものである。本実施の形態によれば、第１固定部と第２固定部とによって第１フランジ部と第２フランジ部とを挟み込むため強固な固定を行える。
本発明の第５の実施の形態は、第４の実施の形態による弁構造体において、一対の第１ボルト保持部によって第１フランジ部のガイダーを形成し、一対の第２ボルト保持部によって第２フランジ部のガイダーを形成するものである。本実施の形態によれば、一対の第１ボルト保持部及び一対の第２ボルト保持部が第１フランジ部及び第２フランジ部のガイダーとなることで、第１フランジ部と第２フランジ部とを第１固定部と第２固定部との間に導きやすい。
本発明の第６の実施の形態は、第４又は第５の実施の形態による弁構造体において、第１固定部及び第２固定部を円弧状に形成するものである。本実施の形態によれば、第１固定部及び第２固定部を第１フランジ部及び第２フランジ部に沿って配置できる。
本発明の第７の実施の形態は、第４から第６のいずれかの実施の形態による弁構造体において、第１フランジ部と第２フランジ部とを挟み込む第２クランプ部材を設け、第１固定部及び第２固定部を、第１フランジ部及び第２フランジ部の一方側に配置し、第２クランプ部材を、第１フランジ部及び第２フランジ部の他方側に配置するものである。本実施の形態によれば、第２クランプ部材を用いることで更に強固に固定できる。
本発明の第８の実施の形態は、第２の実施の形態による弁構造体において、第１弁箱用ボルト挿通孔の一方には第１弁箱クランプ側当接面を形成し、第１弁箱用ボルト挿通孔の他方には第１弁箱駆動部側当接面を形成し、第１駆動部用ボルト固定孔の開口には第１駆動部弁箱側当接面を形成し、第１ボルト保持部の一方には第１ボルトの第１ボルト頭部当接面を形成し、第１ボルト保持部の他方には第１ボルト保持部弁箱側当接面を形成し、第２弁箱用ボルト挿通孔の一方には第２弁箱クランプ側当接面を形成し、第２弁箱用ボルト挿通孔の他方には第２弁箱駆動部側当接面を形成し、第２駆動部用ボルト固定孔の開口には第２駆動部弁箱側当接面を形成し、第２ボルト保持部の一方には第２ボルトの第２ボルト頭部当接面を形成し、第２ボルト保持部の他方には第２ボルト保持部弁箱側当接面を形成し、第１弁箱クランプ側当接面と第１ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせ、第１弁箱駆動部側当接面と第１駆動部弁箱側当接面とを突き合わせ、第２弁箱クランプ側当接面と第２ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせ、第２弁箱駆動部側当接面と第２駆動部弁箱側当接面とを突き合わせるものである。本実施の形態によれば、第１弁箱用ボルト挿通孔の一方に形成する第１弁箱クランプ側当接面と、第１ボルト保持部の他方に形成する第１ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせ、第２弁箱用ボルト挿通孔の一方に形成する第２弁箱クランプ側当接面と、第２ボルト保持部の他方に形成する第２ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせることで、クランプ部材を第１弁箱ブロック及び第２弁箱ブロックに強固に固定できる。また、第１駆動部用ボルト固定孔の開口に形成する第１駆動部弁箱側当接面と、第１弁箱用ボルト挿通孔の他方に形成する第１弁箱駆動部側当接面とを突き合わせることで、第１弁箱ブロックと第１駆動部ブロックとを強固に固定できる。また、第２駆動部用ボルト固定孔の開口に形成する第２駆動部弁箱側当接面と、第２弁箱用ボルト挿通孔の他方に形成する第２弁箱駆動部側当接面とを突き合わせることで、第２弁箱ブロックと第２駆動部ブロックとを強固に固定できる。
本発明の第９の実施の形態は、第１から第８のいずれかの実施の形態による弁構造体において、第１弁箱ブロックから突出させた第１流路口と、第２弁箱ブロックから突出させた第２流路口とを有し、クランプ部材には、第１流路口に当接する第１流路口当接面と、第２流路口に当接する第２流路口当接面とを形成するものである。本実施の形態によれば、クランプ部材が第１流路口当接面と第２流路口当接面とを有することで、クランプ部材を第１弁箱ブロック及び第２弁箱ブロックに更に強固に固定できる。また、第１流路口当接面と第２流路口当接面とを形成することで、クランプ部材の幅寸法を狭くできるため、第１弁箱ブロックと第２弁箱ブロックとを近接させやすく、第１弁箱ブロックと第２弁箱ブロックとを近接させることで、第１接続口及び第２接続口を短くできる。
本発明の第１０の実施の形態は、第９の実施の形態による弁構造体において、第１流路口当接面と、第２流路口当接面とを円弧状に形成するものである。本実施の形態によれば、第１流路口当接面及び第２流路口当接面を第１流路口及び第２流路口に沿って配置できる。
本発明の第１１の実施の形態は、第１から第１０のいずれかの実施の形態による弁構造体において、第１弁箱ブロック及び第２弁箱ブロックの少なくとも一方には、複数の弁体と、弁体にそれぞれ対応する複数の流路口とを備え、第１駆動部ブロック及び第２駆動部ブロックには、弁体にそれぞれ対応する複数の弁体動作部材を備えるものである。本実施の形態によれば、複数の流路口を備えることで、例えば異なる薬液を導入できる。
本発明の第１２の実施の形態は、第９の実施の形態による弁構造体において、第１流路口と第２流路口には、それぞれ異なる薬液を導入するものである。本実施の形態によれば、異なる薬液を切り替えて導入できるため基板処理装置に適している。
以下本発明の一実施例による弁構造体について説明する。
図１は本実施例による弁構造体を示す分解斜視図、図２は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックとクランプ部材とを示す斜視図、図３は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックを示す正面図、図４は本実施例による弁構造体を構成する第２クランプ部材の取り付けを示す斜視図、図５は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックの外形形状を説明するための斜視図、図６は本実施例による弁構造体を構成する駆動部ブロック及びクランプ部材の外形形状を説明するための斜視図、図７は本実施例による弁構造体の正面図、図８は本実施例による弁構造体の内部構造を説明するための一部断面図、図９はボルト固定前後を示す図である。
図１は本実施例による弁構造体を示す分解斜視図、図２は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックとクランプ部材とを示す斜視図、図３は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックを示す正面図、図４は本実施例による弁構造体を構成する第２クランプ部材の取り付けを示す斜視図、図５は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックの外形形状を説明するための斜視図、図６は本実施例による弁構造体を構成する駆動部ブロック及びクランプ部材の外形形状を説明するための斜視図、図７は本実施例による弁構造体の正面図、図８は本実施例による弁構造体の内部構造を説明するための一部断面図、図９はボルト固定前後を示す図である。
本実施例による弁構造体は、第１弁体Ａ（図８参照）を内部に配置する第１弁箱ブロック１１０と、第１弁体Ａを動作させる第１弁体動作部材１２１を内部に備える第１駆動部ブロック１２０と、第２弁体Ａ（図８参照）を内部に配置する第２弁箱ブロック２１０と、第２弁体Ａを動作させる第２弁体動作部材２２１を内部に備える第２駆動部ブロック２２０と、第１弁箱ブロック１１０、第１駆動部ブロック１２０、第２弁箱ブロック２１０、及び第２駆動部ブロック２２０を連結するクランプ部材１０とを備えている。
図１に示す弁構造体は、第３弁体Ａ（図８参照）を内部に配置する第３弁箱ブロック３１０と、第３弁体Ａを動作させる第３弁体動作部材３２１を内部に備える第３駆動部ブロック３２０と、第２弁箱ブロック２１０、第２駆動部ブロック２２０、第３弁箱ブロック３１０、及び第３駆動部ブロック３２０を連結するクランプ部材２０とを更に備えている。
第１弁箱ブロック１１０には、第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１接続口１１１を有し、第２弁箱ブロック２１０には、第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２接続口２１１ａ、２１１ｂを有し、第３弁箱ブロック３１０には、第３弁箱ブロック３１０から突出させた第３接続口３１１を有している。
第１弁箱ブロック１１０には、第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１接続口１１１を有し、第２弁箱ブロック２１０には、第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２接続口２１１ａ、２１１ｂを有し、第３弁箱ブロック３１０には、第３弁箱ブロック３１０から突出させた第３接続口３１１を有している。
図２に示すように、第１弁箱ブロック１１０の内部には第１流路１１２が形成され、第２弁箱ブロック２１０の内部には第２流路２１２が形成され、第３弁箱ブロック３１０の内部には第３流路３１２が形成されている。
第１流路１１２は第１弁体Ａによって開閉され、第２流路２１２は第２弁体Ａによって開閉され、第３流路３１２は第３弁体Ａによって開閉される。
第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとをつなぐことで第１流路１１２と第２流路２１２とが連通し、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とをつなぐことで第２流路２１２と第３流路３１２とが連通する。
第１流路１１２は第１弁体Ａによって開閉され、第２流路２１２は第２弁体Ａによって開閉され、第３流路３１２は第３弁体Ａによって開閉される。
第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとをつなぐことで第１流路１１２と第２流路２１２とが連通し、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とをつなぐことで第２流路２１２と第３流路３１２とが連通する。
第１弁箱ブロック１１０には、第１ボルト１３０を挿入する第１弁箱用ボルト挿通孔１１３を形成している。第１弁箱用ボルト挿通孔１１３として、一対の第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ａ、１１３ｂが形成されている。一対の第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ａ、１１３ｂには、第１ボルト１３０として、それぞれ第１ボルト１３０ａ、１３０ｂが挿入される。第１ボルト１３０ａ、１３０ｂは、一対の第１弁箱用ボルト挿通孔１１３ａ、１１３ｂに挿入された状態では、第１接続口１１１の両側に配置される。
第１駆動部ブロック１２０には、第１ボルト１３０を挿入して第１ボルト１３０を固定する第１駆動部用ボルト固定孔１２３を形成している。第１駆動部用ボルト固定孔１２３として、一対の第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、１２３ｂが形成されている。一対の第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、１２３ｂには、それぞれ第１ボルト１３０ａ、１３０ｂが挿入固定される。
第１駆動部ブロック１２０には、第１ボルト１３０を挿入して第１ボルト１３０を固定する第１駆動部用ボルト固定孔１２３を形成している。第１駆動部用ボルト固定孔１２３として、一対の第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、１２３ｂが形成されている。一対の第１駆動部用ボルト固定孔１２３ａ、１２３ｂには、それぞれ第１ボルト１３０ａ、１３０ｂが挿入固定される。
第２弁箱ブロック２１０には、一方の第２ボルト２３０を挿入する一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３を形成している。一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３として、一対の一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３ａ、２１３ｂが形成されている。一対の一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３ａ、２１３ｂには、一方の第２ボルト２３０として、それぞれ一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂが挿入される。一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂは、一対の一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３ａ、２１３ｂに挿入された状態では、第２接続口２１１ａの両側に配置される。
第２駆動部ブロック２２０には、一方の第２ボルト２３０を挿入して一方の第２ボルト２３０を固定する一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３を形成している。一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３として、一対の一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂが形成されている。一対の一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂには、それぞれ一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂが挿入固定される。
第２駆動部ブロック２２０には、一方の第２ボルト２３０を挿入して一方の第２ボルト２３０を固定する一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３を形成している。一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３として、一対の一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂが形成されている。一対の一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３ａ、２２３ｂには、それぞれ一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂが挿入固定される。
第２弁箱ブロック２１０には、他方の第２ボルト２４０を挿入する他方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１４を形成している。他方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１４として、一対の他方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１４ａ、２１４ｂが形成されている。一対の他方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１４ａ、２１４ｂには、他方の第２ボルト２４０として、それぞれ他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂが挿入される。他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂは、一対の他方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１４ａ、２１４ｂに挿入された状態では、第２接続口２１１ｂの両側に配置される。
第２駆動部ブロック２２０には、他方の第２ボルト２４０を挿入して他方の第２ボルト２４０を固定する他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４を形成している。他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４として、一対の他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂが形成されている。一対の他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂには、それぞれ他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂが挿入固定される。
第２駆動部ブロック２２０には、他方の第２ボルト２４０を挿入して他方の第２ボルト２４０を固定する他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４を形成している。他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４として、一対の他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂが形成されている。一対の他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４ａ、２２４ｂには、それぞれ他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂが挿入固定される。
第３弁箱ブロック３１０には、第３ボルト３３０を挿入する第３弁箱用ボルト挿通孔３１３を形成している。第３弁箱用ボルト挿通孔３１３として、一対の第３弁箱用ボルト挿通孔３１３ａ、３１３ｂが形成されている。一対の第３弁箱用ボルト挿通孔３１３ａ、３１３ｂには、第３ボルト３３０として、それぞれ第３ボルト３３０ａ、３３０ｂが挿入される。第３ボルト３３０ａ、３３０ｂは、一対の第３弁箱用ボルト挿通孔３１３ａ、３１３ｂに挿入された状態では、第２接続口２１１ｂの両側に配置される。
第３駆動部ブロック３２０には、第３ボルト３３０を挿入して第３ボルト３３０を固定する第３駆動部用ボルト固定孔３２３を形成している。第３駆動部用ボルト固定孔３２３として、一対の第３駆動部用ボルト固定孔３２３ａ、３２３ｂが形成されている。一対の第３駆動部用ボルト固定孔３２３ａ、３２３ｂには、それぞれ第３ボルト３３０ａ、３３０ｂが挿入固定される。
第３駆動部ブロック３２０には、第３ボルト３３０を挿入して第３ボルト３３０を固定する第３駆動部用ボルト固定孔３２３を形成している。第３駆動部用ボルト固定孔３２３として、一対の第３駆動部用ボルト固定孔３２３ａ、３２３ｂが形成されている。一対の第３駆動部用ボルト固定孔３２３ａ、３２３ｂには、それぞれ第３ボルト３３０ａ、３３０ｂが挿入固定される。
一方のクランプ部材１０は、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとを固定する。なお、固定にあたっては、クランプ部材１０が第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとに圧入され、クランプ部材１０によって第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの接触面圧を保持することが好ましい。第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとはガスケットを用いて圧入することが好ましい。
一方のクランプ部材１０には、第１ボルト１３０を挿通して第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、一方の第２ボルト２３０を挿通して一方の第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成している。
第１ボルト保持部１１として、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂが形成されている。一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂには、それぞれ第１ボルト１３０ａ、１３０ｂが挿入される。第１ボルト１３０ａ、１３０ｂによって一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０に取り付けた状態では、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂは第１接続口１１１の両側に配置される。
第２ボルト保持部１２として、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂが形成されている。一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂには、それぞれ一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂが挿入される。一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂによって一方のクランプ部材１０を第２弁箱ブロック２１０に取り付けた状態では、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂは第２接続口２１１ａの両側に配置される。
一方のクランプ部材１０には、第１ボルト１３０を挿通して第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、一方の第２ボルト２３０を挿通して一方の第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２とを形成している。
第１ボルト保持部１１として、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂが形成されている。一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂには、それぞれ第１ボルト１３０ａ、１３０ｂが挿入される。第１ボルト１３０ａ、１３０ｂによって一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０に取り付けた状態では、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂは第１接続口１１１の両側に配置される。
第２ボルト保持部１２として、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂが形成されている。一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂには、それぞれ一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂが挿入される。一方の第２ボルト２３０ａ、２３０ｂによって一方のクランプ部材１０を第２弁箱ブロック２１０に取り付けた状態では、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂは第２接続口２１１ａの両側に配置される。
このように、一方のクランプ部材１０と、第１弁箱ブロック１１０と、第１駆動部ブロック１２０とは第１ボルト１３０によって固定され、一方のクランプ部材１０と、第２弁箱ブロック２１０と、第２駆動部ブロック２２０とは一方の第２ボルト２３０によって固定される。
他方のクランプ部材２０は、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とを固定する。なお、固定にあたっては、クランプ部材２０が第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とに圧入され、クランプ部材２０によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との接触面圧を保持することが好ましい。第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とはガスケットを用いて圧入することが好ましい。
他方のクランプ部材２０には、他方の第２ボルト２４０を挿通して他方の第２ボルト２４０を保持する第２ボルト保持部２１と、第３ボルト３３０を挿通して第３ボルト３３０を保持する第３ボルト保持部２２とを形成している。
第２ボルト保持部２１として、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂが形成されている。一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂには、それぞれ他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂが挿入される。他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂによって他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０に取り付けた状態では、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂは第２接続口２１１ｂの両側に配置される。
第３ボルト保持部２２として、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂが形成されている。一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂには、それぞれ第３ボルト３３０ａ、３３０ｂが挿入される。第３ボルト３３０ａ、３３０ｂによって他方のクランプ部材２０を第３弁箱ブロック３１０に取り付けた状態では、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂは第３接続口３１１の両側に配置される。
他方のクランプ部材２０には、他方の第２ボルト２４０を挿通して他方の第２ボルト２４０を保持する第２ボルト保持部２１と、第３ボルト３３０を挿通して第３ボルト３３０を保持する第３ボルト保持部２２とを形成している。
第２ボルト保持部２１として、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂが形成されている。一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂには、それぞれ他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂが挿入される。他方の第２ボルト２４０ａ、２４０ｂによって他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０に取り付けた状態では、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂは第２接続口２１１ｂの両側に配置される。
第３ボルト保持部２２として、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂが形成されている。一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂには、それぞれ第３ボルト３３０ａ、３３０ｂが挿入される。第３ボルト３３０ａ、３３０ｂによって他方のクランプ部材２０を第３弁箱ブロック３１０に取り付けた状態では、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂは第３接続口３１１の両側に配置される。
このように、他方のクランプ部材２０と、第２弁箱ブロック２１０と、第２駆動部ブロック２２０とは他方の第２ボルト２４０によって固定され、他方のクランプ部材２０と、第３弁箱ブロック３１０と、第３駆動部ブロック３２０とは第３ボルト３３０によって固定される。
図３（ａ）は３つの弁箱ブロックを示し、図３（ｂ）はこれらの弁箱ブロックの接続口同士を圧入して接続した状態を示している。
図３に示すように、第１接続口１１１には第１フランジ部１１４を形成し、第２接続口２１１ａには第２フランジ部２１８ａを形成し、第２接続口２１１ｂには第２フランジ部２１８ｂを形成し、第３接続口３１１には第３フランジ部３１４を形成している。
一方、図１及び図２に示すように、一方のクランプ部材１０には、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂの間に、第１フランジ部１１４に当接する第１固定部１３を形成し、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂの間に、第２フランジ部２１８ａに当接する第２固定部１４を形成している。
また、他方のクランプ部材２０には、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂの間に、第２フランジ部２１８ｂに当接する第２固定部２３を形成し、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂの間に、第３フランジ部３１４に当接する第３固定部２４を形成している。
図３に示すように、第１接続口１１１には第１フランジ部１１４を形成し、第２接続口２１１ａには第２フランジ部２１８ａを形成し、第２接続口２１１ｂには第２フランジ部２１８ｂを形成し、第３接続口３１１には第３フランジ部３１４を形成している。
一方、図１及び図２に示すように、一方のクランプ部材１０には、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂの間に、第１フランジ部１１４に当接する第１固定部１３を形成し、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂの間に、第２フランジ部２１８ａに当接する第２固定部１４を形成している。
また、他方のクランプ部材２０には、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂの間に、第２フランジ部２１８ｂに当接する第２固定部２３を形成し、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂの間に、第３フランジ部３１４に当接する第３固定部２４を形成している。
一方のクランプ部材１０は、第１固定部１３と第２固定部１４との間に、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを位置させることで第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとを固定する。
このように、一方のクランプ部材１０は、第１固定部１３と第２固定部１４とによって第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを挟み込むため強固な固定を行える。
また、第１固定部１３及び第２固定部１４を円弧状に形成している。第１固定部１３及び第２固定部１４を円弧状に形成することで、第１固定部１３及び第２固定部１４を第１フランジ部１１４及び第２フランジ部２１８ａに沿って配置できる。
このように、一方のクランプ部材１０は、第１固定部１３と第２固定部１４とによって第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを挟み込むため強固な固定を行える。
また、第１固定部１３及び第２固定部１４を円弧状に形成している。第１固定部１３及び第２固定部１４を円弧状に形成することで、第１固定部１３及び第２固定部１４を第１フランジ部１１４及び第２フランジ部２１８ａに沿って配置できる。
一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂは第１フランジ部１１４のガイダーを形成し、一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂは第２フランジ部２１８ａのガイダーを形成する。
このように、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂ及び一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂが第１フランジ部１１４及び第２フランジ部２１８ａのガイダーとなることで、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを第１固定部１３と第２固定部１４との間に導きやすい。
このように、一対の第１ボルト保持部１１ａ、１１ｂ及び一対の第２ボルト保持部１２ａ、１２ｂが第１フランジ部１１４及び第２フランジ部２１８ａのガイダーとなることで、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを第１固定部１３と第２固定部１４との間に導きやすい。
また、他方のクランプ部材２０は、第２固定部２３と第３固定部２４との間に、第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４ａとを位置させることで第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とを固定する。
このように、他方のクランプ部材２０は、第２固定部２３と第３固定部２４とによって第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを挟み込むため強固な固定を行える。
また、第２固定部２３及び第３固定部２４を円弧状に形成している。第２固定部２３及び第３固定部２４を円弧状に形成することで、第２固定部２３及び第３固定部２４を第２フランジ部２１８ｂ及び第３フランジ部３１４に沿って配置できる。
このように、他方のクランプ部材２０は、第２固定部２３と第３固定部２４とによって第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを挟み込むため強固な固定を行える。
また、第２固定部２３及び第３固定部２４を円弧状に形成している。第２固定部２３及び第３固定部２４を円弧状に形成することで、第２固定部２３及び第３固定部２４を第２フランジ部２１８ｂ及び第３フランジ部３１４に沿って配置できる。
一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂは第２フランジ部２１８ｂのガイダーを形成し、一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂは第３フランジ部３１４のガイダーを形成する。
このように、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂ及び一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂが第２フランジ部２１８ｂ及び第３フランジ部３１４のガイダーとなることで、第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを第２固定部２３と第３固定部２４との間に導きやすい。
なお、本実施例では、第１接続口１１１を雄型、第２接続口２１１ａを雌型として、第１接続口１１１を第２接続口２１１ａに圧入接続し、第２接続口２１１ｂを雄型、第3接続口3１１ａを雌型として、第2接続口2１１ｂを第3接続口3１１に圧入接続しているが、第１接続口１１１、第２接続口２１１ａ、2１１ｂ、及び第3接続口3１１を同形状とし、ガスケットを用いて圧入接続してもよい。
このように、一対の第２ボルト保持部２１ａ、２１ｂ及び一対の第３ボルト保持部２２ａ、２２ｂが第２フランジ部２１８ｂ及び第３フランジ部３１４のガイダーとなることで、第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを第２固定部２３と第３固定部２４との間に導きやすい。
なお、本実施例では、第１接続口１１１を雄型、第２接続口２１１ａを雌型として、第１接続口１１１を第２接続口２１１ａに圧入接続し、第２接続口２１１ｂを雄型、第3接続口3１１ａを雌型として、第2接続口2１１ｂを第3接続口3１１に圧入接続しているが、第１接続口１１１、第２接続口２１１ａ、2１１ｂ、及び第3接続口3１１を同形状とし、ガスケットを用いて圧入接続してもよい。
図４（ａ）は弁箱ブロックの接続口同士を圧入して接続した状態を示し、図４（ｂ）は接続口同士を圧入した弁箱ブロックに第２クランプ部材を取り付けた状態を示している。
図１及び図４に示すように、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを挟み込む第２クランプ部材５１、及び第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを挟み込む第２クランプ部材５２を設けることが好ましい。
図１及び図４に示すように、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとを挟み込む第２クランプ部材５１、及び第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４とを挟み込む第２クランプ部材５２を設けることが好ましい。
第２クランプ部材５１、５２は、図４（ａ）に示すように、正面から第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１４ｂ、及び第３フランジ部３１４に取り付け、その後に図４（ｂ）に示すように、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４に沿って上方位置に移動させる。
なお、第２クランプ部材５１、５２は、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４に圧入され、第２クランプ部材５１、５２によって、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとの接触面圧、及び第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４との接触面圧を保持することが好ましい。
なお、第２クランプ部材５１、５２は、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４に圧入され、第２クランプ部材５１、５２によって、第１フランジ部１１４と第２フランジ部２１８ａとの接触面圧、及び第２フランジ部２１８ｂと第３フランジ部３１４との接触面圧を保持することが好ましい。
第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４には、下方から第１固定部１３、第２固定部１４、２３、及び第３固定部２４が配置される。
従って、第１固定部１３、第２固定部１４、２３、及び第３固定部２４を、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４の一方側に配置し、第２クランプ部材５１、５２を、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４の他方側に配置することができ、クランプ部材１０、２０に加えて第２クランプ部材５１、５２を用いることで更に強固に固定できる。
従って、第１固定部１３、第２固定部１４、２３、及び第３固定部２４を、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４の一方側に配置し、第２クランプ部材５１、５２を、第１フランジ部１１４、第２フランジ部２１８ａ、２１８ｂ、及び第３フランジ部３１４の他方側に配置することができ、クランプ部材１０、２０に加えて第２クランプ部材５１、５２を用いることで更に強固に固定できる。
図５を用いて弁箱ブロックの外形形状について以下に説明する。
図５（ａ）に示すように、第１弁箱ブロック１１０は、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の一方に第１弁箱クランプ側当接面１１５を形成し、第２弁箱ブロック２１０は、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、２１４の一方に第２弁箱クランプ側当接面２１５を形成し、第３弁箱ブロック３１０は、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３の一方に第３弁箱クランプ側当接面３１５を形成している。
また、図５（ｂ）に示すように、第１弁箱ブロック１１０は、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の他方に第１弁箱駆動部側当接面１１６を形成し、第２弁箱ブロック２１０は、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、２１４の他方に第２弁箱駆動部側当接面２１６を形成し、第３弁箱ブロック３１０は、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３の他方に第３弁箱駆動部側当接面３１６を形成している。
第１弁箱ブロック１１０には、第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１流路口１１７を有し、第２弁箱ブロック２１０には、第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２流路口２１７を有し、第３弁箱ブロック３１０には、第３弁箱ブロック３１０から突出させた第３流路口３１７を有している。
図５（ａ）に示すように、第１弁箱ブロック１１０は、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の一方に第１弁箱クランプ側当接面１１５を形成し、第２弁箱ブロック２１０は、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、２１４の一方に第２弁箱クランプ側当接面２１５を形成し、第３弁箱ブロック３１０は、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３の一方に第３弁箱クランプ側当接面３１５を形成している。
また、図５（ｂ）に示すように、第１弁箱ブロック１１０は、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３の他方に第１弁箱駆動部側当接面１１６を形成し、第２弁箱ブロック２１０は、一方の第２弁箱用ボルト挿通孔２１３、２１４の他方に第２弁箱駆動部側当接面２１６を形成し、第３弁箱ブロック３１０は、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３の他方に第３弁箱駆動部側当接面３１６を形成している。
第１弁箱ブロック１１０には、第１弁箱ブロック１１０から突出させた第１流路口１１７を有し、第２弁箱ブロック２１０には、第２弁箱ブロック２１０から突出させた第２流路口２１７を有し、第３弁箱ブロック３１０には、第３弁箱ブロック３１０から突出させた第３流路口３１７を有している。
図６を用いて駆動部ブロックの外形形状とクランプ部材の外形形状について以下に説明する。
第１駆動部ブロック１２０は、第１駆動部用ボルト固定孔１２３の開口に第１駆動部弁箱側当接面１２５を形成し、第２駆動部ブロック２２０は、一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３の開口に第２駆動部弁箱側当接面２２５を形成し、第３駆動部ブロック３２０は、第３駆動部用ボルト固定孔３２３の開口に第３駆動部弁箱側当接面３２５を形成している。
一方のクランプ部材１０は、第１ボルト保持部１１の一方に第１ボルト１３０の第１ボルト頭部当接面１６を形成し、第１ボルト保持部１１の他方に第１ボルト保持部弁箱側当接面１７を形成し、第２ボルト保持部１２の一方に一方の第２ボルト２３０の第２ボルト頭部当接面１８を形成し、第２ボルト保持部１２の他方に第２ボルト保持部弁箱側当接面１９を形成している。
第１駆動部ブロック１２０は、第１駆動部用ボルト固定孔１２３の開口に第１駆動部弁箱側当接面１２５を形成し、第２駆動部ブロック２２０は、一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３の開口に第２駆動部弁箱側当接面２２５を形成し、第３駆動部ブロック３２０は、第３駆動部用ボルト固定孔３２３の開口に第３駆動部弁箱側当接面３２５を形成している。
一方のクランプ部材１０は、第１ボルト保持部１１の一方に第１ボルト１３０の第１ボルト頭部当接面１６を形成し、第１ボルト保持部１１の他方に第１ボルト保持部弁箱側当接面１７を形成し、第２ボルト保持部１２の一方に一方の第２ボルト２３０の第２ボルト頭部当接面１８を形成し、第２ボルト保持部１２の他方に第２ボルト保持部弁箱側当接面１９を形成している。
他方のクランプ部材２０は、第２ボルト保持部２１の一方に他方の第２ボルト２４０の第２ボルト頭部当接面２６を形成し、第２ボルト保持部２１の他方に第２ボルト保持部弁箱側当接面２７を形成し、第３ボルト保持部２２の一方に第３ボルト３３０の第３ボルト頭部当接面２８を形成し、第３ボルト保持部２２の他方に第３ボルト保持部弁箱側当接面２９を形成している。
また、一方のクランプ部材１０は、第１流路口１１７に当接する第１流路口当接面１７ａと、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面１９ａとを形成し、他方のクランプ部材２０は、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面２７ａと、第３流路口３１７に当接する第３流路口当接面２９ａとを形成している。
第１流路口当接面１７ａ、第２流路口当接面１９ａ、第２流路口当接面２７ａ、及び第３流路口当接面２９ａは、第１流路口１１７、第２流路口２１７、及び第３流路口３１７の外周面に当接するように円弧状に形成している。
また、一方のクランプ部材１０は、第１流路口１１７に当接する第１流路口当接面１７ａと、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面１９ａとを形成し、他方のクランプ部材２０は、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面２７ａと、第３流路口３１７に当接する第３流路口当接面２９ａとを形成している。
第１流路口当接面１７ａ、第２流路口当接面１９ａ、第２流路口当接面２７ａ、及び第３流路口当接面２９ａは、第１流路口１１７、第２流路口２１７、及び第３流路口３１７の外周面に当接するように円弧状に形成している。
なお、本実施例では、第１ボルト頭部当接面１６と第２ボルト頭部当接面１８とは同一高さの平面として形成し、第１ボルト保持部弁箱側当接面１７と第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とは同一高さの平面として形成し、第２ボルト頭部当接面２６と第３ボルト頭部当接面２８とは同一高さの平面として形成し、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とは同一高さの平面として形成している。
図７を用いて弁箱ブロック、駆動部ブロック、及びクランプ部材の突き合わせについて以下に説明する。
第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とは、第１弁箱駆動部側当接面１１６と第１駆動部弁箱側当接面１２５とを突き合わせ、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とは、第２弁箱駆動部側当接面２１６と第２駆動部弁箱側当接面２２５とを突き合わせ、第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とは、第３弁箱駆動部側当接面３１６と第３駆動部弁箱側当接面３２５とを突き合わせる。
第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とは、第１弁箱駆動部側当接面１１６と第１駆動部弁箱側当接面１２５とを突き合わせ、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とは、第２弁箱駆動部側当接面２１６と第２駆動部弁箱側当接面２２５とを突き合わせ、第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とは、第３弁箱駆動部側当接面３１６と第３駆動部弁箱側当接面３２５とを突き合わせる。
一方のクランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０とは、第１ボルト保持部弁箱側当接面１７と第１弁箱クランプ側当接面１１５とを突き合わせ、一方のクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面１９と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせる。
他方のクランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせ、他方のクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０とは、第３ボルト保持部弁箱側当接面２９と第３弁箱クランプ側当接面３１５とを突き合わせる。
また、一方のクランプ部材１０の第１流路口当接面１７ａは第１流路口１１７に突き合わせ、一方のクランプ部材１０の第２流路口当接面１９ａは第２流路口２１７に突き合わせる。他方のクランプ部材２０の第２流路口当接面２７ａは第２流路口２１７に突き合わせ、他方のクランプ部材２０の第３流路口当接面２９ａは第３流路口３１７に突き合わせる。
他方のクランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせ、他方のクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０とは、第３ボルト保持部弁箱側当接面２９と第３弁箱クランプ側当接面３１５とを突き合わせる。
また、一方のクランプ部材１０の第１流路口当接面１７ａは第１流路口１１７に突き合わせ、一方のクランプ部材１０の第２流路口当接面１９ａは第２流路口２１７に突き合わせる。他方のクランプ部材２０の第２流路口当接面２７ａは第２流路口２１７に突き合わせ、他方のクランプ部材２０の第３流路口当接面２９ａは第３流路口３１７に突き合わせる。
このように、第１弁箱クランプ側当接面１１５と第１ボルト保持部弁箱側当接面１７とを突き合わせ、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とを突き合わせることで、一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０及び第２弁箱ブロック２１０に強固に固定できる。
同様に、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面２７とを突き合わせ、第３弁箱クランプ側当接面３１５と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とを突き合わせることで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に強固に固定できる。
また、第１駆動部弁箱側当接面１２５と第１弁箱駆動部側当接面１１６とを突き合わせることで第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とを強固に固定できる。
同様に、第２駆動部弁箱側当接面２２５と第２弁箱駆動部側当接面２１６とを突き合わせることで第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とを強固に固定できる。
同様に、第３駆動部弁箱側当接面３２５と第３弁箱駆動部側当接面３１６とを突き合わせることで第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とを強固に固定できる。
同様に、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面２７とを突き合わせ、第３弁箱クランプ側当接面３１５と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とを突き合わせることで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に強固に固定できる。
また、第１駆動部弁箱側当接面１２５と第１弁箱駆動部側当接面１１６とを突き合わせることで第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とを強固に固定できる。
同様に、第２駆動部弁箱側当接面２２５と第２弁箱駆動部側当接面２１６とを突き合わせることで第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とを強固に固定できる。
同様に、第３駆動部弁箱側当接面３２５と第３弁箱駆動部側当接面３１６とを突き合わせることで第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とを強固に固定できる。
また、一方のクランプ部材１０が第１流路口当接面１７ａと第２流路口当接面１９ａとを有することで、一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０及び第２弁箱ブロック２１０に更に強固に固定できる。また、第１流路口当接面１７ａと第２流路口当接面１９ａとを形成することでクランプ部材１０の幅寸法を狭くできるため、第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とを近接させやすく、第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とを近接させることで、第１接続口１１１及び第２接続口２１１ａを短くできる。
同様に、他方のクランプ部材２０が第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを有することで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に更に強固に固定できる。また、第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを形成することでクランプ部材２０の幅寸法を狭くできるため、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させやすく、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させることで、第２接続口２１１ｂ及び第３接続口３１１を短くできる。
同様に、他方のクランプ部材２０が第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを有することで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に更に強固に固定できる。また、第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを形成することでクランプ部材２０の幅寸法を狭くできるため、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させやすく、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させることで、第２接続口２１１ｂ及び第３接続口３１１を短くできる。
図８に示すように、第１駆動部ブロック１２０Ａ、第２駆動部ブロック２２０Ａ、及び第３駆動部ブロック３２０Ａは、電磁弁式、エアー操作弁式、又は手動操作弁式など、いずれの駆動方式でもよく、第１弁箱ブロック１１０Ａ、第２弁箱ブロック２１０Ａ、及び第３弁箱ブロック３１０Ａの内部には、それぞれの駆動方式に対応した弁体Ａが配置される。
図９に示すように、第１流路口１１７に薬液ａを導入し、第２流路口２１７に薬液ｂを導入し、第３流路口３１７に薬液ｃを導入し、これらの薬液ａ、ｂ、ｃを切り替えて処理液として導出させることで、基板処理装置として用いることができる。
なお、本実施例では、第１弁箱ブロック１１０、第２弁箱ブロック２１０、及び第3弁箱ブロック3１０は、一つの弁体Ａを備えたものを示したが、複数の弁体Ａと、それらの弁体Ａに対応する複数の流路口を備えたものであってもよい。
以上のように、本実施例によれば、第１ボルト１３０を、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３に挿入し、第１ボルト保持部１１で保持するとともに第１駆動部用ボルト固定孔１２３で固定し、第２ボルト２３０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１３に挿入し、第２ボルト保持部１２で保持するとともに第２駆動部用ボルト固定孔２２３で固定することで、第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とが固定できるとともに第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定でき、更にクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とに固定できる。そして、クランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とに固定することで第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとが固定できる。従って、クランプ部材１０は、第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及び第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及びクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定によって、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの固定を行える。
また、同様に、第２ボルト２４０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１４に挿入し、第２ボルト保持部２１で保持するとともに他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４で固定し、第３ボルト３３０を、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３に挿入し、第３ボルト保持部２２で保持するとともに第３駆動部用ボルト固定孔３２３で固定することで、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定できるとともに第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とが固定でき、更にクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定できる。そして、クランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定することで第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とが固定できる。従って、クランプ部材２０は、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及び第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定を行える。
また、同様に、第２ボルト２４０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１４に挿入し、第２ボルト保持部２１で保持するとともに他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４で固定し、第３ボルト３３０を、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３に挿入し、第３ボルト保持部２２で保持するとともに第３駆動部用ボルト固定孔３２３で固定することで、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定できるとともに第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とが固定でき、更にクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定できる。そして、クランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定することで第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とが固定できる。従って、クランプ部材２０は、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及び第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定を行える。
また、本実施例によれば、一対の第１ボルト１３０及び一対の第２ボルト２３０を用いることで、クランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及びクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定を強固に行え、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの固定も強固に行える。
また、同様に、一対の第２ボルト２４０及び一対の第３ボルト３３０を用いることで、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定を強固に行え、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定も強固に行える。
また、同様に、一対の第２ボルト２４０及び一対の第３ボルト３３０を用いることで、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定を強固に行え、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定も強固に行える。
以下本発明の他の実施例による弁構造体について説明する。
図１０は本実施例による弁構造体を示す分解斜視図、図１１は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックとクランプ部材とを示す斜視図、図１２は本実施例による弁構造体を構成する駆動部ブロック及びクランプ部材の外形形状を説明するための斜視図、図１３は本実施例による弁構造体の正面図である。なお、上記実施例と同一機能部材には同一符号を付して説明を一部省略する。
図１０は本実施例による弁構造体を示す分解斜視図、図１１は本実施例による弁構造体を構成する弁箱ブロックとクランプ部材とを示す斜視図、図１２は本実施例による弁構造体を構成する駆動部ブロック及びクランプ部材の外形形状を説明するための斜視図、図１３は本実施例による弁構造体の正面図である。なお、上記実施例と同一機能部材には同一符号を付して説明を一部省略する。
図１０及び図１１に示すように、本実施例においても、一方のクランプ部材１０は、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとを固定する。なお、固定にあたっては、クランプ部材１０が第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとに圧入され、クランプ部材１０によって第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの接触面圧を保持することが好ましい。第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとはガスケットを用いて圧入することが好ましい。
また、本実施例においても、他方のクランプ部材２０は、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とを固定する。なお、固定にあたっては、クランプ部材２０が第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とに圧入され、クランプ部材２０によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との接触面圧を保持することが好ましい。第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とはガスケットを用いて圧入することが好ましい。
本実施例では、第１ボルト１３０を挿通して第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、一方の第２ボルト２３０を挿通して一方の第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２と、他方の第２ボルト２４０を挿通して他方の第２ボルト２４０を保持する第２ボルト保持部２１と、第３ボルト３３０を挿通して第３ボルト３３０を保持する第３ボルト保持部２２とを、ボルト頭部接面部材６０に形成している。
なお、ボルト頭部接面部材６０を、第１ボルト保持部１１と第２ボルト保持部１２とを形成する一方のボルト頭部接面部材と、第２ボルト保持部２１と第３ボルト保持部２２とを形成する他方のボルト頭部接面部材とで構成してもよい。
本実施例では、第１ボルト１３０を挿通して第１ボルト１３０を保持する第１ボルト保持部１１と、一方の第２ボルト２３０を挿通して一方の第２ボルト２３０を保持する第２ボルト保持部１２と、他方の第２ボルト２４０を挿通して他方の第２ボルト２４０を保持する第２ボルト保持部２１と、第３ボルト３３０を挿通して第３ボルト３３０を保持する第３ボルト保持部２２とを、ボルト頭部接面部材６０に形成している。
なお、ボルト頭部接面部材６０を、第１ボルト保持部１１と第２ボルト保持部１２とを形成する一方のボルト頭部接面部材と、第２ボルト保持部２１と第３ボルト保持部２２とを形成する他方のボルト頭部接面部材とで構成してもよい。
本実施例においても、一方のクランプ部材１０と、第１弁箱ブロック１１０と、第１駆動部ブロック１２０とは第１ボルト１３０によって固定され、一方のクランプ部材１０と、第２弁箱ブロック２１０と、第２駆動部ブロック２２０とは一方の第２ボルト２３０によって固定される。
また、他方のクランプ部材２０と、第２弁箱ブロック２１０と、第２駆動部ブロック２２０とは他方の第２ボルト２４０によって固定され、他方のクランプ部材２０と、第３弁箱ブロック３１０と、第３駆動部ブロック３２０とは第３ボルト３３０によって固定される。
また、他方のクランプ部材２０と、第２弁箱ブロック２１０と、第２駆動部ブロック２２０とは他方の第２ボルト２４０によって固定され、他方のクランプ部材２０と、第３弁箱ブロック３１０と、第３駆動部ブロック３２０とは第３ボルト３３０によって固定される。
図１２及び図１３に示すように、本実施例においても、第１駆動部ブロック１２０は、第１駆動部用ボルト固定孔１２３の開口に第１駆動部弁箱側当接面１２５を形成し、第２駆動部ブロック２２０は、一方の第２駆動部用ボルト固定孔２２３の開口に第２駆動部弁箱側当接面２２５を形成し、第３駆動部ブロック３２０は、第３駆動部用ボルト固定孔３２３の開口に第３駆動部弁箱側当接面３２５を形成している。
なお、本実施例においては、ボルト頭部接面部材６０は、第１ボルト保持部１１の一方に第１ボルト１３０の第１ボルト頭部当接面１６を形成し、第２ボルト保持部１２の一方に一方の第２ボルト２３０の第２ボルト頭部当接面１８を形成し、第２ボルト保持部２１の一方に他方の第２ボルト２４０の第２ボルト頭部当接面２６を形成し、第３ボルト保持部２２の一方に第３ボルト３３０の第３ボルト頭部当接面２８を形成している。
また、ボルト頭部接面部材６０は、第１ボルト保持部１１の他方、第２ボルト保持部１２の他方、第２ボルト保持部２１の他方、及び第３ボルト保持部２２の他方に、クランプ部材側当接面６１を形成している。
また、ボルト頭部接面部材６０は、第１ボルト保持部１１の他方、第２ボルト保持部１２の他方、第２ボルト保持部２１の他方、及び第３ボルト保持部２２の他方に、クランプ部材側当接面６１を形成している。
本実施例では、一方のクランプ部材１０の一方には、ボルト頭部接面部材側当接面１５を形成し、一方のクランプ部材１０の他方には、第１ボルト保持部弁箱側当接面１７、及び第２ボルト保持部弁箱側当接面１９を形成している。
また本実施例では、他方のクランプ部材２０の一方には、ボルト頭部接面部材側当接面２５を形成し、他方のクランプ部材２０の他方には、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７、及び第３ボルト保持部弁箱側当接面２９を形成している。
また本実施例では、他方のクランプ部材２０の一方には、ボルト頭部接面部材側当接面２５を形成し、他方のクランプ部材２０の他方には、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７、及び第３ボルト保持部弁箱側当接面２９を形成している。
また、本実施例においても、一方のクランプ部材１０は、第１流路口１１７に当接する第１流路口当接面１７ａと、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面１９ａとを形成し、他方のクランプ部材２０は、第２流路口２１７に当接する第２流路口当接面２７ａと、第３流路口３１７に当接する第３流路口当接面２９ａとを形成している。
第１流路口当接面１７ａ、第２流路口当接面１９ａ、第２流路口当接面２７ａ、及び第３流路口当接面２９ａは、第１流路口１１７、第２流路口２１７、及び第３流路口３１７の外周面に当接するように円弧状に形成している。
第１流路口当接面１７ａ、第２流路口当接面１９ａ、第２流路口当接面２７ａ、及び第３流路口当接面２９ａは、第１流路口１１７、第２流路口２１７、及び第３流路口３１７の外周面に当接するように円弧状に形成している。
なお、本実施例では、第１ボルト頭部当接面１６と第２ボルト頭部当接面１８とは同一高さの平面として形成し、第１ボルト保持部弁箱側当接面１７と第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とは同一高さの平面として形成し、第２ボルト頭部当接面２６と第３ボルト頭部当接面２８とは同一高さの平面として形成し、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とは同一高さの平面として形成している。
図１３に示すように、第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とは、第１弁箱駆動部側当接面１１６と第１駆動部弁箱側当接面１２５とを突き合わせ、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とは、第２弁箱駆動部側当接面２１６と第２駆動部弁箱側当接面２２５とを突き合わせ、第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とは、第３弁箱駆動部側当接面３１６と第３駆動部弁箱側当接面３２５とを突き合わせる。
一方のクランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０とは、第１ボルト保持部弁箱側当接面１７と第１弁箱クランプ側当接面１１５とを突き合わせ、一方のクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面１９と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせる。
他方のクランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせ、他方のクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０とは、第３ボルト保持部弁箱側当接面２９と第３弁箱クランプ側当接面３１５とを突き合わせる。
また、一方のクランプ部材１０の第１流路口当接面１７ａは第１流路口１１７に突き合わせ、一方のクランプ部材１０の第２流路口当接面１９ａは第２流路口２１７に突き合わせる。他方のクランプ部材２０の第２流路口当接面２７ａは第２流路口２１７に突き合わせ、他方のクランプ部材２０の第３流路口当接面２９ａは第３流路口３１７に突き合わせる。
他方のクランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０とは、第２ボルト保持部弁箱側当接面２７と第２弁箱クランプ側当接面２１５とを突き合わせ、他方のクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０とは、第３ボルト保持部弁箱側当接面２９と第３弁箱クランプ側当接面３１５とを突き合わせる。
また、一方のクランプ部材１０の第１流路口当接面１７ａは第１流路口１１７に突き合わせ、一方のクランプ部材１０の第２流路口当接面１９ａは第２流路口２１７に突き合わせる。他方のクランプ部材２０の第２流路口当接面２７ａは第２流路口２１７に突き合わせ、他方のクランプ部材２０の第３流路口当接面２９ａは第３流路口３１７に突き合わせる。
このように、第１弁箱クランプ側当接面１１５と第１ボルト保持部弁箱側当接面１７とを突き合わせ、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面１９とを突き合わせることで、一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０及び第２弁箱ブロック２１０に強固に固定できる。
同様に、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面２７とを突き合わせ、第３弁箱クランプ側当接面３１５と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とを突き合わせることで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に強固に固定できる。
また、第１駆動部弁箱側当接面１２５と第１弁箱駆動部側当接面１１６とを突き合わせることで第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とを強固に固定できる。
同様に、第２駆動部弁箱側当接面２２５と第２弁箱駆動部側当接面２１６とを突き合わせることで第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とを強固に固定できる。
同様に、第３駆動部弁箱側当接面３２５と第３弁箱駆動部側当接面３１６とを突き合わせることで第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とを強固に固定できる。
同様に、第２弁箱クランプ側当接面２１５と第２ボルト保持部弁箱側当接面２７とを突き合わせ、第３弁箱クランプ側当接面３１５と第３ボルト保持部弁箱側当接面２９とを突き合わせることで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に強固に固定できる。
また、第１駆動部弁箱側当接面１２５と第１弁箱駆動部側当接面１１６とを突き合わせることで第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とを強固に固定できる。
同様に、第２駆動部弁箱側当接面２２５と第２弁箱駆動部側当接面２１６とを突き合わせることで第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とを強固に固定できる。
同様に、第３駆動部弁箱側当接面３２５と第３弁箱駆動部側当接面３１６とを突き合わせることで第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とを強固に固定できる。
また、一方のクランプ部材１０が第１流路口当接面１７ａと第２流路口当接面１９ａとを有することで、一方のクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０及び第２弁箱ブロック２１０に更に強固に固定できる。また、第１流路口当接面１７ａと第２流路口当接面１９ａとを形成することでクランプ部材１０の幅寸法を狭くできるため、第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とを近接させやすく、第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とを近接させることで、第１接続口１１１及び第２接続口２１１ａを短くできる。
同様に、他方のクランプ部材２０が第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを有することで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に更に強固に固定できる。また、第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを形成することでクランプ部材２０の幅寸法を狭くできるため、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させやすく、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させることで、第２接続口２１１ｂ及び第３接続口３１１を短くできる。
同様に、他方のクランプ部材２０が第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを有することで、他方のクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０及び第３弁箱ブロック３１０に更に強固に固定できる。また、第２流路口当接面２７ａと第３流路口当接面２９ａとを形成することでクランプ部材２０の幅寸法を狭くできるため、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させやすく、第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とを近接させることで、第２接続口２１１ｂ及び第３接続口３１１を短くできる。
以上のように、本実施例によれば、第１ボルト１３０を、第１弁箱用ボルト挿通孔１１３に挿入し、第１ボルト保持部１１で保持するとともに第１駆動部用ボルト固定孔１２３で固定し、第２ボルト２３０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１３に挿入し、第２ボルト保持部１２で保持するとともに第２駆動部用ボルト固定孔２２３で固定することで、第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０とが固定できるとともに第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定でき、更にクランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とに固定できる。そして、クランプ部材１０を第１弁箱ブロック１１０と第２弁箱ブロック２１０とに固定することで第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとが固定できる。従って、クランプ部材１０及びボルト頭部接面部材６０は、第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及び第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及びクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定によって、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの固定を行える。
また、同様に、第２ボルト２４０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１４に挿入し、第２ボルト保持部２１で保持するとともに他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４で固定し、第３ボルト３３０を、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３に挿入し、第３ボルト保持部２２で保持するとともに第３駆動部用ボルト固定孔３２３で固定することで、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定できるとともに第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とが固定でき、更にクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定できる。そして、クランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定することで第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とが固定できる。従って、クランプ部材２０及びボルト頭部接面部材６０は、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及び第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定を行える。
また、同様に、第２ボルト２４０を、第２弁箱用ボルト挿通孔２１４に挿入し、第２ボルト保持部２１で保持するとともに他方の第２駆動部用ボルト固定孔２２４で固定し、第３ボルト３３０を、第３弁箱用ボルト挿通孔３１３に挿入し、第３ボルト保持部２２で保持するとともに第３駆動部用ボルト固定孔３２３で固定することで、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０とが固定できるとともに第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０とが固定でき、更にクランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定できる。そして、クランプ部材２０を第２弁箱ブロック２１０と第３弁箱ブロック３１０とに固定することで第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１とが固定できる。従って、クランプ部材２０及びボルト頭部接面部材６０は、第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及び第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定に用いることができるとともに、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定によって第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定を行える。
また、本実施例によれば、一対の第１ボルト１３０及び一対の第２ボルト２３０を用いることで、クランプ部材１０と第１弁箱ブロック１１０と第１駆動部ブロック１２０との固定、及びクランプ部材１０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定を強固に行え、第１接続口１１１と第２接続口２１１ａとの固定も強固に行える。
また、同様に、一対の第２ボルト２４０及び一対の第３ボルト３３０を用いることで、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定を強固に行え、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定も強固に行える。
また、同様に、一対の第２ボルト２４０及び一対の第３ボルト３３０を用いることで、クランプ部材２０と第２弁箱ブロック２１０と第２駆動部ブロック２２０との固定、及びクランプ部材２０と第３弁箱ブロック３１０と第３駆動部ブロック３２０との固定を強固に行え、第２接続口２１１ｂと第３接続口３１１との固定も強固に行える。
本発明によれば、弁箱ブロック及び駆動部ブロックを任意の個数で連結ができ、極めて高い清浄度と短時間での薬液切り替え能力が要求される半導体洗浄装置に適している。
１０、２０ クランプ部材
１１、１１ａ、１１ｂ 第１ボルト保持部
１２、１２ａ、１２ｂ、２１、２１ａ、２１ｂ 第２ボルト保持部
１３ 第１固定部
１４、２３ 第２固定部
１５ ボルト頭部接面部材側当接面
１６ 第１ボルト頭部当接面
１７ 第１ボルト保持部弁箱側当接面
１７ａ 第１流路口当接面
１８、２６ 第２ボルト頭部当接面
１９、２７ 第２ボルト保持部弁箱側当接面
１９ａ、２７ａ 第２流路口当接面
２２、２２ａ、２２ｂ 第３ボルト保持部
２４ 第３固定部
２５ ボルト頭部接面部材側当接面
２８ 第３ボルト頭部当接面
２９ 第３ボルト保持部弁箱側当接面
２９ａ 第３流路口当接面
５１、５２ 第２クランプ部材
６０ ボルト頭部接面部材
６１ クランプ部材側当接面
１１０ 第１弁箱ブロック
１１１ 第１接続口
１１２ 第１流路
１１３、１１３ａ、１１３ｂ 第１弁箱用ボルト挿通孔
１１４ 第１フランジ部
１１５ 第１弁箱クランプ側当接面
１１６ 第１弁箱駆動部側当接面
１１７ 第１流路口
１２０、１２０Ａ 第１駆動部ブロック
１２１ 第１弁体動作部材
１２３、１２３ａ、１２３ｂ 第１駆動部用ボルト固定孔
１２５ 第１駆動部弁箱側当接面
１３０、１３０ａ、１３０ｂ 第１ボルト
２１０ 第２弁箱ブロック
２１１ａ、２１１ｂ 第２接続口
２１２ 第２流路
２１３、２１３ａ、２１３ｂ、２１４、２１４ａ、２１４ｂ 第２弁箱用ボルト挿通孔
２１５ 第２弁箱クランプ側当接面
２１６ 第２弁箱駆動部側当接面
２１７ 第２流路口
２１８ａ、２１８ｂ 第２フランジ部
２２０、２２０Ａ 第２駆動部ブロック
２２１ 第２弁体動作部材
２２３、２２３ａ、２２３ｂ、２２４、２２４ａ、２２４ｂ 第２駆動部用ボルト固定孔
２２５ 第２駆動部弁箱側当接面
２３０、２３０ａ、２３０ｂ、２４０、２４０ａ、２４０ｂ 第２ボルト
３１０ 第３弁箱ブロック
３１１ 第３接続口
３１２ 第３流路
３１３、３１３ａ、３１３ｂ 第３弁箱用ボルト挿通孔
３１４ 第３フランジ部
３１５ 第３弁箱クランプ側当接面
３１６ 第３弁箱駆動部側当接面
３１７ 第３流路口
３２０、３２０Ａ 第３駆動部ブロック
３２１ 第３弁体動作部材
３２３、３２３ａ、３２３ｂ 第３駆動部用ボルト固定孔
３２５ 第３駆動部弁箱側当接面
３３０、３３０ａ、３３０ｂ 第３ボルト
Ａ 弁体、第１弁体、第２弁体、第３弁体
薬液 ａ、ｂ、ｃ
１１、１１ａ、１１ｂ 第１ボルト保持部
１２、１２ａ、１２ｂ、２１、２１ａ、２１ｂ 第２ボルト保持部
１３ 第１固定部
１４、２３ 第２固定部
１５ ボルト頭部接面部材側当接面
１６ 第１ボルト頭部当接面
１７ 第１ボルト保持部弁箱側当接面
１７ａ 第１流路口当接面
１８、２６ 第２ボルト頭部当接面
１９、２７ 第２ボルト保持部弁箱側当接面
１９ａ、２７ａ 第２流路口当接面
２２、２２ａ、２２ｂ 第３ボルト保持部
２４ 第３固定部
２５ ボルト頭部接面部材側当接面
２８ 第３ボルト頭部当接面
２９ 第３ボルト保持部弁箱側当接面
２９ａ 第３流路口当接面
５１、５２ 第２クランプ部材
６０ ボルト頭部接面部材
６１ クランプ部材側当接面
１１０ 第１弁箱ブロック
１１１ 第１接続口
１１２ 第１流路
１１３、１１３ａ、１１３ｂ 第１弁箱用ボルト挿通孔
１１４ 第１フランジ部
１１５ 第１弁箱クランプ側当接面
１１６ 第１弁箱駆動部側当接面
１１７ 第１流路口
１２０、１２０Ａ 第１駆動部ブロック
１２１ 第１弁体動作部材
１２３、１２３ａ、１２３ｂ 第１駆動部用ボルト固定孔
１２５ 第１駆動部弁箱側当接面
１３０、１３０ａ、１３０ｂ 第１ボルト
２１０ 第２弁箱ブロック
２１１ａ、２１１ｂ 第２接続口
２１２ 第２流路
２１３、２１３ａ、２１３ｂ、２１４、２１４ａ、２１４ｂ 第２弁箱用ボルト挿通孔
２１５ 第２弁箱クランプ側当接面
２１６ 第２弁箱駆動部側当接面
２１７ 第２流路口
２１８ａ、２１８ｂ 第２フランジ部
２２０、２２０Ａ 第２駆動部ブロック
２２１ 第２弁体動作部材
２２３、２２３ａ、２２３ｂ、２２４、２２４ａ、２２４ｂ 第２駆動部用ボルト固定孔
２２５ 第２駆動部弁箱側当接面
２３０、２３０ａ、２３０ｂ、２４０、２４０ａ、２４０ｂ 第２ボルト
３１０ 第３弁箱ブロック
３１１ 第３接続口
３１２ 第３流路
３１３、３１３ａ、３１３ｂ 第３弁箱用ボルト挿通孔
３１４ 第３フランジ部
３１５ 第３弁箱クランプ側当接面
３１６ 第３弁箱駆動部側当接面
３１７ 第３流路口
３２０、３２０Ａ 第３駆動部ブロック
３２１ 第３弁体動作部材
３２３、３２３ａ、３２３ｂ 第３駆動部用ボルト固定孔
３２５ 第３駆動部弁箱側当接面
３３０、３３０ａ、３３０ｂ 第３ボルト
Ａ 弁体、第１弁体、第２弁体、第３弁体
薬液 ａ、ｂ、ｃ
Claims (12)
- 第１流路を内部に形成し前記第１流路を開閉する第１弁体を前記内部に配置する第１弁箱ブロックと、
前記第１弁体を動作させる第１弁体動作部材を内部に備える第１駆動部ブロックと、
第２流路を内部に形成し前記第２流路を開閉する第２弁体を前記内部に配置する第２弁箱ブロックと、
前記第２弁体を動作させる第２弁体動作部材を内部に備える第２駆動部ブロックと、
前記第１弁箱ブロックから突出させた第１接続口と、
前記第２弁箱ブロックから突出させた第２接続口と
を有し、
前記第１接続口と前記第２接続口とをつなぐことで前記第１流路と前記第２流路とを連通する弁構造体であって、
前記第１弁箱ブロックには第１ボルトを挿入する第１弁箱用ボルト挿通孔を形成し、
前記第１駆動部ブロックには前記第１ボルトを挿入して前記第１ボルトを固定する第１駆動部用ボルト固定孔を形成し、
前記第２弁箱ブロックには第２ボルトを挿入する第２弁箱用ボルト挿通孔を形成し、
前記第２駆動部ブロックには前記第２ボルトを挿入して前記第２ボルトを固定する第２駆動部用ボルト固定孔を形成し、
前記第１ボルトによって、前記第１弁箱ブロックと前記第１駆動部ブロックとを固定し、
前記第２ボルトによって、前記第２弁箱ブロックと前記第２駆動部ブロックとを固定し、
前記第１接続口と前記第２接続口とをクランプ部材により固定する
ことを特徴とする弁構造体。 - 前記クランプ部材には、前記第１ボルトを挿通して前記第１ボルトを保持する第１ボルト保持部と、前記第２ボルトを挿通して前記第２ボルトを保持する第２ボルト保持部とを形成し、
前記第１ボルトによって前記クランプ部材を、前記第１弁箱ブロックと前記第１駆動部ブロックとに固定し、
前記第２ボルトによって前記クランプ部材を、前記第２弁箱ブロックと前記第２駆動部ブロックとに固定し、
前記第１弁箱用ボルト挿通孔、前記第１駆動部用ボルト固定孔、前記第１ボルト保持部、前記第２弁箱用ボルト挿通孔、前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び前記第２ボルト保持部を、それぞれ一対形成し、
前記第１ボルト及び前記第２ボルトを、それぞれ一対有し、
一方の前記第１ボルトを、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔、及び一方の前記第１ボルト保持部に配置し、
他方の前記第１ボルトを、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔、及び他方の前記第１ボルト保持部に配置し、
一方の前記第２ボルトを、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び一方の前記第２ボルト保持部に配置し、
他方の前記第２ボルトを、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び他方の前記第２ボルト保持部に配置する
ことを特徴とする請求項１に記載の弁構造体。 - 前記第１ボルトを挿通して前記第１ボルトを保持する第１ボルト保持部と、前記第２ボルトを挿通して前記第２ボルトを保持する第２ボルト保持部とを形成した押さえ板材を設け、
前記押さえ板材で前記クランプ部材を押さえ込んで、前記第１ボルトによって前記押さえ板材を、前記第１弁箱ブロックと前記第１駆動部ブロックとに固定し、
前記押さえ板材で前記クランプ部材を押さえ込んで、前記第２ボルトによって前記押さえ板材を、前記第２弁箱ブロックと前記第２駆動部ブロックとに固定し、
前記第１弁箱用ボルト挿通孔、前記第１駆動部用ボルト固定孔、前記第１ボルト保持部、前記第２弁箱用ボルト挿通孔、前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び前記第２ボルト保持部を、それぞれ一対形成し、
前記第１ボルト及び前記第２ボルトを、それぞれ一対有し、
一方の前記第１ボルトを、一方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔、一方の前記第１駆動部用ボルト固定孔、及び一方の前記第１ボルト保持部に配置し、
他方の前記第１ボルトを、他方の前記第１弁箱用ボルト挿通孔、他方の前記第１駆動部用ボルト固定孔、及び他方の前記第１ボルト保持部に配置し、
一方の前記第２ボルトを、一方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔、一方の前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び一方の前記第２ボルト保持部に配置し、
他方の前記第２ボルトを、他方の前記第２弁箱用ボルト挿通孔、他方の前記第２駆動部用ボルト固定孔、及び他方の前記第２ボルト保持部に配置する
ことを特徴とする請求項１に記載の弁構造体。 - 前記第１接続口には第１フランジ部を形成し、
前記第２接続口には第２フランジ部を形成し、
一対の前記第１ボルト保持部の間に、前記第１フランジ部に当接する第１固定部を形成し、
一対の前記第２ボルト保持部の間に、前記第２フランジ部に当接する第２固定部を形成し、
前記第１固定部と前記第２固定部との間に、前記第１フランジ部と前記第２フランジ部とを位置させることで前記第１接続口と前記第２接続口とを固定する
ことを特徴とする請求項２に記載の弁構造体。 - 一対の前記第１ボルト保持部によって前記第１フランジ部のガイダーを形成し、
一対の前記第２ボルト保持部によって前記第２フランジ部のガイダーを形成する
ことを特徴とする請求項４に記載の弁構造体。 - 前記第１固定部及び前記第２固定部を円弧状に形成する
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の弁構造体。 - 前記第１フランジ部と前記第２フランジ部とを挟み込む第２クランプ部材を設け、
前記第１固定部及び前記第２固定部を、前記第１フランジ部及び前記第２フランジ部の一方側に配置し、
前記第２クランプ部材を、前記第１フランジ部及び前記第２フランジ部の他方側に配置する
ことを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか１項に記載の弁構造体。 - 前記第１弁箱用ボルト挿通孔の一方には第１弁箱クランプ側当接面を形成し、
前記第１弁箱用ボルト挿通孔の他方には第１弁箱駆動部側当接面を形成し、
前記第１駆動部用ボルト固定孔の開口には第１駆動部弁箱側当接面を形成し、
前記第１ボルト保持部の一方には前記第１ボルトの第１ボルト頭部当接面を形成し、
前記第１ボルト保持部の他方には第１ボルト保持部弁箱側当接面を形成し、
前記第２弁箱用ボルト挿通孔の一方には第２弁箱クランプ側当接面を形成し、
前記第２弁箱用ボルト挿通孔の他方には第２弁箱駆動部側当接面を形成し、
前記第２駆動部用ボルト固定孔の開口には第２駆動部弁箱側当接面を形成し、
前記第２ボルト保持部の一方には前記第２ボルトの第２ボルト頭部当接面を形成し、
前記第２ボルト保持部の他方には第２ボルト保持部弁箱側当接面を形成し、
前記第１弁箱クランプ側当接面と前記第１ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせ、
前記第１弁箱駆動部側当接面と前記第１駆動部弁箱側当接面とを突き合わせ、
前記第２弁箱クランプ側当接面と前記第２ボルト保持部弁箱側当接面とを突き合わせ、
前記第２弁箱駆動部側当接面と前記第２駆動部弁箱側当接面とを突き合わせる
ことを特徴とする請求項２に記載の弁構造体。 - 前記第１弁箱ブロックから突出させた第１流路口と、
前記第２弁箱ブロックから突出させた第２流路口と
を有し、
前記クランプ部材には、
前記第１流路口に当接する第１流路口当接面と、
前記第２流路口に当接する第２流路口当接面と
を形成する
ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の弁構造体。 - 前記第１流路口当接面と、前記第２流路口当接面とを円弧状に形成する
ことを特徴とする請求項９に記載の弁構造体。 - 前記第１弁箱ブロック及び前記第２弁箱ブロックの少なくとも一方には、複数の弁体と、前記弁体にそれぞれ対応する複数の流路口とを備え、
前記第１駆動部ブロック及び前記第２駆動部ブロックには、前記弁体にそれぞれ対応する複数の弁体動作部材を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の弁構造体。 - 前記第１流路口と前記第２流路口には、それぞれ異なる薬液を導入する
ことを特徴とする請求項９に記載の弁構造体。
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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