JP7390868B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
(半導体装置の構成)
図1は、本実施の形態1に係る半導体装置である半導体チップ100の平面図である。
次に本実施の形態1に係る半導体チップ100の動作について説明する。なお、フローティング層12、フローティング分離層13、FC-GATE14以外のIGBTの基本動作については従来と同じであるため、IGBTの基本動作説明は省略する。従って、ここではフローティング層12、フローティング分離層13、FC-GATE14に特化して、図5乃至図7を用いて説明する。
以上のように、本実施の形態1に係る半導体チップ100では、フローティング層12とボディ層24の間にフローティング分離層13を設けた。また、フローティング層の上部にFC-GATE14を設け、フローティング層12を機能させるかどうかを制御可能とした。これにより、IE効果向上とターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)低減の両立を達成できる。
(半導体装置の構成)
図10Aは、実施の形態1の変形例1に係る半導体チップの要部平面図で、図1の領域4を拡大したものである。図10Bは、図10AのD-D’線に沿った断面図である。
本変形例1に係る半導体チップの動作は、実施の形態1と同じであるため、説明は省略する。
以上のように、本変形例1に係る半導体チップは、実施の形態1と同様に、IE効果向上とターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)低減の両立を達成できる。
更に、変形例1に係る半導体チップは、半導体チップ100と比べて、X軸方向に伸びるトレンチ本数が増えているため、トレンチに対する電界緩和効果を発揮することが可能となる。トレンチのボトム部分には、IGBTの構造上、高電界が発生する。トレンチ本数を増やすことで1本あたりにかかる電界を緩和することができる。また、この副次効果として、ホール排出効果を高めることができる。トレンチボトム部分に高電界がかかると、ホットホールが生じる。ホットホールはトレンチへ悪影響を及ぼし、ゲートの信頼性に悪影響を及ぼす。トレンチへの高電界が緩和されると、ホットホールの悪影響を減らすことができる。
(半導体装置の構成)
図12は、実施の形態1の変形例2に係る半導体チップの要部断面図である。本変形例2は、変形例1をベースにしている。
本変形例2に係る半導体チップの基本動作は、変形例1と同じであるが、FC-GATEに印可する電圧が異なる。まず、ゲートをオフにする場合について説明する。2つのゲート電位トレンチ10a間にp+型の拡散層26が形成されているため、FC-GATE14aに負電圧(-15V)を印可しなくても、フローティング層12(p+型)、フローティング分離層(p+型)、ボディ層24(p+型)は導通することになる(ノーマリーオン)。従って、ゲート・オフ電圧が、例えば0Vでも、フローティング層12からエミッタ電極1にキャリア(ホール)が排出される。
以上のように、本変形例2に係る半導体チップでは、変形例1の効果に加え、ゲート・オフ時に負電圧が不要という効果がある。例えば、0~15Vでゲート駆動されるIGBTには、本変形例2が効果的である。なお、本変形例2は、変形例1をベースに説明したが、実施の形態1にも適用可能である。
(半導体装置の構成)
図13は、実施の形態1の変形例3に係る半導体チップの要部断面図である。本変形例3は、変形例2をベースにしている。
本変形例3では、変形例2と同じ効果をあげることができる。更に、p+型の拡散層26の上下にn+型(拡散層26とフローティング分離層13a)が形成されるため、ホール電流が通過したときに上下から空乏化が促進される。結果、フローティング層12を分離する能力が向上する。また、上述したように、変形例2よりも空乏化しやすくなるため、2つのゲート電位トレンチ10aの間隔を変形例2よりも広くできる。
(半導体装置の構成)
図14は、実施の形態1の変形例4に係る半導体チップの要部断面図である。図14は、図2AのB-B’線に沿った断面図である。
本変形例4に係る半導体チップは、実施の形態1よりも更にIE効果向上を達成することができる。
(半導体装置の構成)
図15Aは、実施の形態2に係る半導体チップの要部平面図で、図1の領域4を拡大したものである。図15Bは、図15AのG-G’線に沿った断面図である。
本実施の形態2に係る半導体チップの動作は、実施の形態1と同様であるが、キャリア(ホール)の排出経路が異なる。本実施の形態2では、キャリアは、フローティング層12、フローティング分離層213、エミッタ電位トレンチ211側に形成されるボディ層24、エミッタ電極1の順の経路で排出される。
以上のように、本実施の形態2に係る半導体チップは、実施の形態1と同様に、IE効果向上とターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)低減の両立を達成できる。更に、本実施の形態2は、ゲート容量を小さくできるという効果がある。例えば、変形例1の場合、上述した通り、ゲート電位トレンチ10aは、第3と第4の形状を有している。第3と第4の形状は、ゲート電位トレンチ10aにとってはゲート容量を増加させる要因となる。一方、本実施の形態2では、第5の形状のみがゲート容量に寄与する。従って、変形例1と比較すると、本実施の形態2のゲート容量は小さくなる。ゲート容量の小ささは、IGBTのスイッチングスピードの高速化につながる。
(半導体装置の構成)
図16Aは、実施の形態2の変形例5に係る半導体チップの要部平面図で、図1の領域4を拡大したものである。図16Bは、図16AのH-H’線に沿った断面図である。
本変形例5に係る半導体チップの動作は、実施の形態2と同様である。キャリア(ホール)の排出経路は、フローティング層12、フローティング分離層213a、エミッタ電位トレンチ211側に形成されるボディ層24、エミッタ電極1の順の経路で排出される。
以上のように、本変形例5に係る半導体チップは、実施の形態2と同様の効果を達成することができる。また、ゲート電位トレンチ210aは、X軸方向の折れ曲がり部分を有しないため、ゲート-エミッタ間容量を低減でき、IGBTのスイッチングスピードを高速化できる。
(半導体装置の構成)
図17Aは、実施の形態2の変形例6に係る半導体チップの要部平面図で、図1の領域4を拡大したものである。図17Bは、図17AのI-I’線に沿った断面図である。
本変形例6に係る半導体チップの動作は、実施の形態2と同様である。キャリア(ホール)の排出経路は、フローティング層12、フローティング分離層213b、エミッタ電位トレンチ211側に形成されるボディ層24、エミッタ電極1の順の経路で排出される。
以上のように、本変形例6に係る半導体チップは、実施の形態2と同様の効果を達成することができる。
(半導体装置の構成)
図18は、実施の形態3に係る半導体チップ300の平面図である。実施の形態1、2では、GE-S型のIGBTで説明したが、図18は、GGEE型のIGBTである。
本実施の形態3に係る半導体チップ300の動作は、実施の形態1、2と同様であるが、キャリア(ホール)の排出経路が異なる。本実施の形態3では、キャリアは、フローティング層312、フローティング分離層313、ボディ層(不図示)、コンタクト315を経由してエミッタ電極1に排出される。
以上のように、本実施の形態3に係る半導体チップ300では、IE型のIGBTの一種であるGGEE型のIGBTでも、実施の形態1、2と同様に、IE効果向上とターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)低減の両立を達成できる。なお、本願は、GE-S型、GGEE型で説明したが、これに限られない。IE型のIGBTの他の型(EGE型など)にも適用可能である。
(半導体装置の構成)
図19Aは、実施の形態4に係る半導体チップの要部平面図で、図1の領域4を拡大したものである。図19Bは、図19AのJ-J’線に沿った断面図である。
本実施の形態4に係る半導体チップの基本動作は実施の形態2と同様であるが、FC-GATE414は、ゲート電位ではなく独立に制御可能である。例えば、ゲート・オン時に+15V、ゲート・オフ時に0Vがゲート電極に印可されるIGBTの場合、ゲート・オン時に+15V、ゲート・オフ時に-15VをFC-GATE414に印可することが可能となる。これにより、実施例1、2で説明したものと同じ効果を得ることができる。あるいは、ゲート・オン時に+15V、ゲート・オフ時に-15Vがゲート電極に印可されるIGBTの場合、ゲート・オン時に+30V、ゲート・オフ時に-30VをFC-GATE414に印可することが可能となる。これにより、フローティング分離層413の反転層の制御性がより向上する。あるいは、ゲート・オン/ゲート・オフのタイミングと、FC-GATEをオン/オフするタイミングをずらすことが可能となる。例えば、ゲート・オフとなるタイミングよりも早いタイミングでFC-GATE414をオン(反転層を形成する電圧を印可)することで、キャリア排出抑制機能がより早く機能する。これにより、ターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)をより低減できる。
以上のように、本実施の形態4に係る半導体チップは、実施の形態1と同様に、IE効果向上とターンオフ時のスイッチング損失(Eoff)低減の両立を達成できる。更に、フローティング分離層413の制御のフレキシビリティを高めることが可能となる。
1 エミッタ電極
2 ゲート電極
3 コレクタ電極
10、10a、210、210a、210b、310、410 ゲート電位トレンチ
11、211、211a、211b、311、411 エミッタ電位トレンチ
12、312 p+型のフローティング層(第1導電型のフローティング層)
13、13a、13d、213、213a、213b、313、413 n+型のフローティング分離層(第2導電型のフローティング分離層)
14、14a、214、214a、214b、314、414 FC-GATE
15 ボディコンタクトSi溝
16 p+型のコレクタ層
17 n+型のフィールドストップ層
18 n-型のドリフト層
19 n+型のホールバリア層
20 ゲート絶縁膜
21 層間絶縁膜
22 n+型のエミッタ層
23 p+型のベース層
24 p+型のボディ層
25 反転層
26 p+型の拡散層
27 n+型の拡散層
Claims (19)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された第1と第2のトレンチ電極と、
前記第1と第2のトレンチ電極の周囲に形成される第1導電型のフローティング層と、
前記第1と第2のトレンチ電極間に形成され、前記第1導電型のフローティング層に接触する第2導電型のフローティング分離層と、
前記第2導電型のフローティング分離層の上部に配置されるフローティング層制御ゲートと、を有する、
半導体装置。 - ゲート電位が供給されるゲート電極と、
エミッタ電位が供給されるエミッタ電極と、を更に有し、
前記第1と第2のトレンチ電極は、前記ゲート電位が与えられる第1と第2のゲート電位トレンチ電極であり、
前記第2導電型のフローティング分離層は、コンタクトを介して前記エミッタ電極に接続される、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1のゲート電位トレンチ電極は、平面視で第1の方向に伸びる直線部分と、第2の方向に伸びる折れ曲がり部分とを有し、
前記第2のゲート電位トレンチ電極は、前記第1のゲート電位トレンチ電極に対し、前記第2の方向に平行な線で線対称な形状である、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第2導電型のフローティング分離層は、前記第1のゲート電位トレンチ電極の折れ曲がり部分と前記第2のゲート電位トレンチ電極の折れ曲がり部分との間に配置される、
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第2の方向に伸びる折れ曲がり部分は、前記直線部分から前記第2の方向に折れ曲がり、再度、前記直線部分に戻る形状である、
請求項4に記載の半導体装置。 - 半導体基板と、
ゲート電位が供給されるゲート電極と、
エミッタ電位が供給されるエミッタ電極と、
前記半導体基板に形成され、前記エミッタ電位が与えられる第1と第2のエミッタ電位トレンチ電極と、
前記第1と第2のエミッタ電位トレンチ電極の周囲に形成される第1導電型のフローティング層と、
前記第1と第2のエミッタ電位トレンチ電極間に形成され、前記第1導電型のフローティング層に接触する第2導電型のフローティング分離層と、
前記第2導電型のフローティング分離層を覆うように配置されるフローティング層制御ゲートと、
を有し、
前記第2導電型のフローティング分離層は、コンタクトを介して前記エミッタ電極に接続される、
半導体装置。 - 前記第1のエミッタ電位トレンチ電極は、平面視で第1の方向に伸びる直線部分と、第2の方向に伸びる折れ曲がり部分とを有し、
前記第2のエミッタ電位トレンチ電極は、前記第1のエミッタ電位トレンチ電極に対し、前記第2の方向に平行な線で線対称な形状である、
請求項6に記載の半導体装置。 - 前記第2導電型のフローティング分離層は、前記第1のエミッタ電位トレンチ電極の折れ曲がり部分と前記第2のエミッタ電位トレンチ電極の折れ曲がり部分との間に配置される、
請求項7に記載の半導体装置。 - 前記第2の方向に伸びる折れ曲がり部分は、前記直線部分から前記第2の方向に折れ曲がり、再度、前記直線部分に戻る形状である、
請求項8に記載の半導体装置。 - 前記第2の方向に伸びる折れ曲がり部分は、更に前記第1の方向に折れ曲がり、再度、前記第2の方向に伸びる折れ曲がり部分に戻る形状である、
請求項8に記載の半導体装置。 - 前記ゲート電位が供給されるゲート電位トレンチ電極を更に有し、
前記ゲート電位トレンチ電極は、前記第1と第2のエミッタ電位トレンチ電極に挟まれる領域に配置され、
前記第2導電型のフローティング分離層は、前記第1のエミッタ電位トレンチ電極の折れ曲がり部分と前記ゲート電位トレンチ電極との間と、前記第2のエミッタ電位トレンチ電極の折れ曲がり部分と前記ゲート電位トレンチ電極の間とに配置される、
請求項7に記載の半導体装置。 - 前記ゲート電位トレンチ電極は、前記第1の方向に伸びる直線部分と、当該直線部分から前記第2の方向に折れ曲がり、再度、前記直線部分に戻る形状である、
請求項11に記載の半導体装置。 - 前記第2の方向に伸びる折れ曲がり部分は、前記直線部分の第1の点から第2の方向に折れ曲がり、再度、前記直線部分の第2の点に戻る形状であり、
前記第1と第2の点の距離は、前記第1のゲート電位トレンチ電極の折れ曲がり部分と前記第2のゲート電位トレンチ電極の折れ曲がり部分の間の距離よりも長い、
請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第2導電型のフローティング分離層の上部に、第1導電型の拡散層を有する、
請求項13に記載の半導体装置。 - 前記第1導電型の拡散層の上部に、第2導電型の拡散層を有する、
請求項14に記載の半導体装置。 - 前記コンタクトを介して前記エミッタ電極に接続される第1導電型のボディ層を更に有し、
前記第2導電型のフローティング分離層は、前記第1導電型のボディ層を覆うように形成される、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板には、アクティブセル領域と、当該アクティブセル領域を囲うように形成される終端領域とが形成され、
前記第1と第2のトレンチ電極と、前記第2導電型のフローティング分離層と、前記フローティング層制御ゲートとで形成される領域は、前記アクティブセル領域に複数設置され、
前記アクティブセル領域の中心部の前記領域の設置密度は、前記終端領域近傍の前記領域の設置密度よりも低い、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記フローティング層制御ゲートは、前記ゲート電極に接続される、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、IE型のIGBTである、
請求項1に記載の半導体装置。
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