JP7390544B2 - ガス保安装置 - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1について、図1~図2を用いて説明する。
以下、実施の形態2について、図3~図4を用いて説明する。なお、図3おいて、図1で説明した同一機能については同一番号で示す。
うことで正確な圧力値を測定できると共に、外的要因によるノイズ等は一時的に発生するので、ノイズ等がない通常の測定では、1つの圧力測定時間における絶対圧圧力センサの駆動回数を削減できるため、消費電力を大幅に削減することができる。
101 流路
102 遮断弁
103 流量計測部
104、204 制御回路
105 ガス側絶対圧圧力センサ(第1の圧力センサ)
106 大気側絶対圧圧力センサ(第2の圧力センサ)
107 電子回路(計測回路)
108 圧力値遷移検知手段
109、209 センサ駆動制御手段
110 ガス圧力判定手段
201 ガス側圧力値採取手段(第1の圧力値採取手段)
202 大気側圧力値採取手段(第2の圧力値採取手段)
205 駆動停止判定手段
220 ガス側前回値比較手段
221 大気側前回値比較手段
Claims (3)
- ガスを流すための流路と、
前記流路を流れるガスの流量を測定するための流量計測部と、
前記流路の内部に配置され、前記ガスの絶対圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記流路の外部に配置され、大気圧の絶対圧力を測定する第2の圧力センサと、
前記第1の圧力センサもしくは、前記第2の圧力センサの遷移状態を検知する圧力値遷移検知手段と、
前記圧力値遷移検知手段が前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサのうち一方の圧力センサの遷移状態を検知した場合において、前記圧力値遷移検知手段の遷移の値が所定値以上変化した場合に、前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサのうち他方の圧力センサを駆動して前記他方の圧力センサに圧力を計測させるセンサ駆動制御手段と、
前記第1の圧力センサと前記第2の圧力センサが共に駆動している時の圧力の差からガス供給圧を算出するガス圧力判定手段と、
前記流路を遮断する遮断弁と、
前記流量計測部を制御すると共に、前記流量計測部で測定した流量や前記ガス圧力判定手段で測定した圧力で異常と判定した場合に前記遮断弁で前記流路を遮断する制御回路と、を備えたガス保安装置。 - 前記流量計測部は前記流路の内部に配置された計測回路を有し、前記第1の圧力センサは前記計測回路上に構成され、
前記制御回路は前記流路の外部に配置され、前記第2の圧力センサは前記制御回路上に配置された請求項1に記載のガス保安装置。 - 前記流量計測部は、超音波センサと前記超音波センサを駆動して流量計測を行う計測回路を一体とした超音波流量計測部を備え、
前記超音波流量計測部をガス雰囲気中に設置するとともに、前記超音波流量計測部に前記第1の圧力センサを備え、前記制御回路で前記超音波流量計測部を制御することによって、超音波センサ駆動回路上の前記第1の圧力センサも制御する請求項1又は2に記載のガス保安装置。
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