JP7389076B2 - 基板搬送機構及びこれを用いた基板搬送方法 - Google Patents
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- 気相成長用の反応炉室に隣接する搬送室内に設けられ、前記反応炉室に対して基板支持部材の収納又は取り出し動作を行う搬送用ロボットと、該搬送用ロボットに付設される基板入替装置とを備えている基板搬送機構において、
前記基板支持部材は、基板が載置されるトレイと、該トレイを周方向に複数並べて配置した円盤状のサセプタカバーとを有し、
前記サセプタカバーは、前記トレイの外形に対応する開口形状のトレイ保持部を有するとともに、該トレイ保持部に前記トレイを保持してなり、
前記搬送用ロボットは、前記トレイ保持部に保持したトレイを前記サセプタカバーの径方向に移動させる多関節アームと、前記トレイを前記サセプタカバーの周方向に移動させる回転装置とを備えていることを特徴とする基板搬送機構。 - 前記基板入替装置は、前記サセプタカバーに対して基板を昇降させる昇降装置を備え、
前記搬送用ロボットは、前記回転装置に作動指令を与えて、複数の前記トレイ保持部にそれぞれ保持したトレイを、順次、間欠的に前記昇降装置と上下重なり合う位置に移動させる回転位相角制御手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の基板搬送機構。 - 前記昇降装置は、上動位置で前記基板を載置する上下出没可能な突き上げピンを備えていることを特徴とする請求項2記載の基板搬送機構。
- 請求項3記載の基板搬送機構を用いた基板搬送方法であって、
前記回転位相角制御手段により前記トレイを前記昇降装置と上下重なり合う位置に移動する位置だし工程と、
前記昇降装置を作動させて前記突き上げピンを上動位置に移動するピン上昇工程と、
基板を前記突き上げピン上に載置するピン上載置工程と、
前記突き上げピンを下動位置に戻して前記トレイに基板を載置するトレイ上載置工程と、を順に行うことを特徴とする基板搬送方法。
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