JP7386138B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
本実施形態では、本発明にかかる配線基板の一例として、電子部品の電気特性検査に用いられる検査用配線基板1を例に挙げて説明する。この検査用配線基板1は、複数の半導体素子が形成されたウエハの電気検査を一括して行うための試験治具である。本実施形態にかかる検査用配線基板1は、複数の半導体素子が高密度に配置された高精細のウエハの電気検査に好適に用いられる。
以下には、接続ラインの幅の異なる複数の検査用配線基板を用いて電気特性検査を行った結果を示す。この実験では、樹脂コート層が設けられていない検査用配線基板を使用した。
以上のように、本実施形態にかかる検査用配線基板1は、絶縁基板21を備えている。絶縁基板21の表面1A上には、少なくとも一つのプローブパッド11、および少なくとも一つのカバーパッド12などが形成されている。プローブパッド11には、電子部品の電気特性検査時に検査用プローブが当接する。カバーパッド12は、接続ライン15を介してプローブパッド11と電気的に接続されている。絶縁基板21の裏面1B上には、裏面側パッド13が形成されている。裏面側パッド13は、接続ビア27を介してカバーパッド12と電気的に接続されている。
第2の実施形態では、樹脂コート層のパターン形状が第1の実施形態とは異なる検査用配線基板を例に挙げて説明する。以下では、第1の実施形態とは異なる点を中心に説明する。
第3の実施形態では、樹脂コート層のパターン形状が第1および第2の実施形態とは異なる検査用配線基板を例に挙げて説明する。以下では、第1の実施形態とは異なる点を中心に説明する。
1A :(検査用配線基板または絶縁基板の)表面(第1面)
1B :(検査用配線基板または絶縁基板の)裏面(第2面)
11 :プローブパッド
12 :カバーパッド
13 :裏面側パッド
15 :接続ライン
21 :絶縁基板
31 :樹脂コート層
31b :(カバーパッドの)露出部(第2の露出部)
32 :(接続ラインの)露出部(露出部)
131 :樹脂コート層
231 :樹脂コート層
Claims (6)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の第1面上に形成され、電子部品の電気特性検査において検査用プローブが当接する少なくとも一つのプローブパッドと、
前記絶縁基板の前記第1面上に形成され、前記プローブパッドと電気的に接続されている少なくとも一つのカバーパッドと、
前記第1面と反対側の第2面上に形成されており、前記カバーパッドと接続ビアを介して電気的に接続されている裏面側パッドと
を備え、
前記第1面上には、前記カバーパッドを少なくとも被覆し、かつ、前記プローブパッドを被覆しない樹脂コート層が設けられている、配線基板。 - 前記第1面上には、前記プローブパッドと前記カバーパッドとを電気的に接続し、幅が25μm以下となっている接続ラインがさらに設けられており、
前記樹脂コート層は、前記接続ラインの少なくとも一部を被覆している、請求項1に記載の配線基板。 - 前記第1面上には、前記プローブパッドと前記カバーパッドとを電気的に接続する接続ラインがさらに設けられており、
前記接続ラインのうち、前記プローブパッドとの接続部は、前記樹脂コート層が設けられていない露出部となっている、請求項1に記載の配線基板。 - 前記接続ラインは、幅が25μm以下となっている、請求項3に記載の配線基板。
- 前記カバーパッドの一部には、前記樹脂コート層が設けられていない第2の露出部が存在する、請求項1から4の何れか1項に記載の配線基板。
- 前記プローブパッド、および前記カバーパッドは、複数設けられており、
第1のカバーパッドと第2のカバーパッドとの間には、
第3のプローブパッドと第3のカバーパッドとを電気的に接続する第3の接続ラインと、
第4のプローブパッドと第4のカバーパッドとを電気的に接続する第4の接続ラインと、
が設けられており、
前記樹脂コート層は、前記第3の接続ラインおよび前記第4の接続ラインを被覆している、
請求項1から5の何れか1項に記載の配線基板。
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