JP7372194B2 - プローブおよび電気的接続装置 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 223
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
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- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0416—Connectors, terminals
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
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Description
図1に、本発明の第1の実施形態に係るプローブを第1プローブ101および第2プローブ102として使用する電気的接続装置1を示す。以下において、第1の実施形態に係るプローブを「プローブ10」と称する。電気的接続装置1は、被検査体2の測定に使用する。
図1では、プローブヘッド20の貫通孔の壁面に被覆した導電膜14によって第1プローブ101と第2プローブ102が電気的に接続する例を示した。図1に示した方法以外にも、第1プローブ101と第2プローブ102を電気的に接続するために種々の方法を採用可能である。
図1に示した電気的接続装置1では、第1プローブ101と第2プローブ102のいずれもが引きバネ12を有するプローブ10である。しかし、第1プローブ101と第2プローブ102のいずれか一方をプローブ10にして、他方を中心軸方向に沿った長さが固定のプローブ(以下において「固定長プローブ」という。)にしてもよい。バネ部のない固定長プローブを第1プローブ101と第2プローブ102の一方に使用しても、他方のプローブ10の引きバネ12が伸長することにより、第1プローブ101が所定の押圧で被検査体に接触する。
本発明の第2の実施形態に係るプローブ10aは、図10に示すように、引きバネ12をバレル11の内部に配置したポゴピン型である。プローブ10aでは、引きバネ12の一方の端部は、固定点P1において、バレル11の内部に配置したプランジャー13の基端部に固定される。引きバネ12の他方の端部は、プランジャー13の基端部よりも先端部に近い固定点P2でバレル11に固定される。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2…被検査体
10…プローブ
11…バレル
12…引きバネ
13…プランジャー
14…導電膜
15…金属球
16…板バネ
20…プローブヘッド
30…配線基板
40…固定プランジャー
100…比較プローブ
101…第1プローブ
102…第2プローブ
Claims (10)
- 中心軸方向に沿って伸縮する引きバネを有する管形状のバレルと、
基端部が前記バレルの内部に位置し、前記バレルの一方の開口端から先端部が露出するプランジャーと
を備え、
前記引きバネの一方の端部が、前記プランジャーの基端部に固定され、
前記引きバネの他方の端部が、前記プランジャーの基端部よりも先端部に近い位置で前記バレルに固定された
ことを特徴とするプローブ。 - 前記引きバネが、前記バレルの側面を貫通する螺旋状の切り込みを形成した領域であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記引きバネを前記バレルの内部に配置したことを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記引きバネがコイル型引きバネであり、前記プランジャーが前記バレルの内部で前記引きバネの内側を通過することを特徴とする請求項3に記載のプローブ。
- 前記バレルの他方の開口端から先端部が露出し、基端部が前記バレルの内部に位置する、中心軸方向に沿った長さが固定の固定プランジャーを更に備え、
前記プランジャーと前記固定プランジャーが、前記バレルの内部で電気的に接続することを特徴とする請求項3又は4に記載のプローブ。 - 少なくともいずれかが請求項1又は2に記載のプローブである第1プローブおよび第2プローブと、
第1主面から前記第1主面に対向する第2主面まで貫通する貫通孔を有するプローブヘッドであって、前記第1主面に先端部を露出して前記第1プローブが前記貫通孔に挿入され、前記第2主面に先端部を露出して前記第2プローブが前記貫通孔に挿入されたプローブヘッドと
を備え、
前記プランジャーの先端部が露出する前記バレルの開口端が、前記プローブヘッドの前記貫通孔の開口部で固定され、
前記第1プローブと前記第2プローブが前記プローブヘッドの内部で電気的に接続する
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記プローブヘッドの前記貫通孔の壁面を導電膜が被覆し、前記導電膜を介して前記第1プローブと前記第2プローブが電気的に接続することを特徴とする請求項6に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブヘッドの前記貫通孔の内部に配置した導電性を有する接続部材を更に備え、
前記引きバネが伸長した状態において、前記接続部材を介して前記第1プローブの基端部と前記第2プローブの基端部が電気的に接続することを特徴とする請求項6に記載の電気的接続装置。 - 前記接続部材が、前記貫通孔の内壁に沿って自在に移動可能な球状体であることを特徴とする請求項8に記載の電気的接続装置。
- 前記接続部材が板バネであることを特徴とする請求項8に記載の電気的接続装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020068041A JP7372194B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | プローブおよび電気的接続装置 |
CN202110340594.0A CN113495175A (zh) | 2020-04-06 | 2021-03-30 | 探针和电连接装置 |
TW110112169A TWI788813B (zh) | 2020-04-06 | 2021-04-01 | 探針及電性連接裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020068041A JP7372194B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | プローブおよび電気的接続装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021165638A JP2021165638A (ja) | 2021-10-14 |
JP7372194B2 true JP7372194B2 (ja) | 2023-10-31 |
Family
ID=77997558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020068041A Active JP7372194B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | プローブおよび電気的接続装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7372194B2 (ja) |
CN (1) | CN113495175A (ja) |
TW (1) | TWI788813B (ja) |
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JP2014119435A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Enplas Corp | プローブピンユニット及びicソケット |
KR101841107B1 (ko) * | 2016-04-27 | 2018-03-22 | 주식회사 아이에스시 | 양분형 탐침 장치 |
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-
2020
- 2020-04-06 JP JP2020068041A patent/JP7372194B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-30 CN CN202110340594.0A patent/CN113495175A/zh active Pending
- 2021-04-01 TW TW110112169A patent/TWI788813B/zh active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021165638A (ja) | 2021-10-14 |
TWI788813B (zh) | 2023-01-01 |
TW202138817A (zh) | 2021-10-16 |
CN113495175A (zh) | 2021-10-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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