JP7371337B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る液体噴射装置100を例示する構成図である。第1実施形態の液体噴射装置100は、液体の一例であるインクを媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体12として利用される。図1に例示される通り、液体噴射装置100には、インクを貯留する液体容器14が設置される。例えば液体噴射装置100に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが、液体容器14として利用される。色彩または特性が相違する複数種のインクが液体容器14には貯留される。
第2実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
図11は、第3実施形態における振動板33および圧電素子34の断面図であり、第1実施形態で参照した図5に対応する断面が図示されている。図11に例示される通り、第3実施形態においてはバリア層37Cが形成される。バリア層37Cは、振動板33の第2領域Q2内において第1層331と第2層332との間に位置する。具体的には、バリア層37Cは、平面視で第1領域Q1を包囲するように第2領域Q2内に矩形枠状に形成される。バリア層37Cの形成には、第2実施形態と同様に、第1層331および第2層332との密着性が高い金属酸化物が好適に利用される。例えば、酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化ハフニウム、酸化タンタル、または酸化チタン等の金属酸化物が、バリア層37Cの材料として好適である。
図12は、第4実施形態における振動板33および圧電素子34の断面図であり、第1実施形態で参照した図5に対応する断面が図示されている。図12に例示される通り、第4実施形態においては、第3実施形態と同様に、振動板33の第2領域Q2内において第1層331と第2層332との間に位置するバリア層37Cが形成される。バリア層37Cは、第3実施形態の説明の通り、第2領域Q2内において第1層331と第2層332との界面Fxを覆う。バリア層37Cの形成に利用される材料は、第3実施形態と同様である。
図13は、第5実施形態における液体噴射装置100の部分的な構成を例示する断面図である。図13に例示される通り、第5実施形態の液体噴射装置100は、液体噴射ヘッド26と収容体27と給気機構28とを具備する。液体噴射ヘッド26は、第1実施形態から第4実施形態の何れかと同様の構成である。したがって、第5実施形態においても第1実施形態から第4実施形態と同様の効果が実現される。
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
Claims (16)
- 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記第1領域の周縁に沿う環状に形成される
液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記第2層には、前記第1層を露出させる開口部が前記第2領域内に形成され、
前記バリア層のうち前記開口部の内部に位置する部分は、当該開口部の内壁面と前記第1層の表面とに接触する
液体噴射ヘッド。 - 前記第2層には、前記第1層を露出させる開口部が前記第2領域内に形成され、
前記バリア層のうち前記開口部の内部に位置する部分は、当該開口部の内壁面と前記第1層の表面とに接触する
請求項1の液体噴射ヘッド。 - 前記第2層は、前記複数の圧力室に重なる第1部分と、前記第1部分を包囲する第2部分とを含み、
前記開口部は、前記第1部分と前記第2部分との間隙である
請求項2または請求項3の液体噴射ヘッド。 - 前記開口部は、平面視で前記第2領域に内包される
請求項2から請求項4の何れかの液体噴射ヘッド。 - 前記複数の圧力室は、平面視で前記第1領域内に位置する
請求項1から請求項5の何れかの液体噴射ヘッド。 - 前記複数の圧電素子は、第1素子列を構成する2以上の圧電素子と、前記第1素子列に対して間隔をあけて並設される第2素子列を構成する2以上の圧電素子とを含む
請求項1から請求項6の何れかの液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記複数の圧電素子は、第1素子列を構成する2以上の圧電素子と、前記第1素子列に対して間隔をあけて並設される第2素子列を構成する2以上の圧電素子とを含み、
前記第1素子列と前記第2素子列との間において、前記第1層は前記第2層から露出しない
液体噴射ヘッド。 - 前記第1電極は、前記複数の圧電素子の各々について前記第1領域内に形成された個別電極であり、
前記第2電極は、前記第1領域と前記第2領域とに形成され、前記複数の圧電素子にわたり連続する共通電極である
請求項1から請求項8の何れかの液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記第1電極は、前記複数の圧電素子の各々について前記第1領域内に形成された個別電極であり、
前記第2電極は、前記第1領域と前記第2領域とに形成され、前記複数の圧電素子にわたり連続する共通電極であり、
前記個別電極に平面視で重なる領域内において前記第1層は前記第2層から露出しない
液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記圧電素子は、前記第2電極に接続して電圧が印加される導電層を具備し、
前記バリア層は、前記導電層と同一の材料で形成される
液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化チタンの何れかで形成される
液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室と、
第1層と第2層との積層を含み、前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の平面視において前記振動板のうち第1領域上に前記各圧力室に対応して形
成された複数の圧電素子と、
前記振動板のうち前記第1領域を包囲する第2領域内において前記第1層と前記第2層
との界面を覆うバリア層と、
を具備し、
前記複数の圧電素子の各々は、第2電極と圧電体層と第1電極との積層を含み、
前記圧電素子のうち、当該積層の方向にみて、前記圧力室と、前記第2電極と、圧電体層と、第1電極と、がいずれも重なる部分を能動部としたとき、
前記バリア層は、当該積層の方向にみて、前記能動部と少なくとも一部が重ならず、
前記第2領域内において前記第1層と前記第2層との間に位置する
液体噴射ヘッド。
- 請求項1から請求項13の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
- 前記液体噴射ヘッドを収容する空間が形成された収容体と、
前記空間内に設置される吸湿剤と
を具備する請求項14の液体噴射装置。
- 前記空間内に乾燥気体を供給する給気機構
を具備する請求項15の液体噴射装置。
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