JP7342497B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
1-1.液体吐出装置100の全体構成
図1は、第1実施形態に係る液体吐出装置100を例示する構成図である。なお、以下では、説明の便宜上、X軸、Y軸、およびZ軸を適宜用いて説明する。X軸、Y軸、およびZ軸は互いに直交する。また、X軸のうち矢印の指す方向を+X方向、その反対方向を-X方向とする。なお、Y軸およびZ軸についても同様である。また、+Z方向を「上」とし、-Z方向を「下」とする。また、本明細書において「要素Aの上部に要素Bが配置される」という表現は、要素Aと要素Bとが直接的に接触する構成に限定されない。要素Aと要素Bとが直接的に接触していない構成も、「要素Aの上部に要素Bが配置される」という概念に包含される。
図2は、液体吐出ヘッド26の分解斜視図である。図3は、図2おけるa-a線の断面図である。図3に図示された断面は、X-Z平面に平行な断面である。Z軸は、液体吐出ヘッド26によるインクの吐出方向に沿う軸線である。
図4は、圧電素子34およびその近傍の平面図である。なお、図4においては、後述の第2電極342には便宜上ドットが付されている。また、図5は、図4におけるb-b線の断面図である。
図5および図6を参照しつつ振動板33を説明する。図6は、振動板33および圧電体343の一部を拡大した平面図である。なお、図6においては、第2電極342の図示は省略されている。図6においては、後述の第2領域A2には、便宜上、ドットが付されている。
図7は、振動板33の製造工程の流れを例示するフローチャートである。図7に例示される通り、振動板33の製造工程は、第1層形成工程S1と絶縁膜形成工程S2とマスク形成工程S3とエッチング工程S4とマスク除去工程S5と第2層形成工程S6と弾性膜形成工程S7と第3層形成工程S8とを含む。以下、各工程を順次説明する。
第2実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第3実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第4実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第3実施形態と同様である要素については、第3実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第5実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第6実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第5実施形態と同様である要素については、第5実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第7実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第8実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第7実施形態と同様である要素については、第7実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第9実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第7実施形態と同様である要素については、第7実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第10実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第7実施形態と同様である要素については、第7実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第11実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第7実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
以上に例示した各実施形態は多様に変形され得る。前述の各実施形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
Claims (15)
- ノズルが形成される第1基板と、
前記第1基板の上部に配置される第2基板と、
駆動信号が印加されることで液体を吐出するエネルギーを生成する圧電素子であって、
圧電体と、前記圧電体の下部に形成される第1電極と、前記圧電体の上部に形成される第
2電極とを有する前記圧電素子と、
前記圧電素子によって生成される前記エネルギーにより振動し、前記第2基板に積層さ
れる振動板と、を有し、
前記振動板は、第1領域と、前記第1領域と異なる位置に位置し、前記第1領域の弾性
率よりも弾性率が低い第2領域と、を有し、
前記振動板は、酸化ケイ素を含む第1層と、酸化ジルコニウムを含む第2層と、金、銀
、銅、白金、鉄、ニッケル、クロム、チタン、イリジウム、およびタンタルのいずれかを
含む第3層を有し、
前記第1領域と前記第2領域は、厚さが等しいことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記第1基板と前記振動板との間に位置し、前記第2基板の壁面により形成される空間
において、前記第2領域は前記第1領域よりも前記壁面に近いことを特徴とする請求項1
に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2領域は、前記振動板の厚さ方向から見る平面視で前記壁面と重なり、
前記第1領域は、前記平面視で前記壁面と重ならないことを特徴とする請求項2に記載
の液体吐出ヘッド。 - 前記第1基板と前記振動板との間に位置し、前記第2基板の壁面により形成される空間
において、前記第2領域は前記第1領域よりも前記圧電素子の端に近いことを特徴とする
請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2領域は、前記振動板の厚さ方向から見る平面視で前記圧電素子の端と重なり、
前記第1領域は、前記平面視で前記圧電素子の端と重ならないことを特徴とする請求項
4に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第1領域は、前記第1層を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に
記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第1領域は、前記第2層を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に
記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第1領域は、前記第3層を含まないことを特徴とする請求項1から7のいずれか1
項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2領域は、前記第1層を含むことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に
記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2領域は、前記第2層を含まないことを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘ
ッド。 - 前記第2領域は、前記第3層を含むことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項
に記載の液体吐出ヘッド。 - ノズルが形成される第1基板と、
前記第1基板の上部に配置される第2基板と、
駆動信号が印加されることで液体を吐出するエネルギーを生成する圧電素子であって、
圧電体と、前記圧電体の下部に形成される第1電極と、前記圧電体の上部に形成される第
2電極とを有する前記圧電素子と、
前記圧電素子によって生成される前記エネルギーにより振動し、前記第2基板に積層さ
れる振動板と、を有し、
前記振動板は、第1領域と、前記第1領域と異なる位置に位置し、前記第1領域の弾性
率よりも弾性率が低い第2領域と、を有し、
前記振動板は、酸化ケイ素を含む第1層と、酸化ジルコニウムを含む第2層と、金、銀
、銅、白金、鉄、ニッケル、クロム、チタン、イリジウム、およびタンタルのいずれかを
含む第3層を有し、
前記第1領域は、前記第3層を含まないすることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - ノズルが形成される第1基板と、
前記第1基板の上部に配置される第2基板と、
駆動信号が印加されることで液体を吐出するエネルギーを生成する圧電素子であって、
圧電体と、前記圧電体の下部に形成される第1電極と、前記圧電体の上部に形成される第
2電極とを有する前記圧電素子と、
前記圧電素子によって生成される前記エネルギーにより振動し、前記第2基板に積層さ
れる振動板と、を有し、
前記振動板は、第1領域と、前記第1領域と異なる位置に位置し、前記第1領域の弾性
率よりも弾性率が低い第2領域と、を有し、
前記振動板は、酸化ケイ素を含む第1層と、酸化ジルコニウムを含む第2層と、金、銀
、銅、白金、鉄、ニッケル、クロム、チタン、イリジウム、およびタンタルのいずれかを
含む第3層を有し、
前記第2領域は、前記第1層を含み、前記第2層を含まないことを特徴とする液体吐出
ヘッド。 - ノズルが形成される第1基板と、
前記第1基板の上部に配置される第2基板と、
駆動信号が印加されることで液体を吐出するエネルギーを生成する圧電素子であって、
圧電体と、前記圧電体の下部に形成される第1電極と、前記圧電体の上部に形成される第
2電極とを有する前記圧電素子と、
前記圧電素子によって生成される前記エネルギーにより振動し、前記第2基板に積層さ
れる振動板と、を有し、
前記振動板は、第1領域と、前記第1領域と異なる位置に位置し、前記第1領域の弾性
率よりも弾性率が低い第2領域と、を有し、
前記振動板は、酸化ケイ素を含む第1層と、酸化ジルコニウムを含む第2層と、金、銀
、銅、白金、鉄、ニッケル、クロム、チタン、イリジウム、およびタンタルのいずれかを
含む第3層を有し、
前記第2領域は、前記第3層を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 請求項1から14のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装
置。
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