JP7370546B1 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性波デバイスは、圧電基板と、複数の直列共振器を備える。複数の直列共振器は、第1直列共振器S1と第2直列共振器S2を含む。第1直列共振器は、少なくとも第1~第3直列分割共振器D1~D3を含む。第2直列共振器は、少なくとも第4~第6直列分割共振器D4~D6を含む。第1直列分割共振器D1、第2直列分割共振器D2及び第3直列分割共振器D3のうち、最初に電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器の***振周波数は第1***振周波数であり、他の直列分割共振器の***振周波数は第2***振周波数であり、第4直列分割共振器D4、第5直列分割共振器D5及び第6直列分割共振器D6のうち、中央に配置された直列分割共振器の***振周波数は第2***振周波数であり、他の直列分割共振器の***振周波数は第1***振周波数である。
【選択図】図3
Description
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された入力パッドと、
前記圧電基板上に形成された出力パッドと、
前記圧電基板上に形成されたグランドパッドと、
前記圧電基板上に形成された複数の直列共振器および複数の並列共振器と、
を備え、
前記複数の直列共振器および前記複数の並列共振器はバンドパスフィルタを構成しており、
前記複数の直列共振器は、第1直列共振器と第2直列共振器を含む、3個以上の直列共振器を有し、
前記第1直列共振器は、少なくとも第1直列分割共振器、第2直列分割共振器および第3直列分割共振器を含み、
前記第2直列共振器は、前記第1直列共振器よりも前記入力パッドから電気的に離れた位置に配置され、前記入力パッド、前記出力パッドおよび前記グランドパッドのいずれとも直接接続されておらず、前記第1直列共振器よりも放熱されにくく、かつ、少なくとも第4直列分割共振器、第5直列分割共振器および第6直列分割共振器を含み、
前記第1直列分割共振器、前記第2直列分割共振器および前記第3直列分割共振器のうち、最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器の***振周波数は、第1***振周波数であり、前記最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器以外の直列分割共振器の***振周波数は、前記第1***振周波数よりも高周波である第2***振周波数であり、
前記第1***振周波数および前記第2***振周波数は前記バンドパスフィルタの通過帯域において最も高い周波数よりも高い周波数であり、
前記第4直列分割共振器、前記第5直列分割共振器および前記第6直列分割共振器のうち、中央に配置された直列分割共振器の***振周波数は、前記第2***振周波数であり、前記中央に配置された直列分割共振器以外の直列分割共振器の***振周波数は、前記第1***振周波数である弾性波デバイスとした。
前記第1直列分割共振器、前記第2直列分割共振器および前記第3直列分割共振器のうち、最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器は、前記第4直列分割共振器、前記第5直列分割共振器および前記第6直列分割共振器のうち、中央に配置された直列分割共振器よりも電極指の数が多いことが、本開示の一形態とされる
図1は、実施の形態1にかかる弾性波デバイスを示す断面図である。
図8は、実施の形態2の弾性波デバイスが適用されるモジュールの縦断面図である。なお、実施の形態2の部分と同一又は相当部分には同一符号が付される。当該部分の説明は省略される。
23 配線基板
24 外部接続端子
25 デバイスチップ
26 電極パッド
27 バンプ
28 封止部
29 空隙
30 送信フィルタ
IN 入力パッド
ANT アンテナパッド
GNG グランドパッド
S1 第1直列共振器
S2 第2直列共振器
D1~D6 第1直列分割共振器~第6直列分割共振器
P1 第1並列共振器
P2 第2並列共振器
52 弾性波素子、 52a IDT、 52b 反射器、 52c 櫛形電極、 52d 電極指
100 モジュール、 111 インダクタ、 117 封止部、 130 配線基板、 131 外部接続端子、 IC 集積回路部品
Claims (7)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された入力パッドと、
前記圧電基板上に形成された出力パッドと、
前記圧電基板上に形成されたグランドパッドと、
前記圧電基板上に形成された複数の直列共振器および複数の並列共振器と、
を備え、
前記複数の直列共振器および前記複数の並列共振器はバンドパスフィルタを構成しており、
前記複数の直列共振器は、第1直列共振器と第2直列共振器を含む、3個以上の直列共振器を有し、
前記第1直列共振器は、少なくとも第1直列分割共振器、第2直列分割共振器および第3直列分割共振器を含み、
前記第2直列共振器は、前記第1直列共振器よりも前記入力パッドから電気的に離れた位置に配置され、前記入力パッド、前記出力パッドおよび前記グランドパッドのいずれとも直接接続されておらず、前記第1直列共振器よりも放熱されにくく、かつ、少なくとも第4直列分割共振器、第5直列分割共振器および第6直列分割共振器を含み、
前記第1直列分割共振器、前記第2直列分割共振器および前記第3直列分割共振器のうち、最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器の***振周波数は、第1***振周波数であり、前記最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器以外の直列分割共振器の***振周波数は、前記第1***振周波数よりも高周波である第2***振周波数であり、
前記第1***振周波数および前記第2***振周波数は前記バンドパスフィルタの通過帯域において最も高い周波数よりも高い周波数であり、
前記第4直列分割共振器、前記第5直列分割共振器および前記第6直列分割共振器のうち、中央に配置された直列分割共振器の***振周波数は、前記第2***振周波数であり、前記中央に配置された直列分割共振器以外の直列分割共振器の***振周波数は、前記第1***振周波数である弾性波デバイス。 - 前記複数の直列共振器および前記複数の並列共振器は複数の電極指を有するIDT電極を含み、
前記第1直列分割共振器、前記第2直列分割共振器および前記第3直列分割共振器のうち、最初に前記入力パッドから印加された電気信号が印加される位置に配置された直列分割共振器は、前記第4直列分割共振器、前記第5直列分割共振器および前記第6直列分割共振器のうち、中央に配置された直列分割共振器よりも電極指の数が多い請求項1に記載の弾性波デバイス。 - 前記圧電基板は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムの単結晶からなる基板である請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板の前記複数の直列共振器および前記複数の並列共振器が形成された主面とは反対の主面に支持基板を備える請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記支持基板は、サファイア、シリコン、アルミナ、スピネル、水晶またはガラスからなる基板である請求項4に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板と前記支持基板は、ファンデルワールス力により接合されている請求項4に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを備えるモジュール。
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