JP7368424B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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Description
Claims (3)
- ワークとブレードとを相対的に移動させながら前記ワークを前記ブレードによって切削加工するダイシング装置であって、
前記ブレードに備えられ、ブレード情報を記憶する記憶手段と、
前記ブレードが使用された場合、前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報を最新の状態に更新する更新手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報に基づいて、前記ブレードによる前記ワークの切削加工を制御する制御手段と、
を備えるダイシング装置。 - 前記記憶手段に記憶された前記ブレード情報に基づいて、前記ブレードが使用可能であるか否かを判定する判定手段を更に備える、
請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記記憶手段はRFIDタグである、
請求項1又は2に記載のダイシング装置。
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Patent Citations (1)
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