JP7363666B2 - 計測装置 - Google Patents

Description

本発明は、それぞれに物品が収容される複数の収容部と、物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置に関する。

このような計測装置の一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、この背景技術の説明（「背景技術」及び「発明が解決しようとする課題」の説明）では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。

特許文献１の計測装置（２）は、搬送装置（４０）によって搬送可能、かつ、複数の収容部（２２）のそれぞれに収容可能に構成された支持部（４）と、当該支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機（１６）と、を備えている。

特許文献１の計測装置（２）によれば、支持部（４）がいずれかの収容部（２２）に収容された状態で、パーティクルの量を計測機（１６）によって計測することにより、作業者が収容部（２２）に立ち入ることなく、容易に収容部（２２）の清浄度を測定できる。

特開２００７－２９７１９６号公報

ところで、特許文献１の計測装置（２）が用いられる物品搬送設備では、各ファンフィルタユニット（２８）により各収容部の清浄度が適切に維持されているが、いずれかのファンフィルタユニット（２８）に異常が生じた場合、当該ファンフィルタユニットが設けられた収容部（２２）の清浄度が不十分となるおそれがある。そのため、計測機（１６）によって計測されたパーティクルの量が規定の閾値よりも多い場合等であって、ファンフィルタユニット（２８）の不具合が予想される場合には、ファンフィルタユニット（２８）のフィルタの検査（リーク検査）を行うことがある。

このようなファンフィルタユニットのリーク検査は、これまで、作業者が収容部に立ち入り、ファンフィルタユニットの全体に集気ダクトを当てた状態で、当該集気ダクトによって集めたファンフィルタユニットからの供給気体に含まれるパーティクルの量を、計測機を用いて計測する、というような作業を行っていた。しかしながら、作業者が収容部に立ち入る必要があるため、作業が煩雑になったり、清浄度の低下を招いたりするという課題があった。

そこで、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる計測装置の実現が望まれる。

上記に鑑みた、計測装置の特徴構成は、
それぞれに物品が収容される複数の収容部と、前記物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、前記収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の前記収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置であって、
前記搬送装置によって搬送可能、かつ、複数の前記収容部のそれぞれに収容可能に構成された支持部と、
前記支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機と、
前記計測機に取り付けられた集気ダクトと、を備え、
前記集気ダクトは、前記支持部が複数の前記収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられた前記ファンフィルタユニットの気体出口の全体を覆うと共に、当該気体出口から供給された気体を前記計測機の吸引口へ導くように形成され、
前記集気ダクトは、前記計測機に対して着脱可能に構成され、
前記ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合には、前記集気ダクトが前記計測機に取り付けられ、
前記搬送装置による前記支持部の搬送範囲における任意の場所において前記支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合には、前記集気ダクトが前記計測機から取り外される点にある。

この特徴構成によれば、ファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。そのため、例えばファンフィルタユニットが備えるフィルタのごく一部に損傷がある場合であっても、当該損傷に起因して増加するパーティクルの量を計測機によって適切に計測することができる。つまり、ファンフィルタユニットのリーク検査を適切に行うことができる。そして、このような集気ダクトが取り付けられた計測機は支持部に支持されており、搬送装置によって任意の収容部に搬送される。したがって、作業者が収容部に立ち入ってリーク検査のための作業を行う必要がない。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる。
また、本特徴構成によれば、集気ダクトを計測機に取り付けた場合には、上述したように、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットのリーク検査を行うことができる。一方、集気ダクトを計測機から取り外した場合には、任意の場所において支持部の周辺のパーティクルの量を計測機によって計測することができる。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合と、それ以外で支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合とを、容易に切り替えることができる。

実施形態に係る物品搬送設備の平面図 実施形態に係る物品搬送設備の収容倉庫の平面図 実施形態に係る物品の斜視図 実施形態に係る計測装置の一部を示す斜視図 収容部に収容された支持部、及び当該支持部に支持された装置を示す側面図 収容部に収容された支持部、及び当該支持部に支持された装置を示す正面図 実施形態に係る計測装置の構成を示すブロック図 表示部が表示した計測結果情報及び計測状態情報の一例を示す図 パーティクル情報マップの一例を示す図

以下では、実施形態に係る計測装置１００について、図面を参照して説明する。計測装置１００は、物品搬送設備１０において用いられる。

まず、物品搬送設備１０について説明する。図１に示すように、物品搬送設備１０は、それぞれに物品Ａが収容される複数の収容部Ｓと、物品Ａを搬送する搬送装置Ｔと、を備えている。

本実施形態では、複数の収容部Ｓを含む収容倉庫ＳＴが、互いに離間して複数配置されている。複数の収容倉庫ＳＴのそれぞれは、壁体Ｗによって周囲を囲まれている。

本実施形態では、搬送装置Ｔは、複数の収容倉庫ＳＴのそれぞれに配置され、複数の収容部Ｓのいずれかとの間で物品Ａの受け渡しを行うと共に、レールＲ１に沿って物品Ａを搬送するスタッカクレーンＴ１と、隣接する一対の収容倉庫ＳＴを接続するように配置された倉庫間コンベヤＴ２と、収容倉庫ＳＴへ物品Ａを入庫するための入庫コンベヤＴ３と、収容倉庫ＳＴから物品Ａを出庫するための出庫コンベヤＴ４と、物品搬送設備１０の天井に設置された天井レールＲ２に沿って走行し、入庫コンベヤＴ３及び出庫コンベヤＴ４との間で物品Ａの受け渡しを行う天井搬送車Ｔ５と、を含む。

スタッカクレーンＴ１による物品Ａの搬送元は、収容部Ｓ、倉庫間コンベヤＴ２、及び入庫コンベヤＴ３を含む。また、スタッカクレーンＴ１による物品Ａの搬送先は、収容部Ｓ、倉庫間コンベヤＴ２、及び出庫コンベヤＴ４を含む。

図２に示すように、本実施形態では、スタッカクレーンＴ１は、一対のレールＲ１に沿って走行する走行台車Ｔ１１と、当該走行台車Ｔ１１に立設された一対のマストＴ１２と、当該一対のマストＴ１２に案内された状態で昇降移動する昇降台Ｔ１３と、当該昇降台Ｔ１３に取り付けられ、複数の収容部Ｓのいずれかとの間で物品Ａの受け渡しを行う移載機構Ｔ１４と、を備えている。移載機構Ｔ１４は、物品Ａを下方から支持するフォーク部Ｔ１４ａと、当該フォーク部Ｔ１４ａを収容部Ｓに対して出退移動させるアーム部Ｔ１４ｂと、を備えている。

本実施形態では、複数の収容部Ｓが、レールＲ１に沿って水平方向に並んで配置されていると共に、鉛直方向に並ぶように複数段に配置されている。また、本例では、複数の収容部Ｓを備えた収容棚ＳＲが、レールＲ１を挟んで対向するように配置されている。

以下の説明では、収容部ＳにおけるレールＲ１に沿う方向を、収容部Ｓの「幅方向Ｘ」とする。また、平面視で幅方向Ｘに直交する方向を、収容部Ｓの「奥行方向Ｙ」とする。そして、奥行方向Ｙにおいて、レールＲ１の側を「手前側Ｙ１」とし、その反対側を「奥側Ｙ２」とする。また、鉛直方向に沿う方向を「上下方向Ｚ」とする。

本実施形態では、複数の収容部Ｓのそれぞれは、上下方向Ｚに延在するように形成された複数の支柱Ｓ１と、当該複数の支柱Ｓ１に固定され、物品Ａを下方から支持する支持部材Ｓ２と、を備えている。図２に示す例では、奥行方向Ｙに互いに離間して配置された３本１組の支柱Ｓ１が、幅方向Ｘに離間しつつ幅方向Ｘに並ぶように複数組設けられている。そして、奥行方向Ｙに延在する支持部材Ｓ２のそれぞれが、各組における手前側Ｙ１の２本の支柱Ｓ１に支持されている。幅方向Ｘに隣り合う２組の支柱Ｓ１に支持されて、当該２組の支柱Ｓ１の幅方向Ｘの間において同じ高さに配置された一対の支持部材Ｓ２により、収容部Ｓのそれぞれが構成されている。

複数の収容部Ｓのそれぞれには、ファンフィルタユニットＦが設けられている。ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓに向けて清浄気体を供給するように構成されている。具体的には、ファンフィルタユニットＦは、ファンＦ１の回転によって、対応する収容部Ｓの外部から取り込まれた気体がフィルタＦ２を通り、対応する収容部Ｓの内部を向く気体出口Ｆａから放出されるように構成されている。上記の清浄気体は、フィルタＦ２を通過した気体である。

本実施形態では、ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓの奥側Ｙ２から内部に向けて清浄気体を供給するように配置されている。図２に示す例では、ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓにおいて互いに幅方向Ｘに離間して配置された、最も奥側Ｙ２の一対の支柱Ｓ１の間に位置するように、当該一対の支柱Ｓ１に支持されている。

図３に示すように、本実施形態では、物品Ａは、ガラス基板を収容する直方体状の容器である。そして、物品Ａは、容器の上面部分を構成する容器上枠部Ａ１と、容器の下面部分を構成する容器下枠部Ａ２と、容器の対向する一対の側面部分のそれぞれを構成する容器側枠部Ａ３と、容器におけるガラス基板を出し入れするための前面部分を構成する容器開口部Ａ４と、容器における前面部分の側とは反対側の後面部分を構成する容器後枠部Ａ５と、を有している。

本実施形態では、容器上枠部Ａ１及び容器下枠部Ａ２のそれぞれは、平面視で矩形状の外枠を有する格子状に形成されている。一対の容器側枠部Ａ３のそれぞれは、容器上枠部Ａ１と容器下枠部Ａ２とを連結する複数本（ここでは５本）の縦枠を有している。容器後枠部Ａ５は、容器上枠部Ａ１と容器下枠部Ａ２とを連結する一対の縦枠と、当該一対の縦枠を水平方向に連結する一対の横枠と、を有している。容器開口部Ａ４は、物品Ａ（容器）の内部と外部との間でガラス基板を出し入れするための出入口として構成されている。そのため、容器開口部Ａ４には、例えば容器後枠部Ａ５が有するような枠は設けられていない。

また、本実施形態では、物品Ａは、各容器側枠部Ａ３の各縦枠から物品Ａの内部に向けて水平方向に突出する第１支持部材Ａ３ａと、容器後枠部Ａ５の各縦枠から物品Ａの内部に向けて水平方向に突出する第２支持部材Ａ５ａと、を有している。複数の第１支持部材Ａ３ａと複数の第２支持部材Ａ５ａとは、互いに同じ高さに配置されており、ガラス基板を下方から支持するように構成されている。そして、このような複数の第１支持部材Ａ３ａと複数の第２支持部材Ａ５ａとの組が、上下方向Ｚに沿って複数組配置されている。これにより、物品Ａは、複数のガラス基板を上下方向Ｚの複数段に亘って収納することが可能となっている。

図４に示すように、計測装置１００は、搬送装置Ｔによって搬送可能、かつ、複数の収容部Ｓのそれぞれに収容可能に構成された支持部１と、当該支持部１に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機２と、当該計測機２に取り付けられた集気ダクト３と、を備えている。

支持部１は、搬送装置Ｔによって搬送可能、かつ、各収容部Ｓに収容可能な外形を有している。本実施形態では、支持部１は、搬送装置Ｔの搬送対象かつ各収容部Ｓの収容対象である物品Ａと同様の外形を有している。具体的には、本実施形態では、支持部１は、容器上枠部Ａ１と同様に構成された上枠部１１と、容器下枠部Ａ２と同様に構成された下枠部１２と、一対の容器側枠部Ａ３と同様に構成された一対の側枠部１３と、容器開口部Ａ４と同様に構成された開口部１４と、容器後枠部Ａ５と同様に構成された後枠部１５と、を有している。また、本実施形態では、支持部１は、計測機２を支持する支持板１６を有している。支持板１６は、下枠部１２を覆う板状に形成されている。支持板１６は、下枠部１２に載置された状態で、当該下枠部１２に固定されている。

なお、支持部１は、物品Ａに設けられている複数の第１支持部材Ａ３ａ及び複数の第２支持部材Ａ５ａ（図３参照）を有していない。一方で、上述したように、支持部１は、物品Ａには設けられていない支持板１６を有している。つまり、本実施形態では、複数の第１支持部材Ａ３ａ及び複数の第２支持部材Ａ５ａを物品Ａから取り除くと共に、支持板１６を物品Ａに追加することで、支持部１を形成している。

計測機２は、当該計測機２の周囲のパーティクルの量を計測する機器である。本実施形態では、計測機２は、当該計測機２の周囲の気体を吸引口２ａから取り込み、当該気体に含まれるパーティクルの粒径及び数量を計測するパーティクルカウンタである。計測機２は、支持部１に支持されている。本実施形態では、計測機２は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。また、本実施形態では、計測機２は、支持板１６に支持された蓄電装置（図示を省略）と電気的に接続されており、当該蓄電装置を電源として作動する。

集気ダクト３は、計測機２の吸引口２ａに連通するように、計測機２に取り付けられている。本実施形態では、集気ダクト３は、計測機２に対して着脱可能に構成されている。また、本実施形態では、集気ダクト３は、支持板１６から上方に延在するように形成されたダクト支持体３ａによって下方から支持されている。集気ダクト３と計測機２との着脱機構としては、例えば、ボルトとナット（或いは雌ねじ）を用いた機構、嵌合を用いた機構、クランプ機構等、公知の各種の機構を用いることができる。

図５に示すように、集気ダクト３は、支持部１が複数の収容部Ｓのいずれかに収容された状態で、当該収容部Ｓに設けられたファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａの全体を覆うと共に、当該気体出口Ｆａから供給された気体を計測機２の吸引口２ａへ導くように形成されている。本実施形態では、集気ダクト３は、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａに対向して配置された対向部３１と、気体出口Ｆａから供給された気体を案内するように内面３２ａがテーパ状に形成されたテーパ部３２と、を備えている。

テーパ部３２の内面３２ａは、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って先細りとなるテーパ状に形成されている。つまり、テーパ部３２は、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って、気体の流路断面積が縮小するように形成されている。

図６に示すように、対向部３１は、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａを正面から見た正面視で当該気体出口Ｆａの全体を覆うように、気体出口Ｆａに対向して配置されている。つまり、上記正面視で、集気ダクト３の外縁よりも内側に、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａが配置されている。

図７に示すように、本実施形態では、計測装置１００は、計測機２の位置を検出する位置検出装置４と、作業者Ｐ（図１参照）が操作する操作端末５と、計測機２と信号を送受信可能に構成されていると共に操作端末５と無線通信可能に構成された第１通信ユニット６と、位置検出装置４と信号を送受信可能に構成されていると共に操作端末５と無線通信可能に構成された第２通信ユニット７と、を更に備えている。

本実施形態では、位置検出装置４は、ビーコン信号を発信する発信機４１と、当該発信機４１から発信されたビーコン信号を受信する複数の受信機４２と、を備えている。

図４及び図５に示すように、発信機４１は、支持部１に支持されている。本実施形態では、発信機４１は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。複数の受信機４２は、互いに規定の距離を空けて、物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている。図１に示す例では、一方の収容倉庫ＳＴを囲む壁体Ｗの外側に隣接して１つの受信機４２が配置され、他方の収容倉庫ＳＴを囲む壁体Ｗの外側に隣接する２箇所のそれぞれに受信機４２が配置されている。このような位置検出装置４として、例えば、発信機４１から発信されるビーコン信号を３箇所以上の受信機４２により受信し、各受信機４２での信号強度に基づいて３点測位の原理で発信機４１の位置情報を取得する装置等を採用可能である。

第１通信ユニット６は、支持部１に支持されている。本実施形態では、第１通信ユニット６は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。図７に示すように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒを取得する計測結果取得部６１と、当該計測結果取得部６１が取得した計測結果情報Ｉｒを操作端末５に送信する第１通信部６２と、を備えている。このように、第１通信ユニット６は、支持部１に支持されて、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒを取得可能に構成されていると共に、操作端末５と無線通信可能に構成された「通信ユニット」に相当する。

第２通信ユニット７は、物品搬送設備１０における規定の箇所に配置されている。本実施形態では、第２通信ユニット７は、位置検出装置４が検出した計測機２の位置を示す計測位置情報Ｉｐを取得する位置取得部７１と、当該位置取得部７１が取得した計測位置情報Ｉｐを操作端末５に送信する第２通信部７２と、を備えている。本実施形態では、位置取得部７１は、複数の受信機４２の少なくとも一部が受信した、発信機４１からのビーコン信号に基づいて、計測機２の位置を示す計測位置情報Ｉｐを算出する。

本実施形態では、操作端末５は、作業者Ｐが入力を行う入力部５１と、種々の情報処理を行う処理部５２と、当該処理部５２が処理した情報を表示する表示部５３と、第１通信ユニット６及び第２通信ユニット７と無線通信を行う端末側通信部５４と、を備えている。本例では、操作端末５は、入力部５１と処理部５２と表示部５３と端末側通信部５４とが一体的に構成されたタブレット型コンピュータである。

図８に示すように、本実施形態では、表示部５３は、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒ、計測機２の状態を示す計測状態情報Ｉｓを表示する。具体的には、まず、第１通信ユニット６の計測結果取得部６１が、計測機２の出力信号に基づいて計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを取得する。次に、第１通信ユニット６の第１通信部６２が、それら計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを端末側通信部５４に送信する。そして、処理部５２が、端末側通信部５４から計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを取得し、これら計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを表示部５３が表示する。このように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測結果情報Ｉｒ、及び計測機２の状態を示す計測状態情報Ｉｓを操作端末５に送信する。

なお、図８は、タブレット型コンピュータである操作端末５の表示部５３に表示された計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓの一例を示している。図８に示す例では、計測結果情報Ｉｒとして、パーティクルの粒径と、当該粒径に対応するパーティクルの数量とが表示されている。また、計測状態情報Ｉｓとして、計測機２の電源として機能する上記蓄電装置の残容量（State of Charge）と、計測機２の計測データを記憶する記憶装置の空き容量の比率とが表示されている。

本実施形態では、操作端末５は、作業者Ｐにより入力部５１を介して、計測機２を作動させるための作動指令Ｃ１と、計測機２を停止させるための停止指令Ｃ２とを入力可能に構成されている。図８に示す例では、入力部５１と表示部５３とが一体化されたタッチパネルに、作動指令Ｃ１を入力するための「ＯＮ」ボタンと、停止指令Ｃ２を入力するための「ＯＦＦ」ボタンとが表示されている。また、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測機２の状態を切り替える状態切替部６３を更に備えている。

このような構成において、作業者Ｐが入力部５１を介して作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を入力した場合、当該作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を処理部５２が取得する。そして、処理部５２が取得した作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を、端末側通信部５４が第１通信ユニット６の第１通信部６２に送信する。続いて、状態切替部６３は、第１通信部６２が受信した作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える。具体的には、第１通信部６２が作動指令Ｃ１を受信した場合、状態切替部６３は、計測機２の状態を作動状態に切り替える。一方、第１通信部６２が停止指令Ｃ２を受信した場合、状態切替部６３は、計測機２の状態を停止状態に切り替える。このように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、作業者Ｐによって操作端末５に入力された作動指令Ｃ１及び停止指令Ｃ２を受信し、当該指令Ｃ１，Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える。

また、本実施形態では、処理部５２は、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクル情報マップＭを作成する。そして、表示部５３は、処理部５２で作成したパーティクル情報マップＭを表示する。なお、本実施形態では、上述したように、計測位置情報Ｉｐは、第２通信ユニット７により取得され、第２通信部７２から端末側通信部５４に送信される。そして、処理部５２は、端末側通信部５４から計測位置情報Ｉｐを取得する。図９に示すように、パーティクル情報マップＭは、パーティクルの量が物品搬送設備１０のレイアウトに関連付けて示された情報である。図９に示す例では、計測結果情報Ｉｒに基づくパーティクルの量が３段階で相対的に表されている。ここでは、計測位置情報Ｉｐに基づく搬送装置Ｔによる支持部１の搬送経路が矢印で表されている。そして、この矢印が、パーティクルの３段階の量に応じて、３種類の色又は模様が付与された状態で表示されている。

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、集気ダクト３が計測機２に対して着脱可能である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、集気ダクト３が計測機２と一体的に構成され、集気ダクト３が計測機２から取り外せない構成であっても良い。

（２）上記の実施形態では、集気ダクト３が、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａを正面から見た正面視で当該気体出口Ｆａの全体を覆うように、気体出口Ｆａに対向して配置された対向部３１を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、対向部３１が、正面視で気体出口Ｆａの一部を覆うように形成された構成としても良い。この場合、ファンフィルタユニットＦのリークが発生し易い場所、例えばファンフィルタユニットＦの周縁部を覆うように形成されていると好適である。

（３）上記の実施形態では、集気ダクト３が、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って流路断面積が縮小するように形成されたテーパ部３２を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、テーパ部３２が、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って流路断面積が変化しない構成又は増減を繰り返す構成としても良い。

（４）上記の実施形態では、位置検出装置４が、発信機４１から発信されるビーコン信号を３箇所以上の受信機４２により受信し、各受信機４２での信号強度等に基づいて３点測位の原理で発信機４１の位置情報を取得する装置である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、位置検出装置４が、発信機４１から発信されたビーコンを最も近くで（最も強い信号強度で）受信した受信機４２に紐づけられた位置情報を発信機４１の位置情報とする、いわゆる近接性方式を用いた装置であっても良い。また、位置検出装置４を備えていない構成としても良い。

（５）上記の実施形態では、発信機４１が支持部１に支持され、複数の受信機４２が物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、発信機４１と受信機４２との関係を逆にしても良い。すなわち、受信機４２が支持部１に支持され、複数の発信機４１が物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている構成としても良い。

（６）上記の実施形態では、パーティクル情報マップＭを作成する処理部５２が操作端末５に設けられた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、処理部５２が第１通信ユニット６又は第２通信ユニット７に設けられていても良い。或いは、処理部５２が物品搬送設備１０における規定の箇所に配置された別の演算処理装置に設けられていても良い。

（７）上記の実施形態では、操作端末５がタブレット型コンピュータである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、操作端末５がデスクトップ型コンピュータ、ラップトップ型コンピュータであっても良い。また、操作端末５を備えていない構成としても良い。この場合、第１通信ユニット６及び第２通信ユニット７を備えていなくても良い。

（８）上記の実施形態では、第１通信ユニット６が作動指令Ｃ１及び停止指令Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、計測機２の状態を遠隔で切り替えることなく、作業者Ｐが計測機２を直接操作して状態を切り替える構成としても良い。

（９）上記の実施形態では、処理部５２が、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクル情報マップＭを作成し、表示部５３が、処理部５２で作成したパーティクル情報マップＭを表示する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、処理部５２が、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクルの量の計測位置と、当該計測位置におけるパーティクルの量とを示す表を作製し、当該表を表示部５３が表示する構成としても良い。

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明した計測装置の概要について説明する。

計測装置は、
それぞれに物品が収容される複数の収容部と、前記物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、前記収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の前記収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置であって、
前記搬送装置によって搬送可能、かつ、複数の前記収容部のそれぞれに収容可能に構成された支持部と、
前記支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機と、
前記計測機に取り付けられた集気ダクトと、を備え、
前記集気ダクトは、前記支持部が複数の前記収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられた前記ファンフィルタユニットの気体出口の全体を覆うと共に、当該気体出口から供給された気体を前記計測機の吸引口へ導くように形成されている。

この構成によれば、ファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。そのため、例えばファンフィルタユニットが備えるフィルタのごく一部に損傷がある場合であっても、当該損傷に起因して増加するパーティクルの量を計測機によって適切に計測することができる。つまり、ファンフィルタユニットのリーク検査を適切に行うことができる。そして、このような集気ダクトが取り付けられた計測機は支持部に支持されており、搬送装置によって任意の収容部に搬送される。したがって、作業者が収容部に立ち入ってリーク検査のための作業を行う必要がない。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる。

ここで、前記集気ダクトは、前記計測機に対して着脱可能に構成されていると好適である。

この構成によれば、集気ダクトを計測機に取り付けた場合には、上述したように、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットのリーク検査を行うことができる。一方、集気ダクトを計測機から取り外した場合には、任意の場所において支持部の周辺のパーティクルの量を計測機によって計測することができる。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合と、それ以外で支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合とを、容易に切り替えることができる。

また、前記集気ダクトは、前記気体出口を正面から見た正面視で当該気体出口の全体を覆うように、前記気体出口に対向して配置された対向部と、当該対向部から前記計測機の前記吸引口に向かうに従って流路断面積が縮小するように形成されたテーパ部と、を備えていると好適である。

この構成によれば、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。したがって、ファンフィルタユニットのリーク検査を精度良く行うことができる。

また、前記計測機の位置を検出する位置検出装置を更に備えていると好適である。

この構成によれば、計測機がリーク検査を行った位置を測定することができる。したがって、どのファンフィルタユニットのリーク検査を行ったかを容易に把握することができる。

前記位置検出装置を備えた構成において、
前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得する計測結果取得部と、
前記位置検出装置が検出した前記計測機の位置を示す計測位置情報を取得する位置取得部と、
前記計測結果情報及び前記計測位置情報に基づいて、パーティクルの量が前記物品搬送設備のレイアウトに関連付けて示されたパーティクル情報マップを作成する処理部と、
作業者が操作する操作端末に設けられ、前記処理部で作成した前記パーティクル情報マップを表示する表示部と、を更に備えていると好適である。

この構成によれば、表示部に表示されたパーティクル情報マップを作業者が視認することで、物品搬送設備の各所のパーティクルの量を容易に把握することができる。

また、作業者が操作する操作端末と、
前記支持部に支持されて、前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得可能に構成されていると共に、前記操作端末と無線通信可能に構成された通信ユニットと、を更に備え、
前記通信ユニットは、前記計測結果情報、及び前記計測機の状態を示す計測状態情報を前記操作端末に送信すると好適である。

この構成によれば、計測機によるパーティクルの量の計測結果と、計測機の状態とを、遠隔で取得することができる。したがって、作業者が計測機を回収する作業等を行うことなく、計測機によるパーティクルの量の計測結果と、計測機の状態とを、容易に取得することができる。

前記操作端末と前記通信ユニットとを備えた構成において、
前記通信ユニットは、前記作業者によって前記操作端末に入力された作動指令及び停止指令を受信し、当該指令に応じて、前記計測機の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替えると好適である。

この構成によれば、作業者が遠隔で計測機の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替えることができる。したがって、計測機の状態を作動状態又は停止状態とする作業を容易に行うことができる。また、計測機が蓄電装置を電源として用いている場合には、計測が不要な場合に停止状態とすることで、蓄電装置の電力消費を抑え、計測機の稼働時間を長く確保することができる。

本開示に係る技術は、それぞれに物品が収容される複数の収容部と、物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置に利用することができる。

１００ ：計測装置
１ ：支持部
２ ：計測機
２ａ ：吸引口
３ ：集気ダクト
１０ ：物品搬送設備
Ａ ：物品
Ｓ ：収容部
Ｔ ：搬送装置
Ｆ ：ファンフィルタユニット
Ｆａ ：気体出口

Claims (6)

1. それぞれに物品が収容される複数の収容部と、前記物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、前記収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の前記収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置であって、
   前記搬送装置によって搬送可能、かつ、複数の前記収容部のそれぞれに収容可能に構成された支持部と、
   前記支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機と、
   前記計測機に取り付けられた集気ダクトと、を備え、
   前記集気ダクトは、前記支持部が複数の前記収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられた前記ファンフィルタユニットの気体出口の全体を覆うと共に、当該気体出口から供給された気体を前記計測機の吸引口へ導くように形成され、
   前記集気ダクトは、前記計測機に対して着脱可能に構成され、
   前記ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合には、前記集気ダクトが前記計測機に取り付けられ、
   前記搬送装置による前記支持部の搬送範囲における任意の場所において前記支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合には、前記集気ダクトが前記計測機から取り外される、計測装置。
2. 前記集気ダクトは、前記気体出口を正面から見た正面視で当該気体出口の全体を覆うように、前記気体出口に対向して配置された対向部と、当該対向部から前記計測機の前記吸引口に向かうに従って流路断面積が縮小するように形成されたテーパ部と、を備えている、請求項１に記載の計測装置。
3. 前記計測機の位置を検出する位置検出装置を更に備えている、請求項１又は２に記載の計測装置。
4. 前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得する計測結果取得部と、
   前記位置検出装置が検出した前記計測機の位置を示す計測位置情報を取得する位置取得部と、
   前記計測結果情報及び前記計測位置情報に基づいて、パーティクルの量が前記物品搬送設備のレイアウトに関連付けて示されたパーティクル情報マップを作成する処理部と、
   作業者が操作する操作端末に設けられ、前記処理部で作成した前記パーティクル情報マップを表示する表示部と、を更に備えている、請求項３に記載の計測装置。
5. 作業者が操作する操作端末と、
   前記支持部に支持されて、前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得可能に構成されていると共に、前記操作端末と無線通信可能に構成された通信ユニットと、を更に備え、
   前記通信ユニットは、前記計測結果情報、及び前記計測機の状態を示す計測状態情報を前記操作端末に送信する、請求項１から４のいずれか一項に記載の計測装置。
6. 前記通信ユニットは、前記作業者によって前記操作端末に入力された作動指令及び停止指令を受信し、当該指令に応じて、前記計測機の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える、請求項５に記載の計測装置。

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