JP7355688B2 - 厚み測定装置 - Google Patents
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Description
したがって、測定子を接触させ被加工物の厚みを測定する厚み測定装置においては、反りがある被加工物の厚みを正確に測定できるようにするという課題がある。
なお、保持面300はポーラス部材で構成されていてもよいし、保持面300に吸引孔303が周方向及び径方向に均等間隔を空けて複数開口していてもよいし、吸引溝が形成されていてもよい。
なお、第1径方向テーブル321、第2径方向テーブル322、及び第3径方向テーブル323の保持面はポーラス部材等で構成されていてもよい。
また、径方向吸引路392、径方向吸引路393、及び径方向吸引路394が合流して1本となって吸引源39に連通する吸引流路に1つの径方向開閉弁を配設して、該1つの径方向開閉弁の開閉によって、吸引源39と径方向吸引路392、径方向吸引路393、及び径方向吸引路394との連通を切り換えることができるようにしてもよい。
即ち、測定テーブル3は、回転する中央テーブル30と、固定された支持テーブル33、及び第1径方向テーブル321~第3径方向テーブル323とで構成されている。
まず、測定テーブル3の中央テーブル30の中心と被加工物80の中心とが略合致するように、被加工物80が上面802を上に向けた状態で保持面300上に載置される。そして、中央開閉弁391が開かれた状態で吸引源39が作動して生み出された吸引力が、中央テーブル30の保持面300に伝達されることにより、中央テーブル30が保持面300上で被加工物80の下面801の中央領域を吸引保持する。なお、この状態において、径方向開閉弁395、径方向開閉弁396、及び径方向開閉弁397は閉じられており、第1径方向テーブル321、第2径方向テーブル322、及び第3径方向テーブル323には吸引力が伝達されておらず、例えば、被加工物80の下面801の外周側の領域は、支持テーブル33の支持面や第1径方向テーブル321、第2径方向テーブル322、及び第3径方向テーブル323の保持面に接していない状態になっている。
その後、先に説明したのと同様に、第1径方向測定子44、第2径方向測定子45、及び第3径方向測定子46が降下したら第1径方向テーブル321、第2径方向テーブル322、及び第3径方向テーブル323で被加工物80を吸引保持し、また、順次降下する第1径方向測定子44、第2径方向測定子45、及び第3径方向測定子46による被加工物80の径方向測定点832、径方向測定点833、及び、径方向測定点834における厚み測定が行われ、測定情報が測定子降下制御手段9の記憶素子に記憶される。
例えば、図1に示す厚み測定装置1は、支持テーブル33に径方向開口331~径方向開口333を備えず、また、第1径方向テーブル321~第3径方向テーブル323を備えない構成としてもよい。この場合においては、第1径方向測定子44、第2径方向測定子45、及び第3径方向測定子46は、それぞれ、支持テーブル33の支持面335上で被加工物80の厚み測定を行う。
1:厚み測定装置
3:測定テーブル
30:中央テーブル 300:保持面 303:吸引孔
321:第1径方向テーブル 322:第2径方向テーブル 323:第3径方向テーブル 325:固定部材
39:吸引源 390:中央吸引路 391:中央開閉弁 398:ロータリージョイント 392~394:径方向吸引路 395~397:径方向開閉弁
33:支持テーブル 330:中央開口 331~333:径方向開口 339:支持柱
335:支持面
36:回転手段 362:スピンドル 363:モータ
42:中心測定子 420:コンタクト 421:測定子本体
44:第1径方向測定子 45:第2径方向測定子 46:第3径方向測定子
9:測定子降下制御手段 90:中央シリンダ機構 91~93:第1径方向シリンダ機構~第3径方向シリンダ機構
Claims (4)
- 反りがある被加工物の上面に降下させた測定子の高さによって、該被加工物の厚みを測定する厚み測定装置であって、
保持面で該被加工物の下面を吸引保持する測定テーブルと、
該測定テーブルの中心の直上に配置される中心測定子と、
該測定テーブルの径方向において該中心測定子と間隔を空け、さらに該測定テーブルの径方向において互いに間隔を空けて複数配置される径方向測定子と、
該中心測定子を降下させた後、該径方向測定子を該測定テーブルの中心から外側に向かう順で順次降下させる測定子降下制御手段と、を備える厚み測定装置。 - 前記測定テーブルは、
前記中心測定子の直下に配置され前記被加工物の下面を吸引保持する中央テーブルと、該中央テーブルを露出させる中央開口を有し、該中央テーブルに吸引保持される該被加工物の下面を支持する支持テーブルと、を備え、
該中央テーブルの中心を軸に該中央テーブルを回転させる回転手段を備える請求項1記載の厚み測定装置。 - 前記測定テーブルは、複数の前記径方向測定子の各々の直下に配置される径方向テーブルを備え、
前記支持テーブルは、該径方向テーブルを露出させる径方向開口を有する、請求項2記載の厚み測定装置。 - 前記径方向テーブルは、前記被加工物を吸引保持可能であり、
前記径方向測定子が降下したら該径方向テーブルで該被加工物を吸引保持し、該被加工物の厚みを測定する、請求項3記載の厚み測定装置。
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2020
- 2020-03-23 JP JP2020050755A patent/JP7355688B2/ja active Active
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