JP2020098842A - ウェハ保持装置及びウェハ搬送保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[ウェハ受取工程]
[BGテープ洗浄工程]
[ウェハ受渡工程]
2 ・・・ウェハ搬送保持装置
3 ・・・第1のチャック
4 ・・・第2のチャック
5 ・・・ウェハ保持装置
6 ・・・搬送機構
11 ・・・基台
12 ・・・吸着体
51 ・・・吸着パッド
52 ・・・フレーム
53 ・・・環状溝
54 ・・・管路
55 ・・・連通孔
56 ・・・ボルト孔
61 ・・・伸縮アーム
62 ・・・リンク
70 ・・・洗浄ブラシ
S1 ・・・真空源
S2 ・・・圧縮空気源
S3 ・・・給水源
W ・・・ウェハ
Claims (5)
- ウェハを吸着保持する保持装置であって、
前記ウェハのデバイス形成領域より大径のリング状に形成され、前記ウェハの外周縁に当接可能な吸着パッドと、
前記吸着パッドを下面に埋設するフレームと、
前記吸着パッドに接続され、前記吸着パッドとウェハとの間に負圧を生じさせる真空源と、
を備えていることを特徴とするウェハ保持装置。 - 前記吸着パッドに接続され、前記吸着パッドとウェハとの間に圧縮空気を供給する空気源をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載のウェハ保持装置。
- 前記フレームは、円板状に形成され、該フレームを上下に貫通する連通孔が形成されており、
前記連通孔には、前記フレーム内に圧縮空気を供給する空気源が接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハ保持装置。 - 前記フレームは、円板状に形成され、該フレームを上下に貫通する連通孔が形成されており、
前記連通孔には、前記フレーム内に保湿水を供給する給水源が接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハ保持装置。 - 請求項1から4の何れか1項記載のウェハ保持装置と、
前記フレームに接続され、前記ウェハ保持装置を搬送する搬送機構と、
を備えていることを特徴とするウェハ搬送保持装置。
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- 2018-12-17 JP JP2018235945A patent/JP7320940B2/ja active Active
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- 2023-07-24 JP JP2023119787A patent/JP2023133420A/ja active Pending
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