JP7352016B2 - マイクロミラーデバイス - Google Patents
マイクロミラーデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP7352016B2 JP7352016B2 JP2022516995A JP2022516995A JP7352016B2 JP 7352016 B2 JP7352016 B2 JP 7352016B2 JP 2022516995 A JP2022516995 A JP 2022516995A JP 2022516995 A JP2022516995 A JP 2022516995A JP 7352016 B2 JP7352016 B2 JP 7352016B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- resonance
- axis
- frequency
- micromirror device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0808—Mirrors having a single reflecting layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
<1>
入射光を反射する反射面を有するミラー部を有し、ミラー部を互いに交差する第1軸および第2軸の2つの軸周りでそれぞれ往復回動させることにより、反射面の向きを2次元的に変化させるマイクロミラーデバイスであって、
ミラー部の周囲に環状に配置された第1圧電素子を有する第1アクチュエータであって、ミラー部と接続され、かつ、第1圧電素子が周期的に変形することによりミラー部を第1軸周りに往復回動させる第1アクチュエータと、
第2圧電素子を有する第2アクチュエータであって、第2圧電素子が周期的に変形することにより、ミラー部を第2軸周りに往復回動させる第2アクチュエータとを備えており、
共振周波数が異なる複数の共振モードのうち、ミラー部と第1アクチュエータとが第1軸周りに互いに逆位相で往復回動する共振モードであって、最も低次の共振モードの共振周波数をAとし、
複数の共振モードのうち、第1軸および第2軸の両方に直交する方向に、ミラー部と第1アクチュエータとが逆位相で振動する共振モードであって、最も低次の共振モードの共振周波数をBとし、
共振周波数Aと共振周波数Bの差A-Bを周波数差分Fとし、
複数の共振モードのうち、周波数差分Fよりも小さい周波数の共振周波数を有する共振モードであって、周波数差分Fに最も近い共振周波数を有する共振モードの共振周波数をCとし、
複数の共振モードのうち、周波数差分Fよりも大きい周波数の共振周波数を有する共振モードであって、周波数差分Fに最も近い共振周波数を有する共振モードの共振周波数をDとした場合において、
周波数差分Fと共振周波数Cとの差ΔF1が、
ΔF1=F-C≧20Hz
を満たし、かつ、
周波数差分Fと共振周波数Dとの差ΔF2が、
ΔF2=F-D≦-150Hz
を満たすマイクロミラーデバイス。
<2>
差ΔF1および差ΔF2が、
ΔF1≧100Hz、
ΔF2≦-400Hz
を満たす<1>に記載のマイクロミラーデバイス。
<3>
ミラー部と第1アクチュエータは、第1軸に沿って延びる第1接続部によって接続されている<1>または<2>に記載のマイクロミラーデバイス。
<4>
第1アクチュエータの周囲を囲む環状の可動枠と、
可動枠と第1アクチュエータとを接続する第2接続部を備えており、
第2アクチュエータは、可動枠を介してミラー部を第2軸周りに往復回動させる<1>から<3>のいずれかに記載のマイクロミラーデバイス。
<5>
第2接続部は、第1軸に沿って延びている<4>に記載のマイクロミラーデバイス。
<6>
第2アクチュエータは、矩形板状部を2本以上備え、2本以上の矩形板状部が連結部を介してミアンダ状に折り返されたミアンダ構造を含み、2本以上の矩形板状部の各々に第2圧電素子を備えている<1>から<5>のいずれかに記載のマイクロミラーデバイス。<7>
共振周波数Aが、10kHz以上である<1>から<6>のいずれかに記載のマイクロミラーデバイス。
この場合において、周波数差分Fと共振周波数Cとの差ΔF1が、
ΔF1=F-C≧20Hz
であり、かつ、
周波数差分Fと共振周波数Dとの差ΔF2が、
ΔF2=F-D≦-150Hz
である。
なお、本構成のマイクロミラーデバイス1においては、共振周波数Aは、共振周波数Bよりも大きい。
なお、従来技術として記載した特開2013-114015号公報においては、駆動モードの共振周波数とそのn倍の周波数から500Hzの範囲に共振モードを有する場合に、異常振動が励起されると述べられている。しかし、マイクロミラーデバイス1Aにおいては、図7に示すように、この不要な第2共振モード(ii)および第3共振モード(iii)
の共振周波数は、駆動モードである第1共振モード(i)の共振周波数および第1共振モードの2倍波成分の周波数のいずれからも10kHz以上離れているにもかかわらず励起されており、特開2013-114015号公報で述べられている異常振動発生の法則には当てはまらない。
を、以下のようにして調べた。
のような種類の振動を伴う共振であるか)を同定した。
明する。図7の周波数スペクトルにおける第3共振モード(iii)は、1つの共振周波数
に対応する1つの共振モードのように見えるが、実際には、図10~図14に示す複数の第3共振モード(iii)-1~第3共振モード(iii)-5を含んでいる。図10~図14に示す複数の共振モード(第3共振モード(iii)-1~第3共振モード(iii)-5)は、それぞれが異なる共振周波数に対応する。図8~図14は、各共振モードの最大変位状態の形状を示すシミュレーション図である。図8~図14において、濃淡により変位量が示されている。図中において変位スケールに示す0は、静止状態の位置を示し、静止状態に対して濃い色(黒に近い)ほど-z軸方向への変位が大きく、薄い色(白に近い)ほど+z軸方向への変位が大きいことを示している。
とが、第2軸a2周りに同位相に回動するモードである。
とが、第1軸a1周りに同位相で回動するモードである。
はほとんど変位せず、第2アクチュエータ16の1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bの矩形板状部61が、第1アクチュエータ14に対してz軸方向に歪むモードである。図12に示す第3共振モード(iii)-3において、1対のミアンダ型アクチュ
エータ部16A,16Bは同位相に変位する。ここで、同位相とは、ミアンダ型アクチュエータ部16A、16Bのそれぞれが有する複数の矩形板状部61のうち、第1軸a1を対称軸として対称な位置に配置されている矩形板状部61同士が、z軸方向において同じ向きに変位を生じている状態をいう。例えば、図12では、1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bにおいて、第1軸a1からy軸方向に最も遠い位置に配置されている矩形板状部61同士は、中央部分がz軸方向において同じ向きに盛り上がるように変位している。さらに、図12に示す第3共振モード(iii)-3において、1対のミアンダ
型アクチュエータ部16A,16Bのそれぞれの矩形板状部61は、ミラー部12に近いほどz軸方向の歪み量が小さく、ミラー部12からy軸方向に離れるほどz軸方向の歪み量が大きい。
は、ほとんど変位せず、第2アクチュエータ16の1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bの矩形板状部が、第2軸a2を中心にz軸方向に歪むモードである。また、図12に示す第3共振モード(iii)-3と同様に、ミラー部12からy軸方向に最も離
れた矩形板状部61が最も大きく歪むモードである。一方で、図13に示す第3共振モード(iii)-4は、図12に示す第3共振モード(iii)-3と異なり、1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bが逆位相に変位するモードである。ここで、逆位相とはミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bのそれぞれが有する複数の矩形板状部61のうち、第1軸a1を対称軸として対称な位置に配置されている矩形板状部61同士が、z軸方向において逆向きの変位を生じている状態をいう。例えば、図13では、ミアンダ型アクチュエータ部16Aにおいて、第1軸a1からy軸方向に最も遠い位置に配置されている矩形板状部61は、中央部分がz軸方向において凹むように変位する。これに対して、ミアンダ型アクチュエータ部16Bにおいて、第1軸a1からy軸方向に最も遠い位置に配置されている矩形板状部61は、中央部分がz軸方向において盛り上がるように変位する。
は、ほとんど変位せず、第2アクチュエータ16の1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bの矩形板状部が、第2軸a2を中心にz軸方向に歪むモードである。また、図12に示す第3共振モード(iii)-3と同様に、1対のミアンダ型アクチュエータ部
16A,16Bが同位相に変位するモードである。但し、図12に示す第3共振モード(iii)-3の場合とは異なり、ミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bそれぞれの矩
形板状部61のうち、第1アクチュエータ14側から3番目の矩形板状部61が最も大きく歪むモードである。
なお、本例においては第2アクチュエータ16を1対のミアンダ型アクチュエータ部16A,16Bから構成するものとしたが、第2アクチュエータ16としては、ミラー部12および第1アクチュエータ14を一体的に第2軸a2に往復回動可能であれば、別の形状であってもよい。
一般式ABO3 (P)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Sb、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe、およびNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
Aa(Zrx、Tiy、Mb-x-y)bOc (PX)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。Mは、V、Nb、Ta、およびSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。
0<x<b、0<y<b、0≦b-x-y、a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
(工程1)構造用基板として、裏面シリコン酸化物(SiO2)層1.5μm、Siハンドル層250μm、シリコン酸化物ボックス層1μm、Siデバイス層100μm、表面シリコン酸化物1μmの積層構造のSOI(Silicon On Insulator)基板を用いた。このSOI基板の表面酸化層1μm上に、スパッタ法で基板温度350℃にてTi層を30nm、Ir層を150nm形成した。Ti層およびIr層の積層構造が図2の下部電極31に相当する。
のスパッタ成膜のターゲット材料としてはPb1.3((Zr0.52Ti0.48)0.88Nb0.12)O3の組成のものを用いた。成膜圧力は2.2mTorr、成膜温度は450℃とした。得られた圧電膜は、Nbが原子組成比で12%添加されたNbドープPZT薄膜であった。
エッチングにより、圧電膜および下部電極をパターンエッチングした。
各試験例1~16のマイクロミラーデバイスについて、レーザードップラー振動計(Polytec社製 MSA-500 MICRO SYSTEM ANALYZER)を用い、第1アクチュエータ14の第1圧電素子41、42に電圧振幅2Vのチャープ信号(瞬時周波数0~100kHz)を印加して、マイクロミラーデバイス1A上の複数の測定点の変位を測定した。測定点は図16中において黒丸(●)で示すように、ミラー部12、第1アクチュエータ14の半環状アクチュエータ部14A,14B、可動枠18、および、第2アクチュエータ16のミアンダ状アクチュエータ部16A,16Bの可動枠18に最も近い矩形板状部61のそれぞれについて複数の箇所に設定した。レーザードップラー振動計により取得された各測定点での変位をFFT処理により周波数スペクトルを取得し、各測定点の周波数スペクトルの平均スペクトルから振動の周波数を求めた。また、各測定点間の位相関係から各振動モードの振動形状を求めた。FT処理の条件として、サンプリング周波数256Hz、サンプリング時間1024ms、および周波数分解能0.9766Hzとした。なお、共振モードの周波数は、各測定点の周波数スペクトルの平均スペクトルから同定した。
そして、
F=A-B
を算出した。
ΔF1=F-C
ΔF2=F-D
をそれぞれ算出した。
試験例11~16のマイクロミラーデバイスについて、第1アクチュエータ14に第1共振モード(i)の共振周波数Aの正弦波信号を入力し、ミラー部12を第1軸周りに回動させる第1軸スキャン動作を行った。電圧振幅を徐々に大きくして、ミラー部12の変位角度を徐々に大きくし、異常振動の発生の有無、および異常振動が発生した際のミラー部12の変位角度を調べた。具体的には、可視光レーザーをマイクロミラーデバイスのミラー部12の反射面12aに垂直入射し、反射光を二次元フォトディテクタで検出し、走査線のブレの有無により異常振動の有無を判定した。電圧振幅を徐々に大きくした場合に、異常振動を発生することなく、Si破壊応力に達し、ミラー部12が壊れた試験例については、破壊限界の角度である15°を最大変位角度とした。また、破壊限界に至る前に異常振動が発生した場合には、その発生時の角度を最大変位角度とした。また、表1中では、ミラー部12の破壊限界まで異常振動が発生しなかった場合に「発生せず」とし、破壊限界より小さい角度で異常振動が生じた場合には「発生」と表記している。
また、評価として、破壊限界まで異常振動が発生しなかった場合をA、異常振動が発生した場合において、最大変位角度が6°以上であればB、最大変位角度が6°未満であればCとして評価した。マイクロミラーデバイスをレーザーディスプレイに適用する場合、最低でも±6°の変位角度が必要であると考えられる。また、±12°を超える変位角度が得られれば、非常に高精細な画像を実現できる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
Claims (7)
- 入射光を反射する反射面を有するミラー部を有し、前記ミラー部を互いに交差する第1軸および第2軸の2つの軸周りでそれぞれ往復回動させることにより、前記反射面の向きを2次元的に変化させるマイクロミラーデバイスであって、
前記ミラー部の周囲に環状に配置された第1圧電素子を有する第1アクチュエータであって、前記ミラー部と接続され、かつ、前記第1圧電素子が周期的に変形することにより前記ミラー部を前記第1軸周りに往復回動させる第1アクチュエータと、
第2圧電素子を有する第2アクチュエータであって、前記第2圧電素子が周期的に変形することにより、前記ミラー部を前記第2軸周りに往復回動させる第2アクチュエータとを備えており、
共振周波数が異なる複数の共振モードのうち、前記ミラー部と前記第1アクチュエータとが前記第1軸周りに互いに逆位相で往復回動する共振モードであって、最も低次の共振モードの共振周波数をAとし、
前記複数の共振モードのうち、前記第1軸および前記第2軸の両方に直交する方向に、前記ミラー部と前記第1アクチュエータとが逆位相で振動する共振モードであって、最も低次の共振モードの共振周波数をBとし、
前記共振周波数Aと前記共振周波数Bの差A-Bを周波数差分Fとし、
前記複数の共振モードのうち、前記周波数差分Fよりも小さい周波数の共振周波数を有する共振モードであって、前記周波数差分Fに最も近い共振周波数を有する共振モードの共振周波数をCとし、
前記複数の共振モードのうち、前記周波数差分Fよりも大きい周波数の共振周波数を有する共振モードであって、前記周波数差分Fに最も近い共振周波数を有する共振モードの共振周波数をDとした場合において、
前記周波数差分Fと前記共振周波数Cとの差ΔF1が、
ΔF1=F-C≧20Hz
を満たし、かつ、
前記周波数差分Fと前記共振周波数Dとの差ΔF2が、
ΔF2=F-D≦-150Hz
を満たすマイクロミラーデバイス。 - 前記差ΔF1および前記差ΔF2が、
ΔF1≧100Hz、
ΔF2≦-400Hz
を満たす請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記ミラー部と前記第1アクチュエータは、前記第1軸に沿って延びる第1接続部によって接続されている請求項1または2に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記第1アクチュエータの周囲を囲む環状の可動枠と、
前記可動枠と前記第1アクチュエータとを接続する第2接続部を備えており、
前記第2アクチュエータは、前記可動枠を介して前記ミラー部を前記第2軸周りに往復回動させる請求項1から3のいずれか1項に記載のマイクロミラーデバイス。 - 前記第2接続部は、前記第1軸に沿って延びている請求項4に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記第2アクチュエータは、矩形板状部を2本以上備え、前記2本以上の矩形板状部が連結部を介してミアンダ状に折り返されたミアンダ構造を含み、前記2本以上の矩形板状部の各々に前記第2圧電素子を備えている請求項1から5のいずれか1項に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記共振周波数Aが、10kHz以上である請求項1から6のいずれか1項に記載のマイクロミラーデバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020076928 | 2020-04-23 | ||
JP2020076928 | 2020-04-23 | ||
PCT/JP2021/015447 WO2021215328A1 (ja) | 2020-04-23 | 2021-04-14 | マイクロミラーデバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021215328A1 JPWO2021215328A1 (ja) | 2021-10-28 |
JPWO2021215328A5 JPWO2021215328A5 (ja) | 2023-01-27 |
JP7352016B2 true JP7352016B2 (ja) | 2023-09-27 |
Family
ID=78269263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022516995A Active JP7352016B2 (ja) | 2020-04-23 | 2021-04-14 | マイクロミラーデバイス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230084499A1 (ja) |
EP (1) | EP4141513A4 (ja) |
JP (1) | JP7352016B2 (ja) |
CN (1) | CN115461666A (ja) |
WO (1) | WO2021215328A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015184590A (ja) | 2014-03-25 | 2015-10-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
US20200057298A1 (en) | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Stmicroelectronics S.R.L. | Micromechanical device having a structure tiltable by a quasi-static piezoelectric actuation and having stiffening elements |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013114015A (ja) | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Brother Ind Ltd | 光スキャナ |
JP6581002B2 (ja) | 2016-01-25 | 2019-09-25 | スタンレー電気株式会社 | 前照灯装置 |
JP7132481B2 (ja) * | 2018-02-23 | 2022-09-07 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及び光走査装置 |
JP2020076928A (ja) | 2018-11-09 | 2020-05-21 | ローランド株式会社 | 歪付与装置および歪付与方法 |
-
2021
- 2021-04-14 WO PCT/JP2021/015447 patent/WO2021215328A1/ja unknown
- 2021-04-14 CN CN202180030386.9A patent/CN115461666A/zh active Pending
- 2021-04-14 JP JP2022516995A patent/JP7352016B2/ja active Active
- 2021-04-14 EP EP21792797.9A patent/EP4141513A4/en active Pending
-
2022
- 2022-10-21 US US18/048,659 patent/US20230084499A1/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015184590A (ja) | 2014-03-25 | 2015-10-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
US20200057298A1 (en) | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Stmicroelectronics S.R.L. | Micromechanical device having a structure tiltable by a quasi-static piezoelectric actuation and having stiffening elements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2021215328A1 (ja) | 2021-10-28 |
US20230084499A1 (en) | 2023-03-16 |
CN115461666A (zh) | 2022-12-09 |
EP4141513A4 (en) | 2023-10-11 |
WO2021215328A1 (ja) | 2021-10-28 |
EP4141513A1 (en) | 2023-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN112912784B (zh) | 微镜器件及微镜器件的驱动方法 | |
JP5323155B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法並びに製造方法 | |
EP2827183B1 (en) | Mirror drive device and driving method thereof | |
JP5264954B2 (ja) | ミラー駆動装置及び方法 | |
JP5916577B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
US10281716B2 (en) | Mirror driving device and driving method thereof | |
JP6308700B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
CN103246059A (zh) | 镜驱动设备和控制该设备的方法 | |
US20210405350A1 (en) | Micromirror device and method of driving micromirror device | |
JP7352016B2 (ja) | マイクロミラーデバイス | |
JP2013137583A (ja) | 光偏向器 | |
EP3961289A1 (en) | Micro mirror device | |
WO2020218585A1 (ja) | マイクロミラーデバイス | |
WO2022091497A1 (ja) | 圧電素子およびmemsミラー | |
US20230263065A1 (en) | Piezoelectric element and mems mirror |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221021 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7352016 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |