JP2013506242A - 質量分析システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 質量分析システムであって、
低真空質量分析計段から高真空質量分析計段までガス連通状態にある複数個の差動的ポンプ輸送式質量分析計段を含む質量分析計と、
前記質量分析計段を排気するよう構成された多段ポンプとを有し、前記ポンプは、ポンプエンベロープを有し、前記ポンプエンベロープ内では、前記質量分析計段内における流れ方向にほぼ平行な軸線回りに回転可能に支持された複数個のポンプ輸送段が流体をポンプ入口からポンプ出口にポンプ輸送するよう構成されており、
高真空質量分析計段の少なくとも一部は、前記ポンプエンベロープ内で前記ポンプ入口のところに配置されている、質量分析システム。 - 質量分析計サンプルの特性を求める計器が少なくとも部分的に前記ポンプエンベロープ内で前記主ポンプ入口のところに配置されている、請求項1記載の質量分析システム。
- 前記計器又は質量分析計の機器の一部は、前記主ポンプ入口と第1のポンプ輸送段のポンプ輸送機構体との間に配置されている、請求項1記載の質量分析システム。
- 質量分析計イオン経路が前記ポンプエンベロープ内に部分的に配置されている、請求項1記載の質量分析システム。
- 前記計器は、前記ポンプの前記ポンプ輸送段と軸方向整列状態で配置されている、請求項2又は3記載の質量分析システム。
- 前記回転軸線は、全体としてほぼ水平である、請求項1〜5のうちいずれか一に記載の質量分析システム。
- 前記ポンプエンベロープは、前記主ポンプ入口のところに高真空チャンバの一部を形成し、前記高真空チャンバは、使用の際、そのすぐ上流側に位置したチャンバよりも高い真空状態にある、請求項1〜6のうちいずれか一に記載の質量分析システム。
- 飛行時間型計器が前記ポンプエンベロープの前記主ポンプ入口とそのすぐ上流側に位置したチャンバとの間に延びている、請求項1〜7のうちいずれか一に記載の質量分析システム。
- 前記ポンプの少なくとも1つの段は、ターボ分子ポンプ輸送機構体から成る、請求項1〜8のうちいずれか一に記載の質量分析システム。
- 段間ポートが前記ポンプ輸送段相互間に配置されると共に質量分析計段に連結されている、請求項1〜9のうちいずれか一に記載の質量分析システム。
- 質量分析システムであって、低真空段から高真空段まで流れ連通状態にある複数個の質量分析計段を含む質量分析計と、前記質量分析計段を排気する分割流多段ポンプとを有し、前記ポンプは、ポンプエンベロープを有し、前記ポンプエンベロープ内では、複数個のポンプ輸送段が前記質量分析計段内における前記流れ方向にほぼ平行な軸線回りに回転可能に支持され、前記質量分析計段のうちの1つの少なくとも一部は、上流側ポンプ輸送段と軸方向整列状態で配置されている、質量分析システム。
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