JP7320940B2 - ウェハ保持装置及びウェハ搬送保持装置 - Google Patents
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Description
[ウェハ受取工程]
[BGテープ洗浄工程]
[ウェハ受渡工程]
2 ・・・ウェハ搬送保持装置
3 ・・・第1のチャック
4 ・・・第2のチャック
5 ・・・ウェハ保持装置
6 ・・・搬送機構
11 ・・・基台
12 ・・・吸着体
51 ・・・吸着パッド
52 ・・・フレーム
53 ・・・環状溝
54 ・・・管路
55 ・・・連通孔
56 ・・・ボルト孔
61 ・・・伸縮アーム
62 ・・・リンク
70 ・・・洗浄ブラシ
S1 ・・・真空源
S2 ・・・圧縮空気源
S3 ・・・給水源
W ・・・ウェハ
Claims (2)
- ウェハを吸着保持する保持装置であって、
前記ウェハのデバイス形成領域より大径のリング状に形成され、前記ウェハの外周縁に当接可能な吸着パッドと、
前記吸着パッドを下面に埋設するフレームと、
前記吸着パッドに接続され、前記吸着パッドとウェハとの間に負圧を生じさせる真空源と、
前記フレームを上下に貫通する連通孔に接続され、前記ウェハを前記フレーム側へ押圧する外圧を相殺するように前記ウェハを下方に圧する保湿水を前記フレーム内に供給する給水源と、
を備えていることを特徴とするウェハ保持装置。 - 請求項1記載のウェハ保持装置と、
前記フレームに接続され、前記ウェハ保持装置を搬送する搬送機構と、
を備えていることを特徴とするウェハ搬送保持装置。
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